CN219268120U - 一种光栅调平机构及线宽压窄模块 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种光栅调平机构及线宽压窄模块，光栅调平机构包括本体、安装座、顶杆和螺纹调节机构；安装座可上下摆转地铰接在所述本体上，光栅固定安装在所述安装座上；顶杆可上下活动地设置在所述安装座上，所述顶杆的顶端向下凸出所述安装座并抵靠在所述本体上；螺纹调节机构与所述顶杆连接，用于迫使顶杆相对所述安装座向上或向下移动，调节顶杆顶端向下凸出安装座的长度，进而迫使所述安装座上下摆转，实现调平。本实用新型解决了在线宽压窄模块的腔体外部调节光栅的技术问题，从而可以避免震动或其它外力对光栅的影响，调节精度更高，且更加稳定。

Description

一种光栅调平机构及线宽压窄模块

技术领域

本实用新型涉及气体激光器技术领域，尤其是涉及一种光栅调平机构及线宽压窄模块。

背景技术

目前，在气体激光器的生产和使用过程中，需要在不打开密封腔体的情况下对处于洁净密封或者真空腔中的镜片或者机构做精密调节。

普通调节调平方法不能在腔外调节，在震动或者受力情况调节接触点会脱离，这样给调节或者调平带来不稳定和不可靠性。即部分现有调平机构是通过弹簧拉紧方式对镜片进行调整，但如果震动加速度或者受力提供的大于弹力提供的力时，调平的接触点就会脱离，给调节或者调平带来不稳定和不可靠性，这样就不能满足调节的需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光栅调平机构及线宽压窄模块，以解决现有技术中存在的至少一个上述技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种光栅调平机构，包括：本体、安装座、顶杆和螺纹调节机构；

所述安装座可上下摆转地铰接在所述本体上，光栅固定安装在所述安装座上；

所述顶杆可上下活动地设置在所述安装座上，所述顶杆的顶端向下凸出所述安装座并抵靠在所述本体上；

所述螺纹调节机构与所述顶杆连接，用于迫使顶杆相对所述安装座向上或向下移动，调节顶杆顶端向下凸出安装座的长度，进而迫使所述安装座上下摆转，实现调平。

进一步地，所述螺纹调节机构包括筒体和差动螺柱；

所述筒体竖直设置在所述安装座上；

所述顶杆自下向上插入所述筒体内；在所述筒体的周向上，所述顶杆与所述筒体相对固定设置，在筒体的轴向上，所述顶杆相对所述筒体可上下滑动设置；

所述差动螺柱可相对转动地设置在所述筒体内；在筒体的轴向上，所述差动螺柱与所述筒体相对固定设置；

所述差动螺柱的下端与所述顶杆的尾部螺纹传动配合，通过转动所述差动螺柱带动所述顶杆上下移动。

进一步地，所述筒体内设置有环形卡槽，所述差动螺柱外圆上设置有与所述环形卡槽适配的限位凸起。

其中，限位凸起优先为环形凸起或者若干个滑块结构，通过限位凸起和环形卡槽，差动螺柱相对于筒体，在周向上可相对转动，在轴向上则相对固定。

进一步地，所述筒体或者所述顶杆上沿轴向设置有导向槽，所述顶杆或筒体上设置有与所述导向槽适配的限位销或限位键。

由此，顶杆相对于筒体在周向上相对固定、在轴向上可相对滑动。

进一步地，所述安装座上设置有安装孔，所述筒体的下端插装在安装孔上，所述顶杆的顶端向下同时凸出所述筒体和安装座的底面设置。

进一步地，所述螺纹调节机构还包括所述本体上可转动地设置的调节手柄（或称手轮）以及中间传动机构，调节手柄通过中间传动机构与所述差动螺柱连接，用于带动所述差动螺柱转动。

进一步地，所述中间传动机构包括依次首尾连接的第一传动轴、波纹联轴器和第二传动轴；所述第一传动轴尾端与所述调节手柄固定连接；所述第二传动轴的顶部与所述差动螺柱连接。

进一步地，所述差动螺柱设置有中心连接孔，所述第二传动轴的顶部插入所述中心连接孔内，第二传动轴与中心连接孔之间设置有键槽结构，键槽结构中的连接槽沿所述差动螺柱的轴向设置，在轴向上，第二传动轴相对于所述差动螺柱可相对滑动设置，在周向上，第二传动轴与所述差动螺柱相对固定连接。

进一步地，所述顶杆的顶部设置有球头，所述本体上设置有基座，基座上设置有V型槽，所述球头抵靠在所述V型槽内。

进一步地，所述顶杆内中空设置，所述顶杆的尾部设置有内螺纹孔，所述差动螺柱的下端设置有与所述内螺纹孔适配的外螺纹。

进一步地，还包括复位弹簧，所述复位弹簧的两端分别与所述本体和所述安装座连接，复位弹簧趋向于迫使所述安装座通过所述顶杆抵靠在所述本体上。

进一步地，还包括预紧杆，所述基座和所述球头上设置有过孔；

所述预紧杆一端与所述本体连接，预紧杆另一端穿过所述基座和所述球头上的过孔、伸入所述顶杆内；

所述复位弹簧设置在所述顶杆的中空内，复位弹簧的一端与预紧杆的另一端连接，复位弹簧的另一端抵靠在所述顶杆上，趋向于迫使顶杆的顶部抵靠在所述本体上。

进一步地，还包括支架和轴承座，所述轴承座设置在所述支架上，所述第一传动轴通过轴承可转动地设置在轴承座上。

进一步地，所述本体为壳体，壳体包括底板和顶板；所述安装座铰接在所述底板上；以及所述基座固定设置在所述底板上；

所述第一传动轴的上端伸出所述顶板上通孔，调节手柄设置在顶板外与第一传动轴上端固定连接。

进一步地，所述通孔内侧设置有密封盖；密度盖与所述顶板之间设置有密封垫圈等密封结构；

所述轴承座在所述顶板一侧设置有密封板；密封板与轴承座之间设置有密封垫圈等密封结构。

更为优先地，还包括波纹管，波纹管套装在所述第一传动轴上，两端与密封盖和密封板连接。

本申请第二方面公开了一种采用上述光栅调平机构的线宽压窄模块，所述本体为所述模块的壳体。

进一步地，包括两组所述光栅调平机构；在水平投影平面上，两组所述光栅调平机构分别设置在以所述安装座底部的铰接点为原点的X坐标轴上和Y坐标轴上。

其中，X坐标轴和Y坐标轴为水平投影平面上垂直交叉的两个坐标。

采用上述技术方案，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型提供的光栅调平机构，解决了在线宽压窄模块的腔体外部调节光栅的技术问题，从而可以避免震动或其它外力对光栅的影响，调节精度更高，且更加稳定。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的光栅调平机构的主视图；

图2为本实用新型实施例提供的光栅调平机构的侧视图；

图3为本实用新型实施例提供的光栅调平机构中螺纹调节机构的剖视图；

图4为本实用新型实施例中差动螺柱和预紧杆的局部示意图。

附图标记：

1-光栅；10-本体；11-底板；12-顶板；13-支架；14-基座；14a-V型槽；15-轴承座；20-安装座；30-顶杆；30a-球头；30b-导向槽；31-调节手柄；40-螺纹调节机构；41-筒体；42-差动螺柱；42a-限位凸起；42b-中心连接孔；43-限位销；44-第一传动轴；45-第二传动轴；46-波纹联轴器；50-复位弹簧；51-预紧杆；60-密封盖；61-密封板；62-波纹管。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合具体的实施方式对本实用新型做进一步的解释说明。

如图1-4所示，本实施例提供的一种光栅调平机构，包括：本体10、安装座20、顶杆30和螺纹调节机构40。

所述安装座20可上下摆转地铰接在所述本体10上，光栅1固定安装在所述安装座20上；所述顶杆30可上下活动地设置在所述安装座20上，所述顶杆30的顶端向下凸出所述安装座20并抵靠在所述本体10上；所述螺纹调节机构40与所述顶杆30连接，用于迫使顶杆30相对所述安装座20向上或向下移动，调节顶杆30顶端向下凸出安装座20的长度，进而迫使所述安装座20上下摆转，实现调平。

具体而言，所述本体10为线宽压窄模块的壳体，壳体内设置有腔体，壳体包括底板11和顶板12；所述安装座20铰接在所述底板11上；所述基座14固定设置在所述底板11上；安装座20铰接在基座14上。

进一步地，所述螺纹调节机构40包括筒体41和差动螺柱42；

所述筒体41竖直设置在所述安装座20上；

所述顶杆30自下向上插入所述筒体41内；在所述筒体41的周向上，所述顶杆30与所述筒体41相对固定设置，在筒体41的轴向上，所述顶杆30相对所述筒体41可上下滑动设置；

所述差动螺柱42可相对转动地设置在所述筒体41内；在筒体41的轴向上，所述差动螺柱42与所述筒体41相对固定设置；

所述差动螺柱42的下端与所述顶杆30的尾部螺纹传动配合，通过转动所述差动螺柱带动所述顶杆30上下移动。

其中一个可选的方式，所述顶杆30内中空设置，所述顶杆30的尾部设置有内螺纹孔，所述差动螺柱42的下端设置有与所述内螺纹孔适配的外螺纹。

本实施例中，所述筒体41内设置有环形卡槽，所述差动螺柱42外圆上设置有与所述环形卡槽适配的限位凸起42a。其中，限位凸起42a优先为环形凸起或者若干个滑块结构，通过限位凸起42a和环形卡槽，差动螺柱42相对于筒体41，在周向上可相对转动，在轴向上则相对固定。当然环形卡槽和限位凸起42a也可以相互替换设置在差动螺柱42和筒体41上。

其中，顶杆30上沿轴向设置有导向槽30b，筒体41上设置有与所述导向槽30b适配的限位销43。由此，顶杆30相对于筒体41在周向上相对固定、在轴向上可相对滑动。

进一步地，安装座20上设置有安装孔，所述筒体41的下端插装在安装孔上，所述顶杆30的顶端向下同时凸出所述筒体41和安装座20的底面设置。

螺纹调节机构40还包括所述本体10上可转动地设置的调节手柄31（或称手轮）以及中间传动机构，调节手柄31通过中间传动机构与所述差动螺柱42连接，用于带动所述差动螺柱42转动。本实施例中，中间传动机构包括依次首尾连接的第一传动轴44、波纹联轴器46和第二传动轴45；所述第一传动轴44尾端与所述调节手柄31固定连接；所述第二传动轴45的顶部与所述差动螺柱42连接。通过设置波纹联轴器46，可以使得腔体外部的振动无法通过调节手柄31直接传递给差动螺柱42，波纹联轴器46在轴向上可伸缩，由此起到了减震效果。

在上述技术方案基础上，进一步地，所述差动螺柱42设置有中心连接孔42b，所述第二传动轴45的顶部插入所述中心连接孔42b内，第二传动轴45与中心连接孔42b之间设置有键槽结构，键槽结构中的连接槽沿所述差动螺柱42的轴向设置，在轴向上，第二传动轴45相对于所述差动螺柱42可相对滑动设置，在周向上，第二传动轴45与所述差动螺柱42相对固定连接。本实施例中，两个连接槽对称地设置在差动螺柱42侧壁上，键槽结构中的连接键（或销体）插装在第二传动轴45的轴孔内，两端分别可滑动地插装在连接槽内。第一传动轴45可相对差动螺柱42沿轴向滑动设置，进一步地隔绝外部的振动对差动螺柱42以及光栅1的影响。

所述第一传动轴44的上端伸出所述顶板12上通孔，调节手柄31设置在顶板12外与第一传动轴44上端固定连接。即调节手柄31设置在腔体外，可在腔体外对光栅1进行调整。

进一步地，所述顶杆30的顶部设置有球头30a，基座14上设置有V型槽14a，所述球头30a抵靠在所述V型槽14a内。球头30a和V型槽14a相互配合，可以实现球头30a自动对中。

在上述技术方案基础上，本实施例还包括复位弹簧50，所述复位弹簧50的两端分别与所述本体10和所述安装座20连接，复位弹簧50趋向于迫使所述安装座20通过所述顶杆30抵靠在所述本体10上。具体而言，本实施例还包括预紧杆51，所述基座14和所述球头30a上设置有过孔；所述预紧杆51一端与基座14连接，预紧杆51另一端穿过所述基座14和所述球头30a上的过孔、伸入所述顶杆30内；预紧杆51另一端设置有端台；复位弹簧50设置在所述顶杆30的中空内，复位弹簧50套装在预紧杆51上，复位弹簧50一端抵靠在预紧杆51端台上，复位弹簧50的另一端抵靠在所述顶杆30球头30a一侧的端台上，复位弹簧50受压缩后趋向于迫使顶杆30的顶部抵靠在所述本体10上。顶杆30与差动螺柱42之间始终处于被拉伸状态，从而消除了两者之间的螺纹误差。

本实施例还包括支架13和轴承座15，所述轴承座15设置在所述支架13上，所述第一传动轴44通过轴承可转动地设置在轴承座15上。通孔内侧设置有密封盖60；密度盖与所述顶板12之间设置有密封垫圈等密封结构；同理，所述轴承座15在所述顶板12一侧设置有密封板61；密封板61与轴承座15之间设置有密封垫圈等密封结构。更为优先地，还包括波纹管62，波纹管62套装在所述第一传动轴44上，两端与密封盖60和密封板61连接。该密封结构可以有效避免外部颗粒通过调节手柄31与顶板12的连接处侵入腔体内。

更为优选地，线宽压窄模块中设置有两组所述光栅调平机构；在水平投影平面上，两组所述光栅调平机构分别设置在以所述安装座20底部的铰接点为原点的X坐标轴上和Y坐标轴上。其中，X坐标轴和Y坐标轴为水平投影平面上垂直交叉的两个坐标。

本实用新型提供的光栅调平机构，解决了在线宽压窄模块的腔体外部调节光栅1的技术问题，从而可以避免震动或其它外力对光栅1的影响，调节精度更高，且更加稳定。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (17)

1.一种光栅调平机构，其特征在于，包括：本体（10）、安装座（20）、顶杆（30）和螺纹调节机构（40）；

所述安装座（20）可上下摆转地铰接在所述本体（10）上，光栅（1）固定安装在所述安装座（20）上；

所述顶杆（30）可上下活动地设置在所述安装座（20）上，所述顶杆（30）的顶端向下凸出所述安装座（20）并抵靠在所述本体（10）上；

所述螺纹调节机构（40）与所述顶杆（30）连接，用于迫使顶杆（30）相对所述安装座（20）向上或向下移动，调节顶杆（30）顶端向下凸出安装座（20）的长度，进而迫使所述安装座（20）上下摆转，实现调平。

2.根据权利要求1所述的光栅调平机构，其特征在于，所述螺纹调节机构（40）包括筒体（41）和差动螺柱（42）；

所述筒体（41）竖直设置在所述安装座（20）上；

所述顶杆（30）自下向上插入所述筒体（41）内；在所述筒体（41）的周向上，所述顶杆（30）与所述筒体（41）相对固定设置，在筒体（41）的轴向上，所述顶杆（30）相对所述筒体（41）可上下滑动设置；

所述差动螺柱（42）可相对转动地设置在所述筒体（41）内；在筒体（41）的轴向上，所述差动螺柱（42）与所述筒体（41）相对固定设置；

所述差动螺柱（42）的下端与所述顶杆（30）的尾部螺纹传动配合，通过转动所述差动螺柱（42）带动所述顶杆（30）上下移动。

3.根据权利要求2所述的光栅调平机构，其特征在于，所述筒体（41）内设置有环形卡槽，所述差动螺柱（42）外圆上设置有与所述环形卡槽适配的限位凸起（42a）。

4.根据权利要求2所述的光栅调平机构，其特征在于，所述筒体（41）或者所述顶杆（30）上沿轴向设置有导向槽（30b），所述顶杆（30）或筒体（41）上设置有与所述导向槽（30b）适配的限位销（43）或限位键。

5.根据权利要求2所述的光栅调平机构，其特征在于，所述安装座（20）上设置有安装孔，所述筒体（41）的下端插装在安装孔上，所述顶杆（30）的顶端向下同时凸出所述筒体（41）和安装座（20）的底面设置。

6.根据权利要求2所述的光栅调平机构，其特征在于，所述螺纹调节机构（40）还包括所述本体（10）上可转动地设置的调节手柄（31）以及中间传动机构，调节手柄（31）通过中间传动机构与所述差动螺柱（42）连接，用于带动所述差动螺柱（42）转动。

7.根据权利要求6所述的光栅调平机构，其特征在于，所述中间传动机构包括依次首尾连接的第一传动轴（44）、波纹联轴器（46）和第二传动轴（45）；所述第一传动轴（44）尾端与所述调节手柄（31）固定连接；所述第二传动轴（45）的顶部与所述差动螺柱（42）连接。

8.根据权利要求7所述的光栅调平机构，其特征在于，所述差动螺柱（42）设置有中心连接孔（42b），所述第二传动轴（45）的顶部插入所述中心连接孔（42b）内，第二传动轴（45）与中心连接孔（42b）之间设置有键槽结构，键槽结构中的连接槽沿所述差动螺柱（42）的轴向设置，在轴向上，第二传动轴（45）相对于所述差动螺柱（42）可相对滑动设置，在周向上，第二传动轴（45）与所述差动螺柱（42）相对固定连接。

9.根据权利要求7所述的光栅调平机构，其特征在于，所述顶杆（30）的顶部设置有球头（30a），所述本体（10）上设置有基座（14），基座（14）上设置有V型槽（14A），所述球头（30a）抵靠在所述V型槽（14A）内。

10.根据权利要求9所述的光栅调平机构，其特征在于，所述顶杆（30）内中空设置，所述顶杆（30）的尾部设置有内螺纹孔，所述差动螺柱（42）的下端设置有与所述内螺纹孔适配的外螺纹。

11.根据权利要求10所述的光栅调平机构，其特征在于，还包括复位弹簧（50），所述复位弹簧（50）的两端分别与所述本体（10）和所述安装座（20）连接，复位弹簧（50）趋向于迫使所述安装座（20）通过所述顶杆（30）抵靠在所述本体（10）上。

12.根据权利要求11所述的光栅调平机构，其特征在于，还包括预紧杆（51），所述基座（14）和所述球头（30a）上设置有过孔；

所述预紧杆（51）一端与所述本体（10）连接，预紧杆（51）另一端穿过所述基座（14）和所述球头（30a）上的过孔、伸入所述顶杆（30）内；

所述复位弹簧（50）设置在所述顶杆（30）的中空内，复位弹簧（50）的一端与预紧杆（51）的另一端连接，复位弹簧（50）的另一端抵靠在所述顶杆（30）上，趋向于迫使顶杆（30）的顶部抵靠在所述本体（10）上。

13.根据权利要求9所述的光栅调平机构，其特征在于，还包括支架（13）和轴承座（15），所述轴承座（15）设置在所述支架（13）上，所述第一传动轴（44）通过轴承可转动地设置在轴承座（15）上。

14.根据权利要求13所述的光栅调平机构，其特征在于，所述本体（10）为壳体，壳体包括底板（11）和顶板（12）；所述安装座（20）铰接在所述底板（11）上；以及所述基座（14）固定设置在所述底板（11）上；

所述第一传动轴（44）的上端伸出所述顶板（12）上通孔，调节手柄（31）设置在顶板（12）外与第一传动轴（44）上端固定连接。

15.根据权利要求14所述的光栅调平机构，其特征在于，所述通孔内侧设置有密封盖（60）；密度盖与所述顶板（12）之间设置有密封垫圈；

所述轴承座（15）在所述顶板（12）一侧设置有密封板（61）；密封板（61）与轴承座（15）之间设置有密封垫圈；

还包括波纹管（62），波纹管（62）套装在所述第一传动轴（44）上，两端与密封盖（60）和密封板（61）连接。

16.一种采用权利要求1-15任一所述的光栅调平机构的线宽压窄模块，其特征在于，所述本体（10）为所述模块的壳体。

17.根据权利要求16所述的线宽压窄模块，其特征在于，包括两组所述光栅调平机构；在水平投影平面上，两组所述光栅调平机构分别设置在以所述安装座（20）底部的铰接点为原点的X坐标轴上和Y坐标轴上。

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