CN219224619U - 光罩识别装置及光罩颗粒检测设备 - Google Patents

Abstract

本公开提供了一种光罩识别装置及光罩颗粒检测设备，光罩识别装置，包括：光源，用于提供识别光罩所需的光线；承载台，用于承托待识别的光罩；身份读取传感器，用于读取待识别的光罩上的身份信息，所述身份读取传感器和光源分别位于所述承载台的两侧；移动机构，用于带动设于其上的身份读取传感器移动。本公开的光罩识别装置能够识别不同型号和厂家的光罩。

Description

光罩识别装置及光罩颗粒检测设备

技术领域

本公开涉及半导体生产设备领域，尤其涉及一种光罩识别装置及光罩颗粒检测设备。

背景技术

半导体制备过程中，需要对晶圆进行曝光。曝光过程中，如果光罩上有颗粒物，会影响成像质量，在晶圆的表面形成斑点。为此，需要对光罩进行测试，以检测光罩上是否有颗粒。在检测光罩之前，需要先对光罩进行识别。识别光罩时，采用身份识别传感器对光罩上的识别码进行读取。不同厂家的光罩上的识别码设置位置不同，导致光罩颗粒检测设备只能识别同一厂家的光罩，影响用户对光罩的选择。

实用新型内容

本公开提供了一种光罩识别装置及光罩颗粒检测设备，以至少解决现有技术中存在的以上技术问题。

根据本公开的第一方面，提供了一种光罩识别装置，包括：

光源，用于提供识别光罩所需的光线；

承载台，用于承托待识别的光罩；

身份读取传感器，用于读取待识别的光罩上的身份信息，所述身份读取传感器和光源分别位于所述承载台的两侧；

移动机构，用于带动设于其上的身份读取传感器移动。

在一可实施方式中，所述移动机构包括：

第一线性移动部，所述身份读取传感器设于所述第一线性移动部上，所述第一线性移动部用于带动所述身份读取传感器沿平行于所述承载台的第一方向往复移动。

在一可实施方式中，所述第一线性移动部包括：

滑座，所述身份读取传感器设于所述滑座上；

丝杆传动机构，所述滑座设于所述丝杆传动机构上，所述丝杆传动机构用于驱动所述滑座沿第一方向移动。

在一可实施方式中，所述移动机构还包括限位开关，所述限位开关设于所述第一线性移动部上，所述限位开关用于限制所述身份读取传感器在所述第一方向上移动的两个端点。

在一可实施方式中，所述移动机构还包括报警传感器，所述报警传感器设于所述第一线性移动部上，所述报警传感器用于检测到所述身份读取传感器时发出报警信号。

在一可实施方式中，所述移动机构还包括旋转部，所述第一线性移动部设于所述旋转部上，所述旋转部用于带动所述第一线性移动部转动，以使所述第一线性移动部由带动所述身份读取传感器沿第一方向移动转动至带动所述身份读取传感器沿第二方向移动，所述第二方向平行于所述承载台，且垂直于所述第一方向。

在一可实施方式中，所述旋转部包括：

旋转座，所述第一线性移动部设于所述旋转座上；

旋转电机，与所述旋转座传动连接，用于带动所述旋转座转动。

在一可实施方式中，所述移动机构还包括第二线性移动部，所述第一线性移动部设于所述第二线性移动部上，所述第二线性移动部用于带动所述第一线性移动部在平行于所述承载台的第二方向上往复移动，所述第二方向垂直于所述第一方向。

根据本公开的第二方面，提供了一种光罩颗粒检测设备，包括机台，还包括本公开所述的光罩识别装置，所述光罩识别装置设于所述机台上。

在一可实施方式中，光罩颗粒检测设备还包括传送机构，所述传送机构用于将待检测光罩移动至所述承载台上。

本公开的光罩识别装置中，光源能够提供识别光罩所需的光线；承载台用于承托待识别的光罩；身份读取传感器能够在移动机构的带动下移动，从而可以读取设于待识别的光罩上不同位置的身份信息，所述身份读取传感器和光源分别位于所述承载台的两侧，在提供所需光线的同时，不会影响移动机构的移动。

应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本公开的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本公开的范围。本公开的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

附图说明

通过参考附图阅读下文的详细描述，本公开示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本公开的若干实施方式，其中：

在附图中，相同或对应的标号表示相同或对应的部分。

图1示出了本公开实施例的光罩识别装置的结构示意图一；

图2示出了本公开实施例的光罩识别装置中的移动机构的结构示意图一；

图3示出了本公开实施例的光罩识别装置中的移动机构的结构示意图二；

图4示出了本公开实施例的光罩识别装置中的移动机构的结构示意图三。

图中标号说明：1-光源；2-承载台；3-身份读取传感器；4-移动机构；41-第一线性移动部；411-滑座；412-丝杆传动机构；413-支撑座；42-旋转部；421-旋转座；422-旋转电机；43-第二线性移动部；5-限位开关；6-报警传感器；7-底座。

具体实施方式

为使本公开的目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本公开实施例中的附图，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本公开一部分实施例，而非全部实施例。基于本公开中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。

参见图1，本公开实施例提供了一种光罩识别装置，该光罩识别装置包括光源1、承载台2、身份读取传感器3和移动机构4，光源1用于提供识别光罩所需的光线；承载台2用于承托待识别的光罩；身份读取传感器3用于读取待识别的光罩上的身份信息，身份读取传感器3和光源1分别位于承载台2的两侧；移动机构4用于带动设于其上的身份读取传感器3移动，以使身份读取传感器3能够读取光罩不同位置的身份信息。

本公开的光罩识别装置中，光源1能够提供识别光罩所需的光线；承载台2用于承托待识别的光罩；身份读取传感器3能够在移动机构4的带动下移动，从而可以读取设于待识别的光罩上不同位置的身份识别码所包含的身份信息，身份读取传感器3和光源1分别位于承载台2的两侧，在提供所需光线的同时，不会影响移动机构4的移动。

参见图1和图2，在一可实施方式中，移动机构4包括第一线性移动部41，身份读取传感器3设于第一线性移动部41上，第一线性移动部41用于带动身份读取传感器3沿平行于承载台2的第一方向往复移动。本公开实施例中，身份读取传感器3在第一线性移动部41的带动下在第一方向上往复移动，可以读取设于承载台2上的光罩的一侧的身份识别码，身份识别码可以是设置在光罩一侧的上部、中部或下部等任意位置，通过身份读取传感器3沿光罩的该侧移动，可以读取到身份识别码包含的身份信息，避免了由于厂家不同等原因，身份识别码在光罩上的位置不同而身份信息不能被读取的问题。

参见图1和图2，在一可实施方式中，第一线性移动部41包括滑座411和丝杆传动机构412，身份读取传感器3设于滑座411上，滑座411设于丝杆传动机构412上，丝杆传动机构412用于驱动滑座411沿第一方向移动。丝杆传动机构包括丝杆、导轨和驱动丝杆旋转的丝杆电机，导轨的两端连接有支撑座413，滑座411滑动设于导轨上，丝杆的两端分别与支撑座413转动连接，例如，丝杆的两端可以通过轴承与支撑座413连接，滑座411与丝杆螺纹连接，丝杆在丝杆电机带动下转动时，由于滑座411与丝杆之间的螺纹配合，滑座411沿导轨滑动，导轨沿第一方向设置，从而实现设于滑座411上的身份读取传感器3在第一方向上往复移动。

本公开实施例中，第一线性移动部41不限于上述的滑座411和丝杆传动机构412，例如第一线性移动部41可以包括直线电机，直线电机直接将旋转转换为直线运动，可以带动身份读取传感器3在第一方向上往复移动。

参见图2至图4，在一可实施方式中，移动机构4还包括限位开关5，限位开关5设于第一线性移动部41上，限位开关5用于限制身份读取传感器3在第一方向上移动的两个端点。本公开实施例中，通过在第一线性移动部41上设置限位开关5，可以避免第一线性移动部41由于程序错误等原因行程过大，导致身份读取传感器3发生碰撞而受损。本公开实施例中，限位开关5可以采用行程开关、接近开关或微触开关。

示例性实施例中，限位开关5可以采用行程开关，行程开关可以设置在滑座411的预定的行程终点处，限制滑座411的行程，当滑座411运动到一端的行程终点时，行程开关就通过滑座411的动作将机械信号变换为电信号，丝杆电机可以接收到该电信号而停止运行或反向运行，以实现对滑座411行程的控制。

或者，限位开关5可以采用接近开关，接近开关可以设置在滑座411的预定的行程终点处，限制滑座411的行程，当滑座411运动到一端的接近开关一定范围内时，接近开关就会产生信号，丝杆电机可以在接收到该信号时停止运行或反向运行，以实现对滑座411行程的控制。

再或者，限位开关5可以采用微触开关，微触开关可以设置在滑座411的预定的行程终点处，限制滑座411的行程，当滑座411运动到一端与微触开关接触时，微触开关就会产生信号，丝杆电机可以在接收到该信号时停止运行或反向运行，以实现对滑座411行程的控制。

参见图2至图4，在一可实施方式中，移动机构4还包括报警传感器6，报警传感器6设于第一线性移动部41上，报警传感器6用于检测到身份读取传感器3时发出报警信号。本公开实施例中，可以设置报警传感器6，以防止移动机构4异常运行造成身份读取传感器3损坏。具体实施中，可以将报警传感器6设置为检测到身份读取传感器3则表示移动机构4运行异常，可能会对身份读取传感器3造成损坏，报警传感器6及时发出报警信号，以避免损失。报警传感器6发出的报警信号可以是触发声光报警装置中的一种或多种。

参见图3，在一可实施方式中，移动机构4还包括旋转部42，第一线性移动部41设于旋转部42上，旋转部42用于带动第一线性移动部41转动，以使第一线性移动部41由带动身份读取传感器3沿第一方向移动转动至带动身份读取传感器3沿第二方向移动，第二方向平行于承载台2，且垂直于第一方向。本公开实施例通过设置旋转部42，可以转换第一线性移动部41的方向，从而可以使身份读取传感器3能够对光罩的不同侧进行扫描，从而降低对光罩置于承载台2的要求，当光罩置于承载台2上，将光罩设有身份识别码的一侧未沿第一方向设置时，身份读取传感器3在第一方向上移动未能读取到光罩的身份信息，则通过旋转部42带动第一线性移动部41转动，使身份读取传感器3沿第二方向移动，从而可以读取到位于光罩上的身份。

参见图3，在一可实施方式中，旋转部42包括旋转座421和旋转电机422，第一线性移动部41设于旋转座421上；旋转电机422与旋转座421传动连接，用于带动旋转座421转动。本公开实施例中，第一线性移动部41可以设置在一底座7上，该底座7可以作为光罩识别装置的基础，为光罩识别装置的其他部件提供支撑。底座7可以作为光罩识别装置的一部件，使光罩识别装置能够作为一个整体安装到光罩颗粒检测设备上。该底座7可以是由光罩颗粒检测设备提供，例如，光罩颗粒检测设备的机架上形成有该底座7。旋转座421可以是与底座7转动连接，旋转电机422也设置在底座7上，旋转电机422的输出轴可以直接与旋转座421的旋转轴连接，旋转电机422的输出轴也可以通过齿轮、皮带、链条等传动机构与旋转座421的旋转轴连接。

参见图4，在一可实施方式中，移动机构4还包括第二线性移动部43，第一线性移动部41设于第二线性移动部43上，第二线性移动部43用于带动第一线性移动部41在平行于承载台2的第二方向上往复移动，第二方向垂直于第一方向。本公开实施例通过设置第二线性移动部43带动第一线性移动部41在第二方向上移动，从而使身份识别传感器3可以在平行于承载台2的平面内任意移动，可以对置于承载台2上的光罩任意一侧进行扫描读取，无论光罩在承载台2上如何设置，均能够读取到光罩的身份信息，无须注意光罩的放置方向，省时省力同时也避免因光罩放置方向与要求的不一致而出现读取不到身份信息的问题。

示例性实施例中，第二线性移动部43可以包括直线电机，直线电机带动第一线性移动部41在第二方向上往复移动。当然，第二线性移动部43也可以是包括滑轨，第一线性移动部41能够沿滑轨滑动，通过气缸或电机等驱动第一线性移动部41沿滑轨在第二方向上方法移动。第二线性移动部43还可以包括基座，直线电机或滑轨设于基座上。

本公开提供了一种光罩颗粒检测设备，该光罩颗粒检测设备包括机台，还包括本公开的光罩识别装置，光罩识别装置设于机台上。

在一可实施方式中，光罩颗粒检测设备还包括传送机构，传送机构用于将待检测光罩移动至承载台2上。

应该理解，可以使用上面所示的各种形式的流程，重新排序、增加或删除步骤。例如，本公开中记载的各步骤可以并行地执行也可以顺序地执行也可以不同的次序执行，只要能够实现本公开实施例公开的技术方案所期望的结果，本文在此不进行限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或隐含地包括至少一个该特征。在本公开的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

以上所述，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种光罩识别装置，其特征在于，包括：

光源(1)，用于提供识别光罩所需的光线；

承载台(2)，用于承托待识别的光罩；

身份读取传感器(3)，用于读取待识别的光罩上的身份信息，所述身份读取传感器(3)和光源(1)分别位于所述承载台(2)的两侧；

移动机构(4)，用于带动设于其上的身份读取传感器(3)移动。

2.根据权利要求1所述的光罩识别装置，其特征在于，所述移动机构(4)包括：

第一线性移动部(41)，所述身份读取传感器(3)设于所述第一线性移动部(41)上，所述第一线性移动部(41)用于带动所述身份读取传感器(3)沿平行于所述承载台(2)的第一方向往复移动。

3.根据权利要求2所述的光罩识别装置，其特征在于，所述第一线性移动部(41)包括：

滑座(411)，所述身份读取传感器(3)设于所述滑座(411)上；

丝杆传动机构(412)，所述滑座(411)设于所述丝杆传动机构(412)上，所述丝杆传动机构(412)用于驱动所述滑座(411)沿第一方向移动。

4.根据权利要求2所述的光罩识别装置，其特征在于，所述移动机构(4)还包括限位开关(5)，所述限位开关(5)设于所述第一线性移动部(41)上，所述限位开关(5)用于限制所述身份读取传感器(3)在所述第一方向上移动的两个端点。

5.根据权利要求2所述的光罩识别装置，其特征在于，所述移动机构(4)还包括报警传感器(6)，所述报警传感器(6)设于所述第一线性移动部(41)上，所述报警传感器(6)用于检测到所述身份读取传感器(3)时发出报警信号。

6.根据权利要求2所述的光罩识别装置，其特征在于，所述移动机构(4)还包括旋转部(42)，所述第一线性移动部(41)设于所述旋转部(42)上，所述旋转部(42)用于带动所述第一线性移动部(41)转动，以使所述第一线性移动部(41)由带动所述身份读取传感器(3)沿第一方向移动转动至带动所述身份读取传感器(3)沿第二方向移动，所述第二方向平行于所述承载台(2)，且垂直于所述第一方向。

7.根据权利要求6所述的光罩识别装置，其特征在于，所述旋转部(42)包括：

旋转座(421)，所述第一线性移动部(41)设于所述旋转座(421)上；

旋转电机(422)，与所述旋转座(421)传动连接，用于带动所述旋转座(421)转动。

8.根据权利要求2所述的光罩识别装置，其特征在于，所述移动机构(4)还包括第二线性移动部(43)，所述第一线性移动部(41)设于所述第二线性移动部(43)上，所述第二线性移动部(43)用于带动所述第一线性移动部(41)在平行于所述承载台(2)的第二方向上往复移动，所述第二方向垂直于所述第一方向。

9.一种光罩颗粒检测设备，包括机台，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的光罩识别装置，所述光罩识别装置设于所述机台上。

10.根据权利要求9所述的光罩颗粒检测设备，其特征在于，还包括传送机构，所述传送机构用于将待检测光罩移动至所述承载台(2)上。

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