CN219195128U - 一种镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种镀膜设备。镀膜设备包括主体、第一汇流管和多个第二汇流管。主体具有环绕呈环形的侧壁，主体设置有多个第一导气孔，各第一导气孔沿主体的周向均匀分布于侧壁。第一汇流管设置有第一合流口和多个第一分流口，第一合流口用于连接出气装置或者吸气装置，第一合流口和各第一分流口分别连通第一汇流管，第一合流口至各第一分流口之间的管线长度相等，第二汇流管用于第一分流口与第一导气孔连通并使得第一合流口至分别对应连通的第一导气孔的管线长度相同。通过应用第一汇流管对输送或者抽吸的气体进行配气，能够使得气体的输送均匀或者各第一导气孔的抽吸力度均匀，进而使得各第一导气孔的导气均匀，确保镀膜效果。

Description

一种镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其是涉及一种镀膜设备。

背景技术

在相关技术中，环形镀膜设备气体的导入或排出通常采用单一通气口进行通气排气，能够满足小尺寸的样品基片的生产需求。单一通气口注入的气体扩散能力有限，且单一通气口进行排气的排气速率也有限，对于大尺寸的样品基片而言，容易导致样品基片表面各位置的气体供给速度与排出速度不同，从而使得样品基片表面各位置气压不同、气体密度不同，导致成膜后的厚度均匀性等指标难以达标，进而导致成膜质量的降低。因此，随着样品基片尺寸的不断增大以及对样品基片的成膜均匀性和成膜质量的要求越来越高，单一通气口进行排气和注入气体不能满足相应的生产需求。为此，有必要针对上述问题进行研究改进。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种镀膜设备，能够确保镀膜设备的镀膜效果。

根据本实用新型实施例的镀膜设备，包括：

主体，具有环绕呈环形的侧壁，所述主体设置有多个第一导气孔，各所述第一导气孔沿所述主体的周向均匀分布于所述侧壁；

第一汇流管，设置有第一合流口和多个第一分流口，所述第一合流口和各所述第一分流口分别连通所述第一汇流管，所述第一合流口至各所述第一分流口之间的管线长度相等，所述第一合流口用于连接出气装置或者吸气装置；

多个第二汇流管，所述第二汇流管连接所述侧壁与所述第一汇流管，各所述第二汇流管分别连通其中一个所述第一分流口与部分所述第一导气孔，所述第一合流口至分别对应连通的所述第一导气孔的管线长度相同。

根据本实用新型实施例的镀膜设备，至少具有如下有益效果：通过控制第一合流口至各第一分流口之间的管线长度，能够减小气体从第一合流口通入第一汇流管并从各第一分流口流出时，各第一分流口处的气体的浓度和流速的差异，进而使得气体的输送均匀。或者，当气体从第一合流口对各第一分流口进行抽吸时，能够减小各第一分流口的抽吸力的差值，进而使得气体的抽吸均匀。且通过第二汇流管连通第一汇流管与第一导气孔并控制第二汇流管的管线长度，使得气体在第一导气孔和第一合流口之间的管线长度相同，进而使得各第一导气孔的导气均匀，从而确保镀膜设备的镀膜效果。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二汇流管设置有第二合流口和多个第二分流口，所述第二合流口和各所述第二分流口分别连通所述第二汇流管，所述第二合流口至各所述第二分流口之间的管线长度相等，所述第二合流口连通所述第一分流口，各所述第二分流口与多个所述第一导气孔一一连通。

根据本实用新型的一些实施例，所述镀膜设备还包括多个配气组，各所述配气组分别连通其中一个所述第一分流口和多个所述第一导气孔；在同一所述配气组中，所述配气组包括由第一配气层级至第n配气层级依次递增的配气层级，第n配气层级包括2^n-1个所述第二汇流管，所述第一配气层级的所述第二汇流管的所述第二合流口与所述第一分流口连通，所述第n配气层级的所述第二汇流管的所述第二合流口与第n-1配气层级的所述第二汇流管的其中一个所述第二分流口连通，所述第n配气层级的所述第二汇流管的各所述第二分流口与多个所述第一导气孔一一连通，其中，n为大于1的自然数。

根据本实用新型的一些实施例，所述镀膜设备还包括：

环形管，所述环形管设置有多个第三合流口和多个第三分流口，所述环形管连接于所述侧壁，各所述第三分流口与各所述第一导气孔一一连通，各所述第三合流口分别位于相邻的两个所述第三分流口之间，且所述第三合流口至相邻的两个所述第三分流口之间的管线长度相等；

多个配气组，各所述配气组分别连通其中一个所述第一分流口和多个所述第一导气孔；在同一所述配气组中，所述配气组包括由第一配气层级至第n配气层级依次递增的配气层级，第n配气层级包括2^n-1个所述第二汇流管，所述第一配气层级的所述第二汇流管的所述第二合流口与所述第一分流口连通，所述第n配气层级的所述第二汇流管的所述第二合流口与第n-1配气层级的所述第二汇流管的其中一个所述第二分流口连通，所述第n配气层级的所述第二汇流管的各所述第二分流口与多个所述第三合流口一一连通，其中，n为大于1的自然数。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一合流口位于环形的所述侧壁的圆心处。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一汇流管、各所述第一导气孔以及各所述第二汇流管均位于同一平面上。

根据本实用新型的一些实施例，所述镀膜设备还包括第一控制阀，所述第一控制阀与所述第一汇流管连接，用于控制所述第一汇流管内的气体流通；和/或，还包括多个第二控制阀，各所述第二控制阀分别与多个所述第二汇流管一一连接，用于控制所述第二汇流管内的气体流通。

根据本实用新型的一些实施例，所述侧壁的周向的外侧还设置有工作空间，所述第一导气孔的一端与所述工作空间连通，所述第一导气孔的另一端与所述第二汇流管连通，所述镀膜设备还包括均气板和均气件，所述均气件连接于所述主体，所述均气件设置有环形的均气孔，各所述第一导气孔均连通于所述均气孔，所述均气板设置于所述均气孔内，所述均气板设置有多个通孔，在所述第一导气孔的导气方向上，所述通孔与所述第一导气孔的孔口至少错开一部分，和/或，所述通孔的孔径小于所述第一导气孔的孔径。

根据本实用新型的一些实施例，所述均气孔包括互相连通的第一孔道、第二孔道和第三孔道，所述第一孔道、第二孔道和所述第三孔道沿背离所述第一导气孔的方向依次设置，且所述第一孔道、第二孔道和所述第三孔道的孔径依次减小。

根据本实用新型的一些实施例，所述主体还设置有多个第二导气孔，各所述第二导气孔沿所述主体的周向均匀分布于所述侧壁，所述镀膜设备还包括导气管道，所述导气管道与所述第二导气孔连通，其中，所述导气管道与所述第一合流口中的一个用于与出气装置连接，另一个用于与吸气装置连接。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：

图1为本实用新型实施例的镀膜设备的示意图；

图2为本实用新型另一实施例的镀膜设备的示意图；

图3为图2中的镀膜设备的俯视图；

图4为图3中沿A-A的剖视图；

图5为本实用新型又一实施例的镀膜设备的俯视图；

图6为图5中沿B-B的剖视图；

图7为图6中c处的放大示意图；

图8为本实用新型再一实施例的镀膜设备的示意图。

附图标记：

镀膜设备100；

主体200、侧壁210、第一导气孔220、第二导气孔230、顶板240、密封结构250；

第一汇流管300、第一合流口310、第一分流口320；

配气组400、第一配气层级401、第n配气层级402、第二汇流管410、第二合流口420、第二分流口430；

环形管500、第三合流口510、第三分流口520；

工作空间600、基片610；

均气板700、通孔710；

均气件800、均气孔810、第一孔道811、第二孔道812、第三孔道813；

导气管道900、第五汇流管910。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

为了满足大尺寸的样本基片的生产需求，本申请设置有多个导气孔来进行排气或者吸气，以提高气体的扩散能力和气体的排出速率，从而满足大尺寸的样本基片对气体浓度和快速排气的需求。并通过对气体的输送管道进行改进，以使得样品基片表面各位置的气体供给速度与排出速度的差值处于设定范围内，确保造成样品基片表面各位置气压和气体密度均满足生产需求，进而确保镀膜设备对大尺寸的样本基片进行生产时的镀膜效果。

下面参照说明书附图描述本申请实施例的镀膜设备。需要说明的是，图3中用虚线表达了被遮挡的第一合流口310、第一分流口320、第二合流口420和第二分流口430。图5用虚线表达了被遮挡的均气件800和均气板700。图4中用虚线简单示意了密封结构250和基片610。

参照图1至图4，根据本实用新型实施例的镀膜设备100，包括主体200、第一汇流管300和多个第二汇流管410。主体200具有环绕呈环形的侧壁210，主体200设置有多个第一导气孔220，各第一导气孔220沿主体200的周向均匀分布于侧壁210，第一导气孔220用于将气体输送向基片610或者从工作空间600内排出气体。

第一汇流管300设置有第一合流口310和多个第一分流口320，第一合流口310用于连接出气装置(图中未示出)或者吸气装置(图中未示出)，第一合流口310和各第一分流口320分别连通第一汇流管300，第一合流口310至各第一分流口320之间的管线长度相等。通过控制第一合流口310至各第一分流口320之间的管线长度，能够减小气体从第一合流口310通入第一汇流管300并从各第一分流口320流出时，各第一分流口320处的气体的浓度和流速的差异，进而使得气体的输送均匀。或者，当气体从第一合流口310对各第一分流口320进行抽吸时，能够减小各第一分流口320的抽吸力的差值，进而使得气体的抽吸均匀。可以理解的是，第一汇流管300内的流道是均匀延伸的，以使得气体在第一汇流管300内流动时尽可能的均匀，第一合流口310和第一分流口320分别连通第一汇流管300的流道。

第二汇流管410连接侧壁210与第一汇流管300，各第二汇流管410分别连通其中一个第一分流口320与部分第一导气孔220，第一合流口310至分别对应连通的第一导气孔220的管线长度相同。通过第二汇流管410连通第一汇流管300与第一导气孔220并控制第二汇流管410的管线长度，使得气体在第一导气孔220和第一合流口310之间的输送距离相同，进而使得各第一导气孔220的导气均匀，从而确保镀膜设备100的镀膜效果。可以理解的是，管道内的流道是随着管道的延伸而一同延伸的，因此，在各第一导气孔220和第一合流口310之间的管线长度相同的情况下，气体的输送距离也应当是相同的。管线长度应当理解为气体从第一合流口310流入运动至某一第一导气孔220处所经过的第一汇流管300和第二汇流管410的相应管道的长度。

具体的，参照图4，基片的镀膜是在密封的工作空间600中进行的，图4中用虚线简单示意了密封结构250。其中，主体200的侧壁210上部连接有顶板240，顶板240与侧壁210和其他密封结构250一同限定出工作空间600。第一导气孔220可以是贯穿侧壁210直接与工作空间600连通的。或者，参照图6，第一导气孔220可以是贯穿侧壁210之后继续贯穿顶板240，最终从顶板240与工作空间600连通的，第一导气孔220的具体设置方式，与镀膜过程中对气体的出气或者进气位置的要求有关，能够根据需求进行适应性变化。

第一汇流管300与各第二汇流管410之间的连接，能够通过管线长度相等的连接管或者连接头进行过渡连接，以使得气体从第一合流口310运动至各第一导气孔220时的浓度和速率在误差允许范围内相同。或者，第一汇流管300与各第二汇流管410之间也能够通过焊接直接连接，并使得第一分流口320与对应的第二合流口420连通。

可以理解的是，由于出气时对气体的均匀度要求较高，吸气时则需要快速进行抽吸，因此，参照图5，作为出气的管道的管径能够设置得较小，以限制气体的流动速度使得气体的出气均匀。参照图1，作为吸气的管道的管径能够设置得较大，以使得气体抽吸时压力较小，气体的抽吸速度快。且本申请不对管道的具体形状做限制，管道能够设置为圆形、半圆形、槽型、长方形、矩形以及其他异性结构等，只要各管道的形状统一，确保气体的输送均匀即可。

根据本申请的第一方面的实施例，参照图8，第一汇流管300上的第一分流口320的数量能够设置为与第一导气孔220的数量相等，第二汇流管410能够选择为直型管，通过各第二汇流管410将第一分流口320和各第一导气孔220直接连通，从而实现第一汇流管300对气体的均匀配气。

根据本申请的第二方面的实施例，参照图1，第二汇流管410设置有第二合流口420和多个第二分流口430，第二合流口420和各第二分流口430分别连通第二汇流管410，第二合流口420至各第二分流口430之间的管线长度相等，第二合流口420连通第一分流口320，各第二分流口430与多个第一导气孔220一一连通。通过在第一汇流管300设置多个第二分流口430，能够在第一汇流管300进行一次配气后，通过第二汇流管410进行二次配气，在主体200设置有相同数量的第一导气孔220的情况下，能够减少第一汇流管300所需配置的第一分流口320的数量，从而优化第一分流口320的空间配置和第一汇流管300的加工难度。第二汇流管410的二次配气，也能使得主体200上能够设置更多数量的第一导气孔220，以进一步满足生产需求。且通过第二汇流管410对气体进行二次配气，能够使得气体的流动更加的均匀，提高气体从各第一导气孔220流出时的均匀性或者使得各第一导气孔220处的吸力均匀。

进一步的，参照图1，镀膜设备100还包括多个配气组400，各配气组400分别连通其中一个第一分流口320和多个第一导气孔220；在同一配气组400中，配气组400包括由第一配气层级401至第n配气层级402依次递增的配气层级，第n配气层级402包括2^n-1个第二汇流管410，第一配气层级401的第二汇流管410的第二合流口420与第一分流口320连通，第n配气层级402的第二汇流管410的第二合流口420与第n-1配气层级的第二汇流管410的其中一个第二分流口430连通，第n配气层级402的第二汇流管410的各第二分流口430与多个第一导气孔220一一连通，其中，n为大于1的自然数。通过第二汇流管410所组成的配气组400，能够对气体进行进一步的配气，从而进一步减少第一汇流管300所需设置的第一分流口320的数量和各第二汇流管410所需设置的第二分流口430的数量，并且可以在主体200上拓展更多的第一导气孔220的数量，以满足大尺寸基片610的生产需求。

具体的，以图1为例，n取值为3，第一汇流管300设置有两个第一分流口320，各第二汇流管410分别设置有两个第二分流口430，第一汇流管300和三个层级的第二汇流管410相当于对气体进行了四次配气，通过1分2，2分4，4分8，8分16的形式，通过一个第一合流口310对16个第一导气孔220进行通气，且第一合流口310至各第一导气孔220的管线长度均相同，从而实现各第一导气孔220出的均匀出气或者均匀吸气。可以理解的是，n的具体取值能够根据基片610的尺寸、镀膜设备100的体积以及对第一导气孔220的数量需求作适应性变化，即n能够选择为2、3、4、5或其他大于1的自然数，且第一汇流管300上的第一分流口320的数量能够适应性选择为3个、4个或者4个以上的数量，第二汇流管410上的第二分流口430的数量能够适应性选择为3个、4个或者4个以上的数量，只要各第二汇流管410的第二分流口430的数量相同，且各配齐组的第n配气层级402的各第二汇流管410能够满足各第一导气孔220的连通需求即可。

根据本申请的第三方面的实施例，参照图2，在设置有多个配气组400的基础上，镀膜设备100还包括环形管500，设置有多个第三合流口510和多个第三分流口520，环形管500连接于侧壁210，各第三分流口520与各第一导气孔220一一连通，各第三合流口510分别位于相邻的两个第三分流口520之间，且第三合流口510至相邻的两个第三分流口520之间的管线长度相等。各配气组400分别连通其中一个第一分流口320和多个第一导气孔220。在同一配气组400中，配气组400包括由第一配气层级401至第n配气层级402依次递增的配气层级，第n配气层级402包括2^n-1个第二汇流管410，第一配气层级401的第二汇流管410的第二合流口420与第一分流口320连通，第n配气层级402的第二汇流管410的第二合流口420与第n-1配气层级的第二汇流管410的其中一个第二分流口430连通，第n配气层级402的第二汇流管410的各第二分流口430与多个第三合流口510一一连通，其中，n为大于1的自然数。

通过在第n配气层级402的第二汇流管410与第一导气孔220之间设置有环形管500进行配气和连通，利用环形管500的环形管500道，能够使气体在环形管500内进行缓存混合，以使得气体的密度更加均匀，流动时各位置的气压更平衡。

进一步的，环形管500的内径不小于第一导气孔220的内径，从而使得气体的流动更加顺畅。且环形管500与环形的侧壁210同心设置，以使得环形管500的各第三分流口520至对应的第一导气孔220的管线长度相同。

参照图8，在一些实施例中，第一合流口310位于环形的侧壁210的圆心处，以使得第一合流口310与各第一导气孔220的距离相同，从而方便第一汇流管300和第二汇流管410的管线设置。且能够减少弯曲的管道的设置，利用两点之间直线最短的原则，减少气体的输送距离，从而减小气体在第一汇流管300和第二汇流管410内流动的阻力，以满足在第一合流口310与吸气装置连接的实施例中，需要提高吸力以提高排气速度的要求。具体的，第一汇流管300设置有四个第一分流口320，四个第一分流口320分别于四个第一导气孔220孔一一相对，第二汇流管410选择为管线长度相同的直型管，第二汇流管410连通第一分流口320和第一通气孔，从而实现第一汇流管300对四个第一导气孔220的均匀配气。可以理解的是，根据第一导气孔220的数量的需求，第二汇流管410能够设置有第二配气口以拓展可连接的第一导气孔220的数量。

参照图8，进一步的，第一汇流管300、各第一导气孔220以及各第二汇流管410均位于同一平面上，从而减少管道的弯折，以利用两点之间直线最短的原则进一步减少气体的输送距离，从而减小气体在第一汇流管300和第二汇流管410内流动的阻力，以满足在第一合流口310与吸气装置连接的实施例中，需要提高吸力以提高排气速度的要求。

为了方便对镀膜设备100的出气或者吸气的控制，本申请实施例还提供了一种改进，镀膜设备100还包括第一控制阀(图中未示出)，第一控制阀与第一汇流管300连接，通过第一控制阀能够控制第一汇流管300内的气体流通。镀膜设备100还包括第二控制阀(图中未示出)，各第二控制阀分别与多个第二汇流管410一一连接，通过第二控制阀能够控制对应连接的第二汇流管410内的气体流通。通过第一控制阀实现对镀膜设备100全部第一导气孔220的出气或吸气的控制。通过第二控制阀实现对镀膜设备100部分第一导气孔220的出气或者吸气的控制，使得镀膜设备100能够根据实际的气体流通需求，调整各第一导气孔220的导通情况。

可以理解的是，第一控制阀和第二控制阀可以单独设置有其中一个，也可以共同使用。例如：方式一：在第一合流口310前端进行总控制，其余各第二分流口430不进行控制。方式二：第一合流口310进行总控制，其余各第二分流口430进行独立控制或选择性控制。方式三：第一合流口310不控制，其余各第二分流口430进行独立控制。根据工艺需求能够选择不同的控制方式。

第一汇流管300与出气装置连接的实施例中，第一控制阀、第二控制阀是对排气速度或者排气通断进行调节。第一汇流管300与吸气装置连接的实施例中，第一控制阀、第二控制阀是对进气流量大小或者进气通断进行控制调节。第一控制阀和第二控制阀可以选择为通断阀或者流量控制阀，具体的选型根据实际的需求能够适应性改变。

为了进一步提高气体从第一导气孔220出气时的均匀性，本申请实施例还提供了一种改进，参照图6和图7，侧壁210的周向的外侧还设置有工作空间600，第一导气孔220的一端与工作空间600连通，第一导气孔220的另一端与第二汇流管410连通。镀膜设备100还包括均气板700和均气件800，均气件800连接于主体200，均气件800设置有环形的均气孔810，各第一导气孔220均连通于均气孔810，均气板700设置于均气孔810内，通过均气板700能够对从第一导气孔220流出的气体进行进一步的均气，使得气体从均气孔810流入工作空间600后更加均匀。

具体的，均气板700设置有多个通孔710，在第一导气孔220的导气方向上，通孔710与第一导气孔220的孔口至少错开一部分，以使气体从第一导气孔220流出后，至少部分气体与均气板700的板体接触反弹后，在均气孔810内缓存混合后再从通孔710处流出。或者，通孔710的孔径小于第一导气孔220的孔径，亦能够使得至少部分气体与均气板700的板体接触反弹后，在均气孔810内缓存混合后再从通孔710处流出。可以理解的是，通孔710与第一导气孔220的孔口的错开设置和通孔710的孔径与第一导气孔220的孔径的设置是能够同时存在的，以进一步提高均气板700的均气效果。

进一步的，均气孔810包括互相连通的第一孔道811、第二孔道812和第三孔道813，第一孔道811、第二孔道812和第三孔道813沿背离第一导气孔220的方向依次设置，且第一孔道811、第二孔道812和第三孔道813的孔径依次减小。第一孔道811与第二孔道812之间存在孔径差，从而在第一孔道811与第二孔道812的连接面之间形成放置台阶，均气板700能够直接安装在放置台阶上，方便均气板700的安装。且由于第一孔道811的孔径较大，气体在与均气板700接触发生反弹后，能够在第一孔道811的腔体内进行第一次缓存混合。由于第二孔道812的孔径大于第三孔道813，第二孔道812与第三孔道813的接触面之间形成阻挡台阶，气体沿均气板700的通孔710进入第二孔道812后，在第二孔道812的腔体内进行第二次缓存混合后，才会从第三孔道813流入工作空间600内。通过第一孔道811、第二孔道812和第三孔道813之间的孔径差，能够使得气体在第一孔道811的腔体和第二孔道812的腔体内经过缓存后再进行排出，使得气体的排出更加均匀。

参照图6，根据本申请的一些实施例，主体200还设置有多个第二导气孔230，各第二导气孔230沿主体200的周向均匀分布于侧壁210，镀膜设备100还包括导气管道900，导气管道900与第二导气孔230连通，其中，导气管道900与第一合流口310中的一个用于与出气装置连接，另一个用于与吸气装置连接。通过设置第二导气孔230与导气管道900，合理利用主体200的安装空间，通过主体200实现镀膜设备100在镀膜时同时的出气与吸气。

具体的，导气管道900的具体导气结构与第一汇流管300和第二汇流管410相同，例如，导气管道900包括具有第四合流口和多个第四分流口的第四汇流管(图中未示出)和具有第五合流口和多个第五分流口的第五汇流管910，其中，第四汇流管用于与出气装置或者吸气装置连接，第五汇流管910用于将第四汇流管与第二导气孔230直接连通，或者，第五汇流管910用于对气体进行多次配气后再与第二导气孔230连通。

可以理解的是，由于镀膜工艺需要设置有至少两处通气管道进行通气，其中一处管道进行反应气体的进气，另一处通气管道用于气体的排出。本申请的附图中在不同实施例中展现了一处或两处通气管道，实际上，本申请实施例的镀膜设备100均设置有至少两处通气管道的，另外未展示的通气管道，根据设置位置的不同，可以设置在侧壁210上，也可以设置在密封结构250上的，且两处通气管道的设置也是实现镀膜工艺的公知常识，本申请实施例的部分附图中未展示并不意味着不具有相应的通气管道，仅是因为为公知常识而不具体展示细节。

且在本申请的实施例中，镀膜设备还包括加热保温装置(图中未示出)，加热保温装置用于对第一汇流管、第二汇流管、环形管以及主体进行加热保温。在第一合流口连接出气装置的实施例中，由于管内通过的是工艺所需的气体，加热目的是为了将管内气体加热至所需温度，同时防止工艺气体在管道和阀门通道内出现冷凝，造成阀门和管道堵塞。在第一合流口连接吸气装置的实施例中，镀膜后的废气会在管道内壁冷凝，形成粉末颗粒以及污染膜层，加热保温是为了减少管道内的粉末颗粒以及污染膜层的产生，延长管道的维护周期以及使用寿命。对主体的保温加热，则是为了提供镀膜所需的温度环境，防止工艺气体在主体侧壁冷凝，减少粉末颗粒的产生，从而提高主体侧壁的洁净度，延长壳体内壁维护周期。

具体的，对于第一汇流管、第二汇流管以及环形管等管道，能够用柔性加热带对管道进行缠绕加热，然后管道外侧再包裹上保温层进行保温防止热量散失。也可将管道先用一个盒体包裹起来，然后整体用柔性加热片或铠装电阻丝对盒体进行加热保温。对主体的加热保温，则可以通过柔性加热片或铠装电阻丝进行主体整体的加热，然后在主体外表面覆盖上保温层进行保温。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

Claims (10)

1.一种镀膜设备，其特征在于，包括：

主体，具有环绕呈环形的侧壁，所述主体设置有多个第一导气孔，各所述第一导气孔沿所述主体的周向均匀分布于所述侧壁；

第一汇流管，设置有第一合流口和多个第一分流口，所述第一合流口和各所述第一分流口分别连通所述第一汇流管，所述第一合流口至各所述第一分流口之间的管线长度相等，所述第一合流口用于连接出气装置或者吸气装置；

多个第二汇流管，所述第二汇流管连接所述侧壁与所述第一汇流管，各所述第二汇流管分别连通其中一个所述第一分流口与部分所述第一导气孔，所述第一合流口至分别对应连通的所述第一导气孔的管线长度相同。

2.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述第二汇流管设置有第二合流口和多个第二分流口，所述第二合流口和各所述第二分流口分别连通所述第二汇流管，所述第二合流口至各所述第二分流口之间的管线长度相等，所述第二合流口连通所述第一分流口，各所述第二分流口与多个所述第一导气孔一一连通。

3.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，还包括多个配气组，各所述配气组分别连通其中一个所述第一分流口和多个所述第一导气孔；在同一所述配气组中，所述配气组包括由第一配气层级至第n配气层级依次递增的配气层级，第n配气层级包括2^n-1个所述第二汇流管，所述第一配气层级的所述第二汇流管的所述第二合流口与所述第一分流口连通，所述第n配气层级的所述第二汇流管的所述第二合流口与第n-1配气层级的所述第二汇流管的其中一个所述第二分流口连通，所述第n配气层级的所述第二汇流管的各所述第二分流口与多个所述第一导气孔一一连通，其中，n为大于1的自然数。

4.根据权利要求2所述的镀膜设备，其特征在于，还包括：

环形管，所述环形管设置有多个第三合流口和多个第三分流口，所述环形管连接于所述侧壁，各所述第三分流口与各所述第一导气孔一一连通，各所述第三合流口分别位于相邻的两个所述第三分流口之间，且所述第三合流口至相邻的两个所述第三分流口之间的管线长度相等；

多个配气组，各所述配气组分别连通其中一个所述第一分流口和多个所述第一导气孔；在同一所述配气组中，所述配气组包括由第一配气层级至第n配气层级依次递增的配气层级，第n配气层级包括2^n-1个所述第二汇流管，所述第一配气层级的所述第二汇流管的所述第二合流口与所述第一分流口连通，所述第n配气层级的所述第二汇流管的所述第二合流口与第n-1配气层级的所述第二汇流管的其中一个所述第二分流口连通，所述第n配气层级的所述第二汇流管的各所述第二分流口与多个所述第三合流口一一连通，其中，n为大于1的自然数。

5.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一合流口位于环形的所述侧壁的圆心处。

6.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述第一汇流管、各所述第一导气孔以及各所述第二汇流管均位于同一平面上。

7.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，还包括第一控制阀，所述第一控制阀与所述第一汇流管连接，用于控制所述第一汇流管内的气体流通；和/或，还包括多个第二控制阀，各所述第二控制阀分别与多个所述第二汇流管一一连接，用于控制所述第二汇流管内的气体流通。

8.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述侧壁的周向的外侧还设置有工作空间，所述第一导气孔的一端与所述工作空间连通，所述第一导气孔的另一端与所述第二汇流管连通，所述镀膜设备还包括均气板和均气件，所述均气件连接于所述主体，所述均气件设置有环形的均气孔，各所述第一导气孔均连通于所述均气孔，所述均气板设置于所述均气孔内，所述均气板设置有多个通孔，在所述第一导气孔的导气方向上，所述通孔与所述第一导气孔的孔口至少错开一部分，和/或，所述通孔的孔径小于所述第一导气孔的孔径。

9.根据权利要求8所述的镀膜设备，其特征在于，所述均气孔包括互相连通的第一孔道、第二孔道和第三孔道，所述第一孔道、第二孔道和所述第三孔道沿背离所述第一导气孔的方向依次设置，且所述第一孔道、第二孔道和所述第三孔道的孔径依次减小。

10.根据权利要求1所述的镀膜设备，其特征在于，所述主体还设置有多个第二导气孔，各所述第二导气孔沿所述主体的周向均匀分布于所述侧壁，所述镀膜设备还包括导气管道，所述导气管道与所述第二导气孔连通，其中，所述导气管道与所述第一合流口中的一个用于与出气装置连接，另一个用于与吸气装置连接。

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