CN219066768U - 一种真空腔体组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空腔体组件，包括：真空箱和循环降温机构，真空箱的内部安装有真空内胆，真空箱的内部除去真空内胆的空间为降温腔；循环降温机构包括连接管、导风盘、回风板和导风管，导风管安装在真空内胆的外壁上且导风管的另一端与真空箱内壁固定连接，真空箱的内部开设有回风腔且回风腔与导风管连通。本实用新型在真空箱的内部设置乐乐循环降温机构，带动真空箱内部空气进行循环流通，并在流通的过程中将真空腔内的热量从导热板表面导出，并在真空箱内循环流通，减少外部空气灰尘进入造成的一系列问题，同时还能够通过降温架来对循环流通的空气进行降温，使其能够达到更好的降温效果，避免外部空气对散热造成的影响。

Description

一种真空腔体组件

技术领域

本实用新型涉及真空腔体技术领域，更具体为一种真空腔体组件。

背景技术

真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的，而晶圆容量几乎不变。这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。产品的特点有改善的机台定位的静态、动态响应，抽气时间、稳定时间缩短等等。

目前，现有的真空腔腔体组件，在使用时散热效果相对较差，在长时间的使用过程中容易导致内部温度过高，散热方式大多是将外部空气导入进行降温，外部空气温度会随着气温发生变化，外部温度升高后会对降温效果造成很大影响，且不便于对热量进行收集，造成了热能浪费。为此，需要设计一个新的方案给予改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空腔体组件，解决了现有的真空腔腔体组件，在使用时散热效果相对较差，在长时间的使用过程中容易导致内部温度过高，散热方式大多是将外部空气导入进行降温，外部空气温度会随着气温发生变化，外部温度升高后会对降温效果造成很大影响，且不便于对热量进行收集，造成了热能浪费的问题，满足实际使用需求。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空腔体组件，包括：真空箱和循环降温机构，所述真空箱的内部安装有真空内胆，真空箱的内部除去真空内胆的空间为降温腔；

所述循环降温机构包括连接管、导风盘、回风板和导风管，所述导风管安装在真空内胆的外壁上且导风管的另一端与真空箱内壁固定连接，所述真空箱的内部开设有回风腔且回风腔与导风管连通，所述连接管安装在真空内胆的背面中部且连接管的另一端与真空箱的内壁连接，所述导风盘安装在真空箱的背部，所述回风板安装在导风盘的外壁上且呈十字型分布，回风板的端部与回风腔相连通。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述真空内胆的内部 设置有真空腔和导热腔，所述导热腔的内部均匀排布有若干个导热板，所述导热板的一端延伸至真空腔内部。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述连接管的一端与导热腔相连通、另一端与导风盘相连通，且连接管的内部还安装有风机和降温架，所述风机靠近导热腔，降温架靠近导风盘。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述降温架的呈方形结构且两端分别安装有导水管，所述导水管的端部延伸至真空箱外，降温架的内部水平设置有若干个与导水管连通的换热管，所述换热管的表面开设有换热孔。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述导热板共设置若干个且等距分布，导热板为蛇形结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型，在真空箱的内部设置乐乐循环降温机构，带动真空箱内部空气进行循环流通，并在流通的过程中将真空腔内的热量从导热板表面导出，并在真空箱内循环流通，减少外部空气灰尘进入造成的一系列问题，同时还能够通过降温架来对循环流通的空气进行降温，使其能够达到更好的降温效果，避免外部空气对散热造成的影响。

附图说明

图1为本实用新型所述真空腔体组件的外部结构图；

图2为本实用新型所述真空腔体组件的内部结构图；

图3为本实用新型所述降温架的结构图。

图中:1、真空箱；2、回风板；3、导风盘；4、导水管；5、真空腔；6、导热腔；7、真空内胆；8、导热板；9、导风管；10、回风腔；11、风机；12、连接管；13、降温架；14、换热管；15、换热孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种真空腔体组件，包括：真空箱1和循环降温机构，真空箱1的内部安装有真空内胆7，真空箱1的内部除去真空内胆7的空间为降温腔；循环降温机构包括连接管12、导风盘3、回风板2和导风管9，导风管9安装在真空内胆7的外壁上且导风管9的另一端与真空箱1内壁固定连接，真空箱1的内部开设有回风腔10且回风腔10与导风管9连通，连接管12安装在真空内胆7的背面中部且连接管12的另一端与真空箱1的内壁连接，导风盘3安装在真空箱1的背部，回风板2安装在导风盘3的外壁上且呈十字型分布，回风板2的端部与回风腔10相连通，循环降温机构将真空箱1内的空气进行循环输送并对空气进行降温，在低温空气循环流动的过程中将真空腔5的温度导出，达到降温的效果。

进一步改进地，真空内胆7的内部 设置有真空腔5和导热腔6，导热腔6的内部均匀排布有若干个导热板8，导热板8的一端延伸至真空腔5内部，导热板8将真空腔5内的热量导出。

进一步改进地，连接管12的一端与导热腔6相连通、另一端与导风盘3相连通，且连接管12的内部还安装有风机11和降温架13，风机11靠近导热腔6，降温架13靠近导风盘3。降温架13的呈方形结构且两端分别安装有导水管4，导水管4的端部延伸至真空箱1外，降温架13的内部水平设置有若干个与导水管4连通的换热管14，换热管14的表面开设有换热孔15，降温架13对经过换热管14的空气进行降温，保证其循环散热的效果，降温架13上安装半导体制冷片来进一步提高降温效果。

具体地，导热板8共设置若干个且等距分布，导热板8为蛇形结构，提高循环空气与导热板8的接触时间，增加换热效果，能能够将热量快速导出。

本实用新型在使用时，在真空箱1的内部设置乐乐循环降温机构，带动真空箱1内部空气进行循环流通，并在流通的过程中将真空腔5内的热量从导热板8表面导出，并在真空箱1内循环流通，减少外部空气灰尘进入造成的一系列问题，同时还能够通过降温架13来对循环流通的空气进行降温，使其能够达到更好的降温效果，避免外部空气对散热造成的影响。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种真空腔体组件，包括：真空箱（1）和循环降温机构，其特征在于：所述真空箱（1）的内部安装有真空内胆（7），真空箱（1）的内部除去真空内胆（7）的空间为降温腔；所述循环降温机构包括连接管（12）、导风盘（3）、回风板（2）和导风管（9），所述导风管（9）安装在真空内胆（7）的外壁上且导风管（9）的另一端与真空箱（1）内壁固定连接，所述真空箱（1）的内部开设有回风腔（10）且回风腔（10）与导风管（9）连通，所述连接管（12）安装在真空内胆（7）的背面中部且连接管（12）的另一端与真空箱（1）的内壁连接，所述导风盘（3）安装在真空箱（1）的背部，所述回风板（2）安装在导风盘（3）的外壁上且呈十字型分布，回风板（2）的端部与回风腔（10）相连通。

2.根据权利要求1所述的一种真空腔体组件，其特征在于：所述真空内胆（7）的内部 设置有真空腔（5）和导热腔（6），所述导热腔（6）的内部均匀排布有若干个导热板（8），所述导热板（8）的一端延伸至真空腔（5）内部。

3.根据权利要求1所述的一种真空腔体组件，其特征在于：所述连接管（12）的一端与导热腔（6）相连通、另一端与导风盘（3）相连通，且连接管（12）的内部还安装有风机（11）和降温架（13），所述风机（11）靠近导热腔（6），降温架（13）靠近导风盘（3）。

4.根据权利要求3所述的一种真空腔体组件，其特征在于：所述降温架（13）的呈方形结构且两端分别安装有导水管（4），所述导水管（4）的端部延伸至真空箱（1）外，降温架（13）的内部水平设置有若干个与导水管（4）连通的换热管（14），所述换热管（14）的表面开设有换热孔（15）。

5.根据权利要求2所述的一种真空腔体组件，其特征在于：所述导热板（8）共设置若干个且等距分布，导热板（8）为蛇形结构。

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