CN218982487U - 一种喷淋压力可控的单晶硅片清洗机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了单晶硅片清洗机技术领域的一种喷淋压力可控的单晶硅片清洗机，包括清洗机，清洗机上方左侧设有分流管，分流管外侧壁设有多组喷淋嘴，清洗机左侧壁设有水泵，水泵出水端连接设有第一输水管，固定板内前后两侧均开设有第二空腔，两组第二空腔内滑动连接设有滑动板，连接管内设有两组挡板，两组挡板相远离端分别贯穿连接管内前后侧壁与两组滑动板相对侧壁相连接，固定板内左侧开设有第一空腔，第一空腔内设有调节机构，本实用在调节机构的配合下能够带动滑动板进行移动，从而滑动板能够带动挡板进行移动，从而可调节流经连接管的流水量，方便对水的压力进行调节，从而能够对喷淋压力进行控制。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶硅片清洗机技术领域，具体为一种喷淋压力可控的单晶硅片清洗机。
背景技术
在单晶硅片的制备过程中需要使用清洗机对其进行清洗脱胶，现有的清洗机大多采用喷淋的方法对单晶硅片进行清洗，但是不方便对喷淋水的压力进行控制，因此，需要一种喷淋压力可控的单晶硅片清洗机。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种喷淋压力可控的单晶硅片清洗机，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种喷淋压力可控的单晶硅片清洗机，包括清洗机，所述清洗机上方左侧设有分流管，所述分流管外侧壁设有多组喷淋嘴，所述清洗机左侧壁设有水泵，所述水泵出水端连接设有第一输水管，所述分流管侧壁连接设有第二输水管，所述第一输水管一端连接设有连接管，所述连接管一端与第二输水管一端相连接，所述连接管外侧壁套接安装设有固定板，所述固定板内前后两侧均开设有第二空腔，两组所述第二空腔内滑动连接设有滑动板，所述连接管内设有两组挡板，两组所述挡板相远离端分别贯穿连接管内前后侧壁与两组所述滑动板相对侧壁相连接，所述固定板内左侧开设有第一空腔，所述第一空腔内设有调节机构。
进一步的，所述调节机构包括第一空腔内设有的双向丝杆，两组所述双向丝杆两端分别与第一空腔内前后侧壁设有的轴承相连接，所述双向丝杆前后外壁均套接设有滑块，两组所述滑块右侧壁分别与两组所述滑动板左侧壁相连接，所述双向丝杆外壁套接安装设有从动锥齿轮，所述第一空腔内设有与从动锥齿轮相啮合的主动锥齿轮，所述主动锥齿轮左侧壁设有转轴，所述转轴一端贯穿第一空腔内左侧壁与外部设有的调节旋钮相连接。
进一步的，所述第一空腔内左侧壁前后两侧均开设有导向槽，两组所述滑块左侧壁均设有与导向槽相匹配的导向块。
进一步的，两组所述第二空腔内右侧壁均开设有限位槽，两组所述滑动板右侧壁均设有与限位槽相匹配的限位块。
进一步的，多组所述喷淋嘴在所述分流管前侧壁呈线性阵列分布。
进一步的，所述清洗机顶部前后两侧均设有连接杆，两组所述连接杆一端均与分流管外侧壁相连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用在调节机构的配合下能够带动滑动板进行移动，从而滑动板能够带动挡板进行移动，从而可调节流经连接管的流水量，方便对水的压力进行调节，从而能够对喷淋压力进行控制。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型第一空腔和第二空腔内部结构俯视图。
图中：1、清洗机；2、水泵；3、第一输水管；4、固定板；5、连接管；6、第二输水管；7、分流管；8、喷淋嘴；9、连接杆；10、第一空腔；11、第二空腔；12、调节机构；121、从动锥齿轮；122、滑块；123、双向丝杆；124、调节旋钮；125、转轴；126、主动锥齿轮；13、挡板；14、滑动板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例1：
请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种喷淋压力可控的单晶硅片清洗机，包括清洗机1，清洗机1上方左侧设有分流管7，清洗机1顶部前后两侧均设有连接杆9，两组连接杆9一端均与分流管7外侧壁相连接，在连接杆9的作用下能够对分流管7进行固定，分流管7外侧壁设有多组喷淋嘴8，清洗机1左侧壁设有水泵2，水泵2出水端连接设有第一输水管3，分流管7侧壁连接设有第二输水管6，第一输水管3一端连接设有连接管5，连接管5一端与第二输水管6一端相连接，连接管5外侧壁套接安装设有固定板4，固定板4内前后两侧均开设有第二空腔11，两组第二空腔11内滑动连接设有滑动板14，两组第二空腔11内右侧壁均开设有限位槽，两组滑动板14右侧壁均设有与限位槽相匹配的限位块，在限位槽和限位块的作用下使得滑动板14在第二空腔11内移动更加稳定，连接管5内设有两组挡板13，两组挡板13相远离端分别贯穿连接管5内前后侧壁与两组滑动板14相对侧壁相连接，固定板4内左侧开设有第一空腔10，第一空腔10内设有调节机构12。
请参阅图2，调节机构12包括第一空腔10内设有的双向丝杆123，两组双向丝杆123两端分别与第一空腔10内前后侧壁设有的轴承相连接，双向丝杆123前后外壁均套接设有滑块122，第一空腔10内左侧壁前后两侧均开设有导向槽，两组滑块122左侧壁均设有与导向槽相匹配的导向块，在导向槽和导向块的作用下使得滑块122在双向丝杆123外壁进行移动，两组滑块122右侧壁分别与两组滑动板14左侧壁相连接，双向丝杆123外壁套接安装设有从动锥齿轮121，第一空腔10内设有与从动锥齿轮121相啮合的主动锥齿轮126，主动锥齿轮126左侧壁设有转轴125，转轴125一端贯穿第一空腔10内左侧壁与外部设有的调节旋钮124相连接。
实施例2：
请参阅图1，在上述实施例的基础上：多组喷淋嘴8在分流管7前侧壁呈线性阵列分布，多组喷淋嘴8能够更好的对清洗机内的单晶硅片进行清洗。
工作原理：需要对单晶硅片进行清洗脱胶的时候，工作人员将单晶硅片整齐的放置在清洗机1内，水泵2将外界水抽送到第一输水管3内，然后水经过连接管5和第二输水管6进入到分流管7内，然后在喷淋嘴8的作用下将水喷出，从而能够对单晶硅片进行清洗，需要对喷淋压力进行控制的时候，工作人员转动调节旋钮124带动转轴125进行转动，转轴125带动主动锥齿轮126进行转动，主动锥齿轮126带动从动锥齿轮121进行转动，从动锥齿轮121带动双向丝杆123进行转动，从而两组滑块122在双向丝杆123外壁进行移动，滑块122带动滑动板14进行移动，滑动板14带动挡板13进行移动，从而能够对流经连接管5的流水量进行调节，从而能够对水的压力进行调节，使得喷淋压力得到控制。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种喷淋压力可控的单晶硅片清洗机，包括清洗机(1)，所述清洗机(1)上方左侧设有分流管(7)，所述分流管(7)外侧壁设有多组喷淋嘴(8)，所述清洗机(1)左侧壁设有水泵(2)，所述水泵(2)出水端连接设有第一输水管(3)，所述分流管(7)侧壁连接设有第二输水管(6)，其特征在于：所述第一输水管(3)一端连接设有连接管(5)，所述连接管(5)一端与第二输水管(6)一端相连接，所述连接管(5)外侧壁套接安装设有固定板(4)，所述固定板(4)内前后两侧均开设有第二空腔(11)，两组所述第二空腔(11)内滑动连接设有滑动板(14)，所述连接管(5)内设有两组挡板(13)，两组所述挡板(13)相远离端分别贯穿连接管(5)内前后侧壁与两组所述滑动板(14)相对侧壁相连接，所述固定板(4)内左侧开设有第一空腔(10)，所述第一空腔(10)内设有调节机构(12)。
2.根据权利要求1所述的一种喷淋压力可控的单晶硅片清洗机，其特征在于：所述调节机构(12)包括第一空腔(10)内设有的双向丝杆(123)，两组所述双向丝杆(123)两端分别与第一空腔(10)内前后侧壁设有的轴承相连接，所述双向丝杆(123)前后外壁均套接设有滑块(122)，两组所述滑块(122)右侧壁分别与两组所述滑动板(14)左侧壁相连接，所述双向丝杆(123)外壁套接安装设有从动锥齿轮(121)，所述第一空腔(10)内设有与从动锥齿轮(121)相啮合的主动锥齿轮(126)，所述主动锥齿轮(126)左侧壁设有转轴(125)，所述转轴(125)一端贯穿第一空腔(10)内左侧壁与外部设有的调节旋钮(124)相连接。
3.根据权利要求2所述的一种喷淋压力可控的单晶硅片清洗机，其特征在于：所述第一空腔(10)内左侧壁前后两侧均开设有导向槽，两组所述滑块(122)左侧壁均设有与导向槽相匹配的导向块。
4.根据权利要求1所述的一种喷淋压力可控的单晶硅片清洗机，其特征在于：两组所述第二空腔(11)内右侧壁均开设有限位槽，两组所述滑动板(14)右侧壁均设有与限位槽相匹配的限位块。
5.根据权利要求1所述的一种喷淋压力可控的单晶硅片清洗机，其特征在于：多组所述喷淋嘴(8)在所述分流管(7)前侧壁呈线性阵列分布。
6.根据权利要求1所述的一种喷淋压力可控的单晶硅片清洗机，其特征在于：所述清洗机(1)顶部前后两侧均设有连接杆(9)，两组所述连接杆(9)一端均与分流管(7)外侧壁相连接。
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