CN218969415U - 一种密封性强的双面电镀夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及密封性强的双面电镀夹具，主板和盖板的一端分别设置有第一承接槽和第二承接槽，第一承接槽和第二承接槽内均依次设置有内密封圈、导电弹片和压环，第一承接槽内设置有多个限位柱，限位柱外设置有圈状限位槽、内腔中设置有圈状凸起，第二承接槽内对应限位柱的位置设置有限位孔，第二承接槽内也对应设置有限位槽和圈状凸起，内密封圈包括本体和垂直设置在本体上的环状挡板，本体上端设置有支撑块，环状挡板延伸至限位槽中，支撑块延伸至圈状凸起上端；盖板和主板的密封圈的支撑块一起将产品夹住，圈状凸起和支撑块的配合，在夹住产品同时也阻挡部分电解液进入，导电弹片和压环的设置侧面也使得密封圈不会脱落，保证夹具了内部的密封性。

Description

一种密封性强的双面电镀夹具

技术领域

本实用新型及晶圆电镀技术领域，具体为一种密封性强的双面电镀夹具。

背景技术

在电镀工艺过程中，常需要将晶圆放置于晶圆电镀夹具上，晶圆电镀夹具的导电圈上设计有晶圆导电触点，导电圈的晶圆导电触点与晶圆相接触，导电圈再与外部的电源接触，形成阴极，电镀时电镀液中的阳离子吸附到晶圆片上从而形成镀层，由于需要正反面均接触电解液，而夹具内部为了保证连接设置有多条线路，为了保证线路的安全性，防止触点位置被镀上，需要对夹具的导电部位进行密封，密封的同时又要将圆晶固定住，如何处理夹具内部密封和固定圆晶之间关系是设计者需要重要考虑的。

实用新型内容

本实用新型目的是要提供一种密封性强的双面电镀夹具，在密封夹具内部的同时又能正确夹持圆晶产品。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提供了一种密封性强的双面电镀夹具，包括主板和盖设在主板上的盖板，所述主板和盖板的一端分别设置有第一承接槽和第二承接槽，所述第一承接槽和第二承接槽内均依次设置有内密封圈、导电弹片和压环，所述第一承接槽内设置有多个限位柱，多个所述的限位柱限定出放置空间，所述放置空间外设置有圈状限位槽，所述放置空间内腔中设置有圈状凸起，所述第二承接槽内对应限位柱的位置设置有限位孔，所述第二承接槽内也对应设置有限位槽和圈状凸起，所述内密封圈包括本体和垂直设置在本体上的环状挡板，所述内密封圈上对应限位柱设置有避空位，所述本体上端设置有支撑块，所述环状挡板延伸至限位槽中，所述支撑块延伸至圈状凸起上。

优选地，所述导电弹片中空设置且内腔中上设置有多个导电触点，所述压环上设置有对应导电触点的多个通孔。

优选地，所述圈状凸起至少设置有两层。

优选地，所述导电触点为Z字形结构。

优选地，所述第二承接槽外还设置有外密封圈。

优选地，所述盖板的另一端设置有金属压板。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型的密封性强的双面电镀夹具，主板上的密封圈的本体搭设在定位柱之间，避空槽正好对应定位柱，然后环状挡板正好延伸至限位槽内，这样密封圈正好完整套设在定位柱四周，本体上的支撑块在产品放置时和产品接触，由于盖板上也设置有密封圈，正好和主板上的密封圈的支撑块一起将产品夹住，改变了现有的夹具中产品直接接触盖板的情况，保证产品安全，圈状凸起和支撑块的配合，在夹住产品的同时，也阻挡部分电解液进入，导电弹片和压环的设置侧面也使得密封圈不会脱落，保证夹具内部的密封性。

附图说明

后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：

图1是本实用新型优选实施例的爆炸图；

图2是本实用新型优选实施例的结构示意图；

图3是本实用新型优选实施例的剖面示意图；

图4是图3中A处的放大图；

图5是密封圈的结构示意图；

图6是导电弹片的结构示意图；

图7是压环的结构示意图。

其中，附图标记说明如下：

1、主板；11、第一承接槽；12、限位槽；

2、盖板；21、第二承接槽；

31、内密封圈；32、导电弹片；33、压环；

41、限位柱；42、圈状限位槽；43、圈状凸起；

61、本体；62、环状挡板；63、避空位；64、支撑块；

71、导电触点；72、通孔；

8、外密封圈；9、金属压板。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参照图1和图2所示，本实用新型包括主板1和盖设在主板1上的盖板2，主板1和盖板2的一个端面分别设置有第一承接槽11和第二承接槽21，第一承接槽11和第二承接槽21相对设置，第一承接槽11和第二承接槽21内均依次设置有内密封圈31、导电弹片32和压环33，第一承接槽11内设置有多个限位柱41，多个限位柱41围成一个D型的放置空间，放置空间用于放置密封圈31，放置空间外设置有圈状限位槽42，放置空间内设置有多个圈状凸起43，本例中设置有两层凸起，且两层凸起呈台阶型设置，凸起的中心设置有通槽，用于放置产品，第二承接槽21内对应限位柱41的位置设置有限位孔，第二承接槽21内也对应设置有限位槽12和圈状凸起43。

如图3、图4和图5所示，内密封圈31包括本体61和垂直设置在本体61上的环状挡板62，内密封圈31上对应限位柱41设置有避空位63，本体61上端设置有支撑块64，使用时，避空位63对应限位柱41设置，本体61搭设在限位柱41之间，环状挡板62延伸至限位槽12中，支撑块64延伸至第一层圈状凸起43上端，第二层的圈状凸起43，是为了防止密封圈31滑落，本例中，支撑块64的上端面为两个半圆形的结构，这样夹持产品时相较于平面结构夹持的更紧密，限位柱41将密封圈31固定，环状挡板62和限位槽12的配合时密封圈31更紧密的贴合在主板1上，使用时，盖板2和本体61上的两个密封圈31的支撑块64将产品夹住，现有的夹具中，盖板2或者密封圈31本体61直接接触产品经常发生碎裂现象。

如图6和图7所示，导电弹片32中空设置且内腔中上设置有多个导电触点71，压环33上设置有对应导电触点71的多个通孔72，使用时，导电触点71由通孔72中伸出导电触点71压在本体61上并用于支撑产品，产品的四周被导电触点71支撑后，再由密封圈31的支撑块64顶住，导电触点71为Z字形结构，使用时导电触点71的竖向板紧贴环状挡板62，两端的横向板分别延伸至限位槽12和本体61上，限位槽12的长度大于导电触点71的横向板长度，这样一端横向板假设在加工时出现误差过长时，在限位槽12中再次折弯一下即可，另一端的横向板用于支撑产品。

放置槽外围还设置有外密封圈8，外密封圈8的作用是进一步密封第二承接槽21，保证盖板2和主板1连接更紧密。

盖板2的另一端面设置有压板槽，压板槽内有设置有金属压板9，由于盖板2和主板1均为绝缘的橡胶材质，盖板2压设在主板1上时，常常发生中心位置翘起的情况，中心位置翘起会导致盖板2上的导电触点71与产品接触少，发生不良的现象，所以加设金属压板9是为了避免盖板2中心翘起、接触不良。

具体使用时，将第一承接槽11和第二承接槽21内的内密封圈31、导电弹片32和压环33按照顺序将行装配好，然后将产品放置在导电触点71上，由导电触点71进行支撑，然后将盖板2盖设在主板1上使盖板2上的导电处点和产品的另一端面进行接触，使得导电触点71与外界电源接触，最后产品接触电解液实现电镀。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种密封性强的双面电镀夹具，其特征在于，包括主板和盖设在主板上的盖板，所述主板和盖板的一端分别设置有第一承接槽和第二承接槽，所述第一承接槽和第二承接槽内均依次设置有内密封圈、导电弹片和压环，所述第一承接槽内设置有多个限位柱，多个所述的限位柱限定出放置空间，所述放置空间外设置有圈状限位槽，所述放置空间内腔中设置有圈状凸起，所述第二承接槽内对应限位柱的位置设置有限位孔，所述第二承接槽内也对应设置有限位槽和圈状凸起，所述内密封圈包括本体和垂直设置在本体上的环状挡板，所述内密封圈上对应限位柱设置有避空位，所述本体上端设置有支撑块，所述环状挡板延伸至限位槽中，所述支撑块延伸至圈状凸起上端。

2.根据权利要求1所述的一种密封性强的双面电镀夹具，其特征在于：所述导电弹片中空设置且内腔中上设置有多个导电触点，所述压环上设置有对应导电触点的多个通孔。

3.根据权利要求1所述的一种密封性强的双面电镀夹具，其特征在于：所述圈状凸起至少设置有两层。

4.根据权利要求2所述的一种密封性强的双面电镀夹具，其特征在于：所述导电触点为Z字形结构。

5.根据权利要求1所述的一种密封性强的双面电镀夹具，其特征在于：所述第二承接槽外围还设置有外密封圈。

6.根据权利要求1所述的一种密封性强的双面电镀夹具，其特征在于：所述盖板的另一端面设置有压板槽，所述压板槽内有设置有金属压板。

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