CN218824490U - 一种半导体器件电阻测试仪 - Google Patents

一种半导体器件电阻测试仪 Download PDF

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刘志远
陈俞蕙
余文武
蓝龙彪
王先锋
吴东昌
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Abstract

本实用新型公开了一种半导体器件电阻测试仪,包括电阻表、测试板、测试触头和调节组件,测试触头的一端通过导线连接电阻表,测试触头的另一端与测试板连接,调节组件分为横向调节组件和纵向调节组件,所述横向调节组件包括支撑杆、定位板和锁紧螺母,所述纵向调节组件包括滑块、滑槽块、夹子、固定板和第二弹簧。本实用新型实现了对不同大小的半导体器件进行固定调节,还能保证测试更精准、更稳定。

Description

一种半导体器件电阻测试仪
技术领域
本实用新型涉及电阻检测技术领域,具体涉及一种半导体器件电阻测试仪。
背景技术
电阻测试仪一种用于检测器件电阻的工具,在半导体生产过程中,需要对生产的半导体器件的性能进行检验,测量其电阻是一项主要的指标,在现有的检验中所使用的是万用表,操作工人需要双手拿表笔进行测量,由于半导体器件比缺薄小,双手拿住表笔又要测量很不方便,也容易产生误差电阻测试仪。
现有技术中公开了一种半导体器件电阻测试仪(CN201311454Y),包括测试板、电阻表、测试触头和导线,其特征在于:测试触头一端固定于测试板上,另一端翘起,测试触头导线点连接电阻表;测试板上还具有固定半导体器件的滑道。该实用新型具有操作方便、劳动强度低、减少误差的优点,但也还是存在一定的缺陷:该结构是通过滑道来固定测试板上的半导体器件,由于滑道在测试板上的位置是固定的,因此不能针对不同大小的半导体器件进行固定调节。
实用新型内容
本实用新型提供了一种半导体器件电阻测试仪,克服了上述现有技术存在的缺陷,实现了对不同大小的半导体器件进行固定调节。
本实用新型通过以下技术方案实现上述目的:
一种半导体器件电阻测试仪,包括电阻表、测试板、测试触头和调节组件,测试触头的一端通过导线连接电阻表,测试触头的另一端与测试板连接,调节组件分为横向调节组件和纵向调节组件;
所述横向调节组件包括支撑杆、定位板和锁紧螺母,所述支撑杆与测试板滑动连接,定位板与支撑杆转动连接,测试触头穿过定位板与测试板连接,锁紧螺母螺纹连接于支撑杆的一侧,锁紧螺母用于固定支撑杆滑动调节后的位置;
所述纵向调节组件包括滑块、滑槽块、夹子、固定板和第二弹簧,所述滑槽块固定连接于滑块顶部并通过滑块与测试板滑动连接,所述固定板固定于测试板一侧,第二弹簧的两端分别与固定板、滑槽块固定连接,第二弹簧在滑槽块滑动时压紧,通过夹子将滑槽块的一侧固定,取下夹子后第二弹簧回弹使滑槽块回到原位。
进一步的,所述半导体器件电阻测试仪还包括设于定位板中部的伸缩机构,所述伸缩机构包括安装管、压板和第一弹簧,所述安装管可滑动的贯穿于定位板内,测试触头固定于安装管内部,安装管顶部固定有压板,第一弹簧的上端与压板固定连接;使用时,按压压板可使安装管带动测试触头向下移动,第一弹簧受压后与定位板接触,松开后第一弹簧又可使安装管回到原位。
进一步的,所述横向调节组件包括两组滑块和滑槽块,且对称设置于支撑杆两侧。
进一步的,所述固定板固定于测试板一侧的中部,且固定板两侧各设有一组第二弹簧,两组第二弹簧的两端分别与固定板、滑槽块固定连接。
进一步的,所述半导体器件电阻测试仪还包括螺纹杆、固定块、螺母和安装板,所述安装板固定连接于测试板一侧,安装板可沿螺纹杆上下滑动并通过螺母定位,固定块固接于螺纹杆底部。
与现有技术相比,本实用新型的优点与效果是:
1、通过设置纵向调节组件,实现了对不同大小待测器件的固定调节,拓宽了测试仪的适用范围;
2、与人工手持相比,横向测量组件和伸缩机构的设置能够有效保证在测试过程中测试触头与待测器件测试点的接触稳定,避免了测量误差;
3、通过增设安装板、螺纹杆和固定块,测试仪在桌面上使用时更加稳定。
附图说明
图1为本实用新型实施例一的结构示意图。
图2为本实用新型实施例一的俯视图。
图3为本实用新型实施例二的结构示意图。
图4为本实用新型实施例二的俯视图。
图号标识:101、装置本体;102、测试板;103、测试触头;104、调节组件;105、滑块;106、滑槽块;107、支撑杆;108、定位板;109、伸缩机构;110、安装管;111、压板;112、第一弹簧;113、锁紧螺母;114、夹子;115、固定板;116、第二弹簧;201、螺纹杆;202、固定块;203、螺母;204、安装板。
具体实施方式
以下结合实施例对本实用新型作进一步说明,但本实用新型并不局限于这些实施例。
实施例一
本实施例所述的半导体器件电阻测试仪,如图1和2所示,包括电阻表101、测试板102、两个测试触头103和调节组件104,测试触头103的一端通过导线连接电阻表101,测试触头103的另一端与测试板102连接,调节组件104分为横向调节组件和纵向调节组件;
其中横向调节组件包括支撑杆107、定位板108和锁紧螺母113,支撑杆107与测试板102滑动连接,定位板108与支撑杆107转动连接,测试触头103穿过定位板108与测试板102连接,锁紧螺母113螺纹连接于支撑杆107的一侧,锁紧螺母113用于固定支撑杆107滑动调节后的位置;
其中纵向调节组件包括对称设置于支撑杆107两侧的两组滑块105和滑槽块106、夹子114、固定板115和第二弹簧116,滑槽块106固定连接于滑块105顶部,并通过滑块105与测试板102滑动连接,固定板115固定于测试板102一侧的中部,两组第二弹簧116的两端分别与固定板115、滑槽块106固定连接,夹子114用于固定滑槽块106的位置;使用时,第二弹簧116在滑槽块106滑动时压紧,通过夹子114将滑槽块106的一侧固定,取下夹子114后第二弹簧116回弹使滑槽块106回到原位,固定板115用于对第二弹簧116进行限位。
本实施例所述的半导体器件电阻测试仪,如图1和2所示,还包括设于定位板108中部的伸缩机构109,所述伸缩机构109包括安装管110、压板111和第一弹簧112,所述安装管110可滑动的贯穿于定位板108内,测试触头103固定于安装管110内部,安装管110顶部固定有压板111,两组第一弹簧112的上端与压板111固定连接;使用时,按压压板111可使安装管110带动测试触头103向下移动,第一弹簧112受压后与定位板108接触,松开后第一弹簧112又可使安装管110回到原位。
本实施例的工作原理如下:
1、将待测器件放置于测试板102上,通过测试触头103触碰待测器件,观察电阻表判断电阻;
2、测量不同大小的待测器件时,可以根据待测器件的大小选择一组或两组滑槽块106对其进行固定,当滑槽块106向内滑动时第二弹簧116被压紧,此时通过夹子114可将滑槽块106的位置固定,当取下夹子114后,第二弹簧116回弹使滑槽块106回到原位;
3、通过滑动支撑杆107可以调节固定板108的位置,通过锁紧螺母113可以固定定位板108的位置,用于定位待测器件电阻的测试点;
4、安装管110在定位板108上滑动可使测试触头103对齐待测器件的测试点,通过按压压板111使测试触头103接触待测器件进行测试,松开后第一弹簧112又可使测试触头103回到原位。
实施例二
本实施例所述的半导体器件电阻测试仪,如图3和4所示,与实施例一所不同的是,还包括螺纹杆201、固定块202、螺母203和安装板204,安装板204固定连接于测试板102一侧,安装板204可沿螺纹杆201上下滑动并通过螺母203定位,固定块202固接于螺纹杆201底部。
本实施例的工作原理如下:
在桌面上使用时,可将桌板置于测试板102与固定块202之前,螺母203向下转动可使测试板102与固定块202共同压紧桌板,能有效防止安装后装置滑动掉落,测试仪在使用过程中也更加稳定。

Claims (5)

1.一种半导体器件电阻测试仪,包括电阻表(101)、测试板(102)、测试触头(103),测试触头(103)的一端通过导线连接电阻表(101),测试触头(103)的另一端与测试板(102)连接,其特征在于:还包括调节组件(104),所述调节组件(104)分为横向调节组件和纵向调节组件;
所述横向调节组件包括支撑杆(107)、定位板(108)和锁紧螺母(113),所述支撑杆(107)与测试板(102)滑动连接,定位板(108)与支撑杆(107)转动连接,测试触头(103)穿过定位板(108)与测试板(102)连接,锁紧螺母(113)螺纹连接于支撑杆(107)的一侧;
所述纵向调节组件包括滑块(105)、滑槽块(106)、夹子(114)、固定板(115)和第二弹簧(116),所述滑槽块(106)固定连接于滑块(105)顶部并通过滑块(105)与测试板(102)滑动连接,所述固定板(115)固定于测试板(102)一侧,第二弹簧(116)的两端分别与固定板(115)、滑槽块(106)固定连接,所述夹子(114)用于固定滑槽块(106)的位置。
2.根据权利要求1所述的一种半导体器件电阻测试仪,其特征在于:还包括设于定位板(108)中部的伸缩机构(109),所述伸缩机构(109)包括安装管(110)、压板(111)和第一弹簧(112),所述安装管(110)可滑动的贯穿于定位板(108)内,测试触头(103)固定于安装管(110)内部,安装管(110)顶部固定有压板(111),第一弹簧(112)的上端与压板(111)固定连接。
3.根据权利要求1或2所述的一种半导体器件电阻测试仪,其特征在于:所述横向调节组件包括两组滑块(105)和滑槽块(106),且对称设置于支撑杆(107)两侧。
4.根据权利要求3所述的一种半导体器件电阻测试仪,其特征在于:所述固定板(115)固定于测试板(102)一侧的中部,且固定板(115)两侧各设有一组第二弹簧(116),两组第二弹簧(116)的两端分别与固定板(115)、滑槽块(106)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种半导体器件电阻测试仪,其特征在于:还包括螺纹杆(201)、固定块(202)、螺母(203)和安装板(204),所述安装板(204)固定连接于测试板(102)一侧,安装板(204)可沿螺纹杆(201)上下滑动并通过螺母(203)定位,固定块(202)固接于螺纹杆(201)底部。
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