CN218723170U - 管式炉工艺加热装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种管式炉工艺加热装置，其能够提高加热效率，缩短加热时间，降低加热功率。该管式炉工艺加热装置包括环形炉体和一或多个主控加热组。该环形炉体沿轴向被划分为位于炉体中间部位的一或多个主控区，其中至少一个主控区沿上下方向被划分为多个主控分区，并且每个主控分区相对于环形炉体沿周向分布。该主控加热组分别被对应地独立设置于该环形炉体的该主控区，其包括被一一对应地设置于多个主控分区的多个主加热部，并且多个主加热部相互独立。

Description

管式炉工艺加热装置

技术领域

本申请涉及管式炉工艺技术领域，特别是涉及一种管式炉工艺加热装置。

背景技术

半导体通常需要在内含反应腔的电加热装置内实现制程工艺(如硅片的镀膜工艺)，炉管工艺是太阳能电池最主要的设备平台，故加热装置内温度的均匀性是制程工艺质量的重要影响因素。管式炉工艺通常包括PECVD、LPCVD、扩散炉、退火炉等，例如，由于每次工艺因上下料开关炉门和充抽气的原因而导致炉体内的热量会流失一部分，因此每次工艺在反应前均需要再进行升温，使得炉体内的温度符合要求且尽可能地均匀；同时也要求能够减少加热时间，提升产能；降低电量需求，从而进一步降低生产成本。

目前，现有技术主要是考虑到炉口热量流失较多和炉尾区域热量流失较少，导致炉体轴向上的温度分布不均，故在炉体上沿轴向设置相互独立的多个加热结构，以根据需要单独控制每个加热结构的加热时间和加热速率，有助于提高加热效率，降低加热功耗。然而，在实际应用中，石墨舟中的石墨片均竖直放置于管状炉体内，且多个石墨片被间隔分布以承载硅片，使得最外侧的两个石墨片因最靠近炉体而升温最快，中间的石墨片因外侧石墨片的阻挡而升温较慢，导致外侧的硅片升温较快，而中间的硅片升温较慢，故需要提高加热功率和延长加热时间才能够使中间的硅片达到工艺的温度要求，但是提高加热功率会造成工艺成本增加，二延长加热时间会导致产能降低。此外，由于硅片之间存在温度差异，因此工艺厚度及光学参数的均匀性也会较差。

为了解决这一问题，申请号为201910807519.3的中国专利提供了一种加热炉体和半导体设备，其将加热结构沿炉体周向划分为两两相对的四个加热分部(即上下左右四个加热分部)，并且相对的两个加热分部在同一时间辐射出的热量相同，而相邻的两个加热分部在同一时间辐射出的热量不同，从而形成非均匀温场，以便补偿温度差异，实现炉内温度的均匀性。

然而，上述方案存在未能根据工况合理划分炉体加热区域。具体来说，加热石墨舟的加热结构采用上下左右四个分区以形成非均匀温场，仍然会使得石墨舟中靠近炉体两侧的硅片升温相对较快，中间的硅片则会因外侧石墨片的阻挡和石墨片的热传导而升温较慢，容易造成石墨舟的片间、片内温度不均匀，从而导致厚度及光学参数的均匀性较差，还需采用更大的加热功率和/或更长的加热时间。

实用新型内容

本申请的一个优势在于提供一种管式炉工艺加热装置，其能够提高加热效率，缩短加热时间，降低加热功率。

本申请的另一个优势在于提供一种管式炉工艺加热装置，其中，在本申请的一个实施例中，所述管式炉工艺加热装置能够适配炉内载片舟的布置进行分区加热，使得产生的热量更好地辐射至中间的载片，便于确保石墨片的升温更加均匀、快速。

本申请的另一个优势在于提供一种管式炉工艺加热装置，其中，在本申请的一个实施例中，所述管式炉工艺加热装置能够在保证快速升温的同时，避免能源浪费。

本申请的另一个优势在于提供一种管式炉工艺加热装置，其中为了达到上述目的，在本申请中不需要采用昂贵的材料或复杂的结构。因此，本申请成功和有效地提供一种解决方案，不只提供一种简单的管式炉工艺加热装置，同时还增加了所述管式炉工艺加热装置的实用性和可靠性。

为了实现本申请的上述至少一个优势或其他优点和目的，本申请提供了一种管式炉工艺加热装置，包括：

环形炉体，所述环形炉体沿轴向被划分为位于炉体中间部位的一或多个主控区，其中至少一个所述主控区沿上下方向被划分为多个主控分区，并且每个所述主控分区相对于环形炉体沿周向分布；和

一或多个主控加热组，所述主控加热组分别被对应地独立设置于所述环形炉体的所述主控区，其中至少一个所述主控加热组包括被一一对应地设置于多个所述主控分区的多个主加热部，并且多个所述主加热部相互独立。

根据本申请的一个实施例，每个所述主控分区相对于环形炉体的中轴线呈左右对称；所述主控区的多个所述主控分区包括正上方分区、侧上方分区、正下方分区以及侧下方分区；所述主控加热组的多个所述主加热部包括位于所述正上方分区的正上加热部、位于所述侧上方分区的侧上加热部、位于所述正下方分区的正下加热部以及位于所述侧下方分区的侧下加热部，所述正上加热部、所述侧上加热部、所述正下加热部以及所述侧下加热部分别被独立控制以在同一时间内辐射出不同的热量。

根据本申请的一个实施例，所述正上加热部、所述侧上加热部、所述正下加热部以及所述侧下加热部均具有左右对称结构。

根据本申请的一个实施例，所述主控区中的所述正上方分区和所述正下方分区均为连续的扇环形区域；所述主控区中的所述侧上方分区和所述侧下方分区均为间断的扇环形区域。

根据本申请的一个实施例，所述主控区中的所述侧上方分区和所述侧下方分区分别用于对应于被放置于所述环形炉体的载片舟的两个上角部和两个下角部。

根据本申请的一个实施例，所述环形炉体包括三个或三个以上的所述主控分区，并且所述管式炉工艺加热装置包括三个或三个以上的主控加热组，所述主控加热组分别被独立控制以在相同时间内辐射出不同的热量。

根据本申请的一个实施例，所述环形炉体沿轴向被划分为位于炉体两端部位的一对副控区，所述管式炉工艺加热装置进一步包括被对应地独立设置于所述环形炉体的所述副控区的一对副控加热组；所述环形炉体的两个所述副控区分别对应于所述环形炉体的炉口部位和炉尾部位；其中至少一个副控区沿上下方向被划分为上副控分区和下副控分区，并且所述副控加热组包括位于所述上副控分区的上副加热部和位于所述下副控分区的下副加热部，所述上副加热部和所述下副加热部分别被独立控制。

根据本申请的一个实施例，所述副控区中的所述上副控分区和所述下副控分区均为半圆环形区域。

根据本申请的一个实施例，所述主控加热组和所述副控加热组中的每个加热部均为加热丝，所述加热丝包括连接线体和沿着所述环形炉体的轴向延伸的多个螺旋线体，多个所述螺旋线体沿着所述环形炉体的周向被间隔布置，所述连接线体一体地连接于所述螺旋线体，以串联多个所述螺旋线体。

根据本申请的一个实施例，所述管式炉工艺加热装置进一步包括载片舟，所述载片舟被放置于所述环形炉体之内。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请的一个实施例提供的管式炉工艺加热装置的结构示意图；

图2示出了根据本申请的上述实施例的管式炉工艺加热装置的主控区的分区示意图；

图3示出了根据本申请的上述实施例的管式炉工艺加热装置的主控区的剖视放大示意图；

图4示出了根据本申请的上述实施例的管式炉工艺加热装置的副控区的剖视放大示意图；

图5示出了根据本申请的上述实施例的管式炉工艺加热装置中加热丝的结构示意图；

图6示出了根据本申请的上述实施例的加热丝中螺旋线体的剖视示意图。

附图标记：10、管式炉工艺加热装置；11、环形炉体；111、主控区；1110、主控分区；1111、正上方分区；1112、侧上方分区；11121、左侧上方区域；11122、右侧上方区域；1113、正下方分区；1114、侧下方分区；11141、左侧下方区域；11142、右侧下方区域；112、副控区；1121、上副控分区；1122、下副控分区；12、主控加热组；120、主加热部；121、正上加热部；122、侧上加热部；1221、左侧上方加热分部；1222、右侧上方加热分部；123、正下加热部；124、侧下加热部；1241、左侧下方加热分部；1242、右侧下方加热分部；13、副控加热组；131、上副加热部；132、下副加热部；1200、加热丝；1201、连接线体；1202、螺旋线体；20、载片舟；200、舟片。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请实施例的描述中，需要说明的是，术语“近”、“远”是相对的位置关系，当操作者操作一器械对目标物体进行处理时，沿这个器械，靠近操作者的一边为“近”，靠近目标物体的一边为“远”。

需要说明的是，当组件被称为“固定于”或“设置于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。本申请的说明书所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”、“下”可以是第一特征直接和第二特征接触，或第一特征和第二特征间接地通过中间媒介接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

除非另有定义，本申请的说明书所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请。本申请的说明书所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

考虑到现有技术中在未能根据工况合理划分炉体加热区域，使得炉体的升温和稳温需要更大的加热功率或更长的时间。为了解决这一问题，本申请提供了一种管式炉工艺加热装置，其能够提高加热效率，缩短加热时间，降低加热功率。

具体地，请参阅图1至图6，本申请的一个实施例提供了一种管式炉工艺加热装置10，其可以包括环形炉体11和一或多个主控加热组12。该环形炉体11沿轴向被划分为位于炉体中间部位的一或多个主控区111；其中至少一个该主控区111沿上下方向被划分为多个主控分区1110，并且每个主控分区1110相对于环形炉体11沿周向分布。该主控加热组12分别被对应地独立设置于该环形炉体11的该主控区111，其中至少一个主控加热组12包括被一一对应地设置于多个主控分区1110的多个主加热部120，并且多个主加热部120相互独立，用于分别被控制以能够在同一时间内辐射出不同的热量。

可选地，该环形炉体11沿轴向被划分为位于炉体两端部位的一对副控区112；该管式炉工艺加热装置10进一步包括一对副控加热组13，该副控加热组13被对应地独立设置于该环形炉体11的该副控区112，用于分别被控制以能够在同一时间内辐射出不同的热量。

更具体地，如图1和图3所示，该管式炉工艺加热装置10可以进一步包括用于承载底板(图中未示出)的载片舟20，载片舟20被放置于环形炉体11之内，以对经由载片舟20承载的底板进行加热，以便达到制程工艺的温度要求。可以理解的是，本申请的载片舟20可以但不限于被实施为石墨舟、石英舟以及碳化硅舟中的一种；本申请所提及的底板可以但不限于被实施为用于光伏电池的底板或硅片等。

可选地，每个主控分区1110相对于环形炉体11的中轴线L呈左右对称。

示例性地，如图2和图3所示，至少一个该主控区111的多个主控分区1110包括自上至下排布的正上方分区1111、侧上方分区1112、正下方分区1113以及侧下方分区1114。至少一个主控加热组12的多个主加热部120可以包括位于该正上方分区1111的正上加热部121、位于该侧上方分区1112的侧上加热部122、位于该正下方分区1113的正下加热部123以及位于该侧下方分区1114的侧下加热部124，该正上加热部121、该侧上加热部122、该正下加热部123以及该侧下加热部124分别被独立控制以在同一时间内辐射出不同的热量。

值得注意的是，如图3所示，本申请的载片舟20可以包括间隔地竖直布置的多个舟片200。与此同时，本申请的载片舟20被放置于环形炉体11的中间部分，本申请的主控区111的各个分区也是相对于载片舟20的方位来划分的；也就是说，本申请的环形炉体11的主控区111对应于载片舟20的放置位置；例如，如图3所示，本申请的主控区111的正上方分区1111可以指的是环形炉体11上位于该载片舟20中间位置的舟片200的正上方区域；本申请的主控区111的侧上方分区1112可以指的是环形炉体11上中位于该载片舟20中间位置的舟片200的侧上方区域；本申请的主控区111的正下方分区1113可以指的是环形炉体11上位于该载片舟20中间位置的舟片200的正下方区域；本申请的主控区111的侧下方分区1114可以指的是环形炉体11上位于该载片舟20中间位置的舟片200的侧下方区域。可以理解的是，本申请所提及的方位仅相对于载片舟20的放置位置(如舟片200竖直布置)来定义的，当载片舟20的放置位位置发生变化(如舟片200倾斜布置或水平布置)时，各个分区也会随之变化，只要确保各个分区沿着舟片200的放置方向来划分即可，本申请对此不再赘述。

相比于现有技术中将加热结构划分为上下左右四个加热分部，其左右两个加热分部位于载片舟20的左右两侧，只能将热量先辐射至载片舟20中最外侧的舟片200；而如图3所示，本申请的管式炉工艺加热装置10中的侧上加热部122和侧下加热部124因分别位于载片舟20的侧上方和侧下方而能够同时将热量直接辐射至载片舟20中最外侧和中间的舟片200，有助于实现加热效率的提高，缩短加热时间，降低加热功率。

此外，由于载片舟20在被放置于管式炉工艺加热装置10内进行加热时需要在其下部设置承载平台(图中未示出)，以承载载片舟20，导致载片舟20必须偏上放置，而无法完全居中放置；也就是说，如图3所示，载片舟20被左右对称且上下不对称地放置于管式炉工艺加热装置10之内，因此本申请的管式炉工艺加热装置10通过将主控区111划分为均相对于环形炉体11的中轴线L具有左右对称结构的正上方分区1111、侧上方分区1112、正下方分区1113以及侧下方分区1114；即本申请的主控加热组12中的该正上加热部121、该侧上加热部122、该正下加热部123以及该侧下加热部124均具有左右对称结构，以便确保载片舟20的左右两侧温度均匀性高度一致。

换言之，如图3所示，基于载片舟20在管式炉工艺加热装置10内被左右对称地放置，本申请的主控区111的侧上方分区1112既有左侧上方区域11121，又有右侧上方区域11122，也就是说，本申请的侧上加热部122包括同步控制的左侧上方加热分部1221和右侧上方加热分部1222，以从载片舟20的中间舟片200的左侧上方和右侧上方辐射同样的热量至左右两侧的舟片200处的底板，有助于使左右两侧的底板同步升温，提高温度均匀性。类似地，本申请的主控区111的侧下方分区1114既有左侧下方区域11141，又有右侧下方区域11142，也就是说，本申请的侧下加热部124包括同步控制的左侧下方加热分部1241和右侧下方加热分部1242，以从载片舟20的中间舟片200的左侧下方和右侧下方辐射同样的热量至位于左右两侧的舟片200处的底板，同样有助于使左右两侧的底板同步升温，提高温度均匀性。

与此同时，如图3所示，基于载片舟20在管式炉工艺加热装置10内被上下不对称地放置，本申请的主控区111中在上下方向依次排布的该正上加热部121、该侧上加热部122、该正下加热部123以及该侧下加热部124分别被独立控制以在同一时间内辐射出不同的热量，以便补偿载片舟20上不均匀的热阻分布，有助于使载片舟20所承载的底板均匀升温，确保底板具有较高的温度均匀性。可以理解的是，偏上放置的载片舟20的上部热阻小于其下部热阻，故正上加热部121的实际加热功率通常会小于正下加热部123的加热功率，侧上加热部122的加热功率同样会小于侧下加热部124的加热功率；反之亦反。

可选地，为了便于硬件选型和加工制造，本申请的正上加热部121的额定加热功率等于正下加热部123的额定加热功率；侧上加热部122的额定加热功率等于侧下加热部124的额定加热功率。而根据各分区的温度反馈，分别对应地控制各个加热部的实际加热功率，从而实现炉内温度的温度均匀。

值得注意的是，如图3所示，由于管式炉工艺加热装置10的环形炉体11通常具有圆形截面，而载片舟20通常具有矩形截面，因此载片舟20的四角部与环形炉体11距离最近，此处的热阻也最小；因此本申请的主控区111中的侧上方分区1112对应于载片舟20的两个上角部，且侧下方分区1114对应于载片舟20的两个下角部，使得侧上加热部122能够将热量直接辐射至所有舟片200的上半部和最外侧舟片200的全部，且侧下加热部124能够将热量直接辐射至所有舟片200的下半部和最外侧舟片200的全部，而不像现有技术中左右两侧的加热分部所辐射的热量会被最外侧的舟片阻挡而无法直接辐射至中间的舟片，故本申请的管式炉工艺加热装置10能够使载片舟20的升温更加均匀、快速。

可选地，如图3所示，该主控区111中的正上方分区1111和正下方分区1113均被实施为连续的扇环形区域；侧上方分区1112和侧下方分区1114均被实施为间断的扇环形区域；也就是说，正上方分区1111和正下方分区1113均被实施为一个扇环形区域，侧上方分区1112和侧下方分区1114均被实施为间隔布置的两个扇环形区域。例如：该主控区111中正上方分区1111的圆心角范围可以但不限于被实施为0°至15°和345°至360°；侧上方分区1112的圆心角范围可以但不限于被实施为15°至75°和285°至345°；正下方分区1113的圆心角范围可以但不限于被实施为165°至195°；侧下方分区1114的圆心角范围可以但不限于被实施为95°至165°和195°至265°。

此外，在炉口热量和炉尾热量均有流失情况下，炉口温度和炉尾温度均会低于炉中温度，而由于管式炉工艺加热装置10中环形炉体11的轴向尺寸较长，因此炉中温度在轴向上也会存在温度梯度，即炉中越靠近炉口和炉尾的炉段温度就越低，炉中越远离炉口和炉尾的炉段温度就越高。故本申请的该环形炉体11优选地包括三个或三个以上的主控区111；相应地，本申请的管式炉工艺加热装置10包括三个或三个以上的主控加热组12，并且主控加热组12分别被独立控制以在相同时间内辐射不同的热量，以便根据炉中各段温度反馈进行实际加热功率的调节控制，从而在提高炉中温度均匀性的同时，防止某段温度过高而造成资源浪费。可以理解的是，一般情况下，炉中最靠近炉口的炉段温度低于炉中最靠近炉尾的炉段温度，且炉中最靠近炉尾的炉段温度低于炉中远离炉口和炉尾的炉段温度，故可以控制最靠近炉口的主控加热组12的实际加热功率大于最靠近炉尾的主控加热组12的实际加热功率，且最靠近炉尾的主控加热组12的实际加热功率大于远离炉口和炉尾的主控加热组12的实际加热功率。

根据本申请的上述实施例，本申请的两个副控区112分别对应于环形炉体11的炉口部位和炉尾部位，而此处的温度较低。与此同时，由于载片舟20在被放置进环形炉体11的炉中后，环形炉体11的炉口部位和炉尾部位并没有载片舟20，因此本申请的管式炉工艺加热装置10的副控加热组13需要将温度较低的副控区112快速升温，以便维持炉内温度均匀。

示例性地，如图4所示，至少一个副控区112可以沿上下方向被划分为上副控分区1121和下副控分区1122；相应地，该副控加热组13可以包括位于该上副控分区1121的上副加热部131和位于该下副控分区1122的下副加热部132，该上副加热部131和该下副加热部132分别被独立控制，以在保证快速升温的同时，也能够够避免资源浪费。可以理解的是，正是由于炉口和炉尾对应的副控区112不存在载片舟20，使得位于副控区112的加热部无需像主控区111处的加热部那样细致划分，因此本申请的副控加热组13仅需要包括两个加热部就能够满足加热需求，有助于降低制造成本，节省资源。

可选地，如图4所示，本申请的副控区112中的上副控分区1121和下副控分区1122均被实施为半圆环形区域。可以理解的是，本申请的副控区112也可以被划分为左副控分区和右副控分区，或者其他方位的副控分区；当然，在本申请的其他示例中，该副控区112也可以不划分分区，直接被实施为圆环区域，仍能够实现所需的加热要求，本申请对此不再赘述。

根据本申请的上述实施例，如图5所示，本申请的主控加热组12中每个加热部均被实施为加热丝1200。此外，本申请可以通过使每个加热丝1200中的电流和/或电压不同来实现在同一时间内辐射出不同的热量；当然，在本申请的其他示例中，还可以通过使加热丝1200的分布密度和/或直径不同来实现，或者也可以采用其他任意结构的加热元件来实现，本申请对此不再赘述。

可选地，如图5和图6所示，每个加热丝1200可以包括连接线体1201和沿着环形炉体11的轴向延伸的多个螺旋线体1202，多个螺旋线体1202沿着环形炉体11的周向被间隔布置，连接线体1201一体地连接多个螺旋线体1202以串联多个螺旋线体1202，从而形成连续的加热线体，便于对每个加热丝1200单独控制和调节；换言之，本申请的每个加热丝1200可以由一根加热线间隔地分段螺旋缠绕而成，即连接线体1201和螺旋线体1202分别对应于同一根加热线上的不同线段。可以理解的是，本申请的加热丝1200中的多个螺旋线体1202可以被方便地布置于侧上方分区1112中相互分隔的左侧上方区域和右侧上方区域内，并通过连接线体1201将跨区域串联螺旋线体1202，以便确保左侧上方加热分部和右侧上方加热分部能够被同步控制，以在相同时间内辐射出相同的热量。

可选地，各个连接线体1201将同一分区内相邻的螺旋线体1202的首尾两端串联，以便缩短连接线体1201的长度。

值得注意的是，本申请的副控加热组13中的每个加热部也可以被实施为上述加热丝，本申请对此不再赘述。此外，本申请的管式炉工艺加热装置10中每个独立分区有单独的温度反馈及控制装置等辅助装置，以方便使每个分区能够独立工作，本申请对此不再赘述。

以上实施例的各技术特征在不改变本实用新型的基本原理的情况下，可以进行组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请的专利保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种管式炉工艺加热装置，其特征在于，包括：

环形炉体，所述环形炉体沿轴向被划分为位于炉体中间部位的一或多个主控区，其中至少一个所述主控区沿上下方向被划分为多个主控分区，并且每个所述主控分区相对于环形炉体沿周向分布；和

一或多个主控加热组，所述主控加热组分别被对应地独立设置于所述环形炉体的所述主控区，其中至少一个所述主控加热组包括被一一对应地设置于多个所述主控分区的多个主加热部，并且多个所述主加热部相互独立。

2.根据权利要求1所述的管式炉工艺加热装置，其特征在于，每个所述主控分区相对于环形炉体的中轴线呈左右对称；所述主控区的多个所述主控分区包括正上方分区、侧上方分区、正下方分区以及侧下方分区；所述主控加热组的多个所述主加热部包括位于所述正上方分区的正上加热部、位于所述侧上方分区的侧上加热部、位于所述正下方分区的正下加热部以及位于所述侧下方分区的侧下加热部，所述正上加热部、所述侧上加热部、所述正下加热部以及所述侧下加热部分别被独立控制以在同一时间内辐射出不同的热量。

3.根据权利要求2所述的管式炉工艺加热装置，其特征在于，所述正上加热部、所述侧上加热部、所述正下加热部以及所述侧下加热部均具有左右对称结构。

4.根据权利要求3所述的管式炉工艺加热装置，其特征在于，所述主控区中的所述正上方分区和所述正下方分区均为连续的扇环形区域；所述主控区中的所述侧上方分区和所述侧下方分区均为间断的扇环形区域。

5.根据权利要求4所述的管式炉工艺加热装置，其特征在于，所述主控区中的所述侧上方分区和所述侧下方分区分别用于对应于被放置于所述环形炉体的载片舟的两个上角部和两个下角部。

6.根据权利要求1至5中任一所述的管式炉工艺加热装置，其特征在于，所述环形炉体包括三个或三个以上的所述主控分区，并且所述管式炉工艺加热装置包括三个或三个以上的主控加热组，所述主控加热组分别被独立控制以在相同时间内辐射出不同的热量。

7.根据权利要求1至5中任一所述的管式炉工艺加热装置，其特征在于，所述环形炉体沿轴向被划分为位于炉体两端部位的一对副控区，所述管式炉工艺加热装置进一步包括被对应地独立设置于所述环形炉体的所述副控区的一对副控加热组；所述环形炉体的两个所述副控区分别对应于所述环形炉体的炉口部位和炉尾部位；其中至少一个副控区沿上下方向被划分为上副控分区和下副控分区，并且所述副控加热组包括位于所述上副控分区的上副加热部和位于所述下副控分区的下副加热部，所述上副加热部和所述下副加热部分别被独立控制。

8.根据权利要求7所述的管式炉工艺加热装置，其特征在于，所述副控区中的所述上副控分区和所述下副控分区均为半圆环形区域。

9.根据权利要求7所述的管式炉工艺加热装置，其特征在于，所述主控加热组和所述副控加热组中的每个加热部均为加热丝，所述加热丝包括连接线体和沿着所述环形炉体的轴向延伸的多个螺旋线体，多个所述螺旋线体沿着所述环形炉体的周向被间隔布置，所述连接线体一体地连接于所述螺旋线体，以串联多个所述螺旋线体。

10.根据权利要求1至5中任一所述的管式炉工艺加热装置，其特征在于，所述管式炉工艺加热装置进一步包括载片舟，所述载片舟被放置于所述环形炉体之内。

Images