CN218638156U - 一种清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种清洗装置，涉及半导体加工技术领域。本实用新型包括内部具有空腔的壳体，壳体的空腔内设有将空腔分隔成四个腔体的分隔组件，四个腔体分别为上下料腔体、第一腔体、第二腔体和第三腔体，四个腔体内分别设有支撑框，所述分隔组件上设有可升降和转动的撑柱，所述支撑框与撑柱之间通过连接件连接，所述第一腔体、第二腔体和第三腔体内设有清洗组件。

Description

一种清洗装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种清洗装置。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用。

现有技术中，半导体在生产制造中需要被清洗，目前的清洗方式一般是先用超声波对产品进行清洗，再将产品转移到温水中进行清洗，最后再进行喷淋，在此过程中，通过人工进行物料转移，降低了作业效率，提高了人工劳动强度。

实用新型内容

本实用新型的目的是开发一种提高作业效率的清洗装置。

本实用新型通过如下的技术方案实现：

一种清洗装置，包括：

壳体，内部具有空腔；

分隔组件，设于壳体的空腔内，将壳体内的空腔分隔成四个腔体，四个腔体分别为上下料腔体、第一腔体、第二腔体和第三腔体；

四个支撑框，分别设于四个腔体内；

清洗框，设于支撑框中；

其中，所述分隔组件上设有可升降和转动的撑柱，所述支撑框与撑柱之间通过连接件连接，所述第一腔体、第二腔体和第三腔体内设有清洗组件。

可选的，所述壳体内的四个腔体呈与撑柱转动轴同轴的圆形布置。

可选的，所述壳体内具有长方体形的空腔，所述分隔组件包括两个竖直设置的隔板，两个所述隔板中部相互垂直连接呈“十”字形，四个腔体为相同的长方体形。

可选的，所述第一腔体内的清洗组件包括设于其下方壳体内的超声波发生器及相应的换能器，换能器均匀布置于所述第一腔体底部，所述第一腔体上部和底部外侧的壳体上分别设有第一进液管和第一排液管。

可选的，所述第二腔体内的清洗组件包括第二进液管和第二排液管，所述第二进液管和第二排液管分别设于第二腔体上部和底部外侧的壳体上。

可选的，所述第三腔体内的清洗组件包括喷淋箱，所述喷淋箱滑动设于第三腔体顶部的壳体上，所述喷淋箱上设有与其连通的喷淋管，所述喷淋箱底部均匀布满多个喷淋孔，所述第三腔体底部的外侧壳体上设有第三排液管。

可选的，所述第三腔体侧部的壳体顶部设有容纳喷淋箱滑动的滑槽，所述喷淋箱的外端部设有与其连接的撑座，所述滑槽两侧壁上分别设有滑轨，所述喷淋箱及撑座两侧壁上对应位置分别设有与滑轨配合的滑块，所述喷淋箱下方的壳体外壁上设有直线滑台，所述直线滑台的执行部与撑座连接。

可选的，所述撑柱下方的分隔组件内设有竖直设置的气缸，所述气缸活塞杆的顶端设有支座，所述撑柱转动设于支座顶部，所述支座内设有与撑柱传动连接的电机。

可选的，所述清洗框为长方体形，所述支撑框为形状与清洗框顶部轮廓适配的长方形，所述清洗框顶部四个侧边的中部皆设有与支撑框配合的扩大端。

可选的，所述连接件包括设于支撑框其中一外壁上的连接杆，所述连接杆端部设有L形杆，所述L形杆具有竖直部和水平部，所述L形杆的竖直部与连接杆连接，所述L形杆的水平部与撑柱连接。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型自动将装载物料的清洗框在不同腔体中转移，腔体内包含的清洗组件自动对物料进行清洗，操作人员只需在上下料腔体中取出或放入装载物料的清洗框即可，作业效率大幅提高，操作人员的劳动强度降低。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型结构图；

图2为撑座与直线滑台连接示意图。

具体实施方式

在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本发明创造的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。

在本发明创造的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明创造的限制。

下面结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明。

如图1和图2所示，本实用新型公开了一种清洗装置，包括壳体1，壳体1呈长方体形，壳体1顶部为开口结构。

壳体1内具有长方体形的空腔，壳体1的空腔内设有分隔组件，分隔组件包括两个隔板3，两个隔板3竖直设置，两个隔板3中部相互垂直连接呈“十”字形。

两个隔板3将壳体1内的空腔分隔成四个相同的长方体形的腔体，四个腔体在壳体1内壁的周向方向上分别为上下料腔体104、第一腔体101、第二腔体102和第三腔体103，四个腔体中皆设有清洗组件。

第一腔体101上部和底部外侧的壳体1上分别设有第一进液管105和第一排液管106，清洗液由第一进液管105注入第一腔体101，完成清洗后由第一排液管106排出。

第一腔体101下方的壳体1内设有超声波发生器及相应的换能器，换能器均匀布置于第一腔体101底部。

第二腔体102上部和底部外侧的壳体1上分别设有第二进液管108和第二排液管107，清洗液由第二进液管108注入第二腔体102，完成清洗后由第二排液管107排出。

第三腔体103底部设有与其连通的第三排液管109，第三腔体103侧部的壳体1顶部设有滑槽，滑槽内滑动设有喷淋箱8，喷淋箱8的外端部设有与其连接的撑座9。滑槽两侧壁上分别设有滑轨12，喷淋箱8及撑座9两侧壁上对应位置分别设有与滑轨12配合的滑块11。

喷淋箱8下部的壳体1外壁上设有撑板13，撑板13水平设置，撑板13上设有直线滑台14，直线滑台14沿喷淋箱8滑动方向设置，直线滑台14的执行部与撑座9连接，直线滑台14驱动撑座9滑动，使撑座9带动喷淋箱8滑动，使喷淋箱8滑入或退出第三腔体103。

喷淋箱8内部为空腔，喷淋箱8底面设有多个喷淋孔，喷淋孔与喷淋箱8内部的空腔连通，多个喷淋孔呈矩阵均匀布置。撑座9上设有喷淋管10，喷淋管10与喷淋箱8内部的空腔连通。

两隔板3中部连接处的内部设有竖直设置的气缸，气缸的活塞杆竖直朝上，气缸活塞杆的顶端设有支座，支座顶部设有与其转动连接的撑柱4，支座内设有与撑柱4传动连接的电机。撑柱4为圆柱形且竖直设置，撑柱4绕其轴线转动，撑柱4的轴线处于四个腔体的中间。

四个腔体内分别设有清洗框2和支撑框5，清洗框2为长方体形，清洗框2上布满若干透孔，物料放置于清洗框2内进行清洗。支撑框5为形状与清洗框2顶部轮廓适配的长方形，清洗框2顶部四个侧边的中部皆设有与支撑框5配合的扩大端201，扩大端201向清洗框2外侧延伸。清洗框2放入支撑框5后，清洗框2顶部的四个扩大端201抵在支撑框5上，实现支撑框5对清洗框2的装载。扩大端201也作为清洗框2的把持部，作业人员通过扩大端201提取清洗框2进行转移。

支撑框5的其中一外壁上设有连接杆6，连接杆6端部设有与撑柱4连接的L形杆7，L形杆7具有竖直部和水平部，L形杆7的竖直部与连接杆6连接，L形杆7的水平部与撑柱4连接。气缸运转，带动撑柱4升降，撑柱4通过L形杆7和连接杆6带动支撑框5升降，支撑框5带动清洗框2升降。电机转动，带动撑柱4转动，撑柱4带动支撑框5及清洗框2转动。

在上下料腔体104内，将装有物料的清洗框2放入上下料腔体104的支撑框5中，完成了物料的上料。气缸驱动撑柱4上升，使支撑框5上升带动清洗框2离开上下料腔体104。

电机运转驱动撑柱4转动九十度，使支撑框5带动清洗框2旋转至第一腔体101上方，气缸下降，使支撑框5带动清洗框2进入第一腔体101内。第一进液管105向第一腔体101中注入相应温度的清洗液，在超声波发生器及换能器的运转下，清洗框2内的物料在第一腔体101中进行超声波清洗，完成清洗后，第一排液管106将残液排出。

在气缸及电机的配合下，使得支撑框5带动清洗框2从第一腔体101离开并进入第二腔体102内，第二进液管108向第二腔体102内注入清洗液，对清洗框2内的物料进行漂洗，完成漂洗后，第二排液管107排出第二腔体102内的残液。

在气缸及电机的配合下，支撑框5带动清洗框2从第二腔体102离开并进入第三腔体103中，直线滑台14驱动撑座9滑动，撑座9带动喷淋箱8滑入第三腔体103中，使喷淋箱8进入清洗框2的上方，喷淋管10向喷淋箱8的空腔中泵入清洗液，清洗液由喷淋孔进入清洗框2的物料上，对物料进行喷淋冲洗。

物料在第三腔体103中完成喷淋冲洗后，在气缸及电机的配合下，支撑框5带动清洗框2从第三腔体103离开并进入上下料腔体104中，在上下料腔体104中取出清洗框2完成下料，然后再次进行上料。上下料腔体104底部的壳体1外壁上设有第四排液管110，第四排液管110与上下料腔体104连通，清洗框2内流出的液体由第四排液管110排出。

本实用新型自动将装载物料的清洗框2在不同腔体中转移，腔体内包含的清洗组件自动对物料进行清洗，操作人员只需在上下料腔体104中取出或放入装载物料的清洗框2即可，作业效率大幅提高，操作人员的劳动强度降低。

上述实施例只是本实用新型的较佳实施例，并不是对本实用新型技术方案的限制，只要是不经过创造性劳动即可在上述实施例的基础上实现的技术方案，均应视为落入本实用新型专利的权利保护范围内。

Claims (10)

1.一种清洗装置，其特征在于，包括：

壳体，内部具有空腔；

分隔组件，设于壳体的空腔内，将壳体内的空腔分隔成四个腔体，四个腔体分别为上下料腔体、第一腔体、第二腔体和第三腔体；

四个支撑框，分别设于四个腔体内；

清洗框，设于支撑框中；

其中，所述分隔组件上设有可升降和转动的撑柱，所述支撑框与撑柱之间通过连接件连接，所述第一腔体、第二腔体和第三腔体内设有清洗组件。

2.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述壳体内的四个腔体呈与撑柱转动轴同轴的圆形布置。

3.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述壳体内具有长方体形的空腔，所述分隔组件包括两个竖直设置的隔板，两个所述隔板中部相互垂直连接呈“十”字形，四个腔体为相同的长方体形。

4.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述第一腔体内的清洗组件包括设于其下方壳体内的超声波发生器及相应的换能器，换能器均匀布置于所述第一腔体底部，所述第一腔体上部和底部外侧的壳体上分别设有第一进液管和第一排液管。

5.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述第二腔体内的清洗组件包括第二进液管和第二排液管，所述第二进液管和第二排液管分别设于第二腔体上部和底部外侧的壳体上。

6.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述第三腔体内的清洗组件包括喷淋箱，所述喷淋箱滑动设于第三腔体顶部的壳体上，所述喷淋箱上设有与其连通的喷淋管，所述喷淋箱底部均匀布满多个喷淋孔，所述第三腔体底部的外侧壳体上设有第三排液管。

7.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述第三腔体侧部的壳体顶部设有容纳喷淋箱滑动的滑槽，所述喷淋箱的外端部设有与其连接的撑座，所述滑槽两侧壁上分别设有滑轨，所述喷淋箱及撑座两侧壁上对应位置分别设有与滑轨配合的滑块，所述喷淋箱下方的壳体外壁上设有直线滑台，所述直线滑台的执行部与撑座连接。

8.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述撑柱下方的分隔组件内设有竖直设置的气缸，所述气缸的顶端设有支座，所述撑柱转动设于支座顶部，所述支座内设有与撑柱传动连接的电机。

9.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗框为长方体形，所述支撑框为形状与清洗框顶部轮廓适配的长方形，所述清洗框顶部四个侧边的中部皆设有与支撑框配合的扩大端。

10.根据权利要求9所述的清洗装置，其特征在于，所述连接件包括设于支撑框其中一外壁上的连接杆，所述连接杆端部设有L形杆，所述L形杆具有竖直部和水平部，所述L形杆的竖直部与连接杆连接，所述L形杆的水平部与撑柱连接。

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