CN218585060U - 一种光纤调节装置 - Google Patents

Abstract

一种光纤调节装置，包括：接头组件以及第一调节机构；接头组件用于安装光纤；第一调节机构包括第一移动组件、第一调节组件以及第二调节组件，第一调节组件以及第二调节组件分别装设于预设组件上，第一调节组件用于驱动第一移动组件相对于预设组件在第一方向上运动，第二调节组件用于驱动第一移动组件相对于预设组件在第二方向上运动；接头组件与第一移动组件在第三方向上相抵接，以使得接头组件与第一移动组件相对固定，接头组件跟随所述第一移动组件运动。本申请可以解决关联性的调节偏差问题，提高调节效果。

Description

一种光纤调节装置

技术领域

本申请涉及光路校准技术领域，具体涉及一种光纤调节装置。

背景技术

在物体表面检测中，需要采用光纤传导检测光照射在物体的表面，目前应用于光接收传递的光纤束大多数是被固定住的，无法根据入射光源的中心位置的偏移而进行灵活的校准光纤束的中心位置，然而被固定的光纤束无法被灵活的调节中心位置，无法实现光斑的微调校准。

采用调节装置对光源发出的检测光进行偏移和/或俯仰等方位调整，以改变检测光到光路设备中的镜筒的入射方位，然后由光路设备对检测光进一步处理后发送至探测单元。

现有的光源调节装置对光源各个入射方位的调整是相互关联的，当需要对光源某一入射方位做调整时，其他入射方位也会因为关联性而发生不必要的变动，进而产生机械误差或光源偏差等误差项，影响最后的探测结果。例如，调整偏移的时候，导致俯仰问题出现。

实用新型内容

本实用新型主要解决的技术问题是现有光源调节装置中还存在关联性的调节偏差，调节效果还待提高。

根据本申请的第一方面，一种实施例中提供一种光纤调节装置，包括：接头组件以及第一调节机构；

接头组件用于安装光纤；

第一调节机构包括第一移动组件、第一调节组件以及第二调节组件，第一调节组件以及第二调节组件分别装设于预设组件上，第一调节组件用于驱动第一移动组件相对于预设组件在第一方向上运动，第二调节组件用于驱动第一移动组件相对于预设组件在第二方向上运动；

接头组件与第一移动组件在第三方向上相抵接，以使得接头组件与第一移动组件相对固定，接头组件跟随第一移动组件运动；

其中，第一方向、第二方向以及第三方向中两两垂直。

在一种实施例中，光纤调节装置还包括第一壳体和第二调节机构；

接头组件具有与光纤的光纤头匹配的第一安装孔；

第一壳体具有与第一安装孔连通的光路通道，光纤发出的光能够穿过第一安装孔以及光路通道向光纤调节装置的外部发射；

第二调节机构包括第二移动组件以及第三调节组件，第三调节组件安装在第一壳体上，第三调节组件用于驱动第二移动组件相对于第一壳体在第三方向上运动；

预设组件为第二移动组件；

第一调节机构连接在第二移动组件上且跟随第二移动组件在第三方向上运动。

在一种实施例中，接头组件包括接头与第一连接组件，接头具有第一安装孔，接头安装在第一连接组件上，第一连接组件与第一移动组件在第三方向上相抵接；第一移动组件具有第一接触面，第一连接组件具有第二接触面，第一接触面与第二接触面相抵接，且第一接触面与第二接触面平行或不平行，通过调节第一接触面与第二接触面的抵接角度，以调整第一安装孔的轴向方向与第三方向的空间夹角。

在一种实施例中，第一移动组件包括第一调节环，第一调节环具有用于套设第一连接组件的第一通孔，第一调节环的第一端面与第一连接组件相抵接，第一调节环的第二端面与第二移动组件相抵接，第一调节环的第一端面为第一接触面，第一调节环的第一端面与第二端面之间呈预设夹角，第一调节组件与第二调节组件分别作用于第一调节环的外侧面以驱动第一调节环运动。

在一种实施例中，第一调节机构还包括第一复位组件，第一复位组件用于在第一移动组件相对于第一预设位置在第一方向或第二方向上发生偏移时提供复位的作用力，以驱动第一移动组件向第一预设位置运动；

和/或，第一调节机构还包括第一紧固组件，第一紧固组件用于限制第一调节组件驱动第一移动组件运动；和/或，第二调节机构还包括第二紧固组件，第二紧固组件用于限制第二调节组件驱动第二移动组件运动。

在一种实施例中，光纤调节装置还包括第一压紧组件，第一压紧组件用于与第一连接组件相抵接，以使得第一连接组件与第一移动组件相抵接。

在一种实施例中，第一压紧组件包括第一盖板以及多个第一弹性件，第一弹性件设置于第一盖板与第一连接组件之间，第一盖板安装在第二移动组件上，第一弹性件始终处于被压缩的状态，以使得第一连接组件与第一移动组件相抵接。

在一种实施例中，第一调节组件安装在第二移动组件上，第一调节组件包括第一螺纹件，第一螺纹件通过螺纹转动来驱动第一移动组件在第一方向上运动；

和/或，第二调节组件安装在第二移动组件上，第二调节组件包括第二螺纹件，第二螺纹件通过螺纹转动来驱动第二移动组件在第二方向上运动。

在一种实施例中，第二调节机构还包括第一限位组件，第二移动组件设有与第一限位组件匹配的第一限位部，第一限位组件安装在第一壳体上，第一限位组件用于通过与第一限位部相抵接，以使得第二移动组件在第三方向上运动时不转动；

或者，第二调节机构还包括第一限位组件，第一壳体设有与第一限位组件匹配的第二限位部，第一限位组件安装在第二移动组件上，第一限位组件用于通过与第二限位部相抵接，以使得第二移动组件在第三方向上运动时不转动。

在一种实施例中，第一限位组件包括第一销钉，第一限位部为与第一销钉匹配的第一限位槽，或者第二限位部为与第一销钉匹配的第二限位槽。

在一种实施例中，第二调节机构还包括第二复位组件，第二复位组件用于在第二移动组件相对于第二预设位置在第三方向上发生偏移时提供复位的作用力，以驱动第二移动组件向第二预设位置运动。

在一种实施例中，第二调节机构还包括第三紧固组件，第三紧固组件可拆卸安装在第一壳体上，第三紧固组件用于限制第二移动组件相对于第一壳体在第三方向上的位置。

在一种实施例中，第一壳体的外壁设有螺纹结构，第三调节组件通过螺纹套设在第一壳体上，第二移动组件的外壁具有第一凸起，第三调节组件套设在第二移动组件外并与第一凸起相抵接，第三调节组件通过螺纹转动相对于第一壳体在第三方向上运动，第二移动组件跟随第三调节组件运动；

第三紧固组件通过螺纹套设在第一壳体上，通过螺纹转动改变在第一壳体上的位置，第三紧固组件通过与第三调节组件相抵接，以限定第三调节组件相对于第一壳体在第三方向上的位置。

在一种实施例中，第二移动组件设有与光路通道连通的第一开口，通过第一开口能够将第一类光学元件放置在光路通道中；

和/或，第一壳体设有与光路通道连通的第二开口，通过第二开口能够将第二类光学元件放置在光路通道中。

本申请的有益效果：

依据上述实施例的光纤调节装置，第一调节组件以及第二调节组件分别装设于预设组件上，在调节光纤在第一方向以及第二方向上的位置时，第一调节组件以及第二调节组件驱动第一移动组件相对于预设组件移动，带动接头组件在第一方向以及第二方向上运动，但并不会使得预设组件在第一方向或第二方向，也不会使得接头组件在第三方向上运动；且光纤在第三方向上调整位置时，预设组件在第三方向运动，第一移动组件跟随预设组件在第三方向上运动，但在预设组件不会在第一方向或第二方向上运动，第一移动组件在第一方向或第二方向上也不运动；通过该光纤调节装置，在调整光纤偏移时(对应第一方向/第二方向)，不会出现俯仰问题(即光纤在第三方向上不运动)；在调整光纤俯仰问题时(对应第三方向)，光纤不会出现偏移问题(即光纤在第一方向/第二方向不运动)，可以解决关联性的调节偏差问题，提高调节效果。

附图说明

图1为一种实施例的检测光斑的示意图；

图2为一种实施例的光纤调节装置的结构示意图(一)；

图3为一种实施例的光纤调节装置的结构示意图(二)；

图4为一种实施例的光纤调节装置的结构示意图(三)；

图5为一种实施例的光纤调节装置的结构示意图(四)；

图6为一种实施例的光纤调节装置的结构示意图(五)；

图7为一种实施例的光纤调节装置的结构示意图(六)；

图8为一种实施例的光纤调节装置的结构示意图(七)；

图9为一种实施例的接头组件与第一移动组件的结构示意图；

图10为一种实施例的抵接角度的调整过程示意图。

附图标记：1-光纤；21-第一弹性件；22-第一盖板；23-接头组件；231-接头；232-第一连接组件；2320-第二接触面；24-第一移动组件；241-第一接触面；25-第一调节组件；26-第二调节组件；27-第一复位组件；28-第一紧固组件；29-第二紧固组件；30-第二移动组件；301-第一开口；302-第一凸起；303-第一限位部；31-第一限位组件；32-第二复位组件；33-第三调节组件；34-第三紧固组件；35-第一壳体；351-第二开口；352-第二安装孔。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本申请作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元组件采用了相关联的类似的元组件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元组件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式，各实施例所涉及的操作步骤也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的组成和/或顺序。

本文中为部组件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。

在检测技术领域中，常采用光纤传输检测光束，光束照射在待测件的待测面上形成检测光斑，通过获取检测光斑的光信息，可以对被照射的区域进行缺陷检测，可以是采用探测器进行图像获取，形成检测图像，并针对检测图像进行缺陷分析。例如是，通过检测光束照射在晶圆的表面，根据反射光或散射光的等光信息，可以检测晶圆的表面缺陷。

以探测器的相机坐标系为基准，在检测的过程中，需要检测光束形成的光斑的大小(聚焦程度)、形状(照射角度)以及位置达到理想情况，这样才能保证检测图像的质量。如图1所示，在图1A中，假设光斑的理想位置为图1A所示，那么由于一些影响因素，导致光斑的大小(聚焦程度)、形状(照射角度)以及位置都达不到理想光斑对应的大小、形状以及位置要求。如图1B所示，当光纤的出射口距离待测面的距离存在偏差(即Z轴方向偏移)，导致光斑的聚焦程度出现偏差，导致光斑偏大或偏小。如图1C所示，当光纤的出射方向与预设出射方向存在夹角时，导致光斑变形，还会出现位置偏移的现象。如图1D所示，光斑还会出现在X轴或Y轴上的位置偏移。

在实际检测中，检测光通过光纤传输，通过采用光纤调节装置安装在指定的位置，一般将光纤调节装置安装在运动机构上，通过运动机构改变检测光束照射的位置。具有图1中出现的光斑异常现象，就需要光纤调节装置至少能在X轴、Y轴以及Z轴方向进行调节，至少能对离焦光斑以及偏移光斑进行调整。由于涉及到三个方向上的调整，根据光纤调节装置的具体结构，调节的效果也不同，现有的一些光纤调节装置，在调节一个方向的时候，其他的一个或两个方向也会出现关联性被动调节，导致光斑调节效果不佳。例如，在调节偏移光斑时，导致出现了光斑大小的变化。需要说明的是，光斑的离焦，也可以是说光斑出现了俯仰问题，即在Z轴的上位置出现的上下位置偏移问题。

本申请实施例中，通过两个相对独立的调节机构，分别针对光斑的偏移以及俯仰进行调节，两个调节机构之间不会互相影响，在调整光纤1偏移时(对应第一方向/第二方向)，不会出现俯仰问题(即光纤1在第三方向上不运动)；在调整光纤1俯仰问题时(对应第三方向)，光纤1不会出现偏移问题(即光纤1在第一方向/第二方向不运动)，可以解决关联性的调节偏差问题，提高调节效果。

如图2至图8所示，一种实施例中提供一种光纤调节装置，光纤调节装置可以包括：接头组件23、第一壳体35、第一调节机构以及第二调节机构。

接头组件23用于安装光纤1，接头组件23具有与光纤1的光纤头匹配的第一安装孔。在一些实施例中，接头组件23可以包括接头231与第一连接组件232，接头231具有第一安装孔，接头231通过卡接或螺纹连接或抵接的方式安装在第一连接组件232上。

第一壳体35具有与第一安装孔连通的光路通道，光纤1发出的光能够穿过第一安装孔以及光路通道向光纤调节装置的外部发射。第一壳体35上还可以设有安装孔，该安装孔用于将光纤调节装置检测设备的运动机构或机台上。在一些实施例中，如图7与图8所示，光纤1通过安装在接头231的第一安装孔上，第一安装孔与光路通道连通，检测光束可以直接通过第一安装孔后进入光路通道中。

第二调节机构可以包括第二移动组件30以及第三调节组件33，第三调节组件33安装在第一壳体35上，第三调节组件33用于驱动第二移动组件30相对于第一壳体35在第三方向上运动。

第一调节机构连接在第二移动组件30上且跟随第二移动组件30在第三方向上运动；第一调节机构可以包括第一移动组件24、第一调节组件25以及第二调节组件26，第一调节组件25以及第二调节组件26分别安装在第二移动组件30上，第一调节组件25用于驱动第一移动组件24相对于第二移动组件30在第一方向上运动，第二调节组件26用于驱动第一移动组件24相对于第二移动组件30在第二方向上运动。在一些实施例中，第一调节机构可以通过抵接的方式连接在第二移动组件30上，第二移动组件30被第三调节组件33驱动时，第一调节机构也只会在第三方向上跟随运动，在第一方向以及第二方向上不会发生运动。与之对应的，由于第二移动组件30与第一调节组件25之间可以是刚性抵接，第一调节组件25在自身进行对第一移动组件24调节时，并不会使得第二移动组件30在第三方向上运动。

接头组件23与第一移动组件24在第三方向上相抵接，以使得接头组件23与第一移动组件24相对固定，接头组件23跟随第一移动组件24运动。其中，第一方向、第二方向以及第三方向中两两垂直。由于接头组件23与第一移动组件24抵接，接头组件23跟对第一移动组件24运动，第一移动组件24又跟随第二移动组件30运动，因此第二调节机构与第一调节机构可以驱动接头组件23在三个方向进行运动，以使得光斑可以进俯仰以及偏移的调节。

依据上述实施例的光纤调节装置，由于第一调节组件25连接在第二移动组件30上，在调节光纤1在第一方向以及第二方向上的位置时，第一移动组件24相对于第二移动组件30移动，但并不会使得第二移动组件30在第一方向或第二方向或第三方向运动；且光纤1在第三方向上调整位置时，第二移动组件30在第三方向运动，第一移动组件24跟随第二移动组件30在第三方向上运动，但在第二移动组件30不会在第一方向或第二方向上运动，第一移动组件24在第一方向或第二方向上也不运动；通过该光纤调节装置，在调整光纤1偏移时(对应第一方向/第二方向)，不会出现俯仰问题(即光纤1在第三方向上不运动)；在调整光纤1俯仰问题时(对应第三方向)，光纤1不会出现偏移问题(即光纤1在第一方向/第二方向不运动)，可以解决关联性的调节偏差问题，提高调节效果。

下面针对光纤调节装置的各个机构以及组件进行具体说明。

在一些实施例中，光纤1可以通过插接、抵接、卡接或套设等可拆卸地方式固定在第一安装孔上，这一安装步骤需要依靠人工安装，此时，基于人工操作以及光纤头的加工精度以及第一安装孔的加工精度，就会导致光纤1的出射口轴向方向与第一安装孔的轴向方向存在夹角，一般小于1°，这就导致光斑会出现如图1C的变形问题。可见出现该变形问题，通过在第一方向、第二方向以及第三方向进行调节也不能解决该问题。在本申请中，通过采用组合式的接头组件23，配合与其抵接的第一移动组件24来解决。如图5至图8所示，接头组件23可以包括接头231与第一连接组件232，接头231具有第一安装孔，接头231安装在第一连接组件232上，第一连接组件232与第一移动组件24在第三方向上相抵接；如图9与图10所示，第一移动组件24具有第一接触面241，第一连接组件232具有第二接触面2320，第一接触面241与第二接触面2320相抵接，且第一接触面241与第二接触面2320平行或不平行，通过调节第一接触面241与第二接触面2320的抵接角度，以调整第一安装孔的轴向方向与第三方向的空间夹角。

在一些实施例中，如图5与图6所示，第一移动组件24可以包括第一调节环，第一调节环具有用于套设第一连接组件232的第一通孔，第一调节环的第一端面与第一连接组件232相抵接，第一调节环的第二端面与第二移动组件30相抵接，第一调节环的第一端面为第一接触面241，第一调节环的第一端面与第二端面之间呈预设夹角，第一通孔垂直于第二端面，第一调节组件25与第二调节组件26分别作用于第一调节环的外侧面以驱动第一调节环运动。环形的第一调节环，可以通过转动的方式改变第一接触面241与第二接触面2320之间的抵接情况，以调整抵接交底。预设夹角可以根据实际测量光纤出射方向发生的最大偏差进行设置。

一些实施例中，为了实现抵接角度的连续调整，如图9与图10所示，第一移动组件24可以是套设在第一连接组件232上，两者可以是通过间隙配合的螺纹连接。如图10所示，第一连接组件232与第一移动组件24之间的相对转动，第一接触面241与第二接触面2320抵接的角度可以改变，如图10的A至C所示，抵接角度逐步调小。在一些实施例中，可以是先将接头组件23装配好，光纤1安装在第一安装孔上，再将接头组件23安装在第一移动组件24上。先测量光纤1的出射光是否垂直第二接触面2320，根据偏移的角度再调节第一连接组件232与第一移动组件24之间的抵接程度，以改变调节第一接触面241与第二接触面2320的抵接角度，最终调节第一安装孔的轴向方向与第三方向的空间夹角，在调整好抵接角度后，再将接头组件23以及第一移动组件24安装到第二移动组件30中。本申请以螺纹连接为例，说明如何调节第一接触面241与第二接触面2320的抵接角度，但是并不是限制具体的实现方式。

综上所述，采用刚性连接的第一移动组件24以及接头组件23，可以实现对光纤1出射方向的调整，以对检测光斑出现变形问题进行调整。

在一些实施例中，如图5与图6所示，第一调节机构还可以包括第一复位组件27，第一复位组件27用于在第一移动组件24相对于第一预设位置在第一方向或第二方向上发生偏移时提供复位的作用力，以驱动第一移动组件24向第一预设位置运动。例如，第一复位组件27可以是采用至少一个弹性件在实现上述复位效果，例如是采用弹片、簧片或弹簧的形式。那么在第一方向上就可以设置一个第一调节组件25即可，第一调节组件25用于驱动第一移动组件24向第一方向的正方向运动，第一复位组件27用于驱动第一移动组件24向第一方向的反方向运动，第二调节组件26同理。

在一些实施例中，如图2至图6所示，光纤调节装置还可以包括第一压紧组件，第一压紧组件用于与第一连接组件232相抵接，以使得第一连接组件232与第一移动组件24相抵接。通过第一压紧组件，使得接头组件23与第一移动组件24在第三方向上相对于第二移动组件30固定。

在一些实施例中，如图6所示，第一压紧组件可以包括第一盖板22以及多个第一弹性件21，第一弹性件21设置于第一盖板22与第一连接组件232之间，第一盖板22安装在第二移动组件30上，第一弹性件21始终处于被压缩的状态，以使得第一连接组件232与第一移动组件24相抵接。第一弹性件21还可以确保第一连接组件232与第一移动组件24可以具有抵接角度的存在，避免刚性抵接导致第一接触面241与第二接触面2320只能平行抵接。

在一些实施例中，如图3与图5所示，第一调节组件25安装在第二移动组件30上，第一调节组件25可以包括第一螺纹件，第一螺纹件通过螺纹转动来驱动第一移动组件24在第一方向上运动。和/或，第二调节组件26安装在第二移动组件30上，第二调节组件26可以包括第二螺纹件，第二螺纹件通过螺纹转动来驱动第二移动组件30在第二方向上运动。通过正向转动螺纹件，可以推动第一移动组件24向第一方向或第二方向运动，反向转动螺纹件，可以提供复位空间，第一复位组件27驱动第一移动组件24反向运动。

在一些实施例中，如图3所示，第一调节机构还可以包括第一紧固组件28，第一紧固组件28用于限制第一调节组件25驱动第一移动组件24运动；和/或，第二调节机构还可以包括第二紧固组件29，第二紧固组件29用于限制第二调节组件26驱动第二移动组件30运动。例如是，第一调节组件25可以设有螺纹，第一紧固组件28通过螺纹连接套设在第一调节组件25上，第一紧固组件28通过螺纹转动与第一调节组件25抵接，以限制第一调节组件25的运动，还可以是采用插销或抵接等其他可能实现的方式。第二紧固组件29可以采用与第一紧固组件28相同的实现方式。

在一些实施例中，如图4与图6所示，第二调节机构还可以包括第一限位组件31，第二移动组件30设有与第一限位组件31匹配的第一限位部303，第一限位组件31安装在第一壳体35上，第一限位组件31用于通过与第一限位部303相抵接，以使得第二移动组件30在第三方向上运动时不转动。

在一些实施例中，上述第二限位部也可以是设置在第一壳体35上，第二调节机构还可以包括第一限位组件31，第一壳体35设有与第一限位组件31匹配的第二限位部，第一限位组件31安装在第二移动组件30上，第一限位组件31用于通过与第二限位部相抵接，以使得第二移动组件30在第三方向上运动时不转动。

在一些实施例中，第一限位组件31可以包括第一销钉，第一限位部303为与第一销钉匹配的第一限位槽，或者第二限位部为与第一销钉匹配的第二限位槽。如图4与图6所示，当第一限位槽设置在第二移动组件30上时，第一壳体35可以具有匹配第一销钉的第二安装孔352。

通过上述第一限位组件31，第二调节机构在驱动第二移动组件30运动时，确保只在第三方向上运动，第一方向与第二方向不会出现关联性运动。

在一些实施例中，如图4与图6所示，第二调节机构还可以包括第二复位组件32，第二复位组件32用于在第二移动组件30相对于第二预设位置在第三方向上发生偏移时提供复位的作用力，以驱动第二移动组件30向第二预设位置运动。例如，第二复位组件32可以是采用至少一个弹性件在实现上述复位效果，例如是采用弹片、簧片或弹簧的形式。

在一些实施例中，如图2至图8所示，第二调节机构还可以包括第三紧固组件34，第三紧固组件34可拆卸安装在第一壳体35上，第三紧固组件34用于限制第二移动组件30相对于第一壳体35在第三方向上的位置。

在一些实施例中，如图6所示，第一壳体35的外壁可以设有螺纹结构，第三调节组件33通过螺纹套设在第一壳体35上，第二移动组件30的外壁具有第一凸起302，第三调节组件33套设在第二移动组件30外并与第一凸起302相抵接，第三调节组件33通过螺纹转动相对于第一壳体35在第三方向上运动，第二移动组件30跟随第三调节组件33运动。第三紧固组件34通过螺纹套设在第一壳体35上，通过螺纹转动改变在第一壳体35上的位置，第三紧固组件34通过与第三调节组件33相抵接，以限定第三调节组件33相对于第一壳体35在第三方向上的位置。其中，第三紧固组件34可以是环状结构，内侧面具有匹配的螺纹结构。

在上述实施例中，通过第三调节组件33与第二复位组件32的作用，第三调节组件33沿第三方向的正方向转动时驱动第二移动组件30正向运动，第三调节组件33沿第三方向的反方向转动时提供复位空间，第二复位组件32驱动第二移动组件30反向运动。运动到确定的位置后，通过第三紧固组件34抵接实现在第三方向上的限位。

在一些实施例中，第二移动组件30设有与光路通道连通的第一开口301，通过第一开口301能够将第一类光学元件放置在光路通道中。和/或，第一壳体35设有与光路通道连通的第二开口351，通过第二开口351能够将第二类光学元件放置在光路通道中。

其中，第一类光学元件可以是偏振片、滤光片等光学元件，用于调节检测光的波长、相位、均匀性或强度等；第二类光学元件可以是聚焦透镜、准直透镜等光学元件，用于调节检测光的方向、聚焦。

在上述实施例中，本申请通过刚性连接保证了连接精度，也保证了所连接组件之间的连接稳定性，减少调节偏差；通过X-Y向调节、Z向调节可实现三维调节的应用需求；使用螺钉等组件对调节后的状态进行固定，保持调节后状态的稳定性。

以上应用了具体个例对本实用新型进行阐述，只是用于帮助理解本实用新型，并不用以限制本实用新型。对于本实用新型所属技术领域的技术人员，依据本实用新型的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。

Claims (14)

1.一种光纤调节装置，其特征在于，包括：接头组件以及第一调节机构；

所述接头组件用于安装光纤；

所述第一调节机构包括第一移动组件、第一调节组件以及第二调节组件，所述第一调节组件以及第二调节组件分别装设于预设组件上，所述第一调节组件用于驱动所述第一移动组件相对于所述预设组件在第一方向上运动，所述第二调节组件用于驱动所述第一移动组件相对于所述预设组件在第二方向上运动；

所述接头组件与所述第一移动组件在第三方向上相抵接，以使得所述接头组件与所述第一移动组件相对固定，所述接头组件跟随所述第一移动组件运动；

其中，所述第一方向、第二方向以及第三方向中两两垂直。

2.如权利要求1所述的光纤调节装置，其特征在于，还包括第一壳体和第二调节机构；

所述接头组件具有与所述光纤的光纤头匹配的第一安装孔；

所述第一壳体具有与所述第一安装孔连通的光路通道，所述光纤发出的光能够穿过所述第一安装孔以及所述光路通道向所述光纤调节装置的外部发射；

所述第二调节机构包括第二移动组件以及第三调节组件，所述第三调节组件安装在所述第一壳体上，所述第三调节组件用于驱动所述第二移动组件相对于所述第一壳体在所述第三方向上运动；

所述预设组件为所述第二移动组件；

所述第一调节机构连接在所述第二移动组件上且跟随所述第二移动组件在所述第三方向上运动。

3.如权利要求2所述的光纤调节装置，其特征在于，所述接头组件包括接头与第一连接组件，所述接头具有所述第一安装孔，所述接头安装在所述第一连接组件上，所述第一连接组件与所述第一移动组件在所述第三方向上相抵接；

所述第一移动组件具有第一接触面，所述第一连接组件具有第二接触面，所述第一接触面与所述第二接触面相抵接，且所述第一接触面与所述第二接触面平行或不平行，通过调节所述第一接触面与所述第二接触面的抵接角度，以调整所述第一安装孔的轴向方向与所述第三方向的空间夹角。

4.如权利要求3所述的光纤调节装置，其特征在于，所述第一移动组件包括第一调节环，所述第一调节环具有用于套设所述第一连接组件的第一通孔，所述第一调节环的第一端面与所述第一连接组件相抵接，所述第一调节环的第二端面与所述第二移动组件相抵接，所述第一调节环的第一端面为所述第一接触面，所述第一调节环的所述第一端面与所述第二端面之间呈预设夹角，所述第一调节组件与所述第二调节组件分别作用于所述第一调节环的外侧面以驱动所述第一调节环运动。

5.如权利要求2所述的光纤调节装置，其特征在于，所述第一调节机构还包括第一复位组件，所述第一复位组件用于在所述第一移动组件相对于第一预设位置在所述第一方向或第二方向上发生偏移时提供复位的作用力，以驱动所述第一移动组件向所述第一预设位置运动；

和/或，所述第一调节机构还包括第一紧固组件，所述第一紧固组件用于限制所述第一调节组件驱动所述第一移动组件运动；和/或，所述第二调节机构还包括第二紧固组件，所述第二紧固组件用于限制所述第二调节组件驱动所述第二移动组件运动。

6.如权利要求3所述的光纤调节装置，其特征在于，所述光纤调节装置还包括第一压紧组件，所述第一压紧组件用于与所述第一连接组件相抵接，以使得所述第一连接组件与所述第一移动组件相抵接。

7.如权利要求6所述的光纤调节装置，其特征在于，所述第一压紧组件包括第一盖板以及多个第一弹性件，所述第一弹性件设置于所述第一盖板与所述第一连接组件之间，所述第一盖板安装在所述第二移动组件上，所述第一弹性件始终处于被压缩的状态，以使得所述第一连接组件与所述第一移动组件相抵接。

8.如权利要求2所述的光纤调节装置，其特征在于，所述第一调节组件安装在所述第二移动组件上，所述第一调节组件包括第一螺纹件，所述第一螺纹件通过螺纹转动来驱动所述第一移动组件在所述第一方向上运动；

和/或，所述第二调节组件安装在所述第二移动组件上，所述第二调节组件包括第二螺纹件，所述第二螺纹件通过螺纹转动来驱动所述第二移动组件在所述第二方向上运动。

9.如权利要求2所述的光纤调节装置，其特征在于，所述第二调节机构还包括第一限位组件，所述第二移动组件设有与所述第一限位组件匹配的第一限位部，所述第一限位组件安装在所述第一壳体上，所述第一限位组件用于通过与所述第一限位部相抵接，以使得所述第二移动组件在所述第三方向上运动时不转动；

或者，所述第二调节机构还包括第一限位组件，所述第一壳体设有与所述第一限位组件匹配的第二限位部，所述第一限位组件安装在所述第二移动组件上，所述第一限位组件用于通过与所述第二限位部相抵接，以使得所述第二移动组件在所述第三方向上运动时不转动。

10.如权利要求9所述的光纤调节装置，其特征在于，所述第一限位组件包括第一销钉，所述第一限位部为与所述第一销钉匹配的第一限位槽，或者所述第二限位部为与所述第一销钉匹配的第二限位槽。

11.如权利要求2所述的光纤调节装置，其特征在于，所述第二调节机构还包括第二复位组件，所述第二复位组件用于在所述第二移动组件相对于第二预设位置在所述第三方向上发生偏移时提供复位的作用力，以驱动所述第二移动组件向所述第二预设位置运动。

12.如权利要求2所述的光纤调节装置，其特征在于，所述第二调节机构还包括第三紧固组件，所述第三紧固组件可拆卸安装在所述第一壳体上，所述第三紧固组件用于限制所述第二移动组件相对于所述第一壳体在所述第三方向上的位置。

13.如权利要求12所述的光纤调节装置，其特征在于，所述第一壳体的外壁设有螺纹结构，所述第三调节组件通过螺纹套设在所述第一壳体上，所述第二移动组件的外壁具有第一凸起，所述第三调节组件套设在所述第二移动组件外并与所述第一凸起相抵接，所述第三调节组件通过螺纹转动相对于所述第一壳体在所述第三方向上运动，所述第二移动组件跟随所述第三调节组件运动；

所述第三紧固组件通过螺纹套设在所述第一壳体上，通过螺纹转动改变在所述第一壳体上的位置，所述第三紧固组件通过与所述第三调节组件相抵接，以限定所述第三调节组件相对于所述第一壳体在所述第三方向上的位置。

14.如权利要求2所述的光纤调节装置，其特征在于，所述第二移动组件设有与所述光路通道连通的第一开口，通过所述第一开口能够将第一类光学元件放置在所述光路通道中；

和/或，所述第一壳体设有与所述光路通道连通的第二开口，通过所述第二开口能够将第二类光学元件放置在所述光路通道中。

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