CN218525545U - 一种半导体机械手架 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体机械手架，其技术方案要点是：包括安装板，安装板上固定设置有机械手本体，机械手本体上固定设置有导热机构，导热机构由基板和导热体组成，基板固定设置在机械手本体的下端面，导热体固定设置在基板的下端面，导热体为棒状，导热体中空设置，导热体上开设有多个通孔，通孔均匀分布在导热体上，安装板上固定设置有固定盒，固定盒的下端固定设置挡板，固定盒对应于挡板处开设有进风口，进风口内设置有安装架，安装架上固定设置有风扇，固定盒的左右两端开设有多个接口，接口与风道接通，风道异于与固定盒连接的一端延伸至机械手本体的上端，本实用新型在使用时，可对晶圆的上下两端记性冷却降温。

Description

一种半导体机械手架

技术领域

本实用新型涉及机械手辅助加工设备技术领域，特别涉及一种半导体机械手架。

背景技术

半导体机械手主要适应于集成电路、芯片制造等半导体前段工序。用来搬送晶圆，晶圆尺寸范围2英寸-12英寸，一般来讲是由r轴、t轴和z轴三个轴构成。

参照授权公告号为CN214055287U的中国实用新型专利，其公开了一种半导体器件清洗机，属于机械手辅助加工设备技术领域，包括降温组件、固定座以及手臂本体，所述手臂本体转动连接于所述固定座上，所述手臂本体上包括有承载部，所述降温组件设于所述承载部上，用于对放置于所述承载部上的工件降温。

上述这种该机械手臂设置有降温组件，在进行高温工件的转移时，可以通过降温组件对工件进行降温，一来可以对需要降温的工件进行快速降温，二来可以避免高温工件对机械手臂造成损伤；但是其仍旧存在一些缺点，例如：一、由于该降温组件设置在手臂本体的下端面，当降温组件启动时，降温组件下端的冷风收到降温组件吸引，转移至晶圆的下端，对晶圆的下端面进行冷却，故该降温组件组件只能对晶圆的下端面进行冷却降温。

实用新型内容

针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种半导体机械手架，以解决背景技术中提到的现有技术中降温组件组件只能对晶圆的下端面进行冷却降温的问题。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种半导体机械手架，包括安装板，所述安装板上固定设置有机械手本体，所述机械手本体上固定设置有导热机构，所述导热机构由基板和导热体组成，所述基板固定设置在所述机械手本体的下端面，所述导热体固定设置在所述基板的下端面，所述导热体为棒状，所述导热体中空设置，所述导热体上开设有多个通孔，所述通孔均匀分布在所述导热体上，所述安装板上固定设置有固定盒，所述固定盒的下端固定设置挡板，所述固定盒对应于所述挡板处开设有进风口，所述进风口内设置有安装架，所述安装架上固定设置有风扇，所述固定盒的左右两端开设有多个接口，所述接口与风道接通，所述风道异于与所述固定盒连接的一端延伸至机械手本体的上端，所述风道靠近所述机械手本体的一侧开设有多个出风口，所述风道异于与所述固定盒连接的一端固定设置有堵头。

进一步的，所述导热机构均匀分布在所述机械手本体的下端面，所述导热机构与所述机械手本体之间填充有导热硅脂。

通过上述技术方案，在使用时，导热硅脂可填充导热机构与机械手本体之间的间隙，提升导热机构与机械手本体之间的热传导速度。

进一步的，所述固定盒的内部固定设置有多个斜板。

通过上述技术方案，在使用时，斜板的存在可引导进入固定盒的冷风向接口处移动。

进一步的，所述斜板的一端与所述固定盒的顶部内壁固定设置，所述斜板沿所述固定盒的中部对称设置。

通过上述技术方案，固定盒的左右两侧均设置有接口，沿固定盒中部对称的斜板可将固定盒的冷风向固定盒左右两侧的接口处移动。

进一步的，所述风道为PP塑料制成的万向管，所述风道的内径为8.8毫米。

通过上技术方案，PP塑料制成的万向管可根据需求随意进行弯折，且不易老化。

进一步的，所述机械手本体的中部设置有U型缺口，所述U型缺口的下方设置有超声波雷达。

通过上述技术方案，在使用时，超声波雷达用于检测机械手本体上是否存在晶圆，当机械手本体上存在晶圆时，风扇启动，当集喜二首本体上不存在晶圆时，风扇停止，有助于节约能源。

进一步的，所述安装板的后端面固定设置有接线端子，所述超声波雷达与所述接线端子电性连接。

通过上述技术方案，在使用时，接线端子与机器人的控制模块通过导线电性连接，利用机器人的控制模块对超声波雷达进行控制。

综上，本实用新型主要具有以下有益效果：本实用新型中，通过设置导热机构、风道、固定盒、风扇以及超声波雷达，在进行高温工件的转移时，可以通过风扇将下方的冷空气吸引至固定盒内，经风道输送至机械手架的上端和下端，冷空气与机械手架的上端和下端的热空气进行热交换，对晶圆进行冷却，冷却效果较好。

附图说明

图1是本实施例的主视图；

图2是本实施例的右视图；

图3是本实施例中固定盒的内部结构示意图；

图4是本实施例中导热体的结构示意图。

附图标记：1、安装板；2、机械手本体；201、U型缺口；3、导热机构；301、基板；302、导热体；3021、通孔；4、固定盒；401、进风口；402、接口；5、挡板；6、安装架；7、风扇；8、风道；9、堵头；10、斜板；11、超声波雷达；12、接线端子。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“中”“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“顶”、“底”、“侧”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”、“第五”、“第六”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例1

参考图1-图4，一种半导体机械手架，包括安装板1，安装板1上固定设置有机械手本体2，机械手本体2上固定设置有导热机构3，导热机构3由基板301和导热体302组成，基板301固定设置在机械手本体2的下端面，导热体302固定设置在基板301的下端面，导热体302为棒状，导热体302中空设置，导热体302上开设有多个通孔3021，通孔3021均匀分布在导热体302上，安装板1上固定设置有固定盒4，固定盒4的下端固定设置挡板5，固定盒4对应于挡板5处开设有进风口401，进风口401内设置有安装架6，安装架6上固定设置有风扇7，固定盒4的左右两端开设有多个接口402，接口402与风道8接通，风道8异于与固定盒4连接的一端延伸至机械手本体2的上端，风道8靠近机械手本体2的一侧开设有多个出风口，风道8异于与固定盒4连接的一端固定设置有堵头9，本实施例中，导热机构3使用红铜制成，基板301和导热体302一体成型设置，基板301通过螺钉固定在机械手本体2的下端，固定盒4使用PP塑料制成，其质量较低，且不易老化，可在安装板1上螺纹孔，用于将安装板1固定在机械手臂上，安装架6呈十字型。

参考图1，导热机构3均匀分布在机械手本体2的下端面，导热机构3与机械手本体2之间填充有导热硅脂。

参考图3，固定盒4的内部固定设置有多个斜板10，本实施例中，斜板10设置有两个。

参考图3，斜板10的一端与固定盒4的顶部内壁固定设置，斜板10沿固定盒4的中部对称设置，本实施例中，其中一个斜板10的一端固定盒4的左侧顶部内壁固定设置，另一端与固定盒4的中部底端内壁固定设置。

参考图1，风道8为PP塑料制成的万向管，风道8的内径为8.8毫米，本实施例中，固定盒4的左右两侧均设置有五个风道8，共计十个。

参考图1，机械手本体2的中部设置有U型缺口201，U型缺口201的下方设置有超声波雷达11。

参考图2，安装板1的后端面固定设置有接线端子12，超声波雷达11与接线端子12电性连接，本实施例中，风扇7同样与接线端子12电性连接，接线端子12与机器人的控制模块通过导线电性连接，利用机器人的控制模块对风扇7和超声波雷达11进行控制。

综上所述，当超声波雷达11检测到机械手本体2上存在晶圆时，机器人的控制模块控制风扇7启动，风扇7将下方的冷空气吸引至固定盒4内，经风道8输送至机械手架2的上端和下端，冷空气与机械手本体2的上端和下端的热空气进行热交换，导热机构3的存在可将机械手本体2的一部分热量传到至导热机构3，加快与冷空气的热交换速度。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种半导体机械手架，包括安装板(1)，其特征在于：所述安装板(1)上固定设置有机械手本体(2)，所述机械手本体(2)上固定设置有导热机构(3)，所述导热机构(3)由基板(301)和导热体(302)组成，所述基板(301)固定设置在所述机械手本体(2)的下端面，所述导热体(302)固定设置在所述基板(301)的下端面，所述导热体(302)为棒状，所述导热体(302)中空设置，所述导热体(302)上开设有多个通孔(3021)，所述通孔(3021)均匀分布在所述导热体(302)上，所述安装板(1)上固定设置有固定盒(4)，所述固定盒(4)的下端固定设置挡板(5)，所述固定盒(4)对应于所述挡板(5)处开设有进风口(401)，所述进风口(401)内设置有安装架(6)，所述安装架(6)上固定设置有风扇(7)，所述固定盒(4)的左右两端开设有多个接口(402)，所述接口(402)与风道(8)接通，所述风道(8)异于与所述固定盒(4)连接的一端延伸至机械手本体(2)的上端，所述风道(8)靠近所述机械手本体(2)的一侧开设有多个出风口，所述风道(8)异于与所述固定盒(4)连接的一端固定设置有堵头(9)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体机械手架，其特性在于：所述导热机构(3)均匀分布在所述机械手本体(2)的下端面，所述导热机构(3)与所述机械手本体(2)之间填充有导热硅脂。

3.根据权利要求1所述的一种半导体机械手架，其特性在于：所述固定盒(4)的内部固定设置有多个斜板(10)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体机械手架，其特性在于：所述斜板(10)的一端与所述固定盒(4)的顶部内壁固定设置，所述斜板(10)沿所述固定盒(4)的中部对称设置。

5.根据权利要求1所述的一种半导体机械手架，其特性在于：所述风道(8)为PP塑料制成的万向管，所述风道(8)的内径为8.8毫米。

6.根据权利要求1所述的一种半导体机械手架，其特性在于：所述机械手本体(2)的中部设置有U型缺口(201)，所述U型缺口(201)的下方设置有超声波雷达(11)。

7.根据权利要求6所述的一种半导体机械手架，其特性在于：所述安装板(1)的后端面固定设置有接线端子(12)，所述超声波雷达(11)与所述接线端子(12)电性连接。

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