CN218450637U - 用于半导体塑封车间的静电感应联动装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于半导体塑封车间的静电感应联动装置，包括人体感应开关(1)、联动组件(2)、静电手环(3)和连接导线(5)；人体感应开关和联动组件设在工位上；联动组件包括供电插座(21)、继电器(22)、报警器(23)、配套电源接口(25)和手环连接端口(26)，供电插座通过继电器接市电，配套电源接口接市电，辅助设备与供电插座电连接，人体感应开关与报警器电连接；静电手环通过连接导线与配套电源接口电连接，静电手环套接在工作人员手腕上，静电手环与手环连接端口电连接，手环连接端口与继电器和报警器电连接。本实用新型通过静电手环与联动组件实现辅助设备的供断电，同时在半导体塑封加工时实现静电释放。

Description

用于半导体塑封车间的静电感应联动装置

技术领域

本实用新型涉及一种半导体生产设备，尤其涉及一种用于半导体塑封车间的静电感应联动装置。

背景技术

半导体塑封是指将通过测试的晶圆按照产品型号及功能需求加工得到独立芯片的过程。在半导体塑封加工的过程中，需要使用到离子风机、显微镜、三倍环灯等辅助设备，通常这些设备的电源始终处于接通状态，无法自动关闭，需要人工手动关闭。半导体塑封加工暂停或结束后若忘记将辅助设备切断电源，工业用电能耗较大，提高了生产成本。同时，由于工作人员身上可能存在静电，若不进行静电释放(ESD，即Electro-Staticdischarge)，对半导体塑封作业有一定的影响，存在一定的生产安全隐患。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种用于半导体塑封车间的静电感应联动装置，能通过静电手环与联动组件实现辅助设备的供断电，同时在半导体塑封加工时实现静电释放。

本实用新型是这样实现的：

一种用于半导体塑封车间的静电感应联动装置，包括人体感应开关、联动组件、静电手环和连接导线；人体感应开关和联动组件分别设置在半导体塑封工位上；联动组件包括供电插座、继电器、报警器、配套电源接口和手环连接端口，供电插座通过继电器外接市电，配套电源接口外接市电，辅助设备与供电插座电连接，人体感应开关的输出端与报警器的输入端电连接；静电手环的电源端通过连接导线与配套电源接口电连接，静电手环能套接在工作人员的手腕上，静电手环的输出端与手环连接端口电连接，手环连接端口分别与继电器和报警器电连接。

所述的联动组件上设有接地线，接地线接地，静电手环和人体通过接地线与大地之间形成静电释放回路。

所述的联动组件上设有接地状态指示灯，接地状态指示灯串接在静电释放回路上。

所述的静电手环上嵌装有接触传感器，接触传感器的输出端分别通过手环连接端口与联动组件的继电器和报警器电连接。

所述的联动组件上设有手环佩戴状态指示灯，手环佩戴状态指示灯与接触传感器的输出端连接。

所述的人体感应开关设置在工位工作面下方，人体感应开关包括正向感应器和侧向感应器，正向感应器面向工位设置，一对侧向感应器分别倾斜设置在正向感应器的两侧并面向工位的两侧设置。

所述的辅助设备包括离子风扇、显微镜、三倍环灯。

本实用新型与现有技术相比，具有以下有益效果：

1、本实用新型由于设有联动组件，能通过人体感应开关与报警器的联动发出报警，用于提示工作人员佩戴静电手环，从而通过静电手环的联动实现辅助设备的供断电控制，仅在半导体塑封加工进行时为辅助设备供电，大大降低了用电能耗。

2、本实用新型由于设有静电手环，能通过静电释放回路将人体静电释放至大地，实现静电消散，降低产品静电风险；同时能通过检测回路实时检测工作人员是否佩戴静电手环并与继电器联动，实现辅助设备的供电和断电，提高半导体塑封加工的自动化程度和安全性，无需人工开关电源，能有效降低电量成本。

附图说明

图1是本实用新型用于半导体塑封车间的静电感应联动装置的原理图。

图中，1人体感应开关，2联动组件，21供电插座，22继电器，23报警器，24接地线，25配套电源接口，26手环连接端口，27接地状态指示灯，28手环佩戴状态指示灯，3静电手环，31接触传感器，4辅助设备，5连接导线。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明。

请参见附图1，一种用于半导体塑封车间的静电感应联动装置，包括人体感应开关1、联动组件2、静电手环3和连接导线5；人体感应开关1和联动组件2分别设置在半导体塑封工位上；联动组件2包括供电插座21、继电器2、报警器23、配套电源接口25和手环连接端口26，供电插座21通过继电器22外接220V市电，配套电源接口25外接220V市电，辅助设备4与供电插座21电连接，人体感应开关1的输出端与报警器23的输入端电连接；静电手环3的电源端通过连接导线5与配套电源接口25电连接，静电手环3能套接在工作人员的手腕上，静电手环3的输出端与手环连接端口26电连接，手环连接端口26分别与继电器22和报警器23电连接。

通过人体感应开关1感应到半导体塑封工位上有工作人员时，触发联动组件2的报警器23发出报警，通过报警声/光提醒工作人员佩戴静电手环3，从而通过联动组件2接通220V电源为辅助设备4供电，用于半导体塑封加工。半导体塑封加工暂停或完成后，工作人员摘除静电手环3，使联动组件2为辅助设备4断电，降低用电能耗。

优选的，配套电源接口25为220V转9V电源适配接口，用于为静电手环3提供工作电源。通过连接导线5有线的方式连接静电手环3，能保证静电手环3始终处于工位区域内，避免丢失，也避免工作人员在离开工位时忘记摘除静电手环3的情况发生，从而保证半导体塑封加工结束后辅助设备4能可靠断电，同时也保证了静电手环3的供电运行和静电释放功能的正常使用。

所述的联动组件2上设有接地线24，接地线24接地，静电手环3和人体通过接地线24与大地之间形成静电释放回路。

优选的，接地线24的电阻小于5Ω，以保证有效的静电释放。

所述的联动组件2上设有接地状态指示灯27，接地状态指示灯27串接在静电释放回路上。当静电手环3和人体通过接地线24与大地之间形成静电释放回路时，接地状态指示灯27亮，静电手环3和人体未与大地形成静电释放回路时，接地状态指示灯27暗，用于指示工作人员的人体静电释放状态。

所述的静电手环3上嵌装有接触传感器31，接触传感器31的输出端分别通过手环连接端口26与继电器22和报警器23电连接。

优选的，报警器23可采用蜂鸣器或声光报警器，便于发出有效的报警效果，以提示工作人员佩戴静电手环3。接触传感器31可采用现有技术的压力传感器，皮肤与手环外壳接触产生压力，接触传感器31通过压力变化检测并判断工作人员是否佩戴静电手环3。若工作人员佩戴静电手环3，则接触传感器31向报警器23发出停止报警信号，使报警器23关闭，同时，向继电器22发出高电平信号，使继电器22内部线圈吸合；若工作人员未佩戴静电手环3，则报警器23继续报警，继电器22仍处于断开状态。接触传感器31、报警器23、继电器22和供电插座21形成检测回路，用于检测静电手环3是否佩戴，并实现佩戴时供电、不佩戴时断电的功能。

优选的，静电手环3可采用搭扣、魔术贴、松紧带等方式佩戴在工作人员手腕上，以使静电手环3与手部皮肤产生接触和摩擦，从而使接触传感器31感应到压力变化，用于判断静电手环3是否佩戴。

所述的联动组件2上设有手环佩戴状态指示灯28，手环佩戴状态指示灯28与接触传感器31的输出端连接，当接触传感器31输出高电平时，手环佩戴状态指示灯28亮，当接触传感器31输出低电平时，手环佩戴状态指示灯28暗，用于指示静电手环3的佩戴状态。

所述的人体感应开关1设置在工位工作面下方，人体感应开关1包括正向感应器和侧向感应器，正向感应器面向工位设置，一对侧向感应器分别倾斜设置在正向感应器的两侧并面向工位的两侧设置。

优选的，正向感应器和侧向感应器可采用现有技术的红外探头，安装在工位工作面下方，避免影响半导体塑封加工，正向感应和侧向感应在工位附近形成扇形检测区域，从而准确感应工作人员是否靠近，不漏检、不误检。通过红外感应检测红外探后附近是否有工作人员，从而触发联动组件2。正向感应器和侧向感应器的检测距离可根据实际需要和红外探头的性能确定，优选为30cm。

在感应过程中，感应逻辑可设置为正向感应器和一对侧向感应器均感应到工作人员到位时触发联动组件2，也可设置为正向感应器或侧向感应器任一感应到工作人员到位时触发联动组件2，也可根据各感应器感应到工作人员的顺序触发联动组件2。感应逻辑根据实际需求进行设置，此处不再赘述。

所述的辅助设备4包括离子风扇、显微镜、三倍环灯等设备，若干个辅助设备4分别连接至若干个供电插座21。辅助设备4的种类和数量可根据半导体塑封加工需求确定，供电插座21的数量可根据辅助设备4的数量进行适应性调整。供电插座21可采用并联的方式设置，确保各辅助设备4的同步供断电。

请参见附图1，本实用新型的工作原理是：

当工作人员靠近半导体塑封工位(30cm内)时，人体感应开关1正向感应器和侧向感应器感应到工作人员达到工位，并向报警器23发送报警指令，报警器23发出报警声/光，用于提示工作人员佩戴静电手环3。

工作人员佩戴静电手环3后，接触传感器31检测到压力增大，判断为静电手环3已佩戴，接触传感器31向报警器23发送停止报警指令，报警器23停止报警，同时，接触传感器向继电器22发送高电平信号，继电器22内部线圈吸合，接通继电器22，供电插座21得电，从而为离子风扇、显微镜、三倍环灯等辅助设备4提供工作电源，用于半导体塑封加工，此时手环佩戴状态指示灯28亮。

在工作人员佩戴静电手环3后，人体、静电手环3通过接地线24与大地之间形成静电释放回路，通过接地线24将静电释放至大地，实现静电消散，工作人员在进行半导体塑封加工的整个过程中均需要佩戴静电手环3，从而降低产品静电风险，此时接地状态指示灯27亮。

在半导体塑封加工暂停或结束后，工作人员拆除静电手环3，接触传感器31检测到压力为0，接触传感器31向继电器22发出低电平信号，继电器22内部线圈断开，断开继电器22，供电插座21失电，从而使离子风扇、显微镜、三倍环灯等辅助设备4断电，降低用电能耗。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围，因此，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种用于半导体塑封车间的静电感应联动装置，其特征是：包括人体感应开关(1)、联动组件(2)、静电手环(3)和连接导线(5)；人体感应开关(1)和联动组件(2)分别设置在半导体塑封工位上；联动组件(2)包括供电插座(21)、继电器(22)、报警器(23)、配套电源接口(25)和手环连接端口(26)，供电插座(21)通过继电器(22)外接市电，配套电源接口(25)外接市电，辅助设备(4)与供电插座(21)电连接，人体感应开关(1)的输出端与报警器(23)的输入端电连接；静电手环(3)的电源端通过连接导线(5)与配套电源接口(25)电连接，静电手环(3)能套接在工作人员的手腕上，静电手环(3)的输出端与手环连接端口(26)电连接，手环连接端口(26)分别与继电器(22)和报警器(23)电连接。

2.根据权利要求1所述的用于半导体塑封车间的静电感应联动装置，其特征是：所述的联动组件(2)上设有接地线(24)，接地线(24)接地，静电手环(3)和人体通过接地线(24)与大地之间形成静电释放回路。

3.根据权利要求2所述的用于半导体塑封车间的静电感应联动装置，其特征是：所述的联动组件(2)上设有接地状态指示灯(27)，接地状态指示灯(27)串接在静电释放回路上。

4.根据权利要求1所述的用于半导体塑封车间的静电感应联动装置，其特征是：所述的静电手环(3)上嵌装有接触传感器(31)，接触传感器(31)的输出端分别通过手环连接端口(26)与联动组件(2)的继电器(22)和报警器(23)电连接。

5.根据权利要求4所述的用于半导体塑封车间的静电感应联动装置，其特征是：所述的联动组件(2)上设有手环佩戴状态指示灯(28)，手环佩戴状态指示灯(28)与接触传感器(31)的输出端连接。

6.根据权利要求1所述的用于半导体塑封车间的静电感应联动装置，其特征是：所述的人体感应开关(1)设置在工位工作面下方，人体感应开关(1)包括正向感应器和侧向感应器，正向感应器面向工位设置，一对侧向感应器分别倾斜设置在正向感应器的两侧并面向工位的两侧设置。

7.根据权利要求1所述的用于半导体塑封车间的静电感应联动装置，其特征是：所述的辅助设备(4)包括离子风扇、显微镜、三倍环灯。

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