CN218367924U - 一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车，包括支撑架和夹持装置，所述支撑架用于放置石英坩埚，所述夹持装置设置在所述支撑架上方，用于对所述石英坩埚外壁进行夹持，且所述夹持装置可上下移动，也可靠近或远离所述石英坩埚外壁移动。本实用新型的有益效果是可以使不同尺寸的石英坩埚在运输过程中保持稳固，减小石英坩埚发生碰撞破裂的风险，保证生产的正常进行，提高生产效率。

Description

一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车

技术领域

本实用新型属于单晶硅生产设备技术领域，尤其是涉及一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车。

背景技术

在使用单晶炉进行单晶硅的生产过程中，需要将装满原料的石英坩埚运送至生产现场。随着硅片尺寸的增大，石英坩埚的尺寸也在增大，石英坩埚装载的原料也在增多，导致整体的重量增大，若使用人工搬运，不仅劳动强度较大，且生产安全风险极高，因此人们通常采用小车对石英坩埚进行运输。

在现有技术中，由于装料小车没有对石英坩埚进行固定，装满料后的石英坩埚在运输过程中，遇到紧急情况需停下来时，很容易产生碰撞破裂，造成原料散落，影响单晶的正常生产。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车，有效的解决了石英坩埚在运输过程中不稳固的问题，克服了现有技术的不足。

本实用新型采用的技术方案是：一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车，包括

支撑架，用于放置石英坩埚；

夹持装置,设置在所述支撑架上方，用于对所述石英坩埚外壁进行夹持，且所述夹持装置可上下移动，也可靠近或远离所述石英坩埚外壁移动。

进一步，所述夹持装置沿所述石英坩埚的周向均匀分布。

进一步，所述支撑架包括顶架、底架和置于所述顶架和底架之间的若干支架，所述石英坩埚可穿过所述顶架设置在所述底架上部，置于所述若干支架内部，所述夹持装置设置在所述顶架上部。

进一步，所述底架上设有支撑台，所述支撑台上可放置所述石英坩埚,所述支撑台与所述石英坩埚之间设有金属隔离层。

进一步，所述夹持装置包括伸缩立杆和夹持杆，所述伸缩立杆设置在所述顶架上，所述伸缩立杆顶部设有所述夹持杆，所述伸缩立杆可带动所述夹持杆上下移动。

进一步，所述伸缩立杆包括竖直滑槽和活动立杆，所述竖直滑槽设置在所述顶架上，所述活动立杆顶部设置所述夹持杆，所述活动立杆设置在所述竖直滑槽内部且可带动所述夹持杆沿所述竖直滑槽移动。

进一步，所述活动立杆上设有滑块，所述滑块设置在所述竖直滑槽内，所述滑块可带动所述活动立杆沿所述竖直滑槽移动。

进一步，所述夹持杆沿所述石英坩埚的径向设置，所述夹持杆靠近所述石英坩埚的一端设有夹持块。

进一步，所述夹持杆与所述伸缩立杆活动连接，可沿石英坩埚的径向移动。

进一步，所述顶架上部设有收纳槽，用于放置所述夹持块

本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，可以使不同尺寸的石英坩埚在运输过程中保持稳固，减小石英坩埚发生碰撞破裂的风险，保证生产的正常进行，提高生产效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车整体结构示意图。

图2是本实用新型实施例一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车滑块的结构示意图。

图3是本实用新型实施例一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车滑块与伸缩立杆的连接示意图。

图中：

10、支撑架 11、顶架 12、底架

13、支架 14、支撑台 15、收纳槽

20、夹持装置 21、夹持杆 211、夹持块

22、伸缩立杆 221、竖直滑槽 222、活动立杆

223、上滑块 2231、卡接柱 224、下滑块

2241、螺柱 2242、定位凸起 2243、卡接槽

225、弹力片 30、扶手 40、滚轮

具体实施方式

本实用新型实施例提供了一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车，下面结合附图对本实用新型的实施例做出说明。

在本实用新型实施例的描述中，需要理解的是，术语“顶部”、“底部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-3所示，本实用新型实施例一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车，包括支撑架10和夹持装置20，支撑架10用于放置石英坩埚，支撑架10下方设有滚轮40，用于带动支撑架10移动，在某些实施例中，滚轮40为万向轮且带有刹车。在支撑架10上方，石英坩埚的周围安装有夹持装置20，用于对石英坩埚外壁进行夹持，在石英坩埚移动的过程中，保持石英坩埚的稳固性。由于不同型号石英坩埚的高度和直径不同，夹持装置20可上下移动，也可靠近或远离石英坩埚外壁移动，用来稳固不同尺寸的石英坩埚。

具体的，为了保证石英坩埚的稳固性，夹持装置20沿石英坩埚的周向均匀分布。在本实施例中，在支撑架10上部设有四个夹持装置20，沿石英坩埚的周向均匀分布，在四个方向对石英坩埚进行夹持，使石英坩埚外壁受力均匀，保证了石英坩埚的稳固性。

具体的，支撑架10包括顶架11，底架12和置于顶架11和底架12之间的若干支架13。在本实施例中，顶架11为四边形的板件，底架12为方管焊接而成的四边形支架13，在顶架11和底架12之间的设有四个支架13。顶架11中央设有通孔，通孔的直径大于石英坩埚的外径，石英坩埚通过通孔，放置在底架12上。顶架11中央的通孔对石英坩埚起到一个粗定位的作用，防止石英坩埚从装料小车上掉落。在顶架11上部设置夹持装置20，可夹持石英坩埚上部高出顶架11的部位，对石英坩埚进行固定。为了便于夹持与固定，顶架11的高度不应过高，要使石英坩埚上部露出足够的高度便于夹持装置20进行夹持与固定。在支撑架10的一侧设有扶手30，便于推动支撑架10。

具体的，底架12上设有支撑台14，支撑台14上可放置石英坩埚,支撑台14与石英坩埚之间设有金属隔离层。在本实施例中，在底架12上对应顶架11中央通孔的位置固定设置有支撑台14，支撑台14的形状可以为圆形也可以是四边形，只要能支撑石英坩埚即可。为了避免石英坩埚与金属直接接触降低石英坩埚使用寿命，防止金属杂质粘接在石英坩埚底部受热之后进入硅溶液影响单晶的质量，在支撑台14上部设置金属隔离层，金属隔离层的材质不做限制，可以为四氟或者橡胶。

具体的，夹持装置20包括伸缩立杆22和夹持杆21，伸缩立杆22设置在顶架11上部，伸缩立杆22的顶部设有夹持杆21，伸缩立杆22可根据石英坩埚的高度，带动夹持杆21上下移动，调节夹持杆21的夹持高度。

具体的，伸缩立杆22包括竖直滑槽221和活动立杆222，竖直滑槽221设置在顶架11上，活动立杆222顶部设置夹持杆21，活动立杆222设置在竖直滑槽221内部且可带动夹持杆21沿竖直滑槽221移动。在本实施例中，竖直滑槽221截面为C型，设置在顶架11上部，活动立杆222顶部安装有夹持杆21，底部套设在竖直滑槽221内，活动立杆222可带动夹持杆21沿竖直滑槽221移动。

具体的，活动立杆222上设有滑块，滑块设置在竖直滑槽221内，滑块可带动活动立杆222沿竖直滑槽221移动。在本实施例中，在活动立杆222未安装夹持杆21的一端安装有滑块，滑块内设有弹力片225，弹力片225可沿竖直滑槽221移动。滑块包括上滑块223和下滑块224，下滑块224设置在竖直滑槽221的内部，设有卡接槽2243，上滑块223设置在竖直滑槽221外部，上滑块223靠近下滑块224的一侧设有卡接柱2231，卡接柱2231与卡接槽2243卡合，将上滑块223和下滑块224固定在一起。弹力片225设置在上滑块223和下滑块224之间。下滑块224上部设有定位凸起2242，定位凸起2242之间卡接有弹力片225，弹力片225与竖直滑槽221两侧滑动连接，当推动弹力片225时，弹力片225可带动滑块沿竖直滑槽221移动。竖直滑槽221一侧设有锯齿槽，用于弹力片225的定位。锯齿槽的形状不做限制，弹力片225靠近锯齿槽的一侧的形状与锯齿槽的形状适配。下滑块224靠近活动立杆222的一端设有螺柱2241，螺柱2241与活动立杆222采用螺栓固定。推动上滑块223带动弹力片225沿竖直滑槽221移动，当夹持杆21到达夹持位置时，弹力片225与锯齿槽卡合。

具体的，夹持杆21沿石英坩埚的径向设置，夹持杆21靠近石英坩埚的一端设有夹持块211。在本实施例中，为了更好的固定石英坩埚，夹持杆21沿石英坩埚的径向，垂直于竖直滑槽221设置，夹持杆21靠近石英坩埚的一端设有夹持块211，夹持块211的形状为弧形与石英坩埚的外壁适配。夹持块211的材质为四氟或者橡胶。

具体的，由于不同型号石英坩埚的直径不一样，为了便于调节夹持杆21的位置，夹持杆21与伸缩立杆22的活动连接，可沿石英坩埚的径向移动。在本实施例中，夹持杆21靠近活动立杆222的一端设有螺纹，活动立杆222顶部设有通孔，夹持杆21设有螺纹端穿过通孔采用螺母与活动立杆222进行可拆卸式连接。在某些实施例中，活动立杆222顶部设置螺纹孔，夹持杆21设有螺纹端与螺纹孔连接。

具体的，为了避免夹持杆21造成意外伤害，顶架11上部设有收纳槽15，收纳槽15的形状与夹持块211的形状适配。当不进行装料时，可将伸缩立杆22收缩，使夹持块211的底部放置在收纳槽15中。

本实用新型具有的优点和积极效果：

通过设置伸缩立杆22和夹持杆21，可以使不同尺寸的石英坩埚在运输过程中保持稳固，减小石英坩埚发生碰撞破裂的风险，保证生产的正常进行，提高生产效率。

以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

Claims (10)

1.一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车，其特征在于，包括

支撑架，用于放置石英坩埚；

夹持装置,设置在所述支撑架上方，用于对所述石英坩埚外壁进行夹持，且所述夹持装置可上下移动，也可靠近或远离所述石英坩埚外壁移动。

2.根据权利要求1所述的一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车，其特征在于：所述夹持装置沿所述石英坩埚的周向均匀分布。

3.根据权利要求1或2所述的一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车，其特征在于：所述支撑架包括顶架、底架和置于所述顶架和底架之间的若干支架，所述石英坩埚可穿过所述顶架设置在所述底架上部，置于所述若干支架内部，所述夹持装置设置在所述顶架上部。

4.根据权利要求3所述的一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车，其特征在于：所述底架上设有支撑台，所述支撑台上可放置所述石英坩埚,所述支撑台与所述石英坩埚之间设有金属隔离层。

5.根据权利要求3所述的一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车，其特征在于：所述夹持装置包括伸缩立杆和夹持杆，所述伸缩立杆设置在所述顶架上，所述伸缩立杆顶部设有所述夹持杆，所述伸缩立杆可带动所述夹持杆上下移动。

6.根据权利要求5所述的一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车，其特征在于：所述伸缩立杆包括竖直滑槽和活动立杆，所述竖直滑槽设置在所述顶架上，所述活动立杆顶部设置所述夹持杆，所述活动立杆设置在所述竖直滑槽内部且可带动所述夹持杆沿所述竖直滑槽移动。

7.根据权利要求6所述的一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车，其特征在于：所述活动立杆上设有滑块，所述滑块设置在所述竖直滑槽内，所述滑块可带动所述活动立杆沿所述竖直滑槽移动。

8.根据权利要求5所述的一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车，其特征在于：所述夹持杆沿所述石英坩埚的径向设置，所述夹持杆靠近所述石英坩埚的一端设有夹持块。

9.根据权利要求8所述的一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车，其特征在于：所述夹持杆与所述伸缩立杆活动连接，可沿石英坩埚的径向移动。

10.根据权利要求8所述的一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车，其特征在于：所述顶架上部设有收纳槽，用于放置所述夹持块。

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