CN218350442U - 一种激光器芯片自动测试设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种激光器芯片自动测试设备，包括：基座，为本装置的主体平台，所述基座的上端设有防尘盖；所述基座的上表面通过铆钉固定安装有：晶圆放置台、高温检测台、常温检测台、检测机构、分类放置台、转运检测台，所述高温检测台设置在所述晶圆放置台的左侧，所述常温检测台设置在所述高温检测台的左侧，所述分类放置台设置在所述常温检测台的左侧，所述检测机构设于所述常温检测台与所述高温检测台的前端，所述检测机构共设置两组；该用于激光芯片的检测装置，能够利用三组检测平台，对激光芯片进行高温与常温下的检测，从而更准确的检测激光芯片的体质，同时也具有相当高的检测效率，能够满足大批量激光芯片的快速检测需求。

Description

一种激光器芯片自动测试设备

技术领域

本实用新型涉及激光芯片测试技术领域，具体为一种激光器芯片自动测试设备。

背景技术

随着互联网和多媒体通讯的需求不断增长，科技水平的不断推进，因此对于多种网络的硬件需求也随之增高，光纤通信凭借其高带宽，低延迟，逐渐应用于网络通信等领域，包括激光器芯片等光电子器件的发展也在成熟起来，而激光芯片在生产过程中会由于其生产工艺限制，出现体质的不同，因此还需要使用检测设备，对激光芯片的体质进行检测。

如申请号CN2021215581 16本实用新型公开了一种芯片自动测试设备，包括:测试机台,所述测试机台上阵列设置有多个测试模组；.上下料机构,所述上下料机构设置于测试机台的侧边,用于放置芯片的料盘；飞梭机构,所述飞梭机构的一-进出料端设置于上下料机构处,飞梭机构的另-进出料端设置于测试模组处；上下料机头机构,所述上下料机头机构设置于上下料机构的上方位置；测试机头机构,所述测试机头机构设置于测试机台的上方位置。本实用新型通过自动化测试代替了人工劳动,采用两块载料台的飞梭机构交替往复运动满足机台快速高效的需求,从而提高机台的整体效率,不仅定位精准,而且能够大大提高测试效率,支持多组芯片同时上料、下料、测试的优点。

类似于上述激光芯片检测装置目前还存在以下几点不足：

由于激光芯片需要维持在高温环境下运作，激光芯片的耐温体质能直接影响其性能水平，现有装置无法满足高温下的激光芯片检测需求。

于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提出一种激光器芯片自动测试设备，以期达到更具有实用价值性的目的。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种激光器芯片自动测试设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种激光器芯片自动测试设备，包括：

基座，为本装置的主体平台，所述基座的上端设有防尘盖；

所述基座的上表面通过铆钉固定安装有：晶圆放置台、高温检测台、常温检测台、检测机构、分类放置台、转运检测台，所述高温检测台设置在所述晶圆放置台的左侧，所述常温检测台设置在所述高温检测台的左侧，所述分类放置台设置在所述常温检测台的左侧，所述检测机构设于所述常温检测台与所述高温检测台的前端，所述检测机构共设置两组；所述转运检测台设于所述晶圆放置台与所述高温检测台与所述常温检测台以及所述分类放置台的后方，所述转运检测台的正面通过螺钉固定安装有检测探头，所述检测探头延伸至所述晶圆放置台与所述高温检测台与所述常温检测台的上端，所述检测探头共设置三组。

优选的，所述基座的表面四角通过螺钉固定安装有万向轮与定位脚。

优选的，所述防尘盖的外侧设有操作面板与开合门。

优选的，所述晶圆放置台包括：平台旋转机构、横向滑台、横向滑动电机、纵向滑台、纵向驱动电机、纵向滑动平台、扩晶盘，其中所述平台旋转机构为晶圆放置台与所述基座之间的连接机构，所述横向滑台固定安装于所述平台旋转机构的上端，所述纵向滑台滑动安装于所述横向滑台的上端，所述纵向滑台与所述横向滑台之间构成滑动结构，所述横向滑动电机固定安装于所述横向滑台的外侧，所述横向滑动电机与所述纵向滑台之间通过同步带进行连接，所述纵向滑动平台滑动安装在所述纵向滑台的上端，所述纵向滑动平台与所述纵向滑台之间构成滑动结构，所述纵向驱动电机设于所述纵向滑动平台的外侧，所述纵向驱动电机与所述纵向滑动平台之间通过同步带进行连接，所述扩晶盘固定安装于所述纵向滑动平台的上端。

优选的，所述高温检测台的内侧设置有：第一旋转电机与第一转动轮，其中所述第一转动轮与所述第一转动轮之间通过同步带进行连接，所述第一转动轮的上端设有高温放置台，所述高温检测台的上端还设有第一激光测距器、第一测直器，所述第一激光测距器设于所述高温放置台的后侧，所述第一测直器安装于所述第一激光测距器的上端。

优选的，所述常温检测台的内侧设置有第二旋转电机与第二转动轮，其中所述第二转动轮与所述第二转动轮之间通过同步带进行连接，所述第二转动轮的上端设有常温尖锥放置台，所述常温检测台的上还设有第二激光测距器、第二测直器，所述第二激光测距器设于所述常温尖锥放置台的后侧，所述第二测直器安装于所述第二激光测距器的上端。

优选的，所述检测机构还包括有：检测支撑架为检测机构的主要支撑部件，所述检测机构的上端固定安装有升降驱动器与芯片检测头，所述芯片检测头与所述检测支撑架之间的连接方式为滑动连接，所述芯片检测头上设有检测探针，所述检测探针共设置两组。

优选的，所述分类放置台的上表面滑动设置有多组滑动平台，所述分类放置台的内侧设有滑动电机与传动辊，所述滑动电机的输出轴通过同步带连接于所述传动辊，所述传动辊通过同步带连接于所述滑动平台。

优选的，所述转运检测台上设有纵向滑动板，所述纵向滑动板纵向设置两组，所述纵向滑动板上滑动设置有单向提取装置与双向提取装置，所述单向提取装置延伸至所述转运检测台的前端，所述单向提取装置的内侧设有升降装置，所述升降装置的下方设置有提取头，所述双向提取装置与所述单向提取装置的结构相似，但所述双向提取装置的升降装置上设有两组提取头，所述转运检测台的上还设有两组滑动驱动电机，所述滑动驱动电机与所述纵向滑动板之间一一对应，所述滑动驱动电机通过同步带与所述单向提取装置以及双向提取装置之间进行连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该用于激光芯片的检测装置，能够利用三组检测平台，对激光芯片进行高温与常温下的检测，从而更准确的检测激光芯片的体质，同时也具有相当高的检测效率，能够满足大批量激光芯片的快速检测需求；

1.通过高温检测台，高温检测台能够制造一定的温度，模拟芯片在高温下的运作情况，同时检测机构的探针会延伸到芯片上，对芯片进行探测检验，同时检测探头在上方，对芯片进行另一方位的监测，同时高温检测台能够通过第一旋转电机的驱动，从而使搭载芯片的高温放置台持续旋转，满足多角度的监测需求；

2.通过晶圆放置台与分类放置台以及转运检测台，工作人员只需要将需要检测的芯片放置在晶圆放置台上，晶圆放置台便会自动追踪芯片位置，并通过转运检测台的单向提取装置与双向提取装置对芯片进行拾取，检测，最终将其输送到分类放置台，从而快速完成芯片的检测与码放工作。

附图说明

图1为本实用新型整体立体等轴测结构示意图；

图2为本实用新型拆去防尘盖后等轴测结构示意图；

图3为本实用新型晶圆放置台部分等轴测结构示意图；

图4为本实用新型高温检测台以及常温检测台部分等轴测结构示意图；。

图5为本实用新型检测机构等轴测结构示意图；

图6为本实用新型分类放置台部分等轴测结构示意图；

图7为本实用新型转运检测台部分等轴测结构示意图。

图中：1、基座；11、万向轮；12、定位脚；2、防尘盖；21、操作面板；22、开合门；3、晶圆放置台；31、平台旋转机构；32、横向滑台；33、横向滑动电机；34、纵向滑台；35、纵向驱动电机；36、纵向滑动平台；37、扩晶盘；4、高温检测台；41、第一旋转电机；42、第一转动轮；43、高温放置台；44、第一激光测距器；45、第一测直器；5、常温检测台；51、第二旋转电机；52、第二转动轮；53、常温尖锥放置台；54、第二激光测距器；55、第二测直器；6、检测机构；61、检测支撑架；62、升降驱动器；63、芯片检测头；64、检测探针；7、分类放置台；71、滑动平台；72、滑动电机；73、传动辊；8、转运检测台；81、纵向滑动板；82、滑动驱动电机；83、单向提取装置；84、升降装置；85、提取头；86、双向提取装置；9、检测探头。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-7，一种激光器芯片自动测试设备，包括：基座1，为本装置的主体平台，基座1的上端设有防尘盖2；基座1的上表面通过铆钉固定安装有：晶圆放置台3、高温检测台4、常温检测台5、检测机构6、分类放置台7、转运检测台8，高温检测台4设置在晶圆放置台3的左侧，常温检测台5设置在高温检测台4的左侧，分类放置台7设置在常温检测台5的左侧，检测机构6设于常温检测台5与高温检测台4的前端，检测机构6共设置两组；转运检测台8设于晶圆放置台3与高温检测台4与常温检测台5以及分类放置台7的后方，转运检测台8的正面通过螺钉固定安装有检测探头9，检测探头9延伸至晶圆放置台3与高温检测台4与常温检测台5的上端，检测探头9共设置三组。基座1的表面四角通过螺钉固定安装有万向轮11与定位脚12，使基座1能够根据现场需求，对其位置进行快速调整。防尘盖2的外侧设有操作面板21与开合门22，能够对内部的检测设备进行充分保护，同时也能够通过操作面板21对设备进行调整

请参阅图3，一种激光器芯片自动测试设备，包括：晶圆放置台3包括：平台旋转机构31、横向滑台32、横向滑动电机33、纵向滑台34、纵向驱动电机35、纵向滑动平台36、扩晶盘37，其中平台旋转机构31为晶圆放置台3与基座1之间的连接机构，横向滑台32固定安装于平台旋转机构31的上端，纵向滑台34滑动安装于横向滑台32的上端，纵向滑台34与横向滑台32之间构成滑动结构，横向滑动电机33固定安装于横向滑台32的外侧，横向滑动电机33与纵向滑台34之间通过同步带进行连接，纵向滑动平台36滑动安装在纵向滑台34的上端，纵向滑动平台36与纵向滑台34之间构成滑动结构，纵向驱动电机35设于纵向滑动平台36的外侧，纵向驱动电机35与纵向滑动平台36之间通过同步带进行连接，扩晶盘37固定安装于纵向滑动平台36的上端，结合扩晶盘37的工作原理，能够使芯片进行初步检测，当整板芯片放置在扩晶盘37上时，能够根据检测数据，对扩晶盘37的位置进行调整，从而便于提取头85对芯片进行提取。

请参阅图4-5，一种激光器芯片自动测试设备，包括：高温检测台4的内侧设置有：第一旋转电机41与第一转动轮42，其中第一转动轮42与第一转动轮42之间通过同步带进行连接，第一转动轮42的上端设有高温放置台43，高温检测台4的上端还设有第一激光测距器44、第一测直器45，第一激光测距器44设于高温放置台43的后侧，第一测直器45安装于第一激光测距器44的上端。常温检测台5的内侧设置有第二旋转电机51与第二转动轮52，其中第二转动轮52与第二转动轮52之间通过同步带进行连接，第二转动轮52的上端设有常温尖锥放置台53，常温检测台5的上还设有第二激光测距器54、第二测直器55，第二激光测距器54设于常温尖锥放置台53的后侧，第二测直器55安装于第二激光测距器54的上端。检测机构6还包括有：检测支撑架61为检测机构6的主要支撑部件，检测机构6的上端固定安装有升降驱动器62与芯片检测头63，芯片检测头63与检测支撑架61之间的连接方式为滑动连接，芯片检测头63上设有检测探针64，检测探针64共设置两组，高温检测台4与常温检测台5能够模拟高温和常温下的芯片检测状况，且都能够使芯片进行多角度转动，从而便于检测出更为全面精细的检测数据。

请参阅图6-7，一种激光器芯片自动测试设备，包括：分类放置台7的上表面滑动设置有多组滑动平台71，分类放置台7的内侧设有滑动电机72与传动辊73，滑动电机72的输出轴通过同步带连接于传动辊73，传动辊73通过同步带连接于滑动平台71，根据芯片的品质优劣等级不同，设置多组不同的滑动平台71，从而能够通过检测数据，使不同品质的芯片能够分类堆叠，完成整理工作。转运检测台8上设有纵向滑动板81，纵向滑动板81纵向设置两组，纵向滑动板81上滑动设置有单向提取装置83与双向提取装置86，单向提取装置83延伸至转运检测台8的前端，单向提取装置83的内侧设有升降装置84，升降装置84的下方设置有提取头85，双向提取装置86与单向提取装置83的结构相似，但双向提取装置86的升降装置84上设有两组提取头85，转运检测台8的上还设有两组滑动驱动电机82，滑动驱动电机82与纵向滑动板81之间一一对应，滑动驱动电机82通过同步带与单向提取装置83以及双向提取装置86之间进行连接，单向提取装置83能够将检测完成的芯片精准码放在放置台上，当而双向提取装置86，则能够以更高的效率，完成芯片在不同检测平台上的转运工作，从而提高有效提高设备的检测效率。

综上：该装置以基座1为主要平台，防尘盖2对工作设备进行保护的同时，操作面板21也可对设备进行一定的功能控制，通过开合门22，能够放入需要检测的芯片；

其中晶圆放置台3用于放置待检测芯片，同时也对晶圆放置台3进行初步的检测，转运检测台8上有单向提取装置83与双向提取装置86，能够提取芯片进行移动，检测探头9能够对芯片进行检测，高温检测台4用于检测芯片的高温下体质，常温检测台5能够检测芯片的常温下体质，检测都通过检测机构6来完成，最终将芯片输送到分类放置台7上，并通过芯片的品质，将其放置在不同的滑动平台71上；

晶圆放置台3能够通过平台旋转机构31进行旋转，调整芯片的码放角度，纵向滑台34能够在横向滑台32上滑动，并通过横向滑动电机33进行驱动，纵向滑动平台36在纵向驱动电机35的驱动下，在纵向滑动平台36上滑动，而扩晶盘37能够摆放芯片，便于检测探头9进行检测；

高温检测台4，通过第一旋转电机41带动第一转动轮42，是高温放置台43进行多角度的转动，高温放置台43用于放置被检测的芯片，第一激光测距器44用于定位芯片位置，芯片的角度和位置通过第一测直器45进行追踪；

常温检测台5的结构和原理与高温检测台4类似，能够通过第二旋转电机51带动第二转动轮52，使常温尖锥放置台53进行转动，同时第二激光测距器54定位芯片位置，芯片的角度通过第二测直器55进行追踪；

检测机构6以检测支撑架61为支撑，升降驱动器62能够带动芯片检测头63进行山西该移动，检测探针64能够延伸到高温放置台43与常温尖锥放置台53上，进行检测工作；

转运检测台8共两组纵向滑动板81，第一组的行驶区间在晶圆放置台3到常温检测台5之间，双向提取装置86通过这一组纵向滑动板81进行移动，第二组的区间在常温检测台5到分类放置台7之间，单向提取装置83通过这一组纵向滑动板81进行移动，通过滑动驱动电机82，能够带动双向提取装置86与单向提取装置83进行横向移动，第一组纵向滑动板81上滑动设置有双向提取装置86，双向提取装置86能够通过升降装置84带动提取头85上下升降，同时提取两个芯片进行位移，而另一组单向提取装置83，则能够将芯片从常温检测台5输送到分类放置台7上进行码放；

分类放置台7上有多组滑动平台71，利用滑动电机72带动传动辊73，使滑动平台71进行前后移动，从而进行芯片的分类码放，从而完成该装置的全部使用过程。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (9)

1.一种激光器芯片自动测试设备，其特征在于，包括：

基座(1)，为本装置的主体平台，所述基座(1)的上端设有防尘盖(2)；

所述基座(1)的上表面通过铆钉固定安装有：晶圆放置台(3)、高温检测台(4)、常温检测台(5)、检测机构(6)、分类放置台(7)、转运检测台(8)，所述高温检测台(4)设置在所述晶圆放置台(3)的左侧，所述常温检测台(5)设置在所述高温检测台(4)的左侧，所述分类放置台(7)设置在所述常温检测台(5)的左侧，所述检测机构(6)设于所述常温检测台(5)与所述高温检测台(4)的前端，所述检测机构(6)共设置两组；所述转运检测台(8)设于所述晶圆放置台(3)与所述高温检测台(4)与所述常温检测台(5)以及所述分类放置台(7)的后方，所述转运检测台(8)的正面通过螺钉固定安装有检测探头(9)，所述检测探头(9)延伸至所述晶圆放置台(3)与所述高温检测台(4)与所述常温检测台(5)的上端，所述检测探头(9)共设置三组。

2.根据权利要求1所述的一种激光器芯片自动测试设备，其特征在于，所述基座(1)的表面四角通过螺钉固定安装有万向轮(11)与定位脚(12)。

3.根据权利要求1所述的一种激光器芯片自动测试设备，其特征在于，所述防尘盖(2)的外侧设有操作面板(21)与开合门(22)。

4.根据权利要求1所述的一种激光器芯片自动测试设备，其特征在于，所述晶圆放置台(3)包括：平台旋转机构(31)、横向滑台(32)、横向滑动电机(33)、纵向滑台(34)、纵向驱动电机(35)、纵向滑动平台(36)、扩晶盘(37)，其中所述平台旋转机构(31)为晶圆放置台(3)与所述基座(1)之间的连接机构，所述横向滑台(32)固定安装于所述平台旋转机构(31)的上端，所述纵向滑台(34)滑动安装于所述横向滑台(32)的上端，所述纵向滑台(34)与所述横向滑台(32)之间构成滑动结构，所述横向滑动电机(33)固定安装于所述横向滑台(32)的外侧，所述横向滑动电机(33)与所述纵向滑台(34)之间通过同步带进行连接，所述纵向滑动平台(36)滑动安装在所述纵向滑台(34)的上端，所述纵向滑动平台(36)与所述纵向滑台(34)之间构成滑动结构，所述纵向驱动电机(35)设于所述纵向滑动平台(36)的外侧，所述纵向驱动电机(35)与所述纵向滑动平台(36)之间通过同步带进行连接，所述扩晶盘(37)固定安装于所述纵向滑动平台(36)的上端。

5.根据权利要求1所述的一种激光器芯片自动测试设备，其特征在于，所述高温检测台(4)的内侧设置有：第一旋转电机(41)与第一转动轮(42)，其中所述第一转动轮(42)与所述第一转动轮(42)之间通过同步带进行连接，所述第一转动轮(42)的上端设有高温放置台(43)，所述高温检测台(4)的上端还设有第一激光测距器(44)、第一测直器(45)，所述第一激光测距器(44)设于所述高温放置台(43)的后侧，所述第一测直器(45)安装于所述第一激光测距器(44)的上端。

6.根据权利要求1所述的一种激光器芯片自动测试设备，其特征在于，所述常温检测台(5)的内侧设置有第二旋转电机(51)与第二转动轮(52)，其中所述第二转动轮(52)与所述第二转动轮(52)之间通过同步带进行连接，所述第二转动轮(52)的上端设有常温尖锥放置台(53)，所述常温检测台(5)的上还设有第二激光测距器(54)、第二测直器(55)，所述第二激光测距器(54)设于所述常温尖锥放置台(53)的后侧，所述第二测直器(55)安装于所述第二激光测距器(54)的上端。

7.根据权利要求1所述的一种激光器芯片自动测试设备，其特征在于，所述检测机构(6)还包括有：检测支撑架(61)为检测机构(6)的主要支撑部件，所述检测机构(6)的上端固定安装有升降驱动器(62)与芯片检测头(63)，所述芯片检测头(63)与所述检测支撑架(61)之间的连接方式为滑动连接，所述芯片检测头(63)上设有检测探针(64)，所述检测探针(64)共设置两组。

8.根据权利要求1所述的一种激光器芯片自动测试设备，其特征在于，所述分类放置台(7)的上表面滑动设置有多组滑动平台(71)，所述分类放置台(7)的内侧设有滑动电机(72)与传动辊(73)，所述滑动电机(72)的输出轴通过同步带连接于所述传动辊(73)，所述传动辊(73)通过同步带连接于所述滑动平台(71)。

9.根据权利要求1所述的一种激光器芯片自动测试设备，其特征在于，所述转运检测台(8)上设有纵向滑动板(81)，所述纵向滑动板(81)纵向设置两组，所述纵向滑动板(81)上滑动设置有单向提取装置(83)与双向提取装置(86)，所述单向提取装置(83)延伸至所述转运检测台(8)的前端，所述单向提取装置(83)的内侧设有升降装置(84)，所述升降装置(84)的下方设置有提取头(85)，所述双向提取装置(86)与所述单向提取装置(83)的结构相似，但所述双向提取装置(86)的升降装置(84)上设有两组提取头(85)，所述转运检测台(8)的上还设有两组滑动驱动电机(82)，所述滑动驱动电机(82)与所述纵向滑动板(81)之间一一对应，所述滑动驱动电机(82)通过同步带与所述单向提取装置(83)以及双向提取装置(86)之间进行连接。

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