CN218342146U - 一种硅片制造用机械手臂 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片制造用机械手臂，包括底座，所述底座的顶部装配有顶柱，所述顶柱的顶端装配有转架，所述转架的外端装配有板座，所述板座的底部装配有压板，所述压板的底部固定安装有真空吸盘，所述压板的顶部装配有真空发生器，且真空发生器的输出端通过气管与真空吸盘相连通，所述底座的顶部装配有驱动电机，所述转架上开设有套槽，且转架通过套槽固定套装在驱动电机的输出轴上；该硅片制造用机械手臂，通过压板底部各组件的设置，能够通过四组位置相对真空吸盘的设置，能够从硅板的四个角上对其进行高效吸附，不仅能够保证该装置转运时的夹持效果，同时也能够避免现有夹持式转运压力过大进而导致硅板损坏的情况发生。

Description

一种硅片制造用机械手臂

技术领域

本实用新型涉及硅片制造辅助转运技术领域，具体为一种硅片制造用机械手臂。

背景技术

经检索，专利申请号为201922351870.4的申请书中，公开了一种硅片转移机械手，该机械手采用真空发生器和吸盘配合对硅片进行固定，利于产品精确定位。包括竖向的转轴，所述的转轴顶部与第一手臂内端部底面转动连接，第一手臂外端部上表面与第二手臂内端部底面转动连接，第二手臂外端部上表面与第三手臂内端部底面转动连接，所述的第三手臂外端部上表面设有硅片固定机构；机械手两侧分别设有竖向的支杆，所述的支杆底部设有固定座，顶部共同固定设有横杆，所述的横杆上可滑动套设有第一套环，所述的第一套环底面中间位置与竖向前后开口的第二套环顶部固定连接。它操作简单，使用方便，适用于多种场所。

在现有硅片制造过程中，通过是由大块的硅板切割打磨为小块的硅片，而在硅板的转运过程中，需要使用相应机械手辅助转运，现有一般为夹持式机械手，夹持效果有限不仅硅板易脱落同时也易由于压力过大导致硅板损坏的情况发生。

因此，我们提出了一种硅片制造用机械手臂。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片制造用机械手臂，解决了现有夹持式转运压力过大进而导致硅板损坏和转运效率较低的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种硅片制造用机械手臂，包括底座，所述底座的顶部装配有顶柱，所述顶柱的顶端装配有转架，所述转架的外端装配有板座，所述板座的底部装配有压板，所述压板的底部固定安装有真空吸盘，所述压板的顶部装配有真空发生器，且真空发生器的输出端通过气管与真空吸盘相连通。

优选的，所述底座的顶部装配有驱动电机，所述转架上开设有套槽，且转架通过套槽固定套装在驱动电机的输出轴上。

优选的，所述转架的外侧壁上固定安装有第一驱动缸，所述第一驱动缸的输出轴为第一顶杆，且第一顶杆的外端固定连接有板座。

优选的，所述板座的顶部开设有座槽，所述板座的内侧装配有第二驱动缸，所述第二驱动缸的底部设置有为其输出轴的第二顶杆，且第二顶杆的底端固定连接有压板。

优选的，所述压板为“工”字型板，所述压板四个角的底部均固定安装有真空吸盘，所述压板的顶部装配有两组位置相对且与四组真空吸盘相连通的真空发生器。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种硅片制造用机械手臂。具备以下有益效果：

1、该硅片制造用机械手臂，通过压板底部各组件的设置，能够通过四组位置相对真空吸盘的设置，能够从硅板的四个角上对其进行高效吸附，不仅能够保证该装置转运时的夹持效果，同时也能够避免现有夹持式转运压力过大进而导致硅板损坏的情况发生。

2、该硅片制造用机械手臂，通过底座顶部各组件的设置，能够利用驱动电机对转架外端各组件的位置进行旋动，从而能够达到对硅板的位置进行旋动调节，调节至一定角度后，通过第二驱动缸调节压板的高度，从而能够对硅板进行夹持和放置，同时保证该装置的转运精度和转运效果。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型侧视的结构示意图；

图3为本实用新型转架的结构示意图；

图4为本实用新型压板的结构示意图。

图中：1、底座；2、顶柱；3、驱动电机；4、转架；5、第一驱动缸；6、第一顶杆；7、板座；8、第二驱动缸；9、第二顶杆；10、压板；11、真空吸盘；12、套槽；13、真空发生器；14、气管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型实施例提供一种技术方案：一种硅片制造用机械手臂，包括底座1，底座1的顶部装配有顶柱2，顶柱2的顶端装配有转架4，转架4的外端装配有板座7，板座7的底部装配有压板10，压板10的底部固定安装有真空吸盘11，压板10的顶部装配有真空发生器13，且真空发生器13的输出端通过气管14与真空吸盘11相连通；

其中，在本实施例中，需要补充说明的是，该硅片制造用机械手臂，通过压板10底部各组件的设置，能够通过四组位置相对真空吸盘11的设置，能够从硅板的四个角上对其进行高效吸附，不仅能够保证该装置转运时的夹持效果，同时也能够避免现有夹持式转运压力过大进而导致硅板损坏的情况发生。

在本实施例中，需要补充说明的是，底座1的顶部装配有驱动电机3，转架4上开设有套槽12，且转架4通过套槽12固定套装在驱动电机3的输出轴上。

在本实施例中，需要补充说明的是，转架4的外侧壁上固定安装有第一驱动缸5，第一驱动缸5的输出轴为第一顶杆6，且第一顶杆6的外端固定连接有板座7。

在本实施例中，需要补充说明的是，板座7的顶部开设有座槽，板座7的内侧装配有第二驱动缸8，第二驱动缸8的底部设置有为其输出轴的第二顶杆9，且第二顶杆9的底端固定连接有压板10。

在本实施例中，需要补充说明的是，压板10为“工”字型板，压板10四个角的底部均固定安装有真空吸盘11，压板10的顶部装配有两组位置相对且与四组真空吸盘11相连通的真空发生器13。

此外，该硅片制造用机械手臂，通过底座1顶部各组件的设置，能够利用驱动电机3对转架4外端各组件的位置进行旋动，从而能够达到对硅板的位置进行旋动调节，调节至一定角度后，通过第二驱动缸8调节压板10的高度，从而能够对硅板进行夹持和放置，同时保证该装置的转运精度和转运效果。

本实用新型的工作原理及使用流程：当需要该装置对硅板进行转运时，预先打开驱动电机3配合第一驱动缸5将板座7及其底部的压板10调节至硅板的上方，然后打开第二驱动缸8驱动第二顶杆9底端压板10底部的真空吸盘11紧贴在硅板的四个角上，然后打开真空发生器13配合气管14对硅板进行吸附，从而达到对硅板进行高效夹持的效果，然后再分别驱动第二驱动缸8、第一驱动缸5和驱动电机3，将硅板放置在相应位置上，从而达到对硅板进行高效转运的效果。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (5)

1.一种硅片制造用机械手臂，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)的顶部装配有顶柱(2)，所述顶柱(2)的顶端装配有转架(4)，所述转架(4)的外端装配有板座(7)，所述板座(7)的底部装配有压板(10)，所述压板(10)的底部固定安装有真空吸盘(11)，所述压板(10)的顶部装配有真空发生器(13)，且真空发生器(13)的输出端通过气管(14)与真空吸盘(11)相连通。

2.根据权利要求1所述的一种硅片制造用机械手臂，其特征在于：所述底座(1)的顶部装配有驱动电机(3)，所述转架(4)上开设有套槽(12)，且转架(4)通过套槽(12)固定套装在驱动电机(3)的输出轴上。

3.根据权利要求1所述的一种硅片制造用机械手臂，其特征在于：所述转架(4)的外侧壁上固定安装有第一驱动缸(5)，所述第一驱动缸(5)的输出轴为第一顶杆(6)，且第一顶杆(6)的外端固定连接有板座(7)。

4.根据权利要求1所述的一种硅片制造用机械手臂，其特征在于：所述板座(7)的顶部开设有座槽，所述板座(7)的内侧装配有第二驱动缸(8)，所述第二驱动缸(8)的底部设置有为其输出轴的第二顶杆(9)，且第二顶杆(9)的底端固定连接有压板(10)。

5.根据权利要求1所述的一种硅片制造用机械手臂，其特征在于：所述压板(10)为“工”字型板，所述压板(10)四个角的底部均固定安装有真空吸盘(11)，所述压板(10)的顶部装配有两组位置相对且与四组真空吸盘(11)相连通的真空发生器(13)。

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