CN217762821U - 一种微小孔衍射光斑测量装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种微小孔衍射光斑测量装置，涉及测量装置技术领域，包括横梁调节支架，所述横梁调节支架的底部固定安装有调节支腿，所述横梁调节支架顶部的左侧固定安装有He‑Ne激光器，所述横梁调节支架的顶部且位于He‑Ne激光器的右侧固定安装有针孔板，所述横梁调节支架的顶部且位于针孔板的右侧固定安装有准直镜。本实用新型通过螺杆和调节螺套的作用，便于对压板的位置进行控制，使压板的顶部与横梁之间的连接处进行压紧，利用弹簧的作用，对压板的两侧进行拉动，使压板的上表面处于同一水平面上，避免压板发生倾斜的问题，从而便于对卡板进行固定，避免卡板在横梁的顶部自行滑动的问题，从而影响对衍射光斑的测量结果。

Description

一种微小孔衍射光斑测量装置

技术领域

本实用新型涉及测量装置技术领域，具体涉及一种微小孔衍射光斑测量装置。

背景技术

干涉测量法因具有高精度、非接触、全场测量的优点，成为了球面、非球面光学元件面形检测的主要方法，点衍射干涉测量技术是目前国内外超精面形检测领域研究的新热点，该方法通过微米尺寸小孔衍射产生近似理想的球面波作为参考面，摆脱了传统球面干涉仪标准镜头对其检测精度的限制，理论上可达到亚纳米级检测精度。

针对现有技术存在以下问题：

1、现有的微小孔衍射光斑测量装置，在对各个仪器之间的距离进行调节完成后，不便于对其进行锁动的问题，从而影响对衍射光斑的测量结果；

2、现有的微小孔衍射光斑测量装置，在对各个仪器之间的距离进行调节完成后，不便于对仪器进行调节，经常因为四者不在同一条之间上从而影响对衍射光斑的测量结果。

实用新型内容

本实用新型提供一种微小孔衍射光斑测量装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种微小孔衍射光斑测量装置，包括横梁调节支架，所述横梁调节支架的底部固定安装有调节支腿，所述横梁调节支架顶部的左侧固定安装有He-Ne激光器，所述横梁调节支架的顶部且位于He-Ne激光器的右侧固定安装有针孔板，所述横梁调节支架的顶部且位于针孔板的右侧固定安装有准直镜，所述横梁调节支架顶部的右侧且位于准直镜的右侧固定安装有远心光路，所述远心光路的右端通过传输线活动连接有采集设备。

所述横梁调节支架包括横梁，所述横梁的底部与调节支腿的顶部固定安装，所述横梁正面的顶部活动套接有耐磨橡胶板，所述耐磨橡胶板的外壁固定连接有卡板，所述横梁正面顶部的底侧搭接有压板，所述卡板上表面的中部固定安装有微调箱，所述微调箱的上表面滑动连接有支架板，所述支架板的底部固定安装有滑块支架。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述压板正面的两端固定安装有弹簧卡座，所述弹簧卡座的正面卡接有弹簧。

采用上述技术方案，该方案中的弹簧卡座、弹簧之间的相互配合，对压板的两侧进行拉动，使压板的上表面处于同一水平面上，避免压板发生倾斜的问题。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述压板上表面的中部固定安装有螺杆，所述螺杆外壁的顶部螺纹连接有调节螺套，所述调节螺套外壁的中部与卡板正面的顶部转动连接。

采用上述技术方案，该方案中的调节螺套、螺杆之间的相互配合，对压板的位置进行控制，使压板的顶部与横梁之间的连接处进行压紧。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述滑块支架的中部固定套接有螺套，所述螺套的内壁螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的两端固定安装有调节手柄。

采用上述技术方案，该方案中的调节手柄、螺纹杆、螺套之间的相互配合，使螺纹杆发生转动，从而使螺套的位置调节，从而便于对各个仪器之间的水平位置进行调节的目的。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述滑块支架的上下两端固定套接有导套，所述导套的内壁活动套接有导向导柱。

采用上述技术方案，该方案中的导向导柱、导套之间的相互配合，对滑块支架的上下两端进行导向和加固，避免在对滑块支架的位置进行调节完成后，仪器发生晃动的问题。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：所述螺套包括螺套主体，所述螺套主体外壁的中部与滑块支架的一端固定套接，所述螺套主体内壁的左侧开设有圆柱孔，所述螺套主体内壁的右侧设置有螺纹孔。

采用上述技术方案，该方案中的圆柱孔、螺套主体、螺纹孔之间的相互配合，对滑块支架进行限位，避免滑块支架的移动量过大，使螺套的一端超出螺纹杆螺牙的端部，从而导致滑块支架无法正常移动的问题。

由于采用了上述技术方案，本实用新型相对现有技术来说，取得的技术进步是：

1、本实用新型提供一种微小孔衍射光斑测量装置，采用压板、横梁、卡板、弹簧、调节螺套、螺杆之间的相互配合，通过螺杆和调节螺套的作用，便于对压板的位置进行控制，使压板的顶部与横梁之间的连接处进行压紧，利用弹簧的作用，对压板的两侧进行拉动，使压板的上表面处于同一水平面上，避免压板发生倾斜的问题，从而便于对卡板进行固定，避免卡板在横梁的顶部自行滑动的问题，从而影响对衍射光斑的测量结果。

2、本实用新型提供一种微小孔衍射光斑测量装置，采用滑块支架、导向导柱、导套、调节手柄、螺纹杆、螺套、圆柱孔之间的相互配合，通过手动转动调节手柄，使螺纹杆发生转动，从而使螺套的位置调节，从而便于对各个仪器之间的水平位置进行调节的目的，利用导向导柱和导套的作用，对滑块支架的上下两端进行导向和加固，避免在对滑块支架的位置进行调节完成后，仪器发生晃动的问题，从而影响对衍射光斑的测量结果，利用圆柱孔的作用，便于对滑块支架进行限位，避免滑块支架的移动量过大，使螺套的一端超出螺纹杆螺牙的端部，从而导致滑块支架无法正常移动的问题。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型横梁调节支架的剖视结构示意图；

图3为本实用新型横梁调节支架的锁紧结果的剖视结构示意图；

图4为本实用新型横梁调节支架的调节结构的剖视结构示意图；

图5为本实用新型螺套的剖视结构示意图。

图中：1、调节支腿；2、横梁调节支架；21、横梁；22、压板；23、卡板；24、耐磨橡胶板；25、微调箱；26、支架板；27、滑块支架；28、弹簧卡座；29、弹簧；210、调节螺套；211、螺杆；212、导向导柱；213、导套；214、调节手柄；215、螺纹杆；216、螺套；2161、圆柱孔；2162、螺套主体；2163、螺纹孔；3、He-Ne激光器；4、针孔板；5、准直镜；6、远心光路。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型做进一步详细说明：

实施例1

如图1-5所示，本实用新型提供了一种微小孔衍射光斑测量装置，包括横梁调节支架2，横梁调节支架2的底部固定安装有调节支腿1，横梁调节支架2顶部的左侧固定安装有He-Ne激光器3，横梁调节支架2的顶部且位于He-Ne激光器3的右侧固定安装有针孔板4，横梁调节支架2的顶部且位于针孔板4的右侧固定安装有准直镜5，横梁调节支架2顶部的右侧且位于准直镜5的右侧固定安装有远心光路6，远心光路6的右端通过传输线活动连接有采集设备，横梁调节支架2包括横梁21，横梁21的底部与调节支腿1的顶部固定安装，横梁21正面的顶部活动套接有耐磨橡胶板24，耐磨橡胶板24的外壁固定连接有卡板23，横梁21正面顶部的底侧搭接有压板22，卡板23上表面的中部固定安装有微调箱25，微调箱25的上表面滑动连接有支架板26，支架板26的底部固定安装有滑块支架27。

在本实施例中，通过动对调节支腿1的高度进行调节，使横梁21的两端在同一水平面上，避免横梁21的两端高低不平对测量结果造成影响，通过移动卡板23对各个仪器之间的距离进行调节，并对各个仪器之间的位置进行固定，将各个仪器之间的位置进行固定完成后，对各个仪器的前后位置进行调节，使四者的中心处于同一水平线上，从而便于对衍射光斑进行测量。

实施例2

如图1-5所示，在实施例1的基础上，本实用新型提供一种技术方案：优选的，压板22正面的两端固定安装有弹簧卡座28，弹簧卡座28的正面卡接有弹簧29，压板22上表面的中部固定安装有螺杆211，螺杆211外壁的顶部螺纹连接有调节螺套210，调节螺套210外壁的中部与卡板23正面的顶部转动连接。

在本实施例中，通过螺杆211和调节螺套210的作用，便于对压板22的位置进行控制，使压板22的顶部与横梁21之间的连接处进行压紧，利用弹簧29的作用，对压板22的两侧进行拉动，使压板22的上表面处于同一水平面上，避免压板22发生倾斜，从而便于对卡板23进行固定，避免卡板23在横梁21的顶部自行滑动，从而影响对衍射光斑的测量结果。

实施例3

如图1-5所示，在实施例1的基础上，本实用新型提供一种技术方案：优选的，滑块支架27的中部固定套接有螺套216，螺套216的内壁螺纹连接有螺纹杆215，螺纹杆215的两端固定安装有调节手柄214，滑块支架27的上下两端固定套接有导套213，导套213的内壁活动套接有导向导柱212，螺套216包括螺套主体2162，螺套主体2162外壁的中部与滑块支架27的一端固定套接，螺套主体2162内壁的左侧开设有圆柱孔2161，螺套主体2162内壁的右侧设置有螺纹孔2163。

在本实施例中，通过手动转动调节手柄214，使螺纹杆215发生转动，从而使螺套216的位置调节，从而便于对各个仪器之间的水平位置进行调节的目的，利用导向导柱212和导套213的作用，对滑块支架27的上下两端进行导向和加固，避免在对滑块支架27的位置进行调节完成后，仪器发生晃动，从而影响对衍射光斑的测量结果，利用圆柱孔2161的作用，便于对滑块支架27进行限位，避免滑块支架27的移动量过大，使螺套216的一端超出螺纹杆215螺牙的端部，从而导致滑块支架27无法正常移动。

下面具体说一下该微小孔衍射光斑测量装置的工作原理。

如图1-5所示，首先，将测量装置放置在工作台上，通过手动对调节支腿1的高度进行调节，使横梁21的两端在同一水平面上，避免横梁21的两端高低不平对测量结果造成影响，通过移动卡板23对各个仪器之间的距离进行调节，通过转动调节螺套210，使螺杆211带动压板22进行向上移动，从而使压板22的上表面与横梁21正面顶部的低端进行压紧，从而达到对各个仪器之间的位置进行固定的目的，将各个仪器之间的位置进行固定完成后，通过手动转动调节手柄214，使螺纹杆215带动滑块支架27进行移动，从而对各个仪器的前后位置进行调节，使四者的中心处于同一水平线上，从而便于对衍射光斑进行测量。

上文一般性的对本实用新型做了详尽的描述，但在本实用新型基础上，可以对之做一些修改或改进，这对于技术领域的一般技术人员是显而易见的。因此，在不脱离本实用新型思想精神的修改或改进，均在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种微小孔衍射光斑测量装置，包括横梁调节支架(2)，其特征在于：所述横梁调节支架(2)的底部固定安装有调节支腿(1)，所述横梁调节支架(2)顶部的左侧固定安装有He-Ne激光器(3)，所述横梁调节支架(2)的顶部且位于He-Ne激光器(3)的右侧固定安装有针孔板(4)，所述横梁调节支架(2)的顶部且位于针孔板(4)的右侧固定安装有准直镜(5)，所述横梁调节支架(2)顶部的右侧且位于准直镜(5)的右侧固定安装有远心光路(6)，所述远心光路(6)的右端通过传输线活动连接有采集设备；

所述横梁调节支架(2)包括横梁(21)，所述横梁(21)的底部与调节支腿(1)的顶部固定安装，所述横梁(21)正面的顶部活动套接有耐磨橡胶板(24)，所述耐磨橡胶板(24)的外壁固定连接有卡板(23)，所述横梁(21)正面顶部的底侧搭接有压板(22)，所述卡板(23)上表面的中部固定安装有微调箱(25)，所述微调箱(25)的上表面滑动连接有支架板(26)，所述支架板(26)的底部固定安装有滑块支架(27)。

2.根据权利要求1所述的一种微小孔衍射光斑测量装置，其特征在于：所述压板(22)正面的两端固定安装有弹簧卡座(28)，所述弹簧卡座(28)的正面卡接有弹簧(29)。

3.根据权利要求1所述的一种微小孔衍射光斑测量装置，其特征在于：所述压板(22)上表面的中部固定安装有螺杆(211)，所述螺杆(211)外壁的顶部螺纹连接有调节螺套(210)，所述调节螺套(210)外壁的中部与卡板(23)正面的顶部转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种微小孔衍射光斑测量装置，其特征在于：所述滑块支架(27)的中部固定套接有螺套(216)，所述螺套(216)的内壁螺纹连接有螺纹杆(215)，所述螺纹杆(215)的两端固定安装有调节手柄(214)。

5.根据权利要求1所述的一种微小孔衍射光斑测量装置，其特征在于：所述滑块支架(27)的上下两端固定套接有导套(213)，所述导套(213)的内壁活动套接有导向导柱(212)。

6.根据权利要求4所述的一种微小孔衍射光斑测量装置，其特征在于：所述螺套(216)包括螺套主体(2162)，所述螺套主体(2162)外壁的中部与滑块支架(27)的一端固定套接，所述螺套主体(2162)内壁的左侧开设有圆柱孔(2161)，所述螺套主体(2162)内壁的右侧设置有螺纹孔(2163)。

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