CN217738477U - 一种调节式热电偶及高温真空炉 - Google Patents
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 61
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 6
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims 2
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 abstract description 36
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 abstract description 20
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXXKQOPKNFECSZ-UHFFFAOYSA-N platinum rhodium Chemical compound [Rh].[Pt] PXXKQOPKNFECSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008707 rearrangement Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Abstract
本实用新型属于温度测量装置技术领域，具体公开了一种调节式热电偶，该调节式热电偶包括测温组件、固定座和锁紧组件，测温组件可滑动地穿设在固定座上，锁紧组件套设在测温组件上，且锁紧组件位于测温组件与固定座之间，当锁紧组件松开时，测温组件能够相对于固定座滑动，从而调整测温组件插入炉壳内部的深度，以使测温组件真实地反映炉壳内部被处理的元件的温度，测温准确，当锁紧组件锁紧时，测温组件的位置固定，固定效果良好。本实用新型还提供一种高温真空炉，包括上述的调节式热电偶，使得炉壳内部被处理的元件的温度测量准确。
Description
技术领域
本实用新型涉及温度测量装置技术领域，尤其涉及一种调节式热电偶及高温真空炉。
背景技术
在半导体的热处理工艺中，一般采用铠装热电偶来测量高温真空炉内部的炉温，例如，最高工作温度为2200℃的真空电阻炉一般采用WRe5/26型热电偶，最高工作温度为1600℃的真空电阻炉一般采用铂铑10-铂热电偶(S型)型热电偶。通常来说，热电偶均安装在密封铠装套中，铠装套通过法兰或螺纹密封安装后在炉壳外面，当铠装套和热电偶安装到炉壳上后，热电偶伸入炉内的长度固定，无法进行调节，当炉内被处理的元件外形尺寸发生变化后，元件进入炉内后工作区的尺寸相应变化，此时热电偶及铠装套伸入炉内的位置不能调节，导致热电偶测量出的温度值不能准确反映炉内元件的实际温度，造成温度测量不准确。
因此，亟需一种调节式热电偶及高温真空炉，来解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种调节式热电偶及高温真空炉，其相对于炉壳的插入深度可以调节，从而使得热点偶的端部能够靠近炉内尺寸发生变化的被处理元件的表面，保证热电偶测量出的温度值能够准确反应被处理元件的实际温度。
为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
本实用新型提供一种调节式热电偶，该调节式热电偶包括：
固定座；
测温组件，所述测温组件穿设于所述固定座上，且所述测温组件能够相对于所述固定座滑动；以及
锁紧组件，所述锁紧组件套设在所述测温组件上，且所述锁紧组件位于所述测温组件与所述固定座之间，所述锁紧组件与所述固定座可拆卸连接，所述锁紧组件用于调节所述测温组件与所述固定座的相对位置。
可选地，所述测温组件包括热电偶和铠装套，所述铠装套套设在所述热电偶的外侧，且所述铠装套的内壁与所述热电偶相接触。
可选地，所述锁紧组件包括锁紧件和密封组件，所述锁紧件将所述密封组件压紧在所述测温组件的外侧壁、以及所述固定座的内侧壁上。
可选地，所述密封组件包括密封垫板、密封压环和密封圈，所述密封圈设置在所述密封垫板与所述密封压环之间，所述密封圈与所述测温组件抵接。
可选地，所述密封垫板和所述密封圈均设置为两个，两个所述密封垫板分别与所述固定座和所述锁紧件抵接，两个所述密封圈分别设置在所述密封压环的两侧。
可选地，所述调节式热电偶包括隔热环，所述隔热环套设在所述测温组件上。
可选地，所述调节式热电偶包括法兰，所述法兰与所述固定座连接。
本实用新型还提供一种高温真空炉，包括炉壳、以及上述的调节式热电偶，所述炉壳上设有安装孔，所述调节式热电偶穿过所述安装孔设置，所述调节式热电偶固定在所述炉壳上。
可选地，所述高温真空炉包括卡箍和中心密封件，所述安装孔处设有法兰安装座，所述中心密封件设置在所述法兰安装座与所述调节式热电偶之间，所述卡箍将所述调节式热电偶与所述法兰安装座可拆卸连接。
本实用新型的有益效果为：
本实用新型提供一种调节式热电偶，该调节式热电偶包括测温组件、固定座和锁紧组件，测温组件可滑动地穿设在固定座上，锁紧组件套设在测温组件上，且锁紧组件位于测温组件与固定座之间，锁紧组件与固定座的可拆卸连接，锁紧组件能够压紧在测温组件和固定座上。当锁紧组件松开时，测温组件能够相对于固定座滑动，从而调整测温组件插入炉壳内部的深度，以使测温组件能够真实地反映炉壳内部被处理的元件的温度，保证测温的准确性，当锁紧组件锁紧时，能够将测温组件相对于固定座的位置固定，保证测温组件的固定效果良好。
本实用新型提供一种高温真空炉，包括炉壳、以及上述的调节式热电偶，炉壳上设有安装孔，调节式热电偶设置安装孔内，由于调节式热电偶的测温组件相对固定座可滑动，从而调节式热电偶能够调整测温组件伸入炉壳内部的深度，使得测温组件的端部靠近炉壳内部被处理的元件的侧壁，保证温度测量的准确性。
附图说明
图1是本实用新型实施例中提供的调节式热电偶的结构示意图；
图2是本实用新型实施例中提供的调节式热电偶的剖面图；
图3是图2中A处的局部放大图；
图4是图2中B处的局部放大图；
图5是本实用新型实施例中提供的高温真空炉的结构示意图；
图6是图5中C处的局部放大图。
图中：
100、测温组件；110、热电偶；111、测温端；120、铠装套；121、封堵端；200、固定座；210、内螺纹；220、法兰；300、锁紧件；410、密封垫板；420、密封压环；430、密封圈；500、隔热环；600、炉壳；610、法兰安装座；700、卡箍；800、中心密封件。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。
在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
如图1-图4所示，本实施例提供一种调节式热电偶，该调节式热电偶包括测温组件100、固定座200和锁紧组件，测温组件100穿设于固定座200上，锁紧组件套设在测温组件100上，且锁紧组件位于测温组件100与固定座200之间，锁紧组件与固定座200可拆卸连接，通过锁紧组件能够调节测温组件100与固定座200的相对位置。可以理解的是，在实际使用过程中，调节式热电偶的测温组件100需要插入高温热炉的炉壳600内部，固定座200连接在高温热炉的炉壳600外部。因此，测温组件100穿过固定座200伸入炉壳600内部的长度直接决定了测温组件100能够测量的炉壳600内部距离炉壳600内侧壁指定位置的温度。
在本实施例中，由于测温组件100能够相对于固定座200滑动，且锁紧组件与固定座200可拆卸连接。当锁紧组件松开时，测温组件100能够相对于固定座200滑动，实现了对测温组件100穿过固定座200伸入炉壳600内部的长度的调整，即调整其插入炉壳600内部的深度。这样就能够使得测温组件100能够更加靠近炉壳600内部被处理的元件，从而真实地反映被处理的元件的温度，保证测温的准确性；当锁紧组件锁紧时，能够将测温组件100相对于固定座200的位置固定，此时，锁紧组件压紧在测温组件100和固定座200上，保证了测温组件100的固定效果良好。
在一些实施例中，锁紧件300可以选用压紧螺母，压紧螺母的内侧壁为光面，外侧壁上设有外螺纹，相应地，在固定座200的内侧壁上设有内螺纹210，通过内螺纹210与外螺纹的配合，实现压紧螺母与固定座200之间的可拆卸连接。
进一步地，测温组件100包括互相连接的热电偶110和铠装套120，铠装套120套设在热电偶110的外侧，且铠装套120的内壁与热电偶100相接触，通过铠装套120能够对热电偶110起到防护的作用，防止热电偶110与其他物件发生磕碰而受到损伤。为了避免热电偶110发生故障时无法更换新的热电偶110的情况，本实施例中的热电偶110和铠装套120之间设置为可拆卸连接的方式。
作为一种可选的方案，本实施例中的热电偶110包括固定端和测温端111，通过测温端111能够测量被处理元件的温度，铠装套120包括开口端和封堵端121，热电偶110的固定端与铠装套120的开口端设置在同一侧，且固定端与开口端通过螺纹可拆卸连接，具体地，可以在热电偶110的固定端外侧设置外螺纹，在铠装套120的开口端设置内螺纹，外螺纹与内螺纹配合连接。继续参见图3，热电偶110的测温端111与铠装套120的封堵端121设置在另一侧，测温端111的端部与封堵端121的内侧壁可靠接触，从而保证了被处理元件温度测量值的准确性和快速性。
继续参见图4，锁紧组件包括锁紧件300和密封组件，当锁紧件300锁紧时，密封组件发生变形，锁紧件300将密封组件压紧在测温组件100的外侧壁、以及固定座200的内侧壁上，此时密封组件抱死在测温组件100上，测温组件100不能相对于固定座200沿其轴向滑动，保证了测温组件100锁紧在固定座200上，同时通过密封组件的设置，能够密封测温组件100与固定座200之间的空隙，密封效果良好。
作为一种可选的方案，本实施例中的密封组件包括密封垫板410、密封压环420和密封圈430，密封圈430设置在密封垫板410与密封压环420之间，当锁紧件300锁紧时，锁紧件300的端部对密封垫板410施加朝向固定座200的力，使得密封组件压紧在固定座200的内侧壁上，在此过程中，由于受到外力，密封压环420和密封圈430发生弹性形变，使得密封圈430与铠装套120的外侧壁和固定座的内侧壁抵接，一方面，密封圈430能够起到良好的密封效果，另一方面，密封圈430抱死在铠装套120上，使得铠装套120不能在相对固定座200沿其轴向滑动，从而确保了锁紧件300对测温组件100的锁紧效果良好。
进一步地，密封垫板410和密封圈430均设置为两个，两个密封垫板410和两个密封圈430分别设置在密封压环420的两侧，密封圈430贴合密封压环420设置，两个密封垫板410分别与固定座200和锁紧件300抵接。
作为一种可选地方案，继续参见图1和图2，本实施例中的调节式热电偶包括隔热环500，隔热环500套设在测温组件100上，隔热环500设置在测温组件100的测温端111与锁紧件300的端部之间。通过隔热环500的设置，能够起到一定的隔热效果，避免炉壳600内部的热量从调节式热电偶处散失，造成炉壳600内部温度下降。
进一步地，为了方便将调节式热电偶安装在炉壳600上，本实施例中的调节式热电偶包括法兰220，法兰220与固定座200连接。在一些实施例中，法兰220可以通过焊接与固定座200形成一体结构，此种加工方式简单，且固定效果良好。当然，在其他实施例中，法兰220也可以与固定座200通过一体注塑成型，机械强度更高。
本实施例还提供一种高温真空炉，参见图5和图6，该高温真空炉包括炉壳600、以及上述调节式热电偶，炉壳600上设有安装孔，调节式热电偶设置安装孔内，由于调节式热电偶的测温组件100相对固定座200可滑动，从而调节式热电偶能够调整测温组件100伸入炉壳600内部的深度，使得测温组件100的端部靠近炉壳600内部被处理的元件的侧壁，保证温度测量的准确性。
进一步地，高温真空炉还包括卡箍700和中心密封件800，安装孔处设有法兰安装座610，法兰安装座610设有通孔，调节式热电偶能够从通孔内穿过，调节式热电偶的固定座200上的法兰220与炉壳600上的法兰安装座610相向设置，中心密封件800设置在法兰安装座610与法兰220之间，卡箍700套设在法兰220与法兰安装座610外侧，通过卡箍700能够将法兰220与法兰安装座610可拆卸连接，从而使调节式热电偶固定在炉壳600上，法兰220、中心密封件800、法兰安装座610以及卡箍700共同形成密封连接结构，保证了调节式热电偶与炉壳600之间的密封性能良好，且固定效果良好。
示例性地，在一些实施例中，中心密封件800可以选用带O型圈的中心支架，法兰220可以设置为KF法兰，法兰安装座610可以设置为KF法兰安装座。当然，在其他实施例中，中心密封件800、法兰220和法兰安装座610也可以设置为其他类型，只要三者相互匹配，能够配套使用即可，本实施例对此不做限定。
显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种调节式热电偶，其特征在于，包括：
固定座(200)；
测温组件(100)，所述测温组件(100)穿设于所述固定座(200)上，且所述测温组件(100)能够相对于所述固定座(200)滑动；以及
锁紧组件，所述锁紧组件套设在所述测温组件(100)上，且所述锁紧组件位于所述测温组件(100)与所述固定座(200)之间，所述锁紧组件与所述固定座(200)可拆卸连接，所述锁紧组件用于调节所述测温组件(100)与所述固定座(200)的相对位置。
2.根据权利要求1所述的调节式热电偶，其特征在于，所述测温组件(100)包括热电偶(110)和铠装套(120)，所述铠装套(120)套设在所述热电偶(110)的外侧，且所述铠装套(120)的内壁与所述热电偶(110)相接触。
3.根据权利要求1所述的调节式热电偶，其特征在于，所述锁紧组件包括锁紧件(300)和密封组件，所述锁紧件(300)将所述密封组件压紧在所述测温组件(100)的外侧壁、以及所述固定座(200)的内侧壁上。
4.根据权利要求3所述的调节式热电偶，其特征在于，所述密封组件包括密封垫板(410)、密封压环(420)和密封圈(430)，所述密封圈(430)设置在所述密封垫板(410)与所述密封压环(420)之间，所述密封圈(430)与所述测温组件(100)抵接。
5.根据权利要求4所述的调节式热电偶，其特征在于，所述密封垫板(410)和所述密封圈(430)均设置为两个，两个所述密封垫板(410)分别与所述固定座(200)和所述锁紧件(300)抵接，两个所述密封圈(430)分别设置在所述密封压环(420)的两侧。
6.根据权利要求1所述的调节式热电偶，其特征在于，所述调节式热电偶包括隔热环(500)，所述隔热环(500)套设在所述测温组件(100)上。
7.根据权利要求1所述的调节式热电偶，其特征在于，所述调节式热电偶包括法兰(220)，所述法兰(220)与所述固定座(200)连接。
8.一种高温真空炉，其特征在于，包括炉壳(600)、以及上述权利要求1-7中任一项所述的调节式热电偶，所述炉壳(600)上设有安装孔，所述调节式热电偶穿过所述安装孔设置，所述调节式热电偶固定在所述炉壳(600)上。
9.根据权利要求8所述的高温真空炉，其特征在于，所述高温真空炉包括卡箍(700)和中心密封件(800)，所述安装孔处设有法兰安装座(610)，所述中心密封件(800)设置在所述法兰安装座(610)与所述调节式热电偶之间，所述卡箍(700)将所述调节式热电偶与所述法兰安装座(610)可拆卸连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221947803.4U CN217738477U (zh) | 2022-07-27 | 2022-07-27 | 一种调节式热电偶及高温真空炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221947803.4U CN217738477U (zh) | 2022-07-27 | 2022-07-27 | 一种调节式热电偶及高温真空炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN217738477U true CN217738477U (zh) | 2022-11-04 |
Family
ID=83849746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202221947803.4U Active CN217738477U (zh) | 2022-07-27 | 2022-07-27 | 一种调节式热电偶及高温真空炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN217738477U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115823903A (zh) * | 2023-01-09 | 2023-03-21 | 山东斯特尔新能源科技有限公司 | 一种用于高温高压设备的可调式测温装置 |
-
2022
- 2022-07-27 CN CN202221947803.4U patent/CN217738477U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115823903A (zh) * | 2023-01-09 | 2023-03-21 | 山东斯特尔新能源科技有限公司 | 一种用于高温高压设备的可调式测温装置 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
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