CN217641219U - 一种半导体薄膜测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体薄膜测试装置，属于半导体薄膜测试技术领域，包括底箱，所述底箱顶部的右侧固定连接有工架，所述底箱内腔的顶部滑动连接有凹型架，所述凹型架内腔的两侧均开设有活动孔，且活动孔的内腔活动连接有活动杆，两个所述活动杆相对的一侧均固定连接有夹板，所述活动杆的表面设置有弹簧。本实用新型使用时通过底箱的设置，能够将用来检测薄膜抗腐蚀性能的液体进行收集循环使用，凹型架、固定板、活动杆、夹板和弹簧的设置，能够对薄膜工件进行夹持定位，避免测试时发生位移影响测试效果，通过水管、喷头和水泵的设置，能够对薄膜进行液体喷洒，实现抗腐蚀性能的测试，通过风蚀机构的设置，能够观察抗风蚀性能。

Description

一种半导体薄膜测试装置

技术领域

本实用新型涉及半导体薄膜测试技术领域，具体是一种半导体薄膜测试装置。

背景技术

氧化物半导体是一种由金属氧化物制成的半导体，可以在制造显示器、太阳能电池等的过程中蒸镀到基板上，形成氧化物半导体薄膜，例如，由铟、镓、锌、氧组成的铟镓氧化锌可以在制造显示器的薄膜晶体管的过程中被蒸镀到基板上，形成氧化物半导体薄膜。

现有的半导体薄膜测试装置不能够对薄膜进行定位，影响测试效果，因此，本实用新型提供了一种半导体薄膜测试装置，以解决上述提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体薄膜测试装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种半导体薄膜测试装置，包括底箱，所述底箱顶部的右侧固定连接有工架，所述底箱内腔的顶部滑动连接有凹型架，所述凹型架内腔的两侧均开设有活动孔，且活动孔的内腔活动连接有活动杆，两个所述活动杆相对的一侧均固定连接有夹板，所述活动杆的表面设置有弹簧，所述底箱内腔的右侧连通有水管，所述工架内腔顶部的右侧固定连接有喷头，所述水管的另一端与喷头连通，所述水管的表面连通有水泵，所述工架内腔顶部的左侧设置有风蚀机构。

作为本实用新型进一步的方案，所述风蚀机构包括风管，所述风管内腔的两侧均通过支架固定连接有风扇。

作为本实用新型再进一步的方案，所述风管的顶部设置有过滤网，所述风管的底部设置有加热丝。

作为本实用新型再进一步的方案，所述底箱的顶部开设有滑槽，所述滑槽的内腔滑动连接有滑块，所述滑块的顶部与凹型架固定连接。

作为本实用新型再进一步的方案，所述底箱内腔的顶部且位于滑槽的前后位置均开设有通孔，所述活动杆的另一端固定连接有固定板。

作为本实用新型再进一步的方案，所述底箱底部的两侧均固定连接有支腿，且支腿的底部固定连接有支撑板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型使用时通过底箱的设置，能够将用来检测薄膜抗腐蚀性能的液体进行收集循环使用，凹型架、固定板、活动杆、夹板和弹簧的设置，能够对薄膜工件进行夹持定位，避免测试时发生位移影响测试效果，通过水管、喷头和水泵的设置，能够对薄膜进行液体喷洒，实现抗腐蚀性能的测试，通过风蚀机构的设置，能够观察抗风蚀性能。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构中风蚀机构的剖视图；

图3为本实用新型结构中凹型架的立体图；

图4为本实用新型结构中底箱的俯视图。

图中：1、底箱；2、工架；3、凹型架；4、活动杆；5、夹板；6、弹簧；7、水管；8、喷头；9、水泵；10、风蚀机构；101、风管；102、风扇；103、过滤网；104、加热丝；11、滑槽；12、滑块；13、通孔；14、固定板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

实施例：

请参阅图1～4，本实用新型实施例中，一种半导体薄膜测试装置，包括底箱1，底箱1顶部的右侧固定连接有工架2，底箱1内腔的顶部滑动连接有凹型架3，凹型架3内腔的两侧均开设有活动孔，且活动孔的内腔活动连接有活动杆4，两个活动杆4相对的一侧均固定连接有夹板5，活动杆4的表面设置有弹簧6，底箱1内腔的右侧连通有水管7，工架2内腔顶部的右侧固定连接有喷头8，水管7的另一端与喷头8连通，水管7的表面连通有水泵9，工架2内腔顶部的左侧设置有风蚀机构10，通过底箱1的设置，能够将用来检测薄膜抗腐蚀性能的液体进行收集循环使用，凹型架3、固定板14、活动杆4、夹板5和弹簧6的设置，能够对薄膜工件进行夹持定位，避免测试时发生位移影响测试效果，通过水管7、喷头8和水泵9的设置，能够对薄膜进行液体喷洒，实现抗腐蚀性能的测试，通过风蚀机构10的设置，能够观察抗风蚀性能。

请参阅图2，风蚀机构10包括风管101，风管101内腔的两侧均通过支架固定连接有风扇102。

请参阅图2，风管101的顶部设置有过滤网103，风管101的底部设置有加热丝104。

请参阅图1和图4，底箱1的顶部开设有滑槽11，滑槽11的内腔滑动连接有滑块12，滑块12的顶部与凹型架3固定连接，通过滑槽11和滑块12的设置，能够对凹型架3进行限位导向移动，进而可以方便对测试件的位置进行移动。

请参阅图4，底箱1内腔的顶部且位于滑槽11的前后位置均开设有通孔13，活动杆4的另一端固定连接有固定板14，通过通孔13的设置，能够将测试液体进行收集至底箱1内，方便后期循环使用。

请参阅图1，底箱1底部的两侧均固定连接有支腿，且支腿的底部固定连接有支撑板。

本实施例的原理为：

使用时，先将待检测的薄膜测试件放在两个夹板5之间，这时两个夹板5在弹簧6的弹力作业，自动推动夹板5对测试件进行夹持，避免测试时发生位移影响测试效果，然后启动水泵9将液体经过水管7抽送至喷头8内，对测试件进行液体喷洒，实现薄膜的抗腐蚀性能测试，而通孔13的设置，会将液体重新收集进底箱1内进行循环使用，待抗腐蚀性能测试完毕后，通过滑槽11和滑块12的配合，将测试件移动至风蚀机构10的下方，先启动风扇102，对测试件进行持续吹风，这时先观察抗风蚀性能，然后再启动加热丝104，这时风扇102会将加热丝104产生的热量吹向测试件，这时通过风和热的双重作用，可以进一步检测测试件的抗风蚀性能。

本申请文件中使用到的标准零件均可以从市场上购买，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中常规的型号，控制方式是通过控制器来自动控制，控制器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现，属于本领域的公知常识，并且本申请文主要用来保护机械装置，所以本申请文不再详细解释控制方式和电路连接。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种半导体薄膜测试装置，包括底箱(1)，其特征在于，所述底箱(1)顶部的右侧固定连接有工架(2)，所述底箱(1)内腔的顶部滑动连接有凹型架(3)，所述凹型架(3)内腔的两侧均开设有活动孔，且活动孔的内腔活动连接有活动杆(4)，两个所述活动杆(4)相对的一侧均固定连接有夹板(5)，所述活动杆(4)的表面设置有弹簧(6)，所述底箱(1)内腔的右侧连通有水管(7)，所述工架(2)内腔顶部的右侧固定连接有喷头(8)，所述水管(7)的另一端与喷头(8)连通，所述水管(7)的表面连通有水泵(9)，所述工架(2)内腔顶部的左侧设置有风蚀机构(10)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体薄膜测试装置，其特征在于，所述风蚀机构(10)包括风管(101)，所述风管(101)内腔的两侧均通过支架固定连接有风扇(102)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体薄膜测试装置，其特征在于，所述风管(101)的顶部设置有过滤网(103)，所述风管(101)的底部设置有加热丝(104)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体薄膜测试装置，其特征在于，所述底箱(1)的顶部开设有滑槽(11)，所述滑槽(11)的内腔滑动连接有滑块(12)，所述滑块(12)的顶部与凹型架(3)固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种半导体薄膜测试装置，其特征在于，所述底箱(1)内腔的顶部且位于滑槽(11)的前后位置均开设有通孔(13)，所述活动杆(4)的另一端固定连接有固定板(14)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体薄膜测试装置，其特征在于，所述底箱(1)底部的两侧均固定连接有支腿，且支腿的底部固定连接有支撑板。

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