CN217633633U - 一种用于精密仪器的主动防微振基座 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种用于精密仪器的主动防微振基座，包括顶板、空气弹簧、音圈电机和数字控制器，所述顶板呈矩形结构，所述顶板下方四个角连接有空气弹簧，所述顶板下方中间部位两侧分别连接有音圈电机，所述空气弹簧下部连接有底座A，所述音圈电机下方连接有底座B，所述底座B上方连接有位置传感器，所述数字控制器与音圈电机和位置传感器通过电缆连接。本实用新型通过钢混顶板提高了基座自重，从而提高了基座刚度，并结合空气弹簧的使用，降低了基座的固有频率，实现了较好的被动防微振效果，同时设置音圈电机实现基座在垂直方向上的主动防微振功能，基座整体在垂直方向上的固有频率可降到0.5Hz。
Description
技术领域
本实用新型涉及隔振装置技术领域，具体是一种用于精密仪器的主动防微振基座。
背景技术
目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
一般情况下系统的固有频率受其结构特点的制约，要想降低固有频率一般需要增大系统结构的体积。然而在实际应用中，防微振基座工作环境空间和分布方式是非常有限的，因此增加系统结构的体积通常会给设计和安装带来麻烦。被动系统的固有频率受限于其结构，无法做到很低的固有频率，因此其对低频甚至超低频的振动干扰抑制效果较弱，需要利用主动隔振技术来弥补这一缺陷。然而如何使得一个主动隔振器具有较大刚度，在最大程度得削弱结构共振以及直接施加在负载上的扰动的同时，还能够对基台传递到负载的振动干扰进行很好的抑制是一直需要解决的问题。
实用新型内容
实用新型的目的在于提供一种用于精密仪器的主动防微振基座，以解决上述背景技术中存在的问题。
本实用新型的技术方案是这样实现的：
一种用于精密仪器的主动防微振基座，包括顶板、空气弹簧、音圈电机和数字控制器，所述顶板呈矩形结构，所述顶板下方四个角连接有空气弹簧，所述顶板下方中间部位两侧分别连接有音圈电机，所述空气弹簧下部连接有底座A，所述音圈电机下方连接有底座B，所述底座B上方连接有位置传感器，所述数字控制器与音圈电机和位置传感器通过电缆连接。
进一步地，所述顶板包括钢板框体、加强筋和混凝土，所述钢板框体由不锈钢板焊接成矩形框架结构，所述钢板框体内侧与加强筋焊接，所述加强筋由横向和纵向钢筋垂直焊接而成，所述混凝土浇筑在钢板框体内部。
进一步地，所述底座A由混凝土浇筑而成立方体结构。
进一步地，所述底座B由混凝土浇筑而成立方体结构。
本实用新型的有益效果为：
本实用新型通过钢混顶板提高了基座自重，从而提高了基座刚度，并结合空气弹簧的使用，降低了基座的固有频率，实现了较好的被动防微振效果，同时设置音圈电机实现基座在垂直方向上的主动防微振功能，基座整体在垂直方向上的固有频率可降到0.5Hz。
附图说明
图1为本实用新型主动防微振基座的结构示意图。
图2为本实用新型主动防微振基座组装前的结构示意图。
图中1-顶板，101-钢板框体，102-加强筋，103-混凝土，2-空气弹簧，3-音圈电机，4-数字控制器，5-位置传感器，6-底座A，7-底座B，8-电缆。
具体实施方式
下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1-2所示，一种用于精密仪器的主动防微振基座，包括顶板1、空气弹簧2、音圈电机3和数字控制器4，所述顶板1呈矩形结构，所述顶板1下方四个角连接有空气弹簧2，所述顶板1下方中间部位两侧分别连接有音圈电机3，所述空气弹簧2下部连接有底座A6，所述音圈电机3下方连接有底座B7，所述底座B7上方连接有位置传感器5，所述数字控制器4与音圈电机3、位置传感器5通过电缆8连接。
所述顶板1包括钢板框体101、加强筋102和混凝土103，所述钢板框体101由不锈钢板焊接成矩形框架结构，所述钢板框体101内侧与加强筋102焊接，所述加强筋102由横向和纵向钢筋垂直焊接而成，所述混凝土103浇筑在钢板框体101内部。
所述底座A6由混凝土浇筑而成立方体结构。
所述底座B7由混凝土浇筑而成立方体结构。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种用于精密仪器的主动防微振基座，包括顶板、空气弹簧、音圈电机和数字控制器，其特征在于，所述顶板呈矩形结构，所述顶板下方四个角连接有空气弹簧，所述顶板下方中间部位两侧分别连接有音圈电机，所述空气弹簧下部连接有底座A，所述音圈电机下方连接有底座B，所述底座B上方连接有位置传感器，所述数字控制器与音圈电机和位置传感器通过电缆连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的主动防微振基座，其特征在于，所述顶板包括钢板框体、加强筋和混凝土，所述钢板框体由不锈钢板焊接成矩形框架结构，所述钢板框体内侧与加强筋焊接，所述加强筋由横向和纵向钢筋垂直焊接而成，所述混凝土浇筑在钢板框体内部。
3.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的主动防微振基座，其特征在于，所述底座A由混凝土浇筑而成立方体结构。
4.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的主动防微振基座，其特征在于，所述底座B由混凝土浇筑而成立方体结构。
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- 2022-01-27 CN CN202220222377.1U patent/CN217633633U/zh active Active
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