CN217605154U - 一种测力传感器 - Google Patents

Abstract

一种测力传感器，包括：支撑套，支撑套的顶部设有第一凹槽；敏感元件，密封连接于第一凹槽内，敏感元件为圆柱体，敏感元件的顶部设有圆台形压头和环绕压头外周的凹槽，压头凸出于支撑套的顶端，敏感元件的底部为平面，且设有两个应变电阻对，两个应变电阻对呈中心对称设置，每个应变电阻对包括串联的两个电阻，两个电阻沿敏感元件的半径方向设置，电阻为薄膜电阻；电缆，电缆穿过支撑套的侧壁，且与电阻电连接。本实用新型的传感器能够适应飞行器各类恶劣工况，可靠性高，性能优秀，对于提高飞行器全电刹车装置可靠性，性能指标具有明显作用。

Description

一种测力传感器

技术领域

本实用新型属于传感器技术领域，更具体地，涉及一种测力传感器。

背景技术

测力传感器是一种在工业生产、军事装备、航空航天、航海等领域广泛应用的基础力学类传感器。其测量原理大多基于电阻应变计技术，电阻应变计的弹性体受力导致的应变转换为电阻应变计的阻值变化，再通过惠斯通电桥将电阻变化转变为电压信号。此类测力传感器工艺成熟，产业链分工明确，能解决绝大多数应用需求。但电阻应变计本身采用的有机质胶基底直接参与应变，在宽温区的反复交变的热环境下长期或频繁工作，并叠加高真空或超高真空环境条件时，可靠性和寿命方面存在隐患。传统的金属电阻应变式测力传感器还受限于金属电阻应变计制造工艺，材料性能，通常在体积上难以做到很小，或者必须以降低电桥桥臂电阻阻值为代价，从而导致自身发热大，热稳定性，功耗等性能指标变差。同时，采用金属电阻应变计制造工艺制作的电阻应变计在长期工作时，面临的耐高温要求，宽工作温度范围方面也存在诸多不足，比如常见金属电阻应变计基底采用高分子有机材料，长期高温工作时会逐渐老化，导致性能指标迁移，受温度影响性能虽然可以进行补偿，但需要在一定温度范围进行补偿才能达到较好效果。总体而言，电阻应变计工艺技术无法满足目前航天航空等领域的一些高可靠性、宽工作温度范围、小型化要求的应用环境需求。如在飞行器全电刹车系统中，刹车力力值往往会达到数个千牛甚至十几千牛，但限于刹车系统体积和重量的要求，传感器的体积往往会被限制在数枚一元硬币甚至一角硬币叠加的体积范围内，由于空间环境特点，季节变换以及刹车时摩擦产生的巨大热量，传感器面临的工作环境十分严苛，对于航空领域，对使用寿命，尤其是疲劳寿命也有较高要求。

因此，需要一种测力传感器，以解决上述问题至少其中之一。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种测力传感器，以解决传统测力传感器体积上难以做到很小、宽工作温度范围方面不足的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种测力传感器，包括：

支撑套，所述支撑套的顶部设有第一凹槽；

敏感元件，所述敏感元件密封连接于所述第一凹槽内，所述敏感元件为圆柱体，所述敏感元件的顶部设有圆台形压头和环绕所述压头外周的凹槽，所述压头凸出于所述支撑套的顶端，所述敏感元件的底部为平面，且设有两个应变电阻对，两个所述应变电阻对呈中心对称设置，每个所述应变电阻对包括串联的两个电阻，两个所述电阻沿所述敏感元件的半径方向设置，所述电阻为薄膜电阻；

电缆，所述电缆穿过所述支撑套的侧壁，且与所述电阻电连接。

优选地，所述支撑套为圆筒形，所述支撑套的内壁设有环形的、沿轴向贯通且自上而下依次连通的所述第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽、第四凹槽和第五凹槽，所述电缆穿过所述支撑套的侧壁伸入至所述第四凹槽。

优选地，所述第二凹槽和所述第四凹槽的直径相同，且所述第二凹槽和所述第四凹槽的直径小于所述第一凹槽的直径、大于所述第三凹槽的直径。

优选地，所述敏感元件的底部设有与所述电阻对应的焊盘，所述测力传感器还包括圆形的补偿电路板，所述补偿电路板设于第四凹槽内，所述补偿电路板上设有多个连接点，两个所述应变电阻对的所述电阻对应的焊盘与所述连接点通过引线电连接，形成电桥，所述电阻为薄膜电阻，所述电桥为惠斯通电桥，所述电缆与所述电桥电连接。

优选地，所述第四凹槽内设有密封胶，用于将所述补偿电路板密封连接于所述支撑套。

优选地，所述敏感元件的所述底部还设有至少一个补偿电阻，所述补偿电阻电连接于所述电桥，用于所述电桥的零点补偿。

优选地，所述支撑套的侧壁设有线束孔，所述电缆穿过所述线束孔伸入至所述第四凹槽内；所述线束孔的外侧与所述电缆之间通过耐高温环氧树脂胶粘接。

优选地，所述敏感元件的所述底部涂覆有三防保护层，所述三防保护层至少覆盖所述焊盘和所述电阻。

优选地，还包括密封片，所述密封片为圆形，所述密封片密封连接于所述第五凹槽内，所述第五凹槽的直径大于所述第四凹槽的直径。

优选地，所述支撑套还包括位于所述支撑套的底部且与所述第五凹槽连通的第六凹槽，所述第六凹槽的直径大于所述第五凹槽的直径，所述密封片与所述支撑套通过密封材料密封，所述密封材料位于所述第六凹槽内，且不高于所述支撑套的底端表面。

本实用新型涉及的一种测力传感器，其有益效果在于：将本实用新型的传感器的背离压头的一端固定于安装平面上，电器部分通过电缆连接，通电后传感器输出初始零点信号；当向传感器另一端的敏感元件圆台形压头施加轴向压力时，敏感元件会朝着受力方向变形，电桥中的电阻会被压缩或拉伸，产生一个正比于力值变化量的输出电信号变化量。通过采用溅射薄膜工艺制作敏感元件，使得传感器在直径不超过20mm，高度不超过 11mm的前提下，最大可实现10千牛量级的高精度力值测量，其重复性可达到±0.1％FS以内，-55℃～+125℃工作温度范围内，不进行补偿的情况下，受温度影响在±1％FS以内。当采用本实用新型的传感器用于飞行器全电刹车装置后，对于降低刹车装置整体体积、重量有很大助益，同时本实用新型的传感器能够适应飞行器各类恶劣工况，可靠性高，性能优秀，对于提高飞行器全电刹车装置可靠性，性能指标具有明显作用。

本实用新型的其它特征和优点将在随后具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

通过结合附图对本实用新型示例性实施方式进行更详细的描述，本实用新型的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显，其中，在本实用新型示例性实施方式中，相同的参考标号通常代表相同部件。

图1示出了本实用新型的一个示例性实施例的测力传感器的结构示意图；

图2示出了本实用新型的一个示例性实施例的测力传感器的俯视图；

图3示出了本实用新型的一个示例性实施例的测力传感器中敏感元件电阻布局示意图；

图4示出了本实用新型的一个示例性实施例的测力传感器中电桥的线路图。

附图标记说明：

1、敏感元件；2、支撑套；3、补偿电路板；4、密封片；5、密封胶； 6、焊缝；7、引线；8、电缆；9、线束孔；10、凹槽；11、压头；12、应变电阻对；121、电阻；122、焊盘；123、补偿电阻；13、环氧树脂胶。

具体实施方式

下面将更详细地描述本实用新型的优选实施方式。虽然以下描述了本实用新型的优选实施方式，然而应该理解，可以以各种形式实现本实用新型而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了使本实用新型更加透彻和完整，并且能够将本实用新型的范围完整地传达给本领域的技术人员。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

为解决现有技术存在的问题，本实用新型提供了一种测力传感器，如图1和图3所示，包括：

支撑套2，支撑套2的顶部设有第一凹槽；

敏感元件1，敏感元件1密封连接于第一凹槽内，敏感元件1为圆柱体，敏感元件1的顶部设有圆台形压头11和环绕压头11外周的凹槽10，压头 11凸出于支撑套2的顶端，敏感元件1的底部为平面，且设有两个应变电阻对12，两个应变电阻对12呈中心对称设置，每个应变电阻对12包括串联的两个电阻121，两个电阻121沿敏感元件1的半径方向设置，电阻121 为薄膜电阻；

电缆8，电缆8穿过支撑套2的侧壁，且与电阻121电连接。

本实用新型涉及的测力传感器，将背离压头11的一端固定于安装平面上，电器部分通过电缆8连接，通电后传感器输出初始零点信号；当向传感器另一端的敏感元件1圆台形压头11施加轴向压力时，敏感元件1会朝着受力方向变形，电桥中的电阻12会被压缩或拉伸，产生一个正比于力值变化量的输出电信号变化量。通过采用溅射薄膜工艺制作敏感元件1，使得传感器在直径不超过20mm，高度不超过11mm的前提下，最大可实现10 千牛量级的高精度力值测量，其重复性可达到±0.1％FS以内，-55℃～+125℃工作温度范围内，不进行补偿的情况下，受温度影响在±1％FS以内。当采用本实用新型的传感器用于飞行器全电刹车装置后，对于降低刹车装置整体体积、重量有很大助益，同时本实用新型的传感器能够适应飞行器各类恶劣工况，可靠性高，性能优秀，对于提高飞行器全电刹车装置可靠性，性能指标具有明显作用。

在本实用新型的一个实施例中，如图1和图2所示，支撑套2为圆筒形，支撑套2的内壁设有环形的、沿轴向自上而下依次连接的第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽、第四凹槽和第五凹槽，电缆8穿过支撑套2的侧壁伸入至第四凹槽。

作为优选方案，第二凹槽和第四凹槽的直径相同，且第二凹槽和第四凹槽的直径小于第一凹槽的直径、大于第三凹槽的直径，保持直径一致性，提高线性精度和滞后精度。

其中，敏感元件1由金属弹性膜片制成，且敏感元件1和支撑套2的材质均为马氏体不锈钢，敏感元件1设置在第一凹槽内，且通过激光焊接与支撑套2连接，敏感元件1和支撑套2之间的焊缝6实现密封。敏感元件1的压头11和环绕压头11的凹槽10在竖直方向上位于第二凹槽范围内，当敏感元件1的压头11受压时，环形的凹槽10可以吸收压头11的压力形变，第二凹槽可以吸收敏感元件1的形变。

敏感元件1的底部设有与电阻121对应的焊盘122，测力传感器还包括圆形的补偿电路板3，补偿电路板3设于第四凹槽内，补偿电路板3上设有多个连接点，两个应变电阻对12的电阻121对应的焊盘122与连接点通过引线7电连接，形成电桥，电桥为惠斯通电桥，电缆8与电桥电连接；

第四凹槽内设有密封胶5，用于将补偿电路板3密封连接于支撑套2。

补偿电路板3设于第四凹槽内，由于第三凹槽的直径小于第四凹槽，补偿电路板3被第四凹槽和第三凹槽的台阶上限位，并通过在第四凹槽内灌胶进行封堵和粘接固定，密封胶5可以为硅橡胶。灌封硅橡胶应当完全覆盖补偿电路板3，且密封胶5的厚度不小于2mm，以能更好的发挥密封和防水防尘防静电的三防作用。

为防止混线，引线7选用漆包线，具体种类根据使用温度等工况选择不同的国标标准的漆包线。

电桥端点引出的引线7普遍较细，容易断裂，通过设置补偿电路板3 并在补偿电路板3上设置连接点，实现了引线7向电缆8的转换，使电桥与插头之间的电信号传递更加结实可靠；另外，设置补偿电路板3也能起到温度补偿的作用。

在本实用新型的一个实施例中，敏感元件1的底部还设有至少一个补偿电阻123，补偿电阻123电连接于电桥，用于电桥的零点补偿或温度补偿。补偿电阻123为薄膜电阻。薄膜电阻输出一致性和温度一致性好，使用方便，且薄膜电阻易于制作大阻值电阻，另外，薄膜电阻工作电流下，发热小，可不预热直接使用。

在本实用新型的其他实施例中，补偿电路123也可以设置在补偿电路板3上，通过与连接点电连接接入电桥。

如图3所示，敏感元件1的应变电阻对12包括但不限于两个，每个应变电阻对12包括两个电阻121，两个应变电阻对12以敏感元件1的底面圆心为中心呈对称设置，且两个应变电阻对12在同一直径方向上，即每个应变电阻对12的电阻121沿同一径向上，每个应变电阻对12包括两个电阻 121和将两个电阻121串联的三个焊盘122，每个应变电阻对12的电阻121 和焊盘122形成一个串联线路，再与另一个应变电阻对12的串联线路并联，形成电桥，该电桥具有输出正负极和电源正负极，补偿电阻123连接于两个串联线路之间。补偿电阻123根据电桥初始零点正负情况串入电桥，已达到补偿零点的目的。

敏感元件1的沿直径方向设置的两个电阻对12组成电桥，可以有效抵消偏载影响。将两个电阻对12分别对称布置于支撑套2圆柱面中心两侧，可以有效提高传感器线性。

在本实用新型的一个实施例中，如图4所示的电桥线路图，其中，a点和b点分别为输出正极和输出负极，c点和d点分别为电源正极和电源负极，补偿电阻123连接于输出正极a，根据实际情况对电桥预先测试，并根据测试结果判断电桥的实际情况，使电桥的输出正级a和输出负极b之间的电位接近0，从而调整补偿电路123的串联位置，即使其分别串联与两个串联线路中的一个，从而调整电桥零点，消除输出正极和输出负极之间的电位差，使传感器的输出信号仅为其受压力影响的信号。

补偿电路板3上设置多个连接点，部分连接点与各焊盘123电连接，部分连接点与电桥的端点电连接，部分连接点与补偿电阻123电连接，部分连接点与电缆8的每个芯线电连接，其中，连接点与连接点之间通过补偿电路板3内埋的信号线电连接。

补偿电路板3上的连接点根据组成电桥的需要，通过在补偿电路板2 上提前制作走线导通，当一部分特定连接点连接敏感元件1上的焊盘122 后，即可将敏感元件1上的电阻121组成电桥，补偿电阻123也会串联进入电桥，用于补偿温度变化而引起的电桥两输出端的电位变化，因此，可以根据实际情况和测试对补偿电阻123的串联位置调整，使电桥的输出正极a和输出负极之间的电位为0，从而实现补偿电桥零点或补偿温度。

敏感元件1的底部平面固定于安装平面上，电缆8与外部设备电连接，通电后传感器输出初始零点信号；当向敏感元件1的压头11施加轴向压力时，敏感元件1的弹性膜片会朝着受力方向变形，电桥中的电阻121会被压缩或拉伸，产生一个正比于力值变化量的输出电信号变化量。

在本实用新型的其他实施例中，在支撑套2内部空间满足要求时，可通过在支撑套2内柱面粘贴多个接线端子，代替所述圆形补偿电路板3的作用。具体地，每个支撑套2内柱面粘贴多个接线端子，代替圆形补偿电路板3，每个接线端子均有两个连接点，且为导通状态，每个接线端子均有一个连接点与电阻对12的焊盘122通过引线连接，形成电桥，每个接线端子另一个连接点与对应的电缆8的芯线电连接。

支撑套2的侧壁设有线束孔9，该线束孔9为圆孔或扁圆孔，电缆8穿过线束孔9伸入至第四凹槽内；线束孔9的外侧与电缆8之间通过耐高温环氧树脂胶13粘接。采用耐高温环氧树脂胶13将电缆8粘接支撑套2的线束孔9外圆柱面上，可以提高电缆8抗拉拽能力，提高可靠性，而且通过耐高温环氧树脂胶13粘接具有简单方便，易于操作的特点，胶点形状便于手工控制，容易满足安装位置形状限制。

作为优选，可以在线束孔9内嵌入金属毛细管，并与支撑套2焊接在一起，电缆8与金属毛细管通过热缩管固定。

选用与支撑套2柱面上的线束孔9直径相匹配的薄壁金属毛细管，穿入线束孔9内，采用激光焊接在支撑套2外圆柱面与金属毛细管相贯线位置焊接，将电缆8从金属毛细管内穿入后焊接在内部接线点，如连接点，使用热缩管将电缆8和金属毛细管套接固定，此方法在高温环境下长期使用更为可靠，且外观和结构一致性更好，更适合批量生产。

敏感元件1的底部涂覆有三防保护层，三防保护层至少覆盖焊盘122 和电阻121，用于防水防尘防静电。

在恶劣环境下，如湿热、结霜污染等可能造成传感器损坏，因此对敏感元件1的弹性膜片表面，即敏感元件1的底端，补偿电路板3表面的连接点，引线7和电缆8的芯线根部进行三防处理，以使其能在恶劣环境下长期稳定的实现高精度测量，三防保护层的材料根据工作温度及具体环境选用，如有机硅三防漆或聚氨酯三防漆等。由于三防保护层的涂覆厚度较高，除焊盘122外，也能覆盖敏感元件1上的电阻121。

测力传感器还包括密封片4，密封片4为圆形，密封片4密封连接于第五凹槽内，第五凹槽的直径大于第四凹槽的直径，以将第四凹槽密封。

支撑套2还包括位于支撑套2的底部且与第五凹槽连通的第六凹槽，第六凹槽的直径大于第五凹槽的直径，密封片4与支撑套2通过密封材料密封，密封材料位于第六凹槽内，且不高于支撑套2的底端表面。

在本实用新型的一个实施例中，密封片4通过激光焊接固定和密封，密封材料为焊缝6，其焊缝6不凸出于第六凹槽，以保证支撑套2的底面平整，使传感器工作时不会因为焊缝表面粗糙度低影响精度，焊缝6本身也不会应为焊缝6受压导致损伤。

在本实用新型的其他实施例中，密封片4也可以通过密封胶密封粘接于第六凹槽内。

圆形密封片4安装在支撑套2上后，采用激光焊接进行固定和密封，使得传感器内部密封起来，降低外部环境潮湿、异物的影响或损伤，使得传感器内部得到防护，提高可靠性。

本实用新型的测力传感器的制作方法包括：

步骤1：采用溅射薄膜工艺制作敏感元件1，并在敏感元件1上制作薄膜电阻形成应变电阻对12，并制造应变电阻对12的电阻121对应的焊盘 122；

步骤2：将敏感元件1安装于支撑套2的第一凹槽内，并通过焊接密封敏感元件1与支撑套2之间的缝隙，可以是激光焊接、电子束焊接或其他焊接方式；

步骤3：将应变电阻对12的电阻121电连接形成电桥，对敏感元件1 的底部表面进行三防保护；

步骤4：将电缆8从支撑套2侧壁穿入，且与电桥电连接，将电缆8粘接密封于支撑套2的侧壁；

步骤5：密封支撑套2；

步骤6：对测力传感器测试、检验和试验。

具体地，本实用新型的制造小型大力值力传感器的方法所采用的技术成熟且便捷容易，十分适合机器化、流水线形式的批量生产。

其中，步骤1包括：制作一个厚度与测试力值相匹配的金属弹性膜片；

利用溅射薄膜工艺在弹性膜片上制作两个或以上应变电阻对12，以及一个或以上补偿电阻123，即制作出敏感元件1。

采用溅射薄膜工艺更易实现小型化，克服小型化和大力值测量的矛盾，传感器在直径不超过20mm，高度不超过11mm的前提下，最大可实现10 千牛量级的高精度力值测量，其重复性可达到±0.1％FS以内，且采用溅射薄膜工艺制作的传感器使用温度范围宽，确保了宽温区工作以及低温漂特性，未补偿时全温区温度性能已十分优良，-55℃～+125℃工作温度范围内，受温度影响在±1％FS以内。

步骤3包括：使用引线7连接于敏感元件1上的电阻121的焊盘122 和补偿电路板3的连接点，形成电桥，对敏感元件1的底端表面喷涂三防漆进行三防保护。

电桥端点引出的引线7普遍较细，容易断裂，通过设置补偿电路板3 并在补偿电路板3上设置连接点，实现了引线7向电缆8的转换，使电桥与插头之间的电信号传递更加结实可靠。

步骤3还包括：将补偿电路板3放置于第四凹槽内，通过灌装硅橡胶固化使补偿电路板3粘接固定密封于第四凹槽内。

步骤4包括：将电缆8从支撑套2侧壁的引线孔9穿入，且与补偿电路板3的连接点电连接，以于电桥电连接；在线束孔9内嵌入金属毛细管，并与支撑套2焊接在一起，电缆8与金属毛细管通过热缩管固定，并使用耐高温环氧胶将电缆8与支撑套2线束孔9周围外圆柱面粘接；

步骤5包括：在第五凹槽内设置密封片4，密封片4完全覆盖第四凹槽，将密封片4与支撑套2之间通过焊接固定并密封密封片4与支撑套2之间的缝隙，焊缝6位于第六凹槽内，且不凸出于支撑套2。

整个传感器所采用的所有加工制造方法成熟容易，敏感元件1加工制造使用的溅射薄膜工艺本身十分适合机器化、流水线形式的批量生产。其余零件都可以通过传统机械加工工艺、印刷电路板工艺及集成电路封装、焊接以及装配工艺等实现，相对的瓶颈是人工焊接、装配、调试和检验，通过成熟的普通传感器生产线已经广泛使用的电动工具、特制工装、焊接设备可解决人工焊接、装配的问题。整体方案在工序上可以按照成熟传感器生产流程的工序划分，并根据需求规模配置适当数量的装配工装和标定检验工装实现批生产。

以上已经描述了本实用新型的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。

Claims (10)

1.一种测力传感器，其特征在于，包括：

支撑套(2)，所述支撑套(2)的顶部设有第一凹槽；

敏感元件(1)，所述敏感元件(1)密封连接于所述第一凹槽内，所述敏感元件(1)为圆柱体，所述敏感元件(1)的顶部设有圆台形压头(11)和环绕所述压头(11)外周的凹槽(10)，所述压头(11)凸出于所述支撑套(2)的顶端，所述敏感元件(1)的底部为平面，且设有两个应变电阻对(12)，两个所述应变电阻对(12)呈中心对称设置，每个所述应变电阻对(12)包括串联的两个电阻(121)，两个所述电阻(121)沿所述敏感元件(1)的半径方向设置，所述电阻(121)为薄膜电阻；

电缆(8)，所述电缆(8)穿过所述支撑套(2)的侧壁，且与所述电阻(121)电连接。

2.根据权利要求1所述的测力传感器，其特征在于，所述支撑套(2)为圆筒形，所述支撑套(2)的内壁设有环形的、沿轴向自上而下依次连接的所述第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽、第四凹槽和第五凹槽，所述电缆(8)穿过所述支撑套(2)的侧壁伸入至所述第四凹槽。

3.根据权利要求2所述的测力传感器，其特征在于，所述第二凹槽和所述第四凹槽的直径相同，且所述第二凹槽和所述第四凹槽的直径小于所述第一凹槽的直径、大于所述第三凹槽的直径。

4.根据权利要求3所述的测力传感器，其特征在于，所述敏感元件(1)的底部设有与所述电阻(121)对应的焊盘(122)，所述测力传感器还包括圆形的补偿电路板(3)，所述补偿电路板(3)设于第四凹槽内，所述补偿电路板(3)上设有多个连接点，两个所述应变电阻对(12)的所述电阻(121) 对应的焊盘(122)与所述连接点通过引线(7)电连接，形成电桥，所述电桥为惠斯通电桥，所述电缆(8)与所述电桥电连接。

5.根据权利要求4所述的测力传感器，其特征在于，所述第四凹槽内设有密封胶(5)，用于将所述补偿电路板(3)密封连接于所述支撑套(2)。

6.根据权利要求4所述的测力传感器，其特征在于，所述敏感元件(1)的所述底部还设有至少一个补偿电阻(123)，所述补偿电阻(123)电连接于所述电桥，用于所述电桥的零点补偿。

7.根据权利要求3所述的测力传感器，其特征在于，所述支撑套(2)的侧壁设有线束孔(9)，所述电缆(8)穿过所述线束孔(9)伸入至所述第四凹槽内；所述线束孔(9)的外侧与所述电缆(8)之间通过耐高温环氧树脂胶(13)粘接。

8.根据权利要求4所述的测力传感器，其特征在于，所述敏感元件(1)的底部涂覆有三防保护层，所述三防保护层至少覆盖所述焊盘(122)和所述电阻(121)。

9.根据权利要求3所述的测力传感器，其特征在于，还包括密封片(4)，所述密封片(4)为圆形，所述密封片(4)密封连接于所述第五凹槽内，所述第五凹槽的直径大于所述第四凹槽的直径。

10.根据权利要求9所述的测力传感器，其特征在于，所述支撑套(2)还包括位于所述支撑套(2)的底部且与所述第五凹槽连通的第六凹槽，所述第六凹槽的直径大于所述第五凹槽的直径，所述密封片(4)与所述支撑套(2)通过密封材料密封，所述密封材料位于所述第六凹槽内，且不高于所述支撑套(2)的底端表面。

Images