CN217591085U - 一种mems结构 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种MEMS结构,包括:衬底,具有空腔和环形体;柔性层,形成在所述环形体上方;振动支撑层,形成在所述柔性层上方并且覆盖所述空腔;第一电极层,形成在所述振动支撑层上方;压电层,形成在所述第一电极层上方;第二电极层,形成在所述压电层上方。该MEMS结构在压电复合振动层与衬底之间设置柔性层,使压电复合振动层具有一定的面内伸缩能力来释放残余应力,有效的提高了MEMS结构的灵敏度。
Description
技术领域
本申请涉及半导体技术领域,具体来说,涉及一种MEMS (Micro-Electro-Mechanical System,即微机电系统的简称)结构。
背景技术
MEMS传声器主要包括电容式和压电式两种。压电MEMS传声器是利用微电子机械系统技术和压电薄膜技术制备的传声器,由于采用半导体平面工艺和体硅加工等技术,所以其尺寸小、体积小、一致性好。同时相对于电容传声器还有不需要偏置电压、工作温度范围大、防尘、防水等优点,但其灵敏度比较低,制约着MEMS压电传声器的发展。残余应力是制约压电MEMS传声器提高的一个主要因素。
现有技术中降低残余应力通常将压电MEMS结构做成悬臂梁,通过变形来释放残余应力。圆形压电MEMS结构释放残余应力的方式还没有得到有效解决。
实用新型内容
针对相关技术中的问题,本申请提出了一种MEMS结构,能够有效释放残余应力,提高灵敏度。
本申请的技术方案是这样实现的:
根据本申请的一个方面,提供了一种MEMS结构,包括:
衬底,具有空腔和环形体;
柔性层,形成在所述环形体上方;
振动支撑层,形成在所述柔性层上方并且覆盖所述空腔;
第一电极层,形成在所述振动支撑层上方;
压电层,形成在所述第一电极层上方;
第二电极层,形成在所述压电层上方。
其中,所述第一电极层、所述压电层和所述第二电极层的区域面积小于所述空腔的区域面积。
其中,所述柔性层的内部区域面积等于所述空腔的区域面积。
综上,本专利提出的MEMS结构在压电复合振动层与衬底之间设置柔性层,使压电复合振动层具有一定的面内伸缩能力来释放残余应力,将MEMS结构对残余应力的敏感性降低了1倍左右,有效的提高了MEMS结构的灵敏度。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1示出了根据一些实施例提供的MEMS结构的立体图;
图2示出了根据一些实施例提供的MEMS结构的剖面图;
图3示出了MEMS结构的平均残余应力与谐振频率曲线图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
参见图1和图2,根据本申请的实施例,提供了一种MEMS结构,该MEMS 结构可以但不限用于传声器或麦克风的压力传感器,或其他执行器。
本申请的MEMS结构包括具有空腔10b和环形体10a的衬底,形成在环形体10a上方的柔性层30,形成在柔性层30上方并且覆盖空腔10b的振动支撑层20d,形成在振动支撑层20d上方的第一电极层20c,形成在第一电极层20c 上方的压电层20b,形成在压电层20b上方的第二电极层20a。其中,振动支撑层20d、第一电极层20c、压电层20b和第二电极层20a构成了压电复合振动层。压电层20b可将施加的压力转换成电压,并且第一电极层20c和第二电极层20a可将所产生的电压传送至其他集成电路器件。
在一些实施例中,第一电极层20c、压电层20b和第二电极层20a的区域面积小于空腔10b的区域面积。
在一些实施例中,柔性层30的内部区域等于空腔10b的区域。
在一些实施例中,衬底包括硅或任何合适的硅基化合物或衍生物(例如硅晶片、SOI、SiO2/Si上的多晶硅)。振动支撑层20d包括氮化硅(Si3N4)、氧化硅、单晶硅、多晶硅构成的单层或者多层复合膜结构或其他合适的支撑材料。压电层20b包括氧化锌、氮化铝、有机压电膜、锆钛酸铅(PZT)、钙钛矿型压电膜或其他合适的材料。第一电极层20c和第二电极层20a包括铝、金、铂、钼、钛、铬以及它们组成的复合膜或其他合适的材料。
参见图3,本申请实施例提供了该MEMS结构在特定材料、尺寸条件下压电复合振动层平均残余应力与谐振频率的关系曲线。这里第一电极层20c和第二电极层20a的材料采用铝,压电层20b的材料采用氧化锌,振动支撑层20d 采用氮化硅,柔性层30采用聚酰亚胺。从图3可以看出,相较于不含有柔性层30的MEMS结构,本申请的MEMS结构对残余应力的敏感性降低了接近一倍。
综上,本专利提出的MEMS结构在压电复合振动层与衬底之间设置柔性层 30,使压电复合振动层具有一定的面内伸缩能力来释放残余应力,将MEMS结构对残余应力的敏感性降低了1倍左右,有效的提高了MEMS结构的灵敏度。
以上仅为本申请的较佳实施例而已,并不用以限制本申请,凡在本申请的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本申请的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种MEMS结构,其特征在于,包括:
衬底,具有空腔和环形体;
柔性层,形成在所述环形体上方;
振动支撑层,形成在所述柔性层上方并且覆盖所述空腔;
第一电极层,形成在所述振动支撑层上方;
压电层,形成在所述第一电极层上方;
第二电极层,形成在所述压电层上方。
2.根据权利要求1所述的MEMS结构,其特征在于,所述第一电极层、所述压电层和所述第二电极层的区域面积小于所述空腔的区域面积。
3.根据权利要求1所述的MEMS结构,其特征在于,所述柔性层的内部区域面积等于所述空腔的区域面积。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202221084969.8U CN217591085U (zh) | 2022-04-24 | 2022-04-24 | 一种mems结构 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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CN217591085U true CN217591085U (zh) | 2022-10-14 |
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Family Applications (1)
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CN202221084969.8U Active CN217591085U (zh) | 2022-04-24 | 2022-04-24 | 一种mems结构 |
Country Status (1)
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2022
- 2022-04-24 CN CN202221084969.8U patent/CN217591085U/zh active Active
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