CN217472991U - 一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于单晶炉生产技术领域，尤其是一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置，包括集尘器和集尘桶，还包括氮气反吹装置、第一冷却装置、第二冷却装置和遮挡装置，集尘桶设置在集尘器的下表面。该重掺清扫真空滤筒的阻燃装置，通过设置氮气反吹装置，避免传统以压缩空气为主的反吹装置将氧气导入集尘器内作为助燃物，进而引起自燃，在集尘器工作过程中，需要清理滤筒上的灰尘时，打开相对应管道上的隔膜阀，储气桶内的氮气通过管道进入集尘器，从而对集尘器内滤筒上的灰尘吹落，吹落后的灰尘沿着集尘器的内壁掉落入集尘桶内，氮气可用作稀释剂控制自然的燃烧，达到保证运行环境在磷燃点以下的效果。

Description

一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置

技术领域

本实用新型涉及单晶炉生产技术领域，尤其涉及一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，光伏半导体制造业单晶炉在生产过程中需要掺入化学元素，因此容易在生产过程中产生有氧化颗粒粉尘，需要及时的进行收集清理；

但目前的重掺清扫真空设备因放置于室外楼顶，没有单独建筑物遮挡，裸露室外，与阳光直射接触，当单晶炉拆清时容易吸入掺磷粉尘，然后在集尘桶集聚后，造成粉尘自燃，从而引起顶部悬挂滤筒引燃冒烟，应滤筒材质为阻燃滤纸，所以未发现明火，只存在冒烟，导致无法过滤粉尘，且重掺清扫设备中的除尘器反吹装置一般为压缩空气，压缩空气中的氧气为助燃物，容易引起火灾，而设备放置室外经太阳的照射导致内部温度变高，易达到含磷粉尘的自燃温度，从而造成危险。

实用新型内容

基于现有的重掺清扫设备大多裸露在室外，经太阳光的直射容易达到含磷粉尘自燃的温度，同时经压缩空气反吹除磷时，其中压缩空气中的氧气容易助燃的技术问题，本实用新型提出了一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置。

本实用新型提出的一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置，包括集尘器和集尘桶，还包括氮气反吹装置、第一冷却装置、第二冷却装置和遮挡装置，所述集尘桶设置在所述集尘器的下表面，所述集尘器的外表面固定套接有第一夹套，所述集尘桶的外表面固定套接有第二夹套；

所述氮气反吹装置设置在所述集尘器的上表面并通过储存的氮气对所述集尘器内滤筒表面附着的掺磷粉尘进行吹落；

所述第一冷却装置设置在所述第一夹套的内壁并通过冷却水对所述集尘器进行降温；

所述第二冷却装置设置在所述第二夹套的内壁并通过冷冻水对所述集尘桶进行降温；

所述遮挡装置设置在所述集尘器和所述集尘桶的外表面并通过阻挡太阳光的直射降低集尘器和集尘桶的温度。

优选地，所述集尘桶的外表面上端螺纹连接有桶盖，所述集尘器的下表面与所述桶盖的上表面连通。

通过上述技术方案，在集尘桶的外表面上端开设外螺纹、桶盖的内壁开设内螺纹，通过外螺纹和内螺纹的螺纹连接带动桶盖与集尘桶进行安装，需要清理集尘桶时，将桶盖拧下即可，便于安装拆卸。

优选地，所述桶盖的外表面通过铰接轴铰接有把手，所述集尘桶的下表面固定安装有万向轮。

通过上述技术方案，需要清理集尘桶时，握住把手将集尘桶和桶盖拉出，拉动集尘桶时带动万向轮转动，从而达到便于搬运集尘桶的效果。

优选地，所述桶盖的上表面开设有通孔，所述通孔的内壁与所述集尘器的下表面滑动插接，所述集尘器的上表面和所述集尘桶的上表面分别固定安装有温度传感器。

通过上述技术方案，集尘桶放置在集尘器的下方，将集尘器下方与通孔对齐后插入，从而将集尘器的出口与集尘桶连通，同时达到固定集尘桶的效果，两个温度传感器分别将集尘器和集尘桶内部温度的变化转换成可用输出的电信号，从而在显示屏上显示出温度，便于实时监测集尘桶和集尘器内部温度的变化。

优选地，所述氮气反吹装置包括储气桶，所述储气桶的外表面固定连通有三个管道，所述管道的外表面固定安装有隔膜阀，所述管道的一端延伸至所述集尘器的内部。

通过上述技术方案，氮气是一种无色无味的气体，是空气的主要成份之一，密度比空气小，可用作稀释剂控制自然的燃烧，在较高的氧气浓度下会更快，将管道延伸至集尘器内的一端与集尘器内滤筒的分布一一对应，需要清理滤筒上的掺磷粉尘时，打开相对应管道上的隔膜阀，通过隔膜阀内隔膜的移动调节氮气的流速，让储气桶内的氮气通过管道进入集尘器，并对滤筒上附着的掺磷粉尘进行吹落，从而达到通过氮气清理滤筒上掺磷粉尘，并防止粉尘自燃的效果。

优选地，所述第一冷却装置包括蛇形铜盘管，所述蛇形铜盘管的一侧表面缠绕在所述集尘器的外表面，所述蛇形铜盘管的两端分别延伸至所述第一夹套的外表面，所述蛇形铜盘管的一端固定连通有第一增压泵，所述第一增压泵的吸水端通过水管固定连通有第一冷却箱，所述蛇形铜盘管的另一端与所述第一冷却箱的一侧表面固定连通。

通过上述技术方案，第一冷却箱内装有冷冻水，蛇形铜盘管的内壁流动有冷冻水，冷冻水通过蛇形铜盘管的一端进入并随着冷冻水的流动对集尘器的外表面进行降温，然后通过蛇形铜盘管的另一端流出，达到循环使用的效果，由于蛇形铜盘管内水流较小，第一增压泵增加水流量及压力，更好的带动冷冻水对集尘器进行降温。

优选地，所述第一夹套的内壁固定安装有第一保温棉，所述蛇形铜盘管的另一侧表面与所述第一保温棉的一侧表面贴合。

通过上述技术方案，第一保温棉避免蛇形铜盘管内冷冻水的温度向外流失，从而影响冷却集尘器的效果。

优选地，所述第二冷却装置包括凹槽，所述凹槽开设在所述第二夹套的内壁，所述凹槽的内壁分别固定连通有第一水管和第二水管，所述第一水管的一端固定连通有第二增压泵，所述第二增压泵的吸水端通过水管固定连通有第二冷却箱，所述第二水管的一端与所述第二冷却箱的一侧表面固定连通。

通过上述技术方案，第二冷却箱内装有冷冻水，冷冻水通过第一水管流入凹槽内，通过冷冻水在凹槽内的流动从而对集尘桶进行降温，由于凹槽内水流较小，第二增压泵增加水流量及压力，更好的带动冷冻水对集尘桶进行降温。

优选地，所述第二夹套靠近所述凹槽的内壁固定安装有第二保温棉。

通过上述技术方案，第二保温棉避免凹槽内冷冻水的温度向外流失，从而影响冷却集尘桶的效果。

优选地，所述遮挡装置包括遮阳篷，所述遮阳篷设置在所述集尘器的上表面，所述遮阳篷的下表面固定安装有电动伸缩杆，所述遮阳篷的上表面固定安装有太阳能电池板，所述太阳能电池板的上表面固定安装有太阳能跟踪控制器。

通过上述技术方案，太阳能跟踪控制器控制电动伸缩杆进行伸缩，从而带动遮阳篷上的太阳能电池板始终正对太阳，让太阳光的光线随时垂直照射太阳能电池板的动力装置，不仅提高太阳能电池板的发电效率，而且带动遮阳篷始终遮挡住阳光，从而避免太阳光直射集尘器和集尘桶的外表面，防止自燃。

本实用新型中的有益效果为：

1、通过设置氮气反吹装置，避免传统以压缩空气为主的反吹装置将氧气导入集尘器内作为助燃物，进而引起自燃，在集尘器工作过程中，需要清理滤筒上的灰尘时，打开相对应管道上的隔膜阀，储气桶内的氮气通过管道进入集尘器，从而对集尘器内滤筒上的灰尘吹落，吹落后的灰尘沿着集尘器的内壁掉落入集尘桶内，氮气可用作稀释剂控制自然的燃烧，达到保证运行环境在磷燃点以下的效果。

2、通过设置第一冷却装置和第二冷却装置，第一冷却箱内的冷冻水通过蛇形铜盘管的一端进入并随着冷冻水的流动对集尘器的外表面进行降温，第二冷却箱内的冷冻水通过凹槽对集尘桶的外表面进行降温，第一增压泵增加蛇形铜盘管内的水流量及压力，第二增压泵增加凹槽内的水流量和压力，从而更好的带动冷冻水对集尘器和集尘桶进行降温，第一保温棉和第二保温棉分别避免蛇形铜盘管与凹槽内冷冻水的温度向外流失，从而达到降低集尘器和集尘桶温度的效果。

3、通过设置桶盖，集尘桶的外表面上端开设有外螺纹，桶盖的内壁开设有内螺纹，通过外螺纹和内螺纹的螺纹连接带动桶盖与集尘桶进行安装，桶盖与集尘器的连通，便于灰尘掉落到集尘桶内，需要对集尘桶内清灰时，通过将盖帽拧开即可，达到便于安装拆卸的效果。

4、通过设置遮挡装置，太阳能跟踪控制器控制电动伸缩杆进行伸缩，从而带动遮阳篷上的太阳能电池板始终正对太阳，不仅提高太阳能电池板的发电效率，而且带动遮阳篷始终遮挡住阳光，从而避免太阳光直射集尘器和集尘桶的外表面，达到降低集尘器和集气筒表面温度的效果。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置的示意图；

图2为本实用新型提出的一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置的集尘器结构立体图；

图3为本实用新型提出的一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置的第一增压泵结构立体图；

图4为本实用新型提出的一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置的凹槽结构立体图；

图5为本实用新型提出的一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置的集尘桶结构立体图；

图6为本实用新型提出的一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置的储气桶结构立体图；

图7为本实用新型提出的一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置的第一夹套结构剖视图。

图中：1、集尘器；2、集尘桶；3、储气桶；31、管道；32、隔膜阀；4、蛇形铜盘管；41、第一增压泵；42、第一冷却箱；43、第一保温棉；5、凹槽；51、第一水管；52、第二水管；53、第二增压泵；54、第二冷却箱；55、第二保温棉；6、遮阳篷；61、电动伸缩杆；62、太阳能电池板；63、太阳能跟踪控制器；7、第一夹套；8、第二夹套；9、桶盖；10、把手；11、万向轮；12、通孔；13、温度传感器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-7，一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置，包括集尘器1 和集尘桶2，还包括氮气反吹装置、第一冷却装置、第二冷却装置和遮挡装置，集尘桶2设置在集尘器1的下表面，集尘器1的外表面固定套接有第一夹套7，集尘桶2的外表面固定套接有第二夹套8；

为了避免集尘桶2内的粉尘溢出，在集尘桶2的外表面上端设置桶盖9，并在桶盖9的内壁开设内螺纹、集尘桶2的外表面上端开设外螺纹，通过外螺纹和内螺纹的螺纹连接，从而达到便于安装拆卸桶盖9的效果，进而便于对集尘桶2的内壁进行清扫；

为了便于搬运集尘桶2，在桶盖9的外表面通过铰接轴铰接把手 10，并在集尘桶2的下表面设置万向轮11，通过握住把手10进行拉动，从而带动万向轮11转动，进而达到省力的效果；

为了便于集尘器1的出口端与集尘桶2的内部连通，在桶盖9的上表面开设通孔12，为了避免集尘桶2在万向轮11的带动下任意移动，将集尘器1下表面的出口端与通孔12的内部进行插接；

为了对集尘器1和集尘桶2内的温度进行监测，分别在集尘器1 和集尘桶2的上表面固定安装温度传感器13，两个温度传感器13分别将检测到的集尘器1和集尘桶2内的温度变化转化为电信号输出到显示屏上，从而便于观察温度情况；

为了防止集尘器1内滤筒表面附着的掺磷粉尘发生自燃，氮气反吹装置设置在集尘器1的上表面并通过储存的氮气对集尘器1内滤筒表面附着的掺磷粉尘进行吹落，氮气反吹装置包括储气桶3、管道31 和隔膜阀32；

为了防止压缩空气带动氧气对滤筒表面进行反吹，在集尘器1的上表面设置储气桶3，并在储气桶3的内部注入氮气，氮气用作稀释剂控制自然的燃烧，在较高的氧气浓度下会更快，进而防止氧气助燃掺磷粉尘的燃烧，为了针对每个滤筒进行反吹，在储气桶3的外表面固定连通多个管道31，并让一个管道31对应一个滤筒，为了调节氮气的流速，在管道31的上表面设置隔膜阀32，通过隔膜阀32内隔膜的移动调节氮气的流速，让储气桶3内的氮气通过管道31进入集尘器1，并对滤筒上附着的掺磷粉尘进行吹落；

为了防止集尘器1温度过高造成滤筒上的掺磷粉尘自燃，第一冷却装置设置在第一夹套7的内壁并通过冷却水对集尘器1进行降温，第一冷却装置包括蛇形铜盘管4、第一增压泵41、第一冷却箱42和第一保温棉43；

为了对集尘器1的表面进行降温，在集尘器1的外表面设置第一冷却箱42，并在集尘器1的外表面缠绕蛇形铜盘管4，使蛇形铜盘管 4的一端与第一冷却箱42固定连通，为了防止蛇形铜盘管4内的压力过小，在蛇形铜盘管4的另一端设置第一增压泵41；

为了防止集尘桶2温度过高造成内部的掺磷粉尘自燃，第二冷却装置设置在第二夹套8的内壁并通过冷冻水对集尘桶2进行降温，第二冷却装置包括凹槽5、第一水管51、第二水管52、第二增压泵53、第二冷却箱54和第二保温棉55；

为了对集尘桶2的表面进行降温，在集尘桶2的外表面设置第二冷却箱54，并在集尘桶2外表面套接的第二夹套8内开设凹槽5，为了让第二冷却箱54内的冷冻水能进入凹槽5，在凹槽5的内壁固定连通第一水管51，为了防止凹槽5内的压力过小，在第一水管51的上表面设置第二增压泵53，为了让凹槽5与第二冷却箱54连通，在凹槽5的外表面固定连通第二水管52；

为了防止集尘器1和集尘桶2受到太阳光的直射而造成温度过高，遮挡装置设置在集尘器1和集尘桶2的外表面并通过阻挡太阳光的直射降低集尘器1和集尘桶2的温度，遮挡装置包括遮阳篷6、电动伸缩杆61、太阳能电池板62和太阳能跟踪控制器63；

为了遮挡阳光，在集尘器1的上方设置遮阳篷6，为了便于调整遮阳篷6的方向，在遮阳篷6的下方固定连接电动伸缩杆61，为了替电动伸缩杆61提供电能，在遮阳篷6的上表面固定安装太阳能电池板62，为了让遮阳篷6能跟随太阳光的移动进行移动，在遮阳篷6 的上方设置太阳能跟踪控制器63，太阳能跟踪控制器63控制电动伸缩杆61伸缩，从而带动遮阳篷6和太阳能电池板62始终正对太阳。

工作原理：集尘器1进行工作时，观察集尘器1上的温度传感器 13显示的温度，第一冷却箱42内的冷冻水通过蛇形铜盘管4的一端进入第一夹套7内，并随着冷冻水的流动对集尘器1的外表面进行降温，然后通过蛇形铜盘管4的另一端流回第一冷却箱42内，第一增压泵41增加蛇形铜盘管4内的水流量及压力，第一保温棉43避免夹套内蛇形铜盘管4中冷冻水的温度向外流失；

需要对集尘器1内部滤筒上附着的灰尘进行清理时，打开滤筒相对应管道31上的隔膜阀32，储气桶3内的氮气通过管道31进入集尘器1，从而将集尘器1内滤筒上的灰尘吹落，吹落后的灰尘沿着集尘器1的内壁掉落入集尘桶2中；

集尘桶2收集灰尘时，观察集尘桶2上的温度传感器13显示的温度，第二冷却箱54内的冷冻水通过第一水管51流入第二夹套8内的凹槽5中，通过冷冻水在凹槽5内的流动从而对集尘桶2进行降温，然后通过第二水管52流回第二冷却箱54内，第二增压泵53增加凹槽5内的水流量及压力，第二保温棉55避免凹槽5内冷冻水的温度向外流失；

需要对集尘桶2内部进行清理时，握住把手10将集尘桶2拉出，集尘桶2的移动带动万向轮11转动，便于将集尘桶2取出，然后拧动集尘桶2上的桶盖9，取下桶盖9，从而对集尘桶2进行倾倒清扫；

在集尘器1和集尘桶2工作的过程中，太阳能跟踪控制器63通过太阳光的移动控制电动伸缩杆61进行伸缩，从而让太阳能电池板 62和遮阳篷6始终正对太阳光，便于对集尘器1和集尘桶2进行遮阳。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置，包括集尘器(1)和集尘桶(2)，其特征在于：还包括氮气反吹装置、第一冷却装置、第二冷却装置和遮挡装置，所述集尘桶(2)设置在所述集尘器(1)的下表面，所述集尘器(1)的外表面固定套接有第一夹套(7)，所述集尘桶(2)的外表面固定套接有第二夹套(8)；

所述氮气反吹装置设置在所述集尘器(1)的上表面并通过储存的氮气对所述集尘器(1)内滤筒表面附着的掺磷粉尘进行吹落；

所述第一冷却装置设置在所述第一夹套(7)的内壁并通过冷却水对所述集尘器(1)进行降温；

所述第二冷却装置设置在所述第二夹套(8)的内壁并通过冷冻水对所述集尘桶(2)进行降温；

所述遮挡装置设置在所述集尘器(1)和所述集尘桶(2)的外表面并通过阻挡太阳光的直射降低集尘器(1)和集尘桶(2)的温度。

2.根据权利要求1所述的一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置，其特征在于：所述集尘桶(2)的外表面上端螺纹连接有桶盖(9)，所述集尘器(1)的下表面与所述桶盖(9)的上表面连通。

3.根据权利要求2所述的一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置，其特征在于：所述桶盖(9)的外表面通过铰接轴铰接有把手(10)，所述集尘桶(2)的下表面固定安装有万向轮(11)。

4.根据权利要求2所述的一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置，其特征在于：所述桶盖(9)的上表面开设有通孔(12)，所述通孔(12)的内壁与所述集尘器(1)的下表面滑动插接，所述集尘器(1)的上表面和所述集尘桶(2)的上表面分别固定安装有温度传感器(13)。

5.根据权利要求1所述的一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置，其特征在于：所述氮气反吹装置包括储气桶(3)，所述储气桶(3)的外表面固定连通有三个管道(31)，所述管道(31)的外表面固定安装有隔膜阀(32)，所述管道(31)的一端延伸至所述集尘器(1)的内部。

6.根据权利要求1所述的一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置，其特征在于：所述第一冷却装置包括蛇形铜盘管(4)，所述蛇形铜盘管(4)的一侧表面缠绕在所述集尘器(1)的外表面，所述蛇形铜盘管(4)的两端分别延伸至所述第一夹套(7)的外表面，所述蛇形铜盘管(4)的一端固定连通有第一增压泵(41)，所述第一增压泵(41)的吸水端通过水管固定连通有第一冷却箱(42)，所述蛇形铜盘管(4)的另一端与所述第一冷却箱(42)的一侧表面固定连通。

7.根据权利要求6所述的一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置，其特征在于：所述第一夹套(7)的内壁固定安装有第一保温棉(43)，所述蛇形铜盘管(4)的另一侧表面与所述第一保温棉(43)的一侧表面贴合。

8.根据权利要求1所述的一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置，其特征在于：所述第二冷却装置包括凹槽(5)，所述凹槽(5)开设在所述第二夹套(8)的内壁，所述凹槽(5)的内壁分别固定连通有第一水管(51)和第二水管(52)，所述第一水管(51)的一端固定连通有第二增压泵(53)，所述第二增压泵(53)的吸水端通过水管固定连通有第二冷却箱(54)，所述第二水管(52)的一端与所述第二冷却箱(54)的一侧表面固定连通。

9.根据权利要求8所述的一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置，其特征在于：所述第二夹套(8)靠近所述凹槽(5)的内壁固定安装有第二保温棉(55)。

10.根据权利要求1所述的一种重掺清扫真空滤筒的阻燃装置，其特征在于：所述遮挡装置包括遮阳篷(6)，所述遮阳篷(6)设置在所述集尘器(1)的上表面，所述遮阳篷(6)的下表面固定安装有电动伸缩杆(61)，所述遮阳篷(6)的上表面固定安装有太阳能电池板(62)，所述太阳能电池板(62)的上表面固定安装有太阳能跟踪控制器(63)。

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