CN217426707U - 承载装置、承载台和检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种承载装置、承载台和检测设备，其中，所述承载装置包括承载本体与至少两个拼接单元，两所述拼接单元连接并均与所述承载本体连接，所述拼接单元包括：安装板，所述安装板设有多个让位口；第一连接板，所述第一连接板折弯连接于所述安装板的一侧边；以及第二连接板，所述第二连接板折弯连接于所述安装板背离所述第一连接板的一侧边，所述安装板、所述第一连接板、所述第二连接板合围形成半加工空间，一所述拼接单元的半加工空间与另一所述拼接单元的半加工空间合围形成加工空间，所述让位口连通所述加工空间。本实用新型技术方案通过多个拼接单元组装以形成承载装置，便于承载装置下方的功能性部件，在对功能性部件进行维护时，不需要升降承载装置，只需对组装的承载装置进行简单拆解。

Description

承载装置、承载台和检测设备

技术领域

本实用新型涉及固定保护技术领域，特别涉及一种承载装置、承载台和检测设备。

背景技术

承载装置通过真空吸附的方式对晶圆进行固定，因此在承载装置的下方需要设置有功能性零部件，需要通过固定件对承载装置的下方零部件进行固定，而现有的在进行维护时，需要将整个承载装置提升至一定高度后才能够方便进行拆除，但是在承载装置上方存在检测镜头，因此，为了对承载装置进行维修需要调高承载装置上方检测镜头的位置，从而导致维修效率降低。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种承载装置，旨在提高维护效率。

为实现上述目的，本实用新型提出的承载装置，所述承载装置包括承载本体与至少两个拼接单元，两所述拼接单元连接并均与所述承载本体连接，所述拼接单元包括：

安装板，所述安装板设有多个让位口；

第一连接板，所述第一连接板折弯连接于所述安装板的一侧边；以及

第二连接板，所述第二连接板折弯连接于所述安装板背离所述第一连接板的一侧边，所述安装板、所述第一连接板、所述第二连接板合围形成半加工空间，一所述拼接单元的半加工空间与另一所述拼接单元的半加工空间合围形成加工空间，所述让位口连通所述加工空间。

可选地，所述第一连接板上设置有多个第一安装孔，所述第二连接板上设置有多个第二安装孔，所述第二安装孔贯穿所述第二连接板，所述第一安装孔贯穿所述第一连接板，所述承载本体与所述第一连接板连接。

可选地，所述第二安装孔与第一所述安装孔均为阶梯孔。

可选地，所述第一安装孔在所述第一连接板上间隔设置，所述第二安装孔位于所述第二连接板上且间隔设置。

可选地，所述第一连接板背离于所述安装板连接的边缘向着远离所述加工空间的方向延伸。

可选地，所述第二连接板背离于所述安装板连接的边缘向着所述加工空间内延伸。

可选地，多个所述第一连接板合围形成的内沿直径大于多个所述第二连接板的合围形成的内沿直径。

可选地，多个所述让位口间隔设置在所述安装板内。

本实用新型还提出一种承载台，所述的承载装置、移动组件与基台，所述移动组件用于带动所述承载装置进行移动或转动，所述第二连接板与所述基台进行连接。

本实用新型还提出一种检测设备，包括所述承载台。

本实用新型技术方案通过多个拼接单元组装以形成承载装置，便于承载装置下方的功能性部件，在对功能性部件进行维护时，不需要升降承载装置，只需对组装的承载装置进行简单拆解，进而便于将功能性部件暴露，而便于操作者直接接触维护，省去调整检测镜头的位置以及承载装置位置的过程，提高了维护效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型承载装置一实施例的结构示意图；

图2为本实用新型承载装置一实施例中拼接单元与承载本体的连接图；

图3为本实用新型承载台一实施例的结构示意图。

附图标号说明：

标号	名称	标号	名称
				100	承载装置	10	拼接单元
11	第一安装孔	12	第一连接板
				13	安装板	14	让位口
15	第二连接板

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

另外，在本实用新型中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义为，包括三个并列的方案，以“A和/或B为例”，包括A方案，或B方案，或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

本实用新型提出一种承载装置100。

参照图1至图3，图1为本实用新型承载装置一实施例的结构示意图；图2为本实用新型承载装置一实施例中拼接单元与承载本体的连接图；图3为本实用新型承载台一实施例的结构示意图。

在本实用新型实施例中，该承载装置100；如图1所示，所述承载装置包括承载本体与至少两个拼接单元10，两所述拼接单元10连接并均与所述承载本体连接，所述拼接单元10包括：

安装板13，所述安装板13设有多个让位口14；

第一连接板12，所述第一连接板12折弯连接于所述安装板13的一侧边；以及

第二连接板15，所述第二连接板15折弯连接于所述安装板13背离所述第一连接板12的一侧边，所述安装板13、所述第一连接板12、所述第二连接板15合围形成半加工空间，一所述拼接单元10的半加工空间与另一所述拼接单元10的半加工空间合围形成加工空间，所述让位口14连通所述加工空间。

本实用新型技术方案通过多个所述拼接单元10组装以形成所述承载装置100，便于承载装置下方的功能性部件，在对功能性部件进行维护时，不需要升降所述承载装置100，只需对组装的所述承载装置100进行简单拆解，进而便于将功能性部件暴露，而便于操作者直接接触维护，省去调整检测镜头的位置以及承载装置位置的过程，提高了维护效率。

可选地，所述第一连接板12上设置有多个第一安装孔11，所述第二连接板15上设置有多个第二安装孔，所述第二安装孔贯穿所述第二连接板15，所述第一安装孔11贯穿所述第一连接板12，所述承载本体与所述第一连接板12连接。

一实施例中，所述承载装置还包括承载本体，多个所述第一安装孔11的存在，便于当需要将所述拼接单元10安装到所述承载本体上时，能够选择螺栓螺母等穿过所述第一安装孔11后，实现所述第一连接板12与所述承载本体之间的连接，进而在需要对安装在所述承载装置100内的功能性部件进行维护时，只需要通过解除螺栓螺母，同时对所述承载装置100的拆解，分解拼接单元，就能够直接对部件进行维护，极大的提高了维护维修效率。

一实施例中，所述第二安装孔的存在也用于安装紧固件等，其中，所述紧固件能够选择螺栓、螺丝等连接零件。

可选地，所述第二安装孔与第一所述安装孔11均为阶梯孔。

一实施例中，在通过螺栓螺母进行所述承载装置100与所述承载台之间的连接时，螺栓穿过所述第一安装孔11后，能够使得螺母在是阶梯孔的所述第一安装孔11内完成旋紧，螺母在阶梯孔内的安装，节省了安装空间，避免了安装处由于螺母的旋紧出现凸起而影响其他部件的正常安装，合理的利用了空间。

一实施例中，所述第二安装孔为阶梯孔，能够为了隐藏安装的螺栓螺母，避免凸出的螺栓螺母影响其余部件的正常安装，节省安装空间，且不影响，所述第二连接板15表面的平整。

可选地，所述第一安装孔11在所述第一连接板12上间隔设置，所述第二安装孔11位于所述第二连接板15上且间隔设置。

一实施例中，所述第一安装孔11间隔设置在所述第一连接版12上，所述第二安装孔间隔设置在所述第二连接板15上，便于在进行安装时，能够在安装合理的情况下完成所述承载装置100与所述承载台之间的连接，使得连接受力分布均匀，而提高连接的稳固，提高了可靠性，且由于所述第一安装孔11与所述第二安装孔均间隔设置，在安装时，能够有足够的空间完成螺栓螺母安装时的动作，提高安装效率。

可选地，所述第一连接板12背离于所述安装板13连接的边缘向着远离所述加工空间的方向延伸。

一实施例中，所述第一连接板12不与所述安装板13连接的边缘向着背离所述加工空间的方向延伸，使得在将所述第一连接板12与所述承载台安装连接时，能够使得便于在所述安装板13背离所述加工空间的一侧操作进行，不会对安装在所述安装板13上的零部件产生影响，且方便在检修时，直接对所述安装板13进行拆卸，有利于提高检修的效率。

可选地，所述第二连接板15背离于所述安装板13连接的边缘向着所述加工空间内延伸。

一实施例中，所述第二连接板15不与所述安装板13连接的边缘向着所述加工空间内延伸，进而便于对所述第二连接板15进行安装时，使得螺栓螺母被保护在所述加工空间内，使得外界不会对所述第二连接板15连接的稳定产生影响，提高连接的稳定性。

可选地，多个所述第一连接板12合围形成的内沿直径大于多个所述第二连接板15的合围形成的内沿直径。

一实施例中，多个所述第一连接板12合围圈大于多个所述第二连接板15合围圈，便于对所述承载装置100的正常安装，同时有利于保护在所述加工空间内的零部件。

可选地，多个所述让位口14间隔设置在所述安装板13内。

一实施例中，多个所述让位口14间隔设置在所述安装板13内，使得部分零部件一端穿过所述让位口14进入到所述加工空间内时，这些零部件能够间隔分明的分布在所述安装板13上，进而保证零部件安装分布的有序进行，便于分辨。

本实用新型还提出一种承载台，该承载装置包括移动组件和承载装置，该承载装置的具体结构参照上述实施例，由于本承载装置采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。其中，所述移动组件用于带动所述承载装置100进行移动或转动。

本实用新型还提出一种检测设备，该检测设备包括承载台，该检测设备的具体结构参照上述实施例，由于本承载台采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的发明构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种承载装置，其特征在于，所述承载装置包括承载本体与至少两个拼接单元，两所述拼接单元连接并均与所述承载本体连接，所述拼接单元包括：

安装板，所述安装板设有多个让位口；

第一连接板，所述第一连接板折弯连接于所述安装板的一侧边；以及

第二连接板，所述第二连接板折弯连接于所述安装板背离所述第一连接板的一侧边，所述安装板、所述第一连接板、所述第二连接板合围形成半加工空间，一所述拼接单元的半加工空间与另一所述拼接单元的半加工空间合围形成加工空间，所述让位口连通所述加工空间。

2.如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述第一连接板上设置有多个第一安装孔，所述第二连接板上设置有多个第二安装孔，所述第二安装孔贯穿所述第二连接板，所述第一安装孔贯穿所述第一连接板，所述承载本体与所述第一连接板连接。

3.如权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述第二安装孔与第一所述安装孔均为阶梯孔。

4.如权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述第一安装孔在所述第一连接板上间隔设置，所述第二安装孔位于所述第二连接板上且间隔设置。

5.如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述第一连接板背离于所述安装板连接的边缘向着远离所述加工空间的方向延伸。

6.如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述第二连接板背离于所述安装板连接的边缘向着所述加工空间内延伸。

7.如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，多个所述第一连接板合围形成的内沿直径大于多个所述第二连接板的合围形成的内沿直径。

8.如权利要求1所述的承载装置，其特征在于，多个所述让位口间隔设置在所述安装板内。

9.一种承载台，其特征在于，包括权利要求1至权利要求8中任意一项所述的承载装置、移动组件与基台，所述移动组件用于带动所述承载装置进行移动或转动，所述第二连接板与所述基台进行连接。

10.一种检测设备，其特征在于，包括权利要求9中所述的承载台。

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