CN217298001U - 一种物理气相沉积炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及气相炉设备技术领域，更具体的说是一种物理气相沉积炉。本实用新型提供一种物理气相沉积炉，其有益效果为可以实现对工作的气相沉积炉进行温度测量，从而确保气相炉内的温度为加工的适宜温度。一种物理气相沉积炉，包括气相炉、抽气口、气孔和温度传感器，气相炉上设置有进气口，气相炉上设置有气孔，温度传感器与气相炉外壁接触。一种物理气相沉积炉还包括盛放板，多个盛放板均固定连接在气相炉内部。一种物理气相沉积炉还包括盛放槽，多个盛放板上均设置有盛放槽。

Description

一种物理气相沉积炉

技术领域

本实用新型涉及气相炉设备技术领域，更具体的说是一种物理气相沉积炉。

背景技术

申请号为CN201921136235.8公开的包括沉积炉本体和探针天线，所述沉积炉本体的边侧安装有向下倾斜分布的进气管，所述探针天线垂直安装在沉积炉本体的顶端，且探针天线的内部空腔中设置有同样垂直分布的竖杆，所述沉积炉本体的边侧安装有电动机，且电动机和垂直分布的转轴相连接，所述石英钟罩的内弧面上设置有冷却杆，且冷却杆的中心处固定安装在竖杆底端，并且石英钟罩的底端设置有桨叶，所述探针天线的底端设置有排气口。该设有散热结构的钟罩式气相化学沉积炉，通过对现有倒置放置的钟罩内外部结构的添加和改动，实现了钟罩本身的高效散热，同时对吹入沉积炉的反应气体具备聚拢作用，设计更加合理。但是该专利无法实现对工作的气相沉积炉进行温度测量，从而确保气相炉内的温度为加工适宜温度。

实用新型内容

本实用新型提供一种物理气相沉积炉，其有益效果为可以实现对工作的气相沉积炉进行温度测量，从而确保气相炉内的温度为加工适宜温度。

一种物理气相沉积炉，包括气相炉、抽气口、气孔和温度传感器，气相炉上设置有抽气口，气相炉上设置有气孔，温度传感器与气相炉外壁接触。

一种物理气相沉积炉还包括盛放板，多个盛放板均固定连接在气相炉内部。

一种物理气相沉积炉还包括盛放槽，多个盛放板上均设置有盛放槽。

本实用新型一种物理气相沉积炉的有益效果为：

本实用新型能够实现对工作的气相沉积炉进行温度测量，从而确保气相炉内的温度为加工适宜温度，避免温度过低导致加工出现误差的情况出现，同时避免温度过高导致气相炉或加工物品发生意外损坏的情况出现。

附图说明

下面结合附图和具体实施方法对本实用新型做进一步详细的说明。

图1为一种物理气相沉积炉的整体结构示意图一；

图2为一种物理气相沉积炉的整体结构示意图二；

图3为管体和分隔板的结构示意图；

图4为连接板和固定环的结构示意图；

图5为连接板和底座的结构示意图；

图6为加热箱和连接板的结构示意图；

图7为固定部的结构示意图。

图中：气相炉101；抽气口102；气孔103；盛放板104；盛放槽105；减速电机201；丝杠202；温度传感器203；限位杆204；连接环205；丝杠架206；盖板301；固定螺钉302；气缸401；记号刷402；弹簧403；滑动壳404。

具体实施方式

参看图1-2，示出了按照本实用新型中对工作的气相沉积炉进行温度测量的实施例的示意图，进一步地，

由于抽气口102设置在气相炉101上，气孔103设置在气相炉101上，气相炉101与温度传感器203外壁接触，将需要气相炉101进行加工的物体放入气相炉101后，通过抽气口102将气相炉101内的气体抽出，随后通过气孔103 向气相炉101内通入加工所需气体，随后对气相炉101内部进行加热，从而使得气相沉积炉对物体进行加工，此时能够通过温度传感器203对气相炉101进行温度测量，若出现温度失常的情况则发出警报，从而引起工作人员警觉，即使停止加工并进行设备维修，从而确保气相炉101内的温度为加工适宜温度，避免温度过低导致加工出现误差的情况出现，同时避免温度过高导致气相炉101 或加工物品发生意外损坏的情况出现，待加工结束后在将气孔103抽出，从而进行废气的处理。

参看图3，示出了按照本实用新型中对多个待加工物品进行盛放的实施例的示意图，进一步地，

由于气相炉101内部固定连接有多个盛放板104，多个盛放板104能够对待加工的物品进行盛放，从而使得气相炉101能够容纳多层物品，加大气相炉101 的内部空间利用率，从而提高气相炉101的加工效率。

参看图3，示出了按照本实用新型中便于多个盛放板104进行盛放的实施例的示意图，进一步地，

由于多个盛放槽105分别设置在多个盛放板104上，从而使得工作人员能够更加轻松的将物品放入多个盛放板104上，从而进一步提升多个盛放板104 对物品的盛放效果。

参看图5，示出了按照本实用新型中便于对气相炉101一个平面上的多个不同部位进行温度测量的实施例的示意图，进一步地，

由于连接环205内部固定连接有多个温度传感器203，从而使得多个温度传感器203能够对气相炉101一个平面上的多个不同部位进行温度测量，从而使得温度传感器203的检测范围更加全面，多个温度传感器203能够独立工作，从而进一步加强对温度的检测效果。

参看图3-5，示出了按照本实用新型中便于对气相炉101不同高度位置进行温度测量的实施例的示意图，进一步地，

由于气相炉101一端固定连接有丝杠架206，气相炉101另一端固定连接有限位杆204，丝杠架206上转动连接有丝杠202，丝杠202上螺纹连接有连接环 205，限位杆204上滑动连接有连接环205，丝杠202转动能够使得连接环205 在限位杆204的限位下，在限位杆204上上下滑动，从而使得固定在连接环205 上的多个温度传感器203能够对气相炉101不同高度位置进行温度测量，从而进一步加强对气相炉101的温度监测效果。

参看图3，示出了按照本实用新型中驱动丝杠202转动的实施例的示意图，进一步地，

由于气相炉101上固定连接有减速电机201，减速电机201的输出轴固定连接有丝杠202，驱动减速电机201转动从而使得丝杠202转动，驱动丝杠202转动从而使得连接环205进行上下滑动。

参看图4，示出了按照本实用新型中在温度异常部位留下记号的实施例的示意图，进一步地，

由于滑动壳404内滑动连接有记号刷402，连接环205上多个温度传感器 203对应位置滑动连接有多个滑动壳404，当温度传感器203发现某一部位温度异常从而发生警报同时，滑动壳404在连接环205上滑动，从而使得记号刷402 在温度异常部位留下一个记号，从而便于维修人员对该故障部位进行定位维修。

参看图7，示出了按照本实用新型中在记号刷402能够留下记号的同时保护记号刷402的实施例的示意图，进一步地，

由于多个滑动壳404内分别固定连接有多个弹簧403一端，多个记号刷402 上分别固定连接有多个弹簧403另一端，当记号刷402与气相炉101接触时，能够压缩多个弹簧403，从而能够包装在记号刷402能够留下记号的同时，保护记号刷402不会由于滑动壳404的滑动造成损害。

参看图3、图7，示出了按照本实用新型中便于操作多个滑动壳404滑动的实施例的示意图，进一步地，

由于连接环205上固定连接有多个气缸401，多个气缸401的伸缩杆上分别固定连接有多个滑动壳404，当温度传感器203发现某一部位温度异常从而发生警报同时会驱动该位置的气缸401伸出，从而使得滑动壳404滑动，从而使得记号刷402在该位置留下记号。

参看图4，示出了按照本实用新型中便于放入和取出加工物品的实施例的示意图，进一步地，

由于气相炉101上通过多个固定螺钉302可拆卸连接有盖板301，工作人员能够通过拧动多个固定螺钉302从而将盖板301压住或取下，从而便于放入和取出加工物品。

Claims (10)

1.一种物理气相沉积炉，其特征在于：包括气相炉(101)、抽气口(102)、气孔(103)和温度传感器(203)，气相炉(101)上设置有抽气口(102)，气相炉(101)上设置有气孔(103)，温度传感器(203)与气相炉(101)外壁接触。

2.根据权利要求1所述的一种物理气相沉积炉，其特征在于：还包括盛放板(104)，多个盛放板(104)均固定连接在气相炉(101)内部。

3.根据权利要求2所述的一种物理气相沉积炉，其特征在于：还包括盛放槽(105)，多个盛放板(104)上均设置有盛放槽(105)。

4.根据权利要求3所述的一种物理气相沉积炉，其特征在于：还包括连接环(205)，温度传感器(203)设有多个，多个温度传感器(203)均固定连接在连接环(205)内部。

5.根据权利要求4所述的一种物理气相沉积炉，其特征在于：还包括丝杠(202)、限位杆(204)和丝杠架(206)，丝杠架(206)固定连接在气相炉(101)一端，限位杆(204)固定连接在气相炉(101)另一端，丝杠(202)转动连接在丝杠架(206)上，连接环(205)螺纹连接在丝杠(202)上，连接环(205)滑动连接在限位杆(204)上。

6.根据权利要求5所述的一种物理气相沉积炉，其特征在于：还包括减速电机(201)，减速电机(201)固定连接在气相炉(101)上，丝杠(202)固定连接在减速电机(201)的输出轴上。

7.根据权利要求6所述的一种物理气相沉积炉，其特征在于：还包括记号刷(402)和滑动壳(404)，记号刷(402)滑动连接在滑动壳(404)内，多个滑动壳(404)均滑动连接在连接环(205)上多个温度传感器(203)对应位置。

8.根据权利要求7所述的一种物理气相沉积炉，其特征在于：还包括弹簧(403)，多个弹簧(403)一端分别固定连接在多个滑动壳(404)内，多个弹簧(403)另一端分别固定连接在多个记号刷(402)上。

9.根据权利要求8所述的一种物理气相沉积炉，其特征在于：还包括气缸(401)，多个气缸(401)均固定连接在连接环(205)上，多个滑动壳(404)分别固定连接在多个气缸(401)的伸缩杆上。

10.根据权利要求9所述的一种物理气相沉积炉，其特征在于：还包括盖板(301)和固定螺钉(302)，盖板(301)通过多个固定螺钉(302)可拆卸连接在气相炉(101)上。

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