CN217135391U - 电源模块、离子源电源、离子源装置及真空镀膜机 - Google Patents
电源模块、离子源电源、离子源装置及真空镀膜机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN217135391U CN217135391U CN202220076919.9U CN202220076919U CN217135391U CN 217135391 U CN217135391 U CN 217135391U CN 202220076919 U CN202220076919 U CN 202220076919U CN 217135391 U CN217135391 U CN 217135391U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- module
- power supply
- power
- ion source
- pin header
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Dc-Dc Converters (AREA)
Abstract
本申请涉及一种电源模块、离子源电源、离子源装置及真空镀膜机；电源模块，其特征在于，包括：控制模块、功率模块、通信模块和转接模块；其中，所述转接模块上设有交流输入端、直流输出端和电源通信端；所述电源通信端通过通信线连接至主控板的主板通信端，且通过排线连接至所述通信模块；所述交流输入端通过电源线连接交流电源，并通过排线连接至功率模块和通信模块；所述直流输出端通过电源线连接至离子源负载，且通过排线连接至功率模块；其中，所述功率模块通过排线连接控制模块；该技术方案，减小整个离子源电源设备体积，安装简易方便，减少了布线，提高了离子源电源的抗干扰能力及稳定性；便于生产安装作业，提高了电源的工作效率。
Description
技术领域
本申请涉及离子源技术领域，特别是一种电源模块、离子源电源、离子源装置及真空镀膜机。
背景技术
离子源是真空镀膜机需要使用的重要设备，而离子源电源也是重要的设备组成部分；电源的稳定性对于离子源的性能至关重要，因此在电源设计当中，必须得到重视。
目前，常规的离子源的结构设计及布线，各种线路繁杂且凌乱，信号容易受到干扰，连接标准不统一，安装复杂；特别是离子源电源布局体积大，极大地影响了电源的可靠性，也不便于生产安装作业，应用于真空镀膜机中，容易产生安全问题。
实用新型内容
基于此，有必要针对上述技术缺陷之一，提供一种电源模块、离子源电源、离子源装置及真空镀膜机，以简化离子源电源的结构设计，提升电源可靠性。
一种电源模块，包括：控制模块、功率模块、通信模块和转接模块；其中，所述转接模块上设有交流输入端、直流输出端和电源通信端；
所述电源通信端通过通信线连接至主控板的主板通信端，且通过排线连接至所述通信模块；
所述交流输入端通过电源线连接交流电源，并通过排线连接至功率模块和通信模块；
所述直流输出端通过电源线连接至离子源负载，且通过排线连接至功率模块；其中，所述功率模块通过排线连接控制模块。
在一个实施例中，所述转接模块上还设有连接所述电源通信端的第一排针排座，连接所述交流输入端的第二排针排座，以及连接所述直流输出端第三排针排座；
所述通信模块上设有连接所述第一排针排座的第四排针排座，以及第五排针排座；
所述功率模块上设有连接所述第三排针排座的第六排针排座，连接所述第二排针排座的第七排针排座，以及第八排针排座；
所述控制模块上设有连接所述第八排针排座的第九排针排座。
在一个实施例中，所述功率模块包括：依次连接的滤波电路、防浪涌电路、过流保护电路和隔离变压电路；其中，所述滤波电路连接所述交流输入端，隔离变压电路连接所述直流输出端。
一种离子源电源，包括：主控板，滤波模块，以及多个并联的电源模块；其中，各个所述电源模块的交流输入端分别连接至所述滤波模块；所述滤波模块连接市电并输出交流电源至各个电源模块；各个所述电源模块的电源通信端分别连接至所述主板通信端。
在一个实施例中，所述的离子源电源，还包括：至少一个航空插头；其中，所述航空插头连接至少一个电源模块的直流输出端；所述直流输出端通过航空插头连接至离子源负载。
在一个实施例中，所述电源模块包括：第一电源模块、第二电源模块、第三电源模块和第四电源模块；
所述航空插头包括第一航空插头和第二航空插头；
所述第一电源模块和第二电源模块并联连接至所述第一航空插头；所述第三电源模块和第四电源模块并联连接至所述第二航空插头。
在一个实施例中，所述的离子源电源，还包括：连接所述主控板的人机交互模块，用于显示电源数据信息以及输入操作。
在一个实施例中，所述人机交互模块为触摸屏。
一种离子源装置，包括：离子源负载，以及离子源电源；其中，所述离子源电源向所述离子源负载提供电源。
一种真空镀膜机，包括上述的离子源装置。
本申请的技术方案具有如下有益效果：
减小整个离子源电源设备体积，安装简易方便，减少了布线，提高了离子源电源的抗干扰能力及稳定性；当电源出现故障时，能够可快速拆卸和安装，便于生产安装作业，提高了电源的工作效率。
附图说明
图1是一个实施例的电源模块结构示意图；
图2是一个示例的功率模块结构示意图；
图3是另一个实施例的电源模块结构示意图；
图4是一个实施例的离子源电源结构示意图；
图5是一个示例的离子源电源结构示意图。
具体实施方式
为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
参考图1至图5所示，图1是一个实施例的电源模块结构示意图；本申请的电源模块10，可以应用于离子源电源中，包括：控制模块11、功率模块 12、通信模块13和转接模块14；其中，转接模块14上设有交流输入端Vin、直流输出端Vout和电源通信端M1。
电源通信端M1通过通信线连接至主控板20的主板通信端M2，且通过排线连接至通信模块13；交流输入端Vin通过电源线连接至交流电源，且通过排线连接至功率模块12和通信模块13；直流输出端Vout通过电源线连接至离子源负载30，且通过排线连接至功率模块；其中，功率模块12通过排线连接控制模块11。
在上述电源模块10中，优选的，功率模块12设计可以实现电源的能量转换、整流滤波等功能；控制模块11可以采用PWM控制器实现作为电源控制核心的作用，如进行电流、电压调节，非线性恒功率调节，输入过/欠压保护及过温保护等功能；通信模块13可以采用集成电路芯片，主要负责电源相关通信控制；转接模块14可以实现电源的交流输入、直流输出及通信信号的转接功能。
如上述实施例的电源模块10，通过设计了控制模块11、功率模块12、通信模块13和转接模块14等模块化设计，各个模块之间通过标准线或者排线连接，实现交流供电、通信信号传输以及直流电压输出等功能。
在一个实施例中，功率模块12可以实现滤波、防浪涌、过流保护和隔离变压等功能；如图2所示，图2是一个示例的功率模块结构示意图，功率模块12可以包括：依次连接的滤波电路121、防浪涌电路122、过流保护电路 123和隔离变压电路124；其中，滤波电路121连接交流输入端Vin，隔离变压电路124连接直流输出端Vout。
在一个实施例中，如图3所示，图3是另一个实施例的电源模块结构示意图，转接模块14上还设有连接电源通信端M1的第一排针排座①，连接交流输入端Vin的第二排针排座②，以及连接直流输出端Vout第三排针排座③；通信模块13上设有连接第一排针排座①的第四排针排座④，以及第五排针排座⑤；功率模块12上设有连接第三排针排座③的第六排针排座⑥，连接第二排针排座②的第七排针排座⑦，以及第八排针排座⑧；控制模块11上设有连接第八排针排座⑧的第九排针排座⑨。
上述实施例的技术方案，通过电源模块化结构，能够减小整个电源设备体积，安装简易方便，减少了布线，提高了电源的抗干扰能力及稳定性；当电源出现故障时，能够可快速拆卸和安装，便于生产安装作业，提高了电源的工作效率。
下面阐述离子源电源实施例。
参考图4所示，图4是一个实施例的离子源电源结构示意图，该离子源电源100包括：主控板20，滤波模块40，以及多个并联的上述实施例的电源模块10，如图中电源模块1-N，N≥2；其中，各个电源模块10的交流输入端 Vin分别连接至滤波模块40；滤波模块40连接交流电源；各个电源模块10的电源通信端M1分别连接至主板通信端M2。如图示，N个电源模块并联，从而可以根据离子源负载的需求来进行增加电源模块，
在一个实施例中，如图5所示，图5是一个示例的离子源电源结构示意图；离子源电源100还包括至少一个航空插头；其中，航空插头连接至少一个电源模块10的直流输出端Vout；直流输出端Vout通过航空插头P连接至离子源负载30。示例性的，电源模块10可以包括第一电源模块10a、第二电源模块10b、第三电源模块10c和第四电源模块10d。航空插头包括第一航空插头P1和第二航空插头P2；其中，第一电源模块10a和第二电源模块10b并联连接至第一航空插头P1；第三电源模块10c和第四电源模块10d并联连接至第二航空插头P2。
在一个实施例中，离子源电源100还包括连接主控板20的人机交互模块 50，用于显示电源数据信息以及输入操作；优选的，人机交互模块50为触摸屏。
如上所述的实施例，市电交流电220V由滤波模块40的输入端进入并联接到各电源模块10的交流输入端Vin，各电源模块10的电源通信端M1并联接到主控板的主板通信端M1，在触摸屏幕上调试电源模块10的显示电压电流、反馈电压电流，由主控板统一控制各电源模块10的直流输出端Vout电压电流输出。
下面阐述离子源装置的实施例。
如图1至图5所示，离子源装置包括：离子源负载30(即离子源)，以及上述实施例的离子源电源100；其中，离子源电源100向离子源负载30提供电源。
上述实施例的离子源装置，通过电源模块化结构，能够减小整个电源设备体积，安装简易方便，减少了布线，提高了电源的抗干扰能力及稳定性；当电源出现故障时，能够可快速拆卸和安装，便于生产安装作业，提高了电源的工作效率。
下面阐述真空镀膜机的实施例。
本申请提供的一种真空镀膜机，采用上述实施例的离子源装置来辅助镀膜；由于采用上述离子源装置，因此，该真空镀膜机在镀膜过程中，具有更高的抗干扰能力及稳定性；当电源出现故障时，能够可快速拆卸和安装，便于生产安装作业，提高了镀膜的工作效率。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种电源模块，其特征在于，包括：控制模块、功率模块、通信模块和转接模块；其中，所述转接模块上设有交流输入端、直流输出端和电源通信端；
所述电源通信端通过通信线连接至主控板的主板通信端，且通过排线连接至所述通信模块；
所述交流输入端通过电源线连接交流电源，并通过排线连接至功率模块和通信模块；
所述直流输出端通过电源线连接至离子源负载，且通过排线连接至功率模块；其中，所述功率模块通过排线连接控制模块。
2.根据权利要求1所述的电源模块，其特征在于，所述转接模块上还设有连接所述电源通信端的第一排针排座，连接所述交流输入端的第二排针排座，以及连接所述直流输出端第三排针排座；
所述通信模块上设有连接所述第一排针排座的第四排针排座，以及第五排针排座；
所述功率模块上设有连接所述第三排针排座的第六排针排座，连接所述第二排针排座的第七排针排座，以及第八排针排座；
所述控制模块上设有连接所述第八排针排座的第九排针排座。
3.根据权利要求1所述的电源模块，其特征在于，所述功率模块包括：依次连接的滤波电路、防浪涌电路、过流保护电路和隔离变压电路；其中，所述滤波电路连接所述交流输入端，隔离变压电路连接所述直流输出端。
4.一种离子源电源，其特征在于，包括：主控板，滤波模块，以及多个并联的如权利要求1-3任一项所述的电源模块；其中，各个所述电源模块的交流输入端分别连接至所述滤波模块；所述滤波模块连接市电并输出交流电源至各个电源模块；各个所述电源模块的电源通信端分别连接至所述主板通信端。
5.根据权利要求4所述的离子源电源，其特征在于，还包括：至少一个航空插头；其中，所述航空插头连接至少一个电源模块的直流输出端；所述直流输出端通过航空插头连接至离子源负载。
6.根据权利要求5所述的离子源电源，其特征在于，所述电源模块包括：第一电源模块、第二电源模块、第三电源模块和第四电源模块；
所述航空插头包括第一航空插头和第二航空插头；
所述第一电源模块和第二电源模块并联连接至所述第一航空插头；所述第三电源模块和第四电源模块并联连接至所述第二航空插头。
7.根据权利要求4所述的离子源电源，其特征在于，还包括：连接所述主控板的人机交互模块，用于显示电源数据信息以及输入操作。
8.根据权利要求7所述的离子源电源，其特征在于，所述人机交互模块为触摸屏。
9.一种离子源装置，其特征在于，包括：离子源负载，以及权利要求4-8任一项所述的离子源电源；其中，所述离子源电源向所述离子源负载提供电源。
10.一种真空镀膜机，其特征在于，包括权利要求9所述的离子源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202220076919.9U CN217135391U (zh) | 2022-01-12 | 2022-01-12 | 电源模块、离子源电源、离子源装置及真空镀膜机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202220076919.9U CN217135391U (zh) | 2022-01-12 | 2022-01-12 | 电源模块、离子源电源、离子源装置及真空镀膜机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN217135391U true CN217135391U (zh) | 2022-08-05 |
Family
ID=82620184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202220076919.9U Active CN217135391U (zh) | 2022-01-12 | 2022-01-12 | 电源模块、离子源电源、离子源装置及真空镀膜机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN217135391U (zh) |
-
2022
- 2022-01-12 CN CN202220076919.9U patent/CN217135391U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1972072A (zh) | 并联式不断电供电系统 | |
| CN217135391U (zh) | 电源模块、离子源电源、离子源装置及真空镀膜机 | |
| CN102759978B (zh) | 用于显示设备的电路及供电方法 | |
| CN216387243U (zh) | 一种十通道并行安规测试仪 | |
| US11784494B2 (en) | Direct current power supply system, photovoltaic system, energy storage system, and optical storage system | |
| CN210181142U (zh) | 一种逆变器测试系统 | |
| CN100544176C (zh) | 多输出电压的电源供应器 | |
| CN107634583A (zh) | 一种储能控制模块 | |
| CN207530614U (zh) | 模块化ups电源系统 | |
| CN208955883U (zh) | 一种适配器 | |
| CN202837435U (zh) | 一种大功率逆变器节能型功率考核试验装置 | |
| CN214473082U (zh) | 一种模块化设计的气体带电检测设备 | |
| CN217404335U (zh) | Ate测试装置及ate测试设备 | |
| CN213426373U (zh) | 一种多功能集成式工业以太网交换机 | |
| CN213843889U (zh) | 一种sspc固态功率控制器测试工装 | |
| CN218998491U (zh) | 一种pdu控制模块 | |
| CN220544869U (zh) | 电源供应装置及电子设备 | |
| CN214755663U (zh) | 充电器 | |
| CN212178531U (zh) | 带ic卡支付功能的加氢机控制系统 | |
| CN212749227U (zh) | 相控阵雷达tr组件电源系统及有源相控阵雷达 | |
| TWI789989B (zh) | 具有電源適配器的電源配置系統及電源輸出模組 | |
| CN219873364U (zh) | 一种飞机配电机构断路器模块在线快速更换装置 | |
| CN218549772U (zh) | 电动升降机构 | |
| CN217115088U (zh) | 一种便携式的多接头电源稳压电线 | |
| CN210867192U (zh) | 一种双电路板的供电结构及电子设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |