CN217104050U - 一种行程可调的修正板升降机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种行程可调的修正板升降机构，涉及电子束蒸镀技术领域，包括安装座，安装座上安装有直线驱动组件，直线驱动组件的直线移动件上铰接有连杆，连杆上铰接有活动支架，活动支架上固定有修正板支架，安装座上安装有上支架，活动支架还对应与上支架铰接，连杆在直线移动件上的转动方向、活动支架在连杆上的转动方向以及活动支架在上支架上的转动方向相同或相反，直线移动件进行直线移动时，通过连杆带动活动支架，使活动支架在上支架上转动，从而达到升降修正板的目的，采用本修正板升降机构，只需要在真空室门打开时，控制直线驱动组件使直线移动件移动，即可将修正板降下，方便员工装载产品，有效提升工作效率。

Description

一种行程可调的修正板升降机构

技术领域

本实用新型涉及电子束蒸镀技术领域，具体为一种行程可调的修正板升降机构。

背景技术

电子束蒸镀是物理气相沉积的一种，与传统蒸镀方式不同，电子束蒸镀利用电磁场的配合可以精准地实现利用高能电子轰击坩埚内靶材，使之融化进而沉积在基片上。电子束蒸镀可以镀出高纯度高精度的薄膜，然而电子束蒸发时不同角度区间的蒸发厚度是不同的，需要引入修正板对均匀区进行修正，才能保证整批产品工艺要求的一致性。

目前市面上常规使用的是固定修正的修正板机构，该类不可活动的修正机构导致在装载产品时会影响作业员操作，降低工作效率。

实用新型内容

本实用新型为克服上述情况不足，旨在提供一种能解决上述问题的技术方案。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种行程可调的修正板升降机构，包括安装座，安装座上安装有直线驱动组件，直线驱动组件的直线移动件上铰接有连杆，连杆上铰接有活动支架，活动支架上固定有修正板支架；安装座上安装有上支架，活动支架还对应与上支架铰接；连杆在直线移动件上的转动方向、活动支架在连杆上的转动方向以及活动支架在上支架上的转动方向相同或相反。

作为本实用新型进一步方案：活动支架或修正板支架上连接有限位块，安装座或上支架上设置有与限位块对应的调节块，调节块为位置可调设置；通过调节调节块的位置，在活动支架转动时，限位块与调节块相抵用于限制活动支架的转动角度。

作为本实用新型进一步方案：调节块为螺接在安装座或上支架上的螺丝。

作为本实用新型进一步方案：安装座上安装有下支架，直线移动件上可转动连接有滚动件；直线移动件在进行直线移动时，滚动件对应在下支架上朝向上支架的一侧滚动，

作为本实用新型进一步方案：滚动件可转动连接在直线移动件与连杆的铰接处。

作为本实用新型进一步方案：直线驱动组件采用气缸为驱动件。

作为本实用新型进一步方案：安装座为真空法兰；气缸安装在安装座的一侧，上支架安装在安装座的另一侧，气缸的伸缩杆穿过安装座的另一侧后与直线移动件连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：直线移动件进行直线移动时，通过连杆带动活动支架，使活动支架在上支架上转动，从而达到升降修正板的目的；采用本修正板升降机构，只需要在真空室门打开时，控制直线驱动组件使直线移动件移动，即可将修正板降下，方便员工装载产品，有效提升工作效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图中的附图标记及名称如下：

气缸-1，安装座-2，上支架-3，下支架-4，限位块-5，滚动件-6，轴承-7，修正板-8，修正板支架-9，连杆-10，活动支架-11，调节块-12，直线移动件-13，直线驱动组件-100。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，一种行程可调的修正板升降机构，包括安装座2，安装座2上安装有直线驱动组件100，直线驱动组件100的直线移动件13上铰接有连杆10，连杆10上铰接有活动支架11，活动支架11上固定有修正板支架9；安装座2上安装有上支架3，活动支架11还对应与上支架3铰接，安装座2用于将本修正板升降机构固定在真空室(未图示)上，在应用时，活动支架11上对应固定有修正板8。活动支架11与上支架3铰接时，两者之间可通过一轴承7进行过渡，使其铰接时的阻力更小。

连杆10在直线移动件13上的转动方向、活动支架11在连杆10上的转动方向以及活动支架11在上支架3上的转动方向相同或相反，直线移动件13进行直线移动时，通过连杆10带动活动支架11，使活动支架11在上支架3上转动，从而达到升降修正板8的目的。

采用本修正板升降机构，只需要在真空室门打开时，控制直线驱动组件100使直线移动件13移动，即可将修正板8降下，方便员工装载产品。

进一步地，活动支架11或修正板支架9上连接有限位块5，安装座2或上支架3上设置有与限位块5对应的调节块12，调节块12为位置可调设置；通过调节调节块12的位置，在活动支架11转动时，限位块5与调节块12相抵用于限制活动支架11的转动角度，在应用时可用于调节修正板支架9上的修正板8的升降角度。图示限位块5设置在活动支架11上，调节块12设置在上支架3上，限位块5和调节块12的设置位置可根据实际的空间和设计需要进行调整，目的在于通过调节调节块12的位置，达到限制活动支架11的转动角度，从而改变修正板8的最大上升角度或最小下降角度。

优选地，调节块12为螺接在安装座2或上支架3上的螺丝。在更换不同高度或弧度的镀膜伞(未图示)后，只需调节调节块12，便可改变修正板8的最大上升角度或最小下降角度，从而满足更换镀膜伞后的修正板的角度要求。

进一步地，安装座2上安装有下支架4，直线移动件13上可转动连接有滚动件6；直线移动件13在进行直线移动时，滚动件6对应在下支架4上朝向上支架3的一侧滚动。

滚动件6可采用轴承、滚轮等可产生相对滚动的结构件。在直线移动件13通过连杆10带动活动支架11时，通过滚动件6与下支架4在滚动时的相抵配合，避免直线移动件13产生远离上支架3的移动趋势，有效保证直线驱动组件100的稳定性、耐用性。

优选地，滚动件6可转动连接在直线移动件13与连杆10的铰接处。

其中一种设置方式为：直线移动件13与连杆10为通过直线移动件13上的一转轴进行铰接，滚动件6对应可转动连接在该转轴上，其中，连杆10在直线移动件13上的转动方向、滚动件6在转轴上的转动方向相同或相反。

本实用新型实施例中，直线驱动组件100优选采用气缸1为驱动件，在真空室门打开时，使用人机界面控制气缸动作，即可将修正板8降下，极大方便员工装载产品，同时可在控制程序中选择不同工艺升降修正板，在生产过程中根据工艺需求升降修正板，提高工艺工程师调试效率，大大降低工程师工艺调试难度，获得更好的产品工艺均匀性。在其它实施例中，直线驱动组件也可采用电机、电主轴等电动件作为驱动件，对应搭配丝杆等直线行程组件实现直线移动件的直线移动功能即可，通过电控的方式使得对修正板的升降控制更方便。

优选地，安装座2为真空法兰；气缸1安装在安装座2的一侧，上支架3安装在安装座2的另一侧，气缸1的伸缩杆穿过安装座2的另一侧后与直线移动件13连接。通过安装座2将本修正板升降机构固定在真空室上，安装座2对应将气缸1和真空室内部的结构作一个密封，设计更合理。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (7)

1.一种行程可调的修正板升降机构，其特征在于，包括安装座，安装座上安装有直线驱动组件，直线驱动组件的直线移动件上铰接有连杆，连杆上铰接有活动支架，活动支架上固定有修正板支架；

安装座上安装有上支架，活动支架还对应与上支架铰接；

连杆在直线移动件上的转动方向、活动支架在连杆上的转动方向以及活动支架在上支架上的转动方向相同或相反。

2.根据权利要求1所述的一种行程可调的修正板升降机构，其特征在于，活动支架或修正板支架上连接有限位块，安装座或上支架上设置有与限位块对应的调节块，调节块为位置可调设置；

通过调节调节块的位置，在活动支架转动时，限位块与调节块相抵用于限制活动支架的转动角度。

3.根据权利要求2所述的一种行程可调的修正板升降机构，其特征在于，调节块为螺接在安装座或上支架上的螺丝。

4.根据权利要求1-3任一项所述的一种行程可调的修正板升降机构，其特征在于，安装座上安装有下支架，直线移动件上可转动连接有滚动件；

直线移动件在进行直线移动时，滚动件对应在下支架上朝向上支架的一侧滚动。

5.根据权利要求4所述的一种行程可调的修正板升降机构，其特征在于，滚动件可转动连接在直线移动件与连杆的铰接处。

6.根据权利要求1或2或3或5所述的一种行程可调的修正板升降机构，其特征在于，直线驱动组件采用气缸为驱动件。

7.根据权利要求6所述的一种行程可调的修正板升降机构，其特征在于，安装座为真空法兰；

气缸安装在安装座的一侧，上支架安装在安装座的另一侧，气缸的伸缩杆穿过安装座的另一侧后与直线移动件连接。

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