CN216981877U - 一种大功率射频谐振发生电路 - Google Patents

Abstract

一种大功率射频谐振发生电路，属于射频发生器技术领域，解决传统的微波电路输出功率小、能耗高、输出频率不稳定的问题；射频谐振单元包括：真空电子管电路、输入滤波电路、谐振变压器电路、阳极隔直电路、平衡电路；射频处理单元包括：补偿电路、极板空气电容C12；输入滤波电路连接在真空电子管电路的输入端，所述的真空电子管电路的输出端通过阳极隔直电路与谐振变压器电路的一次侧连接，极板空气电容C12的两端与谐振变压器电路的二次侧并联，补偿电路连接在空气谐振变压器电路的二次侧与电容C12之间，平衡电路连接在振变压器电路的一次侧与二次侧之间；具有结构紧凑、输出射频频率稳定、功率大、能量的转换效率高的优点。

Description

一种大功率射频谐振发生电路

技术领域

本实用新型属于射频发生器技术领域，涉及一种大功率射频谐振发生电路。

背景技术

射频是一种频率区间在3～300MHz之间的高频交流电磁波。在工业中允许使用的射频频率段为13.56,27.12和40.68MHz。频率相比微波相对较低，因此对物料有更深的穿透效果。射频加热迅速而且均匀，不需要温度差来强制加热。潮湿的区域会比干燥的区域吸收更多的射频功率，多余的水分会从潮湿的区域自动排出，从而使水分分布更加均匀。而且射频功率主要消耗在负载中，且不需要长时间的预热或冷却时间。只有当负载存在时，才会消耗功率，并且仅与负载成比例。传统的微波技术由于波长较短，微波的工业应用仅限于小尺寸产品的应用。而射频的波长较长，因而能够深入穿透甚至致密的大尺寸材料，因此可以广泛应用于大尺寸的产品上。在较高频率(微波)下，各种产品的损耗因子之间的差异通常比在较低频率(射频)下的要小得多。在加热具有不同化学、物理、形态特性的产品时，射频具有更高的选择性，从而更容易控制不同材料的热处理。虽然射频和微波的能效相当(约70％)，但是微波设备的工作模式和能量反射现象使其总体能效约为55％，而射频设备的能效为60-65％。因此，与相应的微波设备相比，使用射频设备可节省约10-15％的能量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于如何设计一种大功率射频谐振发生电路，以及解决传统的微波电路输出功率小、能耗高、输出频率不稳定的问题。

本实用新型是通过以下技术方案解决上述技术问题的：

一种大功率射频谐振发生电路，包括：射频谐振单元(1)、射频处理单元(2)；所述的射频谐振单元(1)包括：真空电子管电路(30)、输入滤波电路(31)、谐振变压器电路(32)、阳极隔直电路(33)、平衡电路(34)；所述的射频处理单元(2)包括：补偿电路(35)、极板空气电容C12；所述的输入滤波电路(31)连接在真空电子管电路(30)的输入端，所述的真空电子管电路(30)的输出端通过阳极隔直电路(33)与谐振变压器电路(32)的一次侧连接，极板空气电容C12的两端与谐振变压器电路(32)的二次侧并联，补偿电路(35)连接在空气谐振变压器电路的二次侧与电容C12之间，平衡电路(34)连接在振变压器电路的一次侧与二次侧之间。

本实用新型的大功率射频谐振发生电路通过调节极板空气电容C12的极板之间间距的大小，调节补偿电容和补偿电感的大小，使得谐振变压器电路(32)一次侧和二次侧的谐振频率保持一致使得输出的功率更大，在输入端设计了输入滤波电路(31)改善了高频谐波对电路的影响，真空电子管电路(30)的栅极输入电流更加稳定，使得输出的功率更加稳定；补偿电路(35)提高了电路的功率因数，减小了功率消耗；具有结构紧凑、输出射频频率稳定、功率大、能量的转换效率高的优点。

进一步的，所述的射频谐振单元(1)还包括：射频谐振单元金属外壳(14)，所述的真空电子管电路(30)安装在射频谐振单元金属外壳(14)的内部，所述的真空电子管电路(30)包括：真空电子管V、阳极扼流圈L1、栅极电感L2、栅极电感L3、栅极扼流圈L4、灯丝扼流圈L5、灯丝扼流圈L6、栅极调节电感L7、栅极电容C6；所述的阳极扼流圈L1的一端作为真空电子管电路(30)的阳极输入端，阳极扼流圈L1的另一端与真空电子管V的阳极连接；所述的栅极电感L2、栅极电感L3的一端分别与真空电子管V的栅极的左、右端子连接，栅极电感L2、栅极电感L3的另一端连接在一起；栅极扼流圈L4的一端作为真空电子管电路(30)的栅极输入端，栅极扼流圈L4的另一端连接在栅极电感L2、栅极电感L3的连接公共点；灯丝扼流圈L5的一端作为真空电子管电路(30)的阴极输入端，灯丝扼流圈L5的一端与真空电子管V的阴极左端子连接，灯丝扼流圈L6一端与射频谐振单元金属外壳(14)侧壁连接，灯丝扼流圈L6的另一端与真空电子管V的阴极右端子连接；栅极电容C6的一端连接在栅极电感L2、栅极电感L3的连接公共点，栅极电容C6的另一端与栅极调节电感L7的一端连接，栅极调节电感L7的另一端与真空电子管V的阴极右端子连接。

进一步的，所述的输入滤波电路(31)包括：安装在射频谐振单元金属外壳(14)外部的栅极滤波电感L12、阳极滤波电感L13、栅极滤波电容C8、阳极滤波电容C11以及从上到下依次安装在射频谐振单元金属外壳(14)左边侧壁上的阳极穿心电容Z1、栅极穿心电容Z2、灯丝穿心电容Z3；所述的阳极滤波电容C11的一端连接在射频谐振单元金属外壳(14)的侧壁上，阳极滤波电容C11的另一端与阳极滤波电感L13的一端连接，阳极滤波电感L13的另一端与穿过阳极穿心电容Z1与真空电子管电路(30)的阳极输入端连接；所述的栅极滤波电容C8的一端连接在射频谐振单元金属外壳(14)的侧壁上，栅极滤波电容C8的另一端与栅极滤波电感L12的一端连接，栅极滤波电感L12的另一端穿过栅极穿心电容Z2与真空电子管电路(30)的栅极输入端连接；真空电子管电路(30)的阴极输入端的一个端子穿过灯丝穿心电容Z3延伸至射频谐振单元金属外壳(14)的外部。

进一步的，所述的谐振变压器电路(32)包括：谐振变压器一次侧电感L8、谐振变压器二次侧电感L9、空气电容C5；所述的谐振变压器一次侧电感L8的一端连接在栅极电感L2、栅极电感L3的连接公共点，谐振变压器一次侧电感L8的另一端与阳极隔直电路(33)的输出端连接；空气电容C5并联在谐振变压器一次侧电感L8的两端；谐振变压器二次侧电感L9的两端作为谐振变压器电路(32)的输出端口。

进一步的，所述的阳极隔直电路(33)包括：阳极隔直电容C1、阳极隔直电容C2、阳极隔直电容C3、阳极隔直电容C4；所述的阳极隔直电容C1与阳极隔直电容C2串联，阳极隔直电容C1的非串联端与真空电子管V的阳极连接，阳极隔直电容C2的非串联端与谐振变压器一次侧电感L8连接；所述的阳极隔直电容C3与阳极隔直电容C4串联，阳极隔直电容C3的非串联端与真空电子管V的阳极连接，阳极隔直电容C4的非串联端与谐振变压器一次侧电感L8连接。

进一步的，所述的平衡电路(34)包括：平衡电感L10、平衡电感L11、平衡电感C7；平衡电感L10的一端与谐振变压器一次侧电感L8连接，平衡电感L11的一端与谐振变压器一次侧电感L9连接，平衡电感L10以及平衡电感L11的另一端均连接在平衡电容C7的一端，平衡电容C7的另一端连接在射频谐振单元金属外壳(14)的侧壁上。

进一步的，所述的射频处理单元(2)还包括：射频处理单元金属外壳(13)；所述的补偿电路(35)包括：安装在射频处理单元金属外壳(13)内部的补偿电容C9、补偿电容C10、补偿电感L14、补偿电感L15以及从左至右依次安装在射频处理单元金属外壳(13)上侧壁上的输出穿心电容Z4、输出穿心电容Z5；谐振变压器二次侧电感L9的一端穿过输出穿心电容Z4延伸至射频处理单元金属外壳(13)的内部与补偿电感L14的一端连接，补偿电感L14的另一端与补偿电容C9的一端连接，补偿电容C9的另一端与射频处理单元金属外壳(13)的左侧壁连接；谐振变压器二次侧电感L9的另一端穿过穿心电容Z5延伸至射频处理单元金属外壳(13)的内部与偿电感L15的一端连接，偿电感L15的另一端与补偿电容C10的一端连接，补偿电容C10的另一端与射频处理单元金属外壳(13)的右侧壁连接。

进一步的，所述的补偿电路(35)还包括：输出极板空气电容C12；所述的极板空气电容C12的一端与补偿电感L14与补偿电容C9的连接公共点相连，极板空气电容C12的另一端与补偿电感L15与补偿电容C9的连接公共点相连。

进一步的，所述的输出极板空气电容C12的结构包括：下极板(10)、第一上极板(11)、第二上极板(12)；所述的第一上极板(11)、第二上极板(12)的结构相同，第一上极板(11)、第二上极板(12)分别平行对称设置在下极板(10)的上方两端，所述的下极板(10)接地，下极板(10)与第一上极板(11)、第二上极板(12)之间的距离可调。

进一步的，所述的射频处理单元金属外壳(13)与射频谐振单元金属外壳(14)均为矩形金属框架结构，射频处理单元金属外壳(13)的上侧壁与射频谐振单元金属外壳(14)的下侧壁是同一个金属壁，所述的射频处理单元金属外壳(13)与射频谐振单元金属外壳(14)均接地。

本实用新型的优点在于：

(1)本实用新型的大功率射频谐振发生电路通过调节极板空气电容C12的极板之间间距的大小，使得谐振变压器电路(32)一次侧和二次侧的谐振频率保持一致使得输出的功率更大，在输入端设计了输入滤波电路(31)改善了高频谐波对电路的影响，真空电子管电路(30)的栅极输入电流更加稳定，使得输出的功率更加稳定；补偿电路(35)提高了电路的功率因数，减小了功率消耗；具有结构紧凑、输出射频频率稳定、功率大、能量的转换效率高的优点。

(2)增加了补偿电容和电感，提高功率因数，减小功率消耗。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的一种大功率射频谐振发生电路的原理图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

下面结合说明书附图以及具体的实施例对本实用新型的技术方案作进一步描述：

实施例一

如图1所示，一种大功率射频谐振发生电路，包括：射频谐振单元1、射频处理单元2。所述的射频谐振单元1包括：安装在射频谐振单元金属外壳14内部的真空电子管V(A、K、G分别为真空电子管V的阳极、阴极和栅极)、阳极隔直电容C1、阳极隔直电容C2、阳极隔直电容C3、阳极隔直电容C4、空气电容C5、栅极电容C6、平衡电容C7、阳极扼流圈L1、栅极电感L2、栅极电感L3、栅极扼流圈L4、灯丝扼流圈L5、灯丝扼流圈L6、栅极调节电感L7、谐振变压器一次侧电感L8、谐振变压器二次侧电感L9、平衡电感L10、平衡电感L11；安装在射频谐振单元金属外壳14外部的栅极滤波电感L12、阳极滤波电感L13、栅极滤波电容C8、阳极滤波电容C11；以及从上到下依次安装在射频谐振单元金属外壳14左边侧壁上的阳极穿心电容Z1、栅极穿心电容Z2、灯丝穿心电容Z3。所述的射频处理单元2包括：安装在射频处理单元金属外壳13内部的补偿电容C9、补偿电容C10、补偿电感L14、补偿电感L15、输出极板空气电容C12；以及从左至右依次安装在射频处理单元金属外壳13上侧壁上的输出穿心电容Z4、输出穿心电容Z5。所述的射频处理单元金属外壳13与射频谐振单元金属外壳14均为矩形金属框架结构，射频处理单元金属外壳13的上侧壁与射频谐振单元金属外壳14的下侧壁是同一个金属壁，所述的射频处理单元金属外壳13与射频谐振单元金属外壳14均接地。

所述的阳极滤波电容C11的一端连接在射频谐振单元金属外壳14的侧壁上，阳极滤波电容C11的另一端与阳极滤波电感L13的一端连接，阳极滤波电感L13的另一端与阳极扼流圈L1的一端连接，阳极扼流圈L1的另一端与真空电子管V的阳极连接，所述的阳极滤波电感L13与阳极扼流圈L1之间的连接线穿过阳极穿心电容Z1。

所述的栅极滤波电容C8的一端连接在射频谐振单元金属外壳14的侧壁上，栅极滤波电容C8的另一端与栅极滤波电感L12的一端连接，栅极滤波电感L12的另一端与栅极扼流圈L4的一端连接，栅极扼流圈L4的另一端与谐振变压器一次侧电感L8的一端连接，谐振变压器一次侧电感L8的另一端与平衡电感L10的一端连接，平衡电感L10的另一端与平衡电容C7的一端连接，平衡电容C7的另一端连接在射频谐振单元金属外壳14的侧壁上，所述的栅极滤波电感L12与栅极扼流圈L4之间的连接线穿过栅极穿心电容Z2。

所述的栅极电感L2、栅极电感L3的一端分别与真空电子管V的栅极的左、右端子连接，栅极电感L2、栅极电感L3的另一端连接在一起，空气电容C5的一端连接在栅极电感L2与栅极电感L3的连接公共点，空气电容C5的另一端连接在谐振变压器一次侧电感L8与平衡电感L10之间。

栅极电容C6的一端连接在栅极电感L3与空气电容C5之间，空气电容C5与栅极电容C6的连接公共点与栅极扼流圈L4与谐振变压器一次侧电感L8的连接公共点短接，栅极空气电容C6的另一端与栅极调节电感L7的一端连接，栅极调节电感L7的另一端与真空电子管V的阴极右端子连接。

所述的灯丝扼流圈L5的一端穿过灯丝穿心电容Z3延伸至射频谐振单元金属外壳14的外部，灯丝扼流圈L5的另一端与真空电子管V的阴极左端子连接，灯丝扼流圈L6一端与射频谐振单元金属外壳14侧壁连接，灯丝扼流圈L6的另一端与真空电子管V的阴极右端子连接。

所述的阳极隔直电容C1与阳极隔直电容C2串联，阳极隔直电容C1的非串联端与真空电子管V的阳极连接，阳极隔直电容C2的非串联端连接在谐振变压器一次侧电感L8与平衡电感L10之间；所述的阳极隔直电容C3与阳极隔直电容C4串联，阳极隔直电容C3的非串联端与真空电子管V的阳极连接，阳极隔直电容C4的非串联端连接在谐振变压器一次侧电感L8与平衡电感L10之间。

所述的平衡电感L11的一端连接在平衡电感L10与平衡电容C7之间，平衡电感L11的另一端与谐振变压器二次侧电感L9的一端连接，谐振变压器二次侧电感L9的另一端与穿过输出穿心电容Z4延伸至射频处理单元金属外壳13的内部与补偿电感L14的一端连接，补偿电感L14的另一端与补偿电容C9的一端连接，补偿电容C9的另一端与射频处理单元金属外壳13的左侧壁连接；在谐振变压器二次侧电感L9与平衡电感L11的连接公共点连接一输出线，该输出线穿过输出穿心电容Z5延伸至射频处理单元金属外壳13的内部与偿电感L15的另一端与补偿电容C10的一端连接，补偿电容C10的另一端与射频处理单元金属外壳13的右侧壁连接；所述的极板空气电容C12的一端与补偿电感L14与补偿电容C9的连接公共点相连，极板空气电容C12的另一端与补偿电感L15与补偿电容C9的连接公共点相连。

所述的输出极板空气电容C12包括：下极板10、第一上极板11、第二上极板12；所述的第一上极板11、第二上极板12的结构相同，第一上极板11、第二上极板12分别平行对称设置在下极板10的上方两端，所述的下极板10接地，下极板10与第一上极板11、第二上极板12之间的距离可调。

电路的工作原理：

阳极高压输入经过阳极穿心电容Z1和阳极滤波电感L13、阳极滤波电容C11滤波后通过阳极扼流圈L1输送至真空电子管V的阳极，同时真空电子管V的阳极与谐振电路之间接有四个阳极隔直电容C1、C2、C3、C4，将直流分量与谐振电路隔离。栅极输入信号经过栅极滤波电感L12、栅极滤波电容C8滤波后，经过栅极穿心电容Z2和栅极扼流圈L4与谐振电路相连。灯丝电源两端分别串有灯丝扼流圈L5和L6，其中一端经过灯丝穿心电容Z3与真空电子管的阴极相连。真空电子管V的阳极向谐振电路提供功率，经过谐振电路后输出射频功率。真空电子管V的阴极和栅极之间接有栅极可调电感L7和栅极电容C6，L8、L9共同构成谐振变压器，L8为一次侧电感，L9为二次侧电感，谐振变压器工作频率很高，通常没有磁芯，两个线圈的磁通量不相同，因此两个线圈不需要紧密靠拢或对齐，射频功率从一次侧电感L8传递到二次侧电感L9；C5与L8共同构成第一个LC谐振电路，L9与输出极板空气电容C12共同构成第二个LC谐振电路，随着输出极板空气电容C12内的极板的升高和降低以及极板内负载的变化，会改变输出极板空气电容C12的大小，调节补偿电容和补偿电感的大小，将第二个LC谐振电路的频率调节到与第一个谐振电路一致的频率，输出射频频率为27.12MHz，输出射频功率为0-100kW可调。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种大功率射频谐振发生电路，其特征在于，包括：射频谐振单元(1)、射频处理单元(2)；所述的射频谐振单元(1)包括：真空电子管电路(30)、输入滤波电路(31)、谐振变压器电路(32)、阳极隔直电路(33)、平衡电路(34)；所述的射频处理单元(2)包括：补偿电路(35)、极板空气电容C12；所述的输入滤波电路(31)连接在真空电子管电路(30)的输入端，所述的真空电子管电路(30)的输出端通过阳极隔直电路(33)与谐振变压器电路(32)的一次侧连接，极板空气电容C12的两端与谐振变压器电路(32)的二次侧并联，补偿电路(35)连接在空气谐振变压器电路的二次侧与电容C12之间，平衡电路(34)连接在振变压器电路的一次侧与二次侧之间。

2.根据权利要求1所述的一种大功率射频谐振发生电路，其特征在于，所述的射频谐振单元(1)还包括：射频谐振单元金属外壳(14)，所述的真空电子管电路(30)安装在射频谐振单元金属外壳(14)的内部，所述的真空电子管电路(30)包括：真空电子管V、阳极扼流圈L1、栅极电感L2、栅极电感L3、栅极扼流圈L4、灯丝扼流圈L5、灯丝扼流圈L6、栅极调节电感L7、栅极电容C6；所述的阳极扼流圈L1的一端作为真空电子管电路(30)的阳极输入端，阳极扼流圈L1的另一端与真空电子管V的阳极连接；所述的栅极电感L2、栅极电感L3的一端分别与真空电子管V的栅极的左、右端子连接，栅极电感L2、栅极电感L3的另一端连接在一起；栅极扼流圈L4的一端作为真空电子管电路(30)的栅极输入端，栅极扼流圈L4的另一端连接在栅极电感L2、栅极电感L3的连接公共点；灯丝扼流圈L5的一端作为真空电子管电路(30)的阴极输入端，灯丝扼流圈L5的一端与真空电子管V的阴极左端子连接，灯丝扼流圈L6一端与射频谐振单元金属外壳(14)侧壁连接，灯丝扼流圈L6的另一端与真空电子管V的阴极右端子连接；栅极电容C6的一端连接在栅极电感L2、栅极电感L3的连接公共点，栅极电容C6的另一端与栅极调节电感L7的一端连接，栅极调节电感L7的另一端与真空电子管V的阴极右端子连接。

3.根据权利要求2所述的一种大功率射频谐振发生电路，其特征在于，所述的输入滤波电路(31)包括：安装在射频谐振单元金属外壳(14)外部的栅极滤波电感L12、阳极滤波电感L13、栅极滤波电容C8、阳极滤波电容C11以及从上到下依次安装在射频谐振单元金属外壳(14)左边侧壁上的阳极穿心电容Z1、栅极穿心电容Z2、灯丝穿心电容Z3；所述的阳极滤波电容C11的一端连接在射频谐振单元金属外壳(14)的侧壁上，阳极滤波电容C11的另一端与阳极滤波电感L13的一端连接，阳极滤波电感L13的另一端与穿过阳极穿心电容Z1与真空电子管电路(30)的阳极输入端连接；所述的栅极滤波电容C8的一端连接在射频谐振单元金属外壳(14)的侧壁上，栅极滤波电容C8的另一端与栅极滤波电感L12的一端连接，栅极滤波电感L12的另一端穿过栅极穿心电容Z2与真空电子管电路(30)的栅极输入端连接；真空电子管电路(30)的阴极输入端的一个端子穿过灯丝穿心电容Z3延伸至射频谐振单元金属外壳(14)的外部。

4.根据权利要求2所述的一种大功率射频谐振发生电路，其特征在于，所述的谐振变压器电路(32)包括：谐振变压器一次侧电感L8、谐振变压器二次侧电感L9、空气电容C5；所述的谐振变压器一次侧电感L8的一端连接在栅极电感L2、栅极电感L3的连接公共点，谐振变压器一次侧电感L8的另一端与阳极隔直电路(33)的输出端连接；空气电容C5并联在谐振变压器一次侧电感L8的两端；谐振变压器二次侧电感L9的两端作为谐振变压器电路(32)的输出端口。

5.根据权利要求4所述的一种大功率射频谐振发生电路，其特征在于，所述的阳极隔直电路(33)包括：阳极隔直电容C1、阳极隔直电容C2、阳极隔直电容C3、阳极隔直电容C4；所述的阳极隔直电容C1与阳极隔直电容C2串联，阳极隔直电容C1的非串联端与真空电子管V的阳极连接，阳极隔直电容C2的非串联端与谐振变压器一次侧电感L8连接；所述的阳极隔直电容C3与阳极隔直电容C4串联，阳极隔直电容C3的非串联端与真空电子管V的阳极连接，阳极隔直电容C4的非串联端与谐振变压器一次侧电感L8连接。

6.根据权利要求4所述的一种大功率射频谐振发生电路，其特征在于，所述的平衡电路(34)包括：平衡电感L10、平衡电感L11、平衡电感C7；平衡电感L10的一端与谐振变压器一次侧电感L8连接，平衡电感L11的一端与谐振变压器一次侧电感L9连接，平衡电感L10以及平衡电感L11的另一端均连接在平衡电容C7的一端，平衡电容C7的另一端连接在射频谐振单元金属外壳(14)的侧壁上。

7.根据权利要求4所述的一种大功率射频谐振发生电路，其特征在于，所述的射频处理单元(2)还包括：射频处理单元金属外壳(13)；所述的补偿电路(35)包括：安装在射频处理单元金属外壳(13)内部的补偿电容C9、补偿电容C10、补偿电感L14、补偿电感L15以及从左至右依次安装在射频处理单元金属外壳(13)上侧壁上的输出穿心电容Z4、输出穿心电容Z5；谐振变压器二次侧电感L9的一端穿过输出穿心电容Z4延伸至射频处理单元金属外壳(13)的内部与补偿电感L14的一端连接，补偿电感L14的另一端与补偿电容C9的一端连接，补偿电容C9的另一端与射频处理单元金属外壳(13)的左侧壁连接；谐振变压器二次侧电感L9的另一端穿过穿心电容Z5延伸至射频处理单元金属外壳(13)的内部与偿电感L15的一端连接，偿电感L15的另一端与补偿电容C10的一端连接，补偿电容C10的另一端与射频处理单元金属外壳(13)的右侧壁连接。

8.根据权利要求7所述的一种大功率射频谐振发生电路，其特征在于，所述的补偿电路(35)还包括：输出极板空气电容C12；所述的极板空气电容C12的一端与补偿电感L14与补偿电容C9的连接公共点相连，极板空气电容C12的另一端与补偿电感L15与补偿电容C9的连接公共点相连。

9.根据权利要求8所述的一种大功率射频谐振发生电路，其特征在于，所述的输出极板空气电容C12的结构包括：下极板(10)、第一上极板(11)、第二上极板(12)；所述的第一上极板(11)、第二上极板(12)的结构相同，第一上极板(11)、第二上极板(12)分别平行对称设置在下极板(10)的上方两端，所述的下极板(10)接地，下极板(10)与第一上极板(11)、第二上极板(12)之间的距离可调。

10.根据权利要求7所述的一种大功率射频谐振发生电路，其特征在于，所述的射频处理单元金属外壳(13)与射频谐振单元金属外壳(14)均为矩形金属框架结构，射频处理单元金属外壳(13)的上侧壁与射频谐振单元金属外壳(14)的下侧壁是同一个金属壁，所述的射频处理单元金属外壳(13)与射频谐振单元金属外壳(14)均接地。

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