CN216928509U - 一种单晶硅料脱胶喷淋装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种单晶硅料脱胶喷淋装置，包括喷淋箱；喷淋箱的顶面设置有自动箱门组件；喷淋箱内的两侧对称的设置有摆动式自动喷淋组件；喷淋箱内的底部设置有废渣收集组件；喷淋箱内的底部位于废渣收集组件的上方设置有料框架。本实用新型的喷淋装置可实现对单晶硅料的自动冲洗，降低了工人的劳动强度，冲洗效果好，冲洗效率高。

Description

一种单晶硅料脱胶喷淋装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅料脱胶技术领域，尤其涉及一种单晶硅料脱胶喷淋装置。

背景技术

单晶硅料进行脱胶加工时，需要对其进行冲洗，将单晶硅料上的硅泥、硅粉冲洗干净。人工进行冲洗不仅效率低，而且冲洗效果不佳，工人劳动强度大。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种可实现自动冲洗，降低了工人的劳动强度，冲洗效果好，冲洗效率高的单晶硅料脱胶喷淋装置。

本实用新型提供的一种单晶硅料脱胶喷淋装置，包括喷淋箱；所述喷淋箱的顶面设置有自动箱门组件；所述喷淋箱内的两侧对称的设置有摆动式自动喷淋组件；所述喷淋箱内的底部设置有废渣收集组件；所述喷淋箱内的底部位于所述废渣收集组件的上方设置有料框架。

进一步的，所述摆动式自动喷淋组件包括两两对称的设置于所述喷淋箱内两侧的四根喷淋管，所述喷淋管的内侧沿其长度方向均布有若干喷孔，所述喷淋管的两端分别通过轴承与所述喷淋箱转动连接，所述喷淋管的一端伸出所述喷淋箱设置有进水口，另一端封闭，所述进水口通过软管连接高压水泵，同侧的两个所述进水口的一侧设置有一根第一传动杆，所述第一传动杆与对应的两根所述喷淋管之间分别设置有第二传动杆，所述第二传动杆的一端与第一传动杆转动连接，另一端与对应的所述喷淋管固定连接，所述喷淋箱的外壁上位于所述第一传动杆的下方设置有摆动气缸，所述摆动气缸的底端与所述喷淋箱转动连接，所述摆动气缸的顶端与所述第一传动杆的底端转动连接。

进一步的，所述自动箱门组件包括对称的设置于所述喷淋箱顶面两侧的两扇箱门，所述箱门的外侧通过轴杆与所述喷淋箱转动连接，所述喷淋箱的外壁上位于所述轴杆的下方设置有驱动气缸，所述驱动气缸的底端与所述喷淋箱转动连接，所述驱动气缸的顶端与所述轴杆之间设置有第三传动杆，所述第三传动杆的一端与所述驱动气缸的顶端转动连接，另一端与所述轴杆固定连接。

进一步的，所述废渣收集组件包括顶面敞开的收集盒，所述收集盒上均布有过滤透水孔，所述喷淋箱内的底板上设置有嵌槽，所述收集盒可分离的嵌入所述嵌槽内，所述喷淋箱内的底板由两侧至所述嵌槽均向下倾斜设置，所述喷淋箱的底部设置有与所述嵌槽相连通的排水管，所述排水管上设置有控制阀，所述喷淋箱的一侧对应所述嵌槽设置有清渣孔，用于将所述收集盒从喷淋箱内抽出，所述清渣孔上可拆卸的安装有密封盖。

进一步的，所述料框架的外周上沿周向设置有若干导向板。

相对于现有技术而言，本实用新型的有益效果是：

本实用新型的喷淋装置设置有自动箱门组件、摆动式自动喷淋组件和废渣收集组件。单晶硅料被放置在料框内，对其进行清洗时，控制自动箱门组件打开，将料框放入喷淋箱内的料框架上，再控制自动箱门组件闭合。然后启动摆动式自动喷淋组件对放置于料框内的单晶硅料进行喷淋冲洗。实现了单晶硅料的自动冲洗，降低了工人的劳动强度，冲洗效果好，冲洗效率高。

本实用新型的喷淋装置作业一段时间后，通过废渣收集组件可方便的将冲洗的废渣清理掉。

应当理解，实用新型内容部分中所描述的内容并非旨在限定本实用新型的实施例的关键或重要特征，亦非用于限制本实用新型的范围。本实用新型的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为单晶硅料脱胶喷淋装置的结构示意图；

图2为单晶硅料脱胶喷淋装置的另一侧结构示意图；

图3为喷淋箱的内部结构示意图；

图4为摆动式自动喷淋组件的结构示意图。

图中标号：1、喷淋箱；2、自动箱门组件；3、摆动式自动喷淋组件；4、废渣收集组件；5、料框架；

21、箱门；22、轴杆；23、驱动气缸；24、第三传动杆；

31、喷淋管；32、喷孔；33、进水口；34、第一传动杆；35、第二传动杆；36、摆动气缸；

41、收集盒；42、过滤透水孔；43、排水管；44、清渣孔；

51、导向板。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型，而非对该实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与实用新型相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

请参考图1～图4，本实用新型的实施例提供了一种单晶硅料脱胶喷淋装置，包括喷淋箱1；喷淋箱1的顶面设置有自动箱门组件2；喷淋箱1内的两侧对称的设置有摆动式自动喷淋组件3；喷淋箱1内的底部设置有废渣收集组件4；喷淋箱1内的底部位于废渣收集组件4的上方设置有料框架5。

在本实施例中，单晶硅料进行脱胶作业的过程中被放置在料框内。对其进行清洗时，控制自动箱门组件2打开，将装载有单晶硅料的料框放入喷淋箱1内的料框架5上，再控制自动箱门组件2闭合。然后启动摆动式自动喷淋组件3对单晶硅料进行喷淋冲洗。实现了单晶硅料的自动冲洗，降低了工人的劳动强度，冲洗效果好，冲洗效率高。喷淋装置作业一段时间后，通过废渣收集组件4将冲洗过程中产生的废渣清理掉，废渣清理方便。

在一优选实施例中，如图2和图4所示，摆动式自动喷淋组件3包括两两对称的设置于喷淋箱1内两侧的四根喷淋管31，喷淋管31的内侧沿其长度方向均布有若干喷孔32，喷淋管31的两端分别通过轴承与喷淋箱1转动连接，喷淋管31的一端伸出喷淋箱1设置有进水口33，另一端封闭，进水口33通过软管连接高压水泵，同侧的两个进水口33的一侧设置有一根第一传动杆34，第一传动杆34与对应的两根喷淋管31之间分别设置有第二传动杆35，第二传动杆35的一端与第一传动杆34转动连接，另一端与对应的喷淋管31固定连接，喷淋箱1的外壁上位于第一传动杆34的下方设置有摆动气缸36，摆动气缸36的底端与喷淋箱1转动连接，摆动气缸36的顶端与第一传动杆34的底端转动连接。

在本实施例中，进行单晶硅料的喷淋冲洗时，启动高压水泵，高压水经软管进入喷淋管31内，经均布于喷淋管31上的喷孔32喷出。同时摆动气缸36的阔塞杆重复进行伸缩驱动，通过第一传动杆34和第二传动杆35驱动喷淋管31在一定的角度范围内来回转动。使喷孔32喷出水柱上下摆动，对单晶硅料进行全覆盖喷淋冲洗，冲洗效果好。

在一优选实施例中，如图1所示，自动箱门组件2包括对称的设置于喷淋箱1顶面两侧的两扇箱门21，箱门21的外侧通过轴杆22与喷淋箱1转动连接，喷淋箱1的外壁上位于轴杆22的下方设置有驱动气缸23，驱动气缸23的底端与喷淋箱1转动连接，驱动气缸23的顶端与轴杆22之间设置有第三传动杆24，第三传动杆24的一端与驱动气缸23的顶端转动连接，另一端与轴杆22固定连接。

在本实施例中，控制驱动气缸23伸长，驱动气缸23通过第三传动杆24带动轴杆22转动，轴杆22与箱门21固定连接，轴杆22转动从而带动箱门21转动打开。反之，控制驱动气缸23缩短，带动箱门21转动闭合。实现了箱门21的自动打开与闭合。

在一优选实施例中，如图1～图4所示，废渣收集组件4包括顶面敞开的收集盒41，收集盒41上均布有过滤透水孔42，喷淋箱1内的底板上设置有嵌槽，收集盒41可分离的嵌入嵌槽内，喷淋箱1内的底板由两侧至嵌槽均向下倾斜设置，喷淋箱1的底部设置有与嵌槽相连通的排水管43，排水管43上设置有控制阀，喷淋箱1的一侧对应嵌槽设置有清渣孔44，用于将收集盒41从喷淋箱1内抽出，清渣孔44上可拆卸的安装有密封盖。

在本实施例中，冲洗的污水落在喷淋箱1的底板上，沿斜面流入嵌槽内的收集盒41。污水经过滤透水孔42过滤后，由排水管43排出，废渣被留在收集盒41内。在收集盒41内的废渣集满前，打开密封盖，将收集盒41经清渣孔44从喷淋箱1内抽出。将收集盒41清理干净后，重新装回，废渣清理十分便捷。

在一优选实施例中，如图3和图4所示，料框架5的外周上沿周向设置有若干导向板51。导向板51的下半部与料框架5固定连接，上半部高出料框架5，并沿远离料框架5的方向向上倾斜。装载有单晶硅料的料框放入喷淋箱1内时，在导向板51的导向作用下，准确的落在料框架5的顶面，确保了单晶硅料放置位置的准确性。

在本说明书的描述中，术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种单晶硅料脱胶喷淋装置，其特征在于，包括喷淋箱；所述喷淋箱的顶面设置有自动箱门组件；所述喷淋箱内的两侧对称的设置有摆动式自动喷淋组件；所述喷淋箱内的底部设置有废渣收集组件；所述喷淋箱内的底部位于所述废渣收集组件的上方设置有料框架。

2.根据权利要求1所述的单晶硅料脱胶喷淋装置，其特征在于，所述摆动式自动喷淋组件包括两两对称的设置于所述喷淋箱内两侧的四根喷淋管，所述喷淋管的内侧沿其长度方向均布有若干喷孔，所述喷淋管的两端分别通过轴承与所述喷淋箱转动连接，所述喷淋管的一端伸出所述喷淋箱设置有进水口，另一端封闭，所述进水口通过软管连接高压水泵，同侧的两个所述进水口的一侧设置有一根第一传动杆，所述第一传动杆与对应的两根所述喷淋管之间分别设置有第二传动杆，所述第二传动杆的一端与第一传动杆转动连接，另一端与对应的所述喷淋管固定连接，所述喷淋箱的外壁上位于所述第一传动杆的下方设置有摆动气缸，所述摆动气缸的底端与所述喷淋箱转动连接，所述摆动气缸的顶端与所述第一传动杆的底端转动连接。

3.根据权利要求2所述的单晶硅料脱胶喷淋装置，其特征在于，所述自动箱门组件包括对称的设置于所述喷淋箱顶面两侧的两扇箱门，所述箱门的外侧通过轴杆与所述喷淋箱转动连接，所述喷淋箱的外壁上位于所述轴杆的下方设置有驱动气缸，所述驱动气缸的底端与所述喷淋箱转动连接，所述驱动气缸的顶端与所述轴杆之间设置有第三传动杆，所述第三传动杆的一端与所述驱动气缸的顶端转动连接，另一端与所述轴杆固定连接。

4.根据权利要求3所述的单晶硅料脱胶喷淋装置，其特征在于，所述废渣收集组件包括顶面敞开的收集盒，所述收集盒上均布有过滤透水孔，所述喷淋箱内的底板上设置有嵌槽，所述收集盒可分离的嵌入所述嵌槽内，所述喷淋箱内的底板由两侧至所述嵌槽均向下倾斜设置，所述喷淋箱的底部设置有与所述嵌槽相连通的排水管，所述排水管上设置有控制阀，所述喷淋箱的一侧对应所述嵌槽设置有清渣孔，用于将所述收集盒从喷淋箱内抽出，所述清渣孔上可拆卸的安装有密封盖。

5.根据权利要求4所述的单晶硅料脱胶喷淋装置，其特征在于，所述料框架的外周上沿周向设置有若干导向板。

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