CN216747657U - 三氟化氮泄漏浓度检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种三氟化氮泄漏浓度检测装置，属于气体泄漏检测技术领域。本实用新型所述的一种三氟化氮泄漏浓度检测装置，包括：检测器，包括壳体和设置在壳体上的探头，壳体上设有充电接口，壳体内部设有处理器和发送通信模块，处理器与探头和发送通信模块分别电连接；检测箱，包括箱体，箱体上方转动连接有箱体盖，箱体盖上设有显示屏，箱体上设置有若干用于放置检测器的放置槽，放置槽一侧设有开关，箱体内部安装有控制器和接收通信模块，控制器与处理器之间通信连接；控制器与显示屏和接收通信模块之间分别电连接。本实用新型无需人工暴露在三氟化氮气体环境中，即可检测三氟化氮气体含量，检测结果直观、简洁。

Description

三氟化氮泄漏浓度检测装置

技术领域

本实用新型涉及一种三氟化氮泄漏浓度检测装置，属于气体泄漏检测技术领域。

背景技术

三氟化氮在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体，是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体，在离子蚀刻时裂解为活性氟离子，这些氟离子对硅和钨化合物，高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅)，在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。随着今年来电子及光伏产业的快速发展，三氟化氮的需求量大大增加，但同时，三氟化氮是有毒性的气体，若不慎吸入高浓度的三氟化氮，会对身体健康产生很大的危害。因此，需要设计一种能够检测三氟化氮是否泄漏的装置。

实用新型内容

针对现有技术存在的上述缺陷，本实用新型提出了一种三氟化氮泄漏浓度检测装置。

本实用新型所述的一种三氟化氮泄漏浓度检测装置，包括检测箱和检测器，其中：

检测器，包括壳体和设置在壳体上的探头，壳体上设有充电接口，壳体内部设有处理器和发送通信模块，处理器与探头和发送通信模块分别电连接；

检测箱，包括箱体，箱体上方转动连接有箱体盖，箱体盖上设有显示屏，箱体上设置有若干用于放置检测器的放置槽，放置槽一侧设有开关，箱体内部安装有控制器和接收通信模块，控制器与处理器之间通信连接；控制器与显示屏和接收通信模块之间分别电连接。

优选地，所述箱体上还设有蜂鸣器和报警指示灯。

优选地，所述检测器的壳体上设有照明灯。

优选地，所述探头可拆卸连接在壳体上。

优选地，所述放置槽内设有与充电接口适配的充电座。

优选地，所述检测箱的箱体上还设置有把手。

本实用新型所述的三氟化氮泄漏浓度检测装置，具有以下有益效果：

(1)无需人工暴露在三氟化氮气体环境中，即可检测三氟化氮气体含量，检测结果直观、简洁；

(2)装置简单、易安装，方便工作人员使用；

(3)更为便携，容易运输。

附图说明

图1是本实用新型的检测箱结构示意图。

图2是本实用新型的检测器结构示意图。

图中：1、箱体；2、箱体盖；3、把手；4、放置槽；5、显示屏；6、开关；7、蜂鸣器；8、报警指示灯；9、壳体；10、探头；11、照明灯；12、充电座；13、充电接口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：

如图1至图2所示，本实用新型所述的三氟化氮泄漏浓度检测装置，包括检测箱和检测器，其中：

检测器，包括壳体9和设置在壳体9上的探头10，壳体9上一侧设有充电接口13，壳体9内部设有处理器和发送通信模块，处理器与探头10和通信模块分别连接，探头10为卤素传感器，卤素传感器可采集目标区域内是否含有卤素元素以及卤素元素含量的多少，处理器采集鲁肃传感器采集到的信息并通过通信模块发送给检测箱上的显示屏5；壳体9内部还设有蓄电池，蓄电池为处理器和通信模块进行供电。

壳体9上设有照明灯11，照明灯11可在黑暗环境下提示工作人员检测器的安装位置。探头10可拆卸连接在壳体9上，若壳体9或探头10二者之一产生损坏，则可对损坏的部分进行更换，降低了使用成本。

检测箱，包括箱体1，箱体1上方通过合页转动连接有箱体盖2。箱体1上设置有若干用于放置检测器的放置槽4，放置槽4的尺寸与检测器的尺寸适配，放置槽4用于收纳和固定检测器；放置槽4一侧设置有开关6，按动开关6，检测箱内的电子元器件才进行工作，能够有效减少电能消耗且提高使用的安全性能。检测箱的箱体1上还设置有把手3，箱体盖2扣合在箱体1上时，可拎动把手3对检测箱整体进行移动，便携易操作。

箱体盖2上设有显示屏5，箱体1内部安装有控制器和接收通信模块，控制器通过通信单元与检测器的通信模块之间进行信息交换，接收处理器处理好的探头10采集到的气体是否泄漏的信息，并发送至显示屏5上，显示屏5对目标区域的三氟化氮含量进行实时显示。

箱体1上位于放置槽4一侧还设置有蜂鸣器7和报警指示灯8，当监测目标区域有三氟化氮气体，则蜂鸣器7发出蜂鸣，报警指示灯8亮起，提示工作人员目标区域产生三氟化氮泄漏。

检测箱内设有大容量电池，大容量电池为控制器和显示屏5提供正常工作所需的电量，放置槽4内对应位置设有与充电接口13适配的充电座12，在检测器放置在放置槽4内的时候，壳体9上的充电接口13插接在充电座12上，检测箱可对检测器的蓄电池进行充电，便于再次使用。

本实用新型的使用过程如下所示：本实用新型所述的三氟化氮泄漏浓度检测装置，将检测器通过使用螺栓安装在目标检测区域，探头10的卤素传感器对目标区域内的气体进行检测，检测到三氟化氮气体时，探头10将三氟化氮含量信息的信号发送到处理器，处理器将信号处理后通过发送通信模块将信息发送至检测箱的控制器，控制器再控制显示屏5实时显示三氟化氮气体的含量，便于工作人员直观地观察三氟化氮气体的含量，当三氟化氮气体含量达到设定的阈值，蜂鸣器7发出蜂鸣声报警，报警指示灯8亮起，起到双重警示作用；在不使用时，将检测器回收到检测箱的放置槽4内，进行充电便于再次使用。

本实用新型可广泛运用于气体泄漏检测场合。

涉及到电路和电子元器件和模块均为现有技术，本领域技术人员完全可以实现，无需赘言，本实用新型保护的内容也不涉及对于软件和方法的改进。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种三氟化氮泄漏浓度检测装置，其特征在于，包括检测箱和检测器，其中：

检测器，包括壳体(9)和设置在壳体(9)上的探头(10)，壳体(9)上设有充电接口(13)，壳体(9)内部设有处理器和发送通信模块，处理器与探头(10)和发送通信模块分别电连接；

检测箱，包括箱体(1)，箱体(1)上方转动连接有箱体盖(2)，箱体盖(2)上设有显示屏(5)，箱体(1)上设置有若干用于放置检测器的放置槽(4)，放置槽(4)一侧设有开关(6)，箱体(1)内部安装有控制器和接收通信模块，控制器与处理器之间通信连接；控制器与显示屏(5)和接收通信模块之间分别电连接。

2.根据权利要求1所述的三氟化氮泄漏浓度检测装置，其特征在于，所述箱体(1)上还设有蜂鸣器(7)和报警指示灯(8)。

3.根据权利要求1所述的三氟化氮泄漏浓度检测装置，其特征在于，所述检测器的壳体(9)上设有照明灯(11)。

4.根据权利要求1所述的三氟化氮泄漏浓度检测装置，其特征在于，所述探头(10)可拆卸连接在壳体(9)上。

5.根据权利要求1所述的三氟化氮泄漏浓度检测装置，其特征在于，所述放置槽(4)内设有与充电接口(13)适配的充电座(12)。

6.根据权利要求1所述的三氟化氮泄漏浓度检测装置，其特征在于，所述检测箱的箱体(1)上还设置有把手(3)。

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