CN216699997U - 射频电路及射频电源装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种射频电路及射频电源装置，射频电路包括控制器、射频发生电路、功率检测电路、阻抗检测电路和阻抗匹配电路。射频发生电路的输入端与控制器的输出端连接，射频发生电路用于在控制器的控制下输出相应的射频信号。功率检测电路用于检测射频发生电路的输出功率和反射功率。阻抗检测电路用于检测负载阻抗。阻抗匹配电路的输出端用于与负载连接，阻抗匹配电路的受控端与控制器的控制输出端连接。控制器用于根据输出功率和反射功率调整相应的射频发生电路输出的射频信号的功率。本实用新型可以单独控制输出至每个负载的射频信号的功率，对每个负载的射频信号的输出控制更加精准，安全性更高。

Description

射频电路及射频电源装置

技术领域

本实用新型涉及医疗器械技术领域，特别涉及一种射频电路及射频电源装置。

背景技术

现有技术中，射频电源装置可以通过一个射频源向多个负载输出相同功率射频信号。通过增大或者减小单射频源输出的射频信号的功率来可以同时增大或者减小输出至所有负载的射频信号的功率，但无法根据负载所处环境对输出至每个负载的射频信号的功率独立控制。当单电源输出的射频信号突然增大时，还可能损坏负载设备。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种射频电路及射频电源装置，旨在实现独立控制多路射频信号输出。

为实现上述目的，本实用新型提供一种射频电路，用于射频电源装置，所述射频电路包括：

控制器，所述控制器具有输入端、输出端、第一反馈接收端、第二反馈接收端和控制输出端，所述控制器的输入端用于与上位机连接；

射频输出电路，所述射频输出电路包括：

射频发生电路，所述射频发生电路的输入端与所述控制器的输出端连接，所述射频发生电路用于在所述控制器的控制下输出相应的射频信号；

功率检测电路，所述功率检测电路具有输入端、输出端和反馈端，所述功率检测电路的输入端与所述射频发生电路的输出端连接，所述功率检测电路的反馈端与所述控制器的第一反馈接收端连接，所述功率检测电路用于检测所述射频发生电路的输出功率和反射功率；

所述控制器用于根据所述输出功率和反射功率调整相应的所述射频发生电路输出的射频信号的功率。

在一实施例中，所述射频发生电路的数量为多个。

在一实施例中，所述射频发生电路包括射频激励电路、射频放大电路和射频匹配电路；

所述射频激励电路的输入端与所述控制器的输出端连接，所述射频激励电路的输出端与所述射频放大电路的输入端连接，所述射频激励电路用于产生射频信号；

所述射频放大电路的输出端与所述射频匹配电路的输入端连接，所述射频放大电路用于对所述射频激励电路的输出的射频信号进行放大；

所述射频匹配电路用于对所述射频激励电路进行匹配。

在一实施例中，所述功率检测电路包括输出功率检测电路和反射功率检测电路；

所述输出功率检测电路的输入端与所述射频发生电路的输出端连接，所述输出功率检测电路的输出端与所述控制器连接，所述输出功率检测电路用于检测所述射频发生电路的输出功率；

所述反射功率检测电路的输入端与所述功率检测电路连接，所述反射功率检测电路的输出端与所述控制器连接，所述反射功率检测电路用于检测负载的反射功率。

在一实施例中，所述射频输出电路还包括：

阻抗检测电路，所述阻抗检测电路具有输入端、输出端和反馈端，所述阻抗检测电路的输入端与所述功率检测电路的输出端连接，所述阻抗检测电路的反馈端与所述控制器的第二反馈接收端连接，所述阻抗检测电路用于检测负载阻抗；

阻抗匹配电路，所述阻抗匹配电路具有输入端、输出端和受控端，所述阻抗匹配电路的输入端与所述阻抗检测电路的输出端连接，所述阻抗匹配电路的输出端用于与负载连接，所述阻抗匹配电路的受控端与所述控制器的控制输出端连接；

所述控制器还用于根据所述输出功率和反射功率调整相应的所述阻抗匹配电路的阻抗值，以使射频电源装置的等效内阻与负载阻抗值匹配。

在一实施例中，所述阻抗匹配电路包括N个阻抗调节电路，所述阻抗调节电路具有输入端、输出端和受控端；

N为1时，所述阻抗调节电路的输入端为所述阻抗匹配电路的输入端，所述阻抗调节电路的输出端为所述阻抗匹配电路的输出端，所述阻抗调节电路的受控端与所述控制器连接；

N大于1时，N个阻抗调节电路之间电连接；

所述控制器根据所述输出功率和反射功率调整相应的所述阻抗调节电路的阻抗，以使射频电源装置的等效内阻与负载阻抗值匹配。

在一实施例中，所述射频输出电路还包括隔离电路；

所述隔离电路的输入端与所述阻抗检测电路的输出端连接，所述隔离电路的输出端用于与负载连接，所述隔离电路用于防止所述射频电路与负载之间的信号干扰，以及抑制所述射频电路产生的电磁干扰。

在一实施例中，所述隔离电路包括电磁干扰抑制电路和隔直电路；

所述电磁干扰抑制电路用于抑制电路中的电磁干扰现象，所述隔直电路用于隔离直流电信号。

本实用新型还提供一种射频电源装置，所述射频电源装置包括保护电路和如上所述的射频电路；

所述保护电路的输入端用于接入电源，所述保护电路的输出端与所述射频电路的输入端连接，所述射频电路的输出端用于与负载连接。

在一实施例中，所述保护电路包括干扰抑制电路、过流保护电路、滤波电路和电流检测电路；

所述干扰抑制电路的输入端用于接入电源，所述干扰抑制电路的输出端与所述过流保护电路的输入端连接，所述干扰抑制电路用于抑制所述射频电路产生的电磁干扰；

所述过流保护电路的输出端与所述滤波电路的输入端连接，所述过流保护电路用于在电路中的电流值大于第一预设电流值时断开电源与所述射频电路的连接；

所述滤波电路的输出端与所述电流检测电路连接，所述滤波电路用于对输入的电源进行滤波；

所述电流检测电路的输出端与所述射频电路的控制器和射频放大电路均连接，所述电流检测电路用于检测所述滤波电路输出的电流大小，所述射频电路的控制器用于在所述电流检测电路检测到的电流值大于第二预设电流值时，控制所述射频电路停止工作。

本实用新型可以连接不同负载使用，通过功率检测电路检测不同负载的输出功率和反射功率，并根据输出功率和反射功率单独控制输出至每个负载的射频信号的功率，对每个负载的射频信号的输出控制更加精准，安全性更高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型射频电路一实施例的结构示意图；

图2为本实用新型射频发生电路和功率检测电路一实施例的结构示意图；

图3为本实用新型功率检测电路一实施例的电路结构示意图；

图4为本实用新型阻抗调节电路一实施例的电路结构示意图；

图5为本实用新型射频电源装置一实施例的结构示意图。

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，若本实用新型实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，若全文中出现的“和/或”的含义为，包括三个并列的方案，以“A和/或B”为例，包括A方案，或B方案，或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

参照图1，本实用新型提出一种射频电路，用于射频电源装置，射频电路包括控制器100和射频输出电路200。

射频输出电路200包括射频发生电路210和功率检测电路220。

控制器100具有输入端、输出端、第一反馈接收端、第二反馈接收端和控制输出端，控制器100的输入端用于与上位机连接。

射频发生电路210的输入端与控制器100的输出端连接，射频发生电路210用于在控制器100的控制下输出相应的射频信号。

功率检测电路220具有输入端、输出端和反馈端，功率检测电路220的输入端与射频发生电路210的输出端连接，功率检测电路220的反馈端与控制器100的第一反馈接收端连接，功率检测电路220用于检测射频发生电路210的输出功率和反射功率。

控制器100用于根据输出功率和反射功率调整相应的射频发生电路210输出的射频信号的功率。

功率检测电路220将接收到的射频发生电路210输出的射频信号和由阻抗检测电路230反射回来的射频信号分别转换为电压信号输出至控制器100，以确定输出功率和反射功率。控制器100计算输出功率和反射功率的差值，确定负载吸收功率。当负载吸收功率大于预设功率时，说明此时射频电路输出至负载的射频功率过高，控制器100控制射频发生电路210输出功率更小的射频信号；当负载吸收功率小于预设功率时，说明此时射频电路输出至负载的射频功率过低，控制射频发生电路210输出功率更大的射频信号，以使射频发生电路210输出的射频信号功率恒定。

本实用新型可以连接不同负载使用，通过功率检测电路检测不同负载的输出功率和反射功率，并根据输出功率和反射功率单独控制输出至每个负载的射频信号的功率，对每个负载的射频信号的输出控制更加精准，安全性更高。

在一实施例中，所述射频输出电路200的数量为多个。

参照图2，在一实施例中，射频发生电路210包括射频激励电路211、射频放大电路212和射频匹配电路213。

射频激励电路211的输入端与控制器100的输出端连接，射频激励电路211的输出端与射频放大电路212的输入端连接，射频激励电路211用于产生射频信号。

射频放大电路212的输出端与射频匹配电路213的输入端连接，射频放大电路212用于对射频激励电路211的输出的射频信号进行放大。

射频匹配电路213用于对射频激励电路211进行匹配。

射频激励电路211在控制器100的控制下产生一定功率的射频信号。射频激励电路211产生的射频信号幅值有限，需要通过射频放大电路212将该射频信号放大后输出，再经过射频匹配电路213、功率检测电路220、阻抗检测电路230和阻抗匹配电路240输出至负载。

参照图2和图3，在一实施例中，功率检测电路220包括输出功率检测电路221和反射功率检测电路222。

输出功率检测电路221的输入端与射频发生电路210的输出端连接，输出功率检测电路221的输出端与控制器100连接，输出功率检测电路221用于检测射频发生电路210的输出功率。

反射功率检测电路222的输入端与功率检测电路220连接，反射功率检测电路222的输出端与控制器100连接，反射功率检测电路222用于检测负载的反射功率。

输出功率检测电路221检测射频发生电路210输出的射频信号，并将该射频信号转换为电压信号输出至控制器100；反射功率检测电路222检测由阻抗匹配电路240反射回来的射频信号，并将该射频信号转换为电压信号输出至控制器100。

本实施例通过将难以直接检测的射频信号的功率转换为电压信号，使射频功率更易于检测，且检测成本低。

在一实施例中，所述输出功率检测电路221包括检波电路221a和整流电路221b。

所述检波电路221a的输入端为所述输出功率检测电路的输入端，所述检波电路221a的输出端与所述整流电路221b的输入端连接，所述整流电路221b的输出端为所述输出功率检测电路的输出端，所述检波电路221a用于对接收到的射频信号进行检波，所述整流电路221b用于将交流电信号转换为直流电信号输出。

输出功率检测电路221还包括滤波电路222c，滤波电路222c的输入端与整流电路221b的输出端连接，滤波电路222c的输出端接地。滤波电路222c用于对整流电路221b输出的直流电信号进行滤波。

反射功率检测电路222包括检波电路222a和整流电路222b。

所述检波电路222a的输入端为所述反射功率检测电路的输入端，所述检波电路222a的输出端与所述整流电路222b的输入端连接，所述整流电路222b的输出端为所述反射功率检测电路的输出端，所述检波电路222a用于对接收到的射频信号进行检波，所述整流电路222b用于将交流电信号转换为直流电信号输出。

反射功率检测电路222还包括滤波电路222c，滤波电路222c的输入端与整流电路222b的输出端连接，滤波电路222c的输出端接地。滤波电路222c用于对整流电路222b输出的直流电信号进行滤波。

本实施例通过将射频信号进行检波整流后转换为相应的直流电信号输出至控制器100，使输出功率和反射功率更容易被检测。

在一实施例中，射频输出电路200还包括阻抗检测电路230和阻抗匹配电路240。

阻抗检测电路230，阻抗检测电路230具有输入端、输出端和反馈端，阻抗检测电路230的输入端与功率检测电路220的输出端连接，阻抗检测电路230的反馈端与控制器100的第二反馈接收端连接，阻抗检测电路230用于检测负载阻抗。

阻抗匹配电路240，阻抗匹配电路240具有输入端、输出端和受控端，阻抗匹配电路240的输入端与阻抗检测电路230的输出端连接，阻抗匹配电路240的输出端用于与负载连接，阻抗匹配电路240的受控端与控制器100的控制输出端连接。

控制器100还用于根据输出功率和反射功率调整相应的阻抗匹配电路240的阻抗值，以使射频电源装置的等效内阻与负载阻抗值匹配。

射频电源装置还可以实现多路独立射频信号输出和阻抗调整。射频电源装置连接负载工作时，由于不同负载的阻抗不同，产生的反射系数也不同。通过功率检测电路分别获取射频信号的输出功率和反射功率，以确定负载的反射系数。当反射系数在预设反射系数区间外时，说明射频电源装置的等效内阻与负载阻抗不匹配，需要调整。阻抗检测电路230通过检测连接负载时的电压值或电流值来确定负载阻抗，并根据射频电源装置的等效内阻和负载阻抗确定阻抗匹配电路240的阻抗调整方向。按照确定的阻抗调整方向以预设阻抗间隔调整阻抗匹配电路240的阻抗值，进而调整射频电源装置的等效内阻，直至将反射系数调整至预设反射系数区间内，此时射频电源装置与负载实现阻抗匹配。

本实用新型通过阻抗检测电路230实时检测负载阻抗，在阻抗匹配电路240的阻抗与负载阻抗不匹配时，调整阻抗匹配电路240的阻抗值，进而调整射频电源装置的等效内阻，直至将反射系数调整至预设反射系数区间内，以和负载阻抗匹配，提高射频信号辐射效率。

参照图4，在一实施例中，阻抗匹配电路240包括N个阻抗调节电路，阻抗调节电路具有输入端、输出端和受控端。

N为1时，阻抗调节电路的输入端为阻抗匹配电路240的输入端，阻抗调节电路的输出端为阻抗匹配电路240的输出端，阻抗调节电路的受控端与控制器100连接。

N大于1时，N个阻抗调节电路之间电连接。

控制器100根据输出功率和反射功率调整相应的阻抗调节电路的阻抗，以使射频电源装置的等效内阻与负载阻抗值匹配。

N大于1时，多个阻抗调节电路之间的连接方式可以根据实际应用场景确定，在此不作限定。例如多个阻抗调节电路依次串联、并联、先串联后并联或者先并联后串联。

在一实施例中，阻抗调节电路包括开关电路241、第一调节电路242和第二调节电路243。

开关电路241具有输入端、受控端、第一输出端和第二输出端，开关电路241的输入端为阻抗调节电路的输入端，开关电路241的受控端与控制器100连接，开关电路241的第一输出端为阻抗调节电路的输出端，开关电路241的第二输出端与第二调节电路243的第一输出端连接。

第一输出电路的输入端与开关电路241的输入端连接，第一输出电路的输出端与开关电路241的第一输出端连接。

第二输出电路的第二端接地。

开关电路241用于在控制器100的控制下，将开关电路241的输入端与第一输出端连接，第一调节电路242和第二调节电路243不工作，或者将开关电路241的输入端与第二输出端连接，以使第一调节电路242和第二调节电路243工作。

开关电路241的输入端与第一输出端连接时，第一调节电路242被短路，第二调节电路243未连接，此时阻抗调节电路的阻抗值为零；开关电路241的输入端与第二输出端连接时，第一调节电路242和第二调节电路243工作，此时阻抗调节电路阻抗值不为零。

本实施例通过控制相应的阻抗调节电路中开关电路241的输入端与第一输出端连接，可以减小阻抗匹配电路240的阻抗，通过控制相应的阻抗调节电路中开关电路241的输入端与第二输出端连接，可以增大阻抗匹配电路240的阻抗。

在一实施例中，第一调节电路242包括第一电感L1。

第一电感L1的输入端与开关电路241的输入端连接，第一电感L1的输出端与开关电路241的第一输出端连接。

在一实施例中国，第二调节电路243包括第一电容C1和第二电容C2。

第一电容C1和第二电容C2的第一端与第二调节电路243的第一输出端连接，第一电容C1和第二电容C2的第二端接地。

在一实施例中，阻抗调节电路还包括状态指示电路。

开关电路241还包括第三输出端，状态指示电路的输入端与开关电路241的第三输出端连接，状态指示电路的输出端接地，状态指示电路用于在开关电路241的输入端与第二输出端连接时点亮。

本实施例通过状态指示电路指示第一调节电路242和第二调节电路243的工作状态，用户可以直观地获知阻抗匹配情况。

在一实施例中，状态指示电路包括第一电阻R1和指示灯D1。

第一电阻R1的输入端与开关电路241的第三输出端连接，第一电阻R1的输出端与指示灯D1的输入端连接，指示灯D1的输出端接地。

本实施例通过指示灯D1指示第一调节电路242和第二调节电路243的工作状态，在第一调节电路242和第二调节电路243工作时点亮，在第一调节电路242和第二调节电路243不工作时熄灭，用户可以直观地获知阻抗匹配情况。

在一实施例中，射频输出电路200还包括隔离电路250。

隔离电路250的输入端与阻抗检测电路230的输出端连接，隔离电路250的输出端用于与负载连接，隔离电路250用于防止射频电路与负载之间的信号干扰，以及抑制射频电路产生的电磁干扰。

本实施例通过隔离电路250保护射频电路不受干扰，使输出的射频信号更稳定。

在一实施例中，隔离电路250包括电磁干扰抑制电路和隔直电路。

电磁干扰抑制电路用于抑制电路中的电磁干扰现象，隔直电路用于隔离直流电信号。

隔离电路250包括电磁干扰抑制电路和隔直电路。电磁干扰抑制电路用于抑制电路中的电磁干扰现象，防止射频电路产生的电磁能量干扰其他设备或其他设备产生的电磁能量对射频电路产生干扰。隔直电路用于隔离直流电信号，避免射频信号的直流电信号和负载的直流电信号互相干扰。

参照图5，本实用新型还提供一种射频电源装置，射频电源装置包括保护电路300和如上所述的射频电路400。

保护电路300的输入端用于接入电源，保护电路300的输出端与射频电路400的输入端连接，射频电路400具有多个输出端，射频电路400的多个输出端用于与多个负载连接。

可以理解的是，由于在上述射频电源装置中使用了上述射频电路400，因此，该射频电源装置的实施例包括上述射频电路400全部实施例的全部技术方案，且所达到的技术效果也完全相同，在此不再赘述。

在一实施例中，保护电路300包括干扰抑制电路310、过流保护电路320、滤波电路330和电流检测电路340。

干扰抑制电路310的输入端用于接入电源，干扰抑制电路310的输出端与过流保护电路320的输入端连接，干扰抑制电路310用于抑制射频电路400产生的电磁干扰。

过流保护电路320的输出端与滤波电路330的输入端连接，过流保护电路320用于在电路中的电流值大于第一预设电流值时断开电源与射频电路400的连接。

滤波电路330的输出端与电流检测电路340连接，滤波电路330用于对输入的电源进行滤波。

电流检测电路340的输出端与射频电路400的控制器100和射频放大电路均连接，电流检测电路340用于检测滤波电路330输出的电流大小，射频电路400的控制器100用于在电流检测电路340检测到的电流值大于第二预设电流值时，控制射频电路400停止工作。

干扰抑制电路310用于抑制电路中的电磁干扰现象，防止射频电路400产生的电磁能量干扰其他设备或其他设备产生的电磁能量对射频电路400产生干扰。当电源电压过大时，过流保护电路320可以及时断开电源输入，保护射频电源装置不被损坏。通过滤波电路330对电源进行滤波，可以使输入至射频电源装置的电源信号更稳定。通过电源检测电路实时检测电路中的电流，当电流较大时，控制器100控制射频电路400停止工作，避免大电流损坏射频电源装置和负载。

以上所述仅为本实用新型的可选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的发明构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种射频电路，用于射频电源装置，其特征在于，所述射频电路包括：

控制器，所述控制器具有输入端、输出端、第一反馈接收端、第二反馈接收端和控制输出端，所述控制器的输入端用于与上位机连接；

射频输出电路，所述射频输出电路包括：

射频发生电路，所述射频发生电路的输入端与所述控制器的输出端连接，所述射频发生电路用于在所述控制器的控制下输出相应的射频信号；

功率检测电路，所述功率检测电路具有输入端、输出端和反馈端，所述功率检测电路的输入端与所述射频发生电路的输出端连接，所述功率检测电路的反馈端与所述控制器的第一反馈接收端连接，所述功率检测电路用于检测所述射频发生电路的输出功率和反射功率；

所述控制器用于根据所述输出功率和反射功率调整相应的所述射频发生电路输出的射频信号的功率。

2.如权利要求1所述的射频电路，其特征在于，所述射频发生电路的数量为多个。

3.如权利要求1所述的射频电路，其特征在于，所述射频发生电路包括射频激励电路、射频放大电路和射频匹配电路；

所述射频激励电路的输入端与所述控制器的输出端连接，所述射频激励电路的输出端与所述射频放大电路的输入端连接，所述射频激励电路用于产生射频信号；

所述射频放大电路的输出端与所述射频匹配电路的输入端连接，所述射频放大电路用于对所述射频激励电路的输出的射频信号进行放大；

所述射频匹配电路用于对所述射频激励电路进行匹配。

4.如权利要求1所述的射频电路，其特征在于，所述功率检测电路包括输出功率检测电路和反射功率检测电路；

所述输出功率检测电路的输入端与所述射频发生电路的输出端连接，所述输出功率检测电路的输出端与所述控制器连接，所述输出功率检测电路用于检测所述射频发生电路的输出功率；

所述反射功率检测电路的输入端与所述功率检测电路连接，所述反射功率检测电路的输出端与所述控制器连接，所述反射功率检测电路用于检测负载的反射功率。

5.如权利要求1所述的射频电路，其特征在于，所述射频输出电路还包括：

阻抗检测电路，所述阻抗检测电路具有输入端、输出端和反馈端，所述阻抗检测电路的输入端与所述功率检测电路的输出端连接，所述阻抗检测电路的反馈端与所述控制器的第二反馈接收端连接，所述阻抗检测电路用于检测负载阻抗；

阻抗匹配电路，所述阻抗匹配电路具有输入端、输出端和受控端，所述阻抗匹配电路的输入端与所述阻抗检测电路的输出端连接，所述阻抗匹配电路的输出端用于与负载连接，所述阻抗匹配电路的受控端与所述控制器的控制输出端连接；

所述控制器还用于根据所述输出功率和反射功率调整相应的所述阻抗匹配电路的阻抗值，以使射频电源装置的等效内阻与负载阻抗值匹配。

6.如权利要求5所述的射频电路，其特征在于，所述阻抗匹配电路包括N个阻抗调节电路，所述阻抗调节电路具有输入端、输出端和受控端；

N为1时，所述阻抗调节电路的输入端为所述阻抗匹配电路的输入端，所述阻抗调节电路的输出端为所述阻抗匹配电路的输出端，所述阻抗调节电路的受控端与所述控制器连接；

N大于1时，N个阻抗调节电路之间电连接；

所述控制器根据所述输出功率和反射功率调整相应的所述阻抗调节电路的阻抗，以使射频电源装置的等效内阻与负载阻抗值匹配。

7.如权利要求6所述的射频电路，其特征在于，所述射频输出电路还包括隔离电路；

所述隔离电路的输入端与所述阻抗检测电路的输出端连接，所述隔离电路的输出端用于与负载连接，所述隔离电路用于防止所述射频电路与负载之间的信号干扰，以及抑制所述射频电路产生的电磁干扰。

8.如权利要求7所述的射频电路，其特征在于，所述隔离电路包括电磁干扰抑制电路和隔直电路；

所述电磁干扰抑制电路用于抑制电路中的电磁干扰现象，所述隔直电路用于隔离直流电信号。

9.一种射频电源装置，其特征在于，所述射频电源装置包括保护电路和如权利要求1-8任一项所述的射频电路；

所述保护电路的输入端用于接入电源，所述保护电路的输出端与所述射频电路的输入端连接，所述射频电路的输出端用于与负载连接。

10.如权利要求9所述的射频电源装置，其特征在于，所述保护电路包括干扰抑制电路、过流保护电路、滤波电路和电流检测电路；

所述干扰抑制电路的输入端用于接入电源，所述干扰抑制电路的输出端与所述过流保护电路的输入端连接，所述干扰抑制电路用于抑制所述射频电路产生的电磁干扰；

所述过流保护电路的输出端与所述滤波电路的输入端连接，所述过流保护电路用于在电路中的电流值大于第一预设电流值时断开电源与所述射频电路的连接；

所述滤波电路的输出端与所述电流检测电路连接，所述滤波电路用于对输入的电源进行滤波；

所述电流检测电路的输出端与所述射频电路的控制器和射频放大电路均连接，所述电流检测电路用于检测所述滤波电路输出的电流大小，所述射频电路的控制器用于在所述电流检测电路检测到的电流值大于第二预设电流值时，控制所述射频电路停止工作。

Images