CN216696821U - 一种镜头座及其镜头组件 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种镜头座及其镜头组件，用于多个光学镜头组件的集成安装，镜头座包括一体成型的座体，座体上开设垂直安装孔、斜向安装孔、顶部基准平面、底部基准平面、斜向基准平面。镜头座的下方具有焦面，定位观测光路组件、检测光路组件分别装配在各所述垂直安装孔和斜向安装孔中，定位观测光路组件、检测光路组件的各入射光路、反射光路具有共同的位于焦面上的焦点；本方案将各光学镜头组件集成在一个镜头座上，实现所有镜头共面共焦点，满足不同配置的量测或成像使用情况，省去了分步对焦的步骤，提高了整体效率，同时省去了运动台分步运动，降低了运动台可靠性、重复定位精度要求，节省了成本。

Description

一种镜头座及其镜头组件

技术领域

本实用新型涉及光学检测设备技术领域，特别涉及集成电路制造和检测的一种镜头座及其镜头组件。

背景技术

在集成电路的制造和检测设备内，有工况会要求使用多个光路对被测件的某一点进行成像或量测。通常方案为：不断移动各组光学测量单元，并依次对被测元件的测量点进行对焦；或者各组光学测量单元保持固定，不断移动被测元件，使测量点依次移动到各光学测量单元的焦点位置。常规测量方案都对运动平台的可靠性和重复定位精度提出了较高的要求，增加了设备的成本，多次的对焦过程也会影响整个成像或量测的效率。针对于此，需要将各光学测量单元集成在一个镜头座中，在发明人对镜头座以及集成到机头座上的各组件的研究过程中发现，现有镜头座用于初步定位的经由机械加工实现的结构不易加工、不易使用，要求精度很高，造成各光学测量单元集成到镜头座上的初步定位偏差大、定位时间长，效率低。

有鉴于此，如何解决现有镜头座用于集成各光学测量单元时存在的初步定位偏差大、定位时间长、效率低等问题，便成为本实用新型所要研究解决的课题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种镜头座及其镜头组件，以解决现有镜头座用于集成各光学测量单元时存在的初步定位偏差大、定位时间长、效率低等问题。

为达到上述目的，本实用新型的第一方面提出了一种镜头座，用于多个光学镜头组件的集成安装，所述光学镜头组件包含定位观测光路组件和检测光路组件，其创新点在于：

所述镜头座包括一体成型的座体，所述座体上开设有一个由座体顶部垂直贯穿至所述座体底部的垂直安装孔，所述座体顶部设置有与垂直安装孔的中心线相垂直的顶部基准平面，所述座体底部设置有与垂直安装孔的中心线相垂直的底部基准平面；

所述座体上在所述垂直安装孔的周向开设有多个由座体侧边斜向贯穿至座体底部的斜向安装孔，所述座体的侧边设置有与各自所述斜向安装孔的中心线相垂直的斜向基准平面；

所述座体底部设置有一腔体，所述垂直安装孔中心线的延长线及各所述斜向安装孔中心线的延长线穿过所述腔体；

所述镜头座被配置成：多个所述斜向安装孔中的至少两个相对于垂直安装孔的中心线斜向对称，所述垂直安装孔或所述斜向安装孔用于安装所述定位观测光路组件和检测光路组件，在其中一个用于安装所述定位观测光路组件的所述垂直安装孔或所述斜向安装孔所对应的顶部基准平面或斜向基准平面外侧，设置有用于调节定位观测光路组件位置的第一顶拉结构件和滑动平动结构件。

为达到上述目的，本实用新型的第二方面提出了一种镜头座镜头组件，所述镜头组件包括本实用新型第一方面所述的镜头座，所述镜头座的下方具有与顶部基准面和底部基准面平行的焦面，所述镜头组件还包括安装在镜头座上的定位观测光路组件、检测光路组件、温控组件，所述定位观测光路组件、检测光路组件分别装配在各所述垂直安装孔和斜向安装孔中，所述定位观测光路组件、检测光路组件的各入射光路、反射光路具有共同的位于所述焦面上的焦点。

本实用新型的有关内容的进一步说明如下：

1.通过本实用新型的上述技术方案的实施，通过对镜头座的开发设计，其中对于镜头座上的垂直安装孔及与垂直安装孔对应的顶部基准平面和底部基准平面的设置，以及对于镜头座上的斜向安装孔及与斜向安装孔所对应的斜向基准平面的设置，使得各定位观测光路组件和检测光路组件装配到所述垂直安装孔或所述斜向安装孔中时能够快速进行初步定位，从而得以减少定位时间和定位次数，同时该镜头座一体成型加工，各镜头安装通孔通向底部，各微调结构面、包括镜头座自身安装面均为平面加工而成，在保证精度的同时降低了加工难度以及加工成本；同时在本实用新型中，所述镜头座镜头组件将各光学镜头组件集成在一个镜头座上，实现所有镜头共面共焦点，并且安装孔不局限镜头类型，以满足不同配置的量测或成像使用情况，共焦测量的实现省去了分步对焦的步骤，提高了整体效率，同时省去了运动台分步运动，降低了运动台可靠性、重复定位精度要求，节省了成本。

2. 在上述本实用新型第一方面的技术方案中，所述座体上还设置有与座体导热接触的温控组件，温控组件对镜头座进行恒温控制以保持镜头座热稳定性，降低热变形的可能性，防止长时间热变形影响镜头精度。

3. 在上述本实用新型第一方面的技术方案中，所述温控组件的数量为多个，多个所述温控组件定位安装在座体的侧表面，具体的，温控组件包含薄膜加热片以及外部控制回路、温度传感器，薄膜加热片粘贴在座体的两侧表面；更具体的，温控组件还包括加热片固定件、十字沉头螺钉。

4. 在上述本实用新型第一方面的技术方案中，所述第一顶拉结构件包括第一螺纹副、第一螺钉、光路调节件二；所述滑动平动结构件包括光路调节件一、第一紧定螺丝。具体的，定位观测光路组件不与镜头座直接接触安装，而是通过第一顶拉结构件与座体进行初定位，再通过滑动平动机构实现中心对焦定位，最后通过第一螺纹副进行对焦。其中的光路调节件一和光路调节件二均为环状结构，光路调节件二通过第一螺钉安装到座体的基准平面上，光路调节件二上开设有弧形槽，使得光路调节件二能以该弧形槽的轨迹为导向进行旋转调节，在光路调节件二上设置用于调节光路调节件二与基准平面间隙距离的第一螺纹副，第一螺纹副穿过光路调节件二后与基准平面相抵；光路调节件一安装到光路调节件二中，第一紧定螺丝从光路调节件二的侧边穿过后与位于内侧的光路调节件一相抵。

5. 在上述本实用新型第一方面的技术方案中，除其中一个用于安装所述定位观测光路组件的所述垂直安装孔或所述斜向安装孔外，其他的所述斜向安装孔或垂直安装孔用于安装检测光路组件，在用于安装所述检测光路组件的所述斜向安装孔或垂直安装孔所对应的斜向基准平面外侧或顶部基准平面外侧，设置有用于调节所述检测光路组件位置的第二顶拉结构件，通过第二顶拉结构件实现微调，最终实现检测光路组件和定位观测光路组件共焦。

6. 在上述本实用新型第一方面的技术方案中，所述第二顶拉结构件包括第二螺纹副、第二螺钉、第二紧定螺丝。具体的，由第二螺钉来使检测光路与座体的基准平面进行初定位，再由第二螺纹副、第二紧定螺丝来对所述检测光路组件进行对焦微调。

7. 在上述本实用新型第二方面的技术方案中，所述定位观测光路组件、检测光路组件中均包含有镜头组，所述镜头组中具有入射镜头和出射镜头，所述入射镜头和出射镜头与各自装配到的所述垂直安装孔或斜向安装孔为间隙配合，使得轴孔配和留有余量，可实现角度调节。

8. 在上述本实用新型第二方面的技术方案中，所述定位观测光路组件安装于所述垂直安装孔中，在垂直安装孔上方的顶部基准面上设置第一顶拉结构件和滑动平动结构件，第一顶拉结构件用于共焦面的微调，滑动平动构件用于焦点的平动。

9. 在上述本实用新型第二方面的技术方案中，一组或两组所述检测光路组件安装于各所述斜向安装孔中，在所述斜向安装孔朝外的斜向基准面上设置第二顶拉结构件，第二顶拉结构件用于检测光路组件的对焦微调。

10. 在上述技术方案中，镜头座一体成型加工，各镜头安装通孔通向底部，各微调结构面、包括镜头座自身安装面均为平面加工而成，在保证精度的同时降低了加工难度以及加工成本。

11. 在上述技术方案中，定位观测光路组件通过耦合光路，可兼具实现自动对焦定位焦面以及低倍显微镜观测焦点。通常垂直于共焦面安装在镜头座顶部，也可安装于镜头座斜面的斜向安装孔，满足特殊空间场合使用。

12. 在上述技术方案中，最多可安装两组检测光路组件，安装于镜头座斜面的斜向安装孔。与顶部的定位观测光路成一定夹角对称安装于镜头座两侧斜面上，最终各入射光路、反射光路经过焦点。

13.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

14.在本实用新型中，术语“中心”、“上”、“下”、“轴向”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置装配关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

15. 此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

由于上述方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有以下优点和效果：

1、使用本实用新型的技术方案，通过对镜头座的开发设计，其中对于镜头座上的垂直安装孔及与垂直安装孔对应的顶部基准平面和底部基准平面的设置，以及对于镜头座上的斜向安装孔及与斜向安装孔所对应的斜向基准平面的设置，使得各定位观测光路组件和检测光路组件装配到所述垂直安装孔或所述斜向安装孔中时能够快速进行初步定位，从而得以减少定位时间和定位次数，同时该镜头座一体成型加工，各镜头安装通孔通向底部，各微调结构面、包括镜头座自身安装面均为平面加工而成，在保证精度的同时降低了加工难度以及加工成本。

2、使用本实用新型的技术方案，所述镜头座镜头组件将各光学镜头组件集成在一个镜头座上，实现所有镜头共面共焦点，并且各安装孔不局限镜头类型，以满足不同配置的量测或成像使用情况，共焦测量的实现省去了分步对焦的步骤，提高了整体效率，同时省去了运动台分步运动，降低了运动台可靠性、重复定位精度要求，节省了成本。

附图说明

附图1为本实用新型实施例的立体结构示意图；

附图2为本实用新型实施例的立体结构爆炸示意图；

附图3为本实用新型实施例的第一方向剖面示意图；

附图4为本实用新型实施例的第二方向剖面示意图。

以上附图各部位表示如下：

1 镜头座

101 座体

11 镜头座安装件

12 垂直安装孔

13 斜向安装孔

14 顶部基准平面

15 底部基准平面

16 斜向基准平面

2 定位观测光路组件

21 光路调节件一

22 光路调节件二

23 第一螺钉

24 第一紧定螺丝

25 第一螺纹副

3 检测光路组件一

31 光阑安装件一

32 第二螺纹副

33 第二螺钉

34 第二紧定螺丝

4 检测光路组件二

41 光阑安装件一

42 第二螺钉

43 第二紧定螺丝

5 检测光路组件三

51 光阑安装件二

52 第二螺纹副

53 第二螺钉

54 第二紧定螺丝

6 检测光路组件四

61 光阑安装件二

62 第二螺纹副

63 第二螺钉

64 第二紧定螺丝

7 温控组件

701 薄膜加热片

71 加热片固定件

72 十字沉头螺钉。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

实施例一

如附图1至附图4所示，本实用新型实施例一提出了一种镜头座，该镜头座1实现了多组镜头的粗定位安装，再通过镜头调节结构，对各镜头单元的装配和导向进行微调，从而实现了多组镜头的共焦。所述镜头座1，用于多个光学镜头组件的集成安装，所述光学镜头组件包含定位观测光路组件2和检测光路组件，所述镜头座1包括一体成型的座体101，所述座体101上开设有一个由座体101顶部垂直贯穿至所述座体101底部的垂直安装孔12，所述座体101顶部设置有与垂直安装孔12的中心线相垂直的顶部基准平面14，所述座体101底部设置有与垂直安装孔12的中心线相垂直的底部基准平面15；

所述座体101上在所述垂直安装孔12的周向开设有多个由座体101侧边斜向贯穿至座体101底部的斜向安装孔13，所述座体101的侧边设置有与各自所述斜向安装孔13的中心线相垂直的斜向基准平面16；

所述座体101底部设置有一腔体，所述垂直安装孔12中心线的延长线及各所述斜向安装孔13中心线的延长线穿过所述腔体；

所述镜头座1被配置成：多个所述斜向安装孔13中的至少两个相对于垂直安装孔12的中心线斜向对称，所述垂直安装孔12或所述斜向安装孔13用于安装所述定位观测光路组件2和检测光路组件。

在本实用新型的上述实施例一中，通过对镜头座1的开发设计，其中对于镜头座1上的垂直安装孔12及与垂直安装孔12对应的顶部基准平面14和底部基准平面15的设置，以及对于镜头座1上的斜向安装孔13及与斜向安装孔13所对应的斜向基准平面16的设置，使得各定位观测光路组件2和检测光路组件装配到所述垂直安装孔12或所述斜向安装孔13中时能够快速进行初步定位，再通过对各定位观测光路组件2和检测光路组件的微调，即可完成共焦点，从而得以减少定位时间和定位次数，同时该镜头座1一体成型加工，各镜头安装通孔通向底部，各微调结构面、包括镜头座1自身安装面均为平面加工而成，在保证精度的同时降低了加工难度以及加工成本。

如附图2所示，在本实用新型的上述实施例中，所述座体101上还设置有与座体101导热接触的温控组件7，温控组件7对镜头座1进行恒温控制以保持镜头座1热稳定性，降低热变形的可能性，防止长时间热变形影响镜头精度，所述温控组件7的数量为多个，多个所述温控组件7定位安装在座体101的侧表面，具体的，温控组件7包含薄膜加热片701以及外部控制回路、温度传感器（外部控制回路、温度传感器未在附图中示出），薄膜加热片701粘贴在座体101的两侧表面；更具体的，温控组件7还包括加热片固定件71、十字沉头螺钉72，薄膜加热片701位于加热片固定件71内侧，由十字沉头螺钉72将加热片固定件71与所述座体101相固定。

如附图2所示，在其中一个用于安装所述定位观测光路组件2的所述垂直安装孔12或所述斜向安装孔13所对应的顶部基准平面14或斜向基准平面16外侧，设置有用于调节定位观测光路组件2位置的第一顶拉结构件和滑动平动结构件；所述第一顶拉结构件包括第一螺纹副25、第一螺钉23、光路调节件二22；所述滑动平动结构件包括光路调节件一21、第一紧定螺丝24。具体的，定位观测光路组件2不与镜头座1直接接触安装，而是通过第一顶拉结构件与座体101进行初定位，再通过滑动平动机构实现中心对焦定位，最后通过第一螺纹副25进行对焦。其中的光路调节件一21和光路调节件二22均为环状结构，光路调节件二22通过第一螺钉23安装到座体101的基准平面上，光路调节件二22上开设有弧形槽，使得光路调节件二22能以该弧形槽的轨迹为导向进行旋转调节，在光路调节件二22上设置用于调节光路调节件二22与基准平面间隙距离的第一螺纹副25，第一螺纹副25穿过光路调节件二22后与基准平面相抵；光路调节件一21安装到光路调节件二22中，第一紧定螺丝24从光路调节件二22的侧边穿过后与位于内侧的光路调节件一21相抵。

如附图2所示，除其中一个用于安装所述定位观测光路组件2的所述垂直安装孔12或所述斜向安装孔13外，其他的所述斜向安装孔13或垂直安装孔12用于安装检测光路组件，在用于安装所述检测光路组件的所述斜向安装孔13或垂直安装孔12所对应的斜向基准平面16外侧或顶部基准平面14外侧，设置有用于调节所述检测光路组件位置的第二顶拉结构件，通过第二顶拉结构件实现微调，最终实现检测光路组件和定位观测光路组件2共焦。具体的所述第二顶拉结构件包括第二螺纹副62、52、32、第二螺钉33、53、42、63、第二紧定螺丝64、34、54、43。具体的，由第二螺钉33、53、42、63来使检测光路与座体101的基准平面进行初定位，再由第二螺纹副62、52、32、第二紧定螺丝64、34、54、43来对所述检测光路组件进行对焦微调。

实施例二

本实用新型实施例二提出了一种镜头座镜头组件，所述镜头组件包括本实用新型第一方面所述的镜头座1，镜头座1上通过镜头座安装件11的定位安装在工作台上，所述镜头座1的下方具有与顶部基准面和底部基准面平行的共焦面，所述镜头组件还包括安装在镜头座1上的定位观测光路组件2、检测光路组件、温控组件7，所述定位观测光路组件2、检测光路组件分别装配在各所述垂直安装孔12和斜向安装孔13中，所述定位观测光路组件2、检测光路组件的各入射光路、反射光路具有共同的位于所述共焦面上的焦点。

具体地，定位观测光路组件2通过耦合光路，可兼具实现自动对焦定位焦面以及低倍显微镜观测焦点。通常垂直于共焦面安装在镜头座1顶部，也可安装于镜头座1斜向安装孔，满足特殊空间场合使用。

具体地，最多可安装两组检测光路，安装于镜头座1斜向安装孔。与顶部的定位观测光路成一定夹角对称安装于镜头座1两侧斜面上，最终各入射光路、反射光路经过焦点。

检测光路的镜头单元内部安装光阑、透镜等元件，通过镜头座斜向通孔安装，轴孔配和留有余量，可实现角度调节；安装端面通过螺丝、螺纹副的顶拉结构实现对焦微调。

具体地，温控组件7包含薄膜加热片701，以及外部控制回路、温度传感器。薄膜加热片701粘贴在镜头座两侧表面，持续恒温加热镜头座，提高镜头座的热稳定性，降低热变形的可能性。

在本实用新型的上述实施例二中，所述定位观测光路组件2、检测光路组件中均包含有镜头组，所述镜头组中具有入射镜头和出射镜头，所述入射镜头和出射镜头与各自装配到的所述垂直安装孔12或斜向安装孔13为间隙配合，使得轴孔配和留有余量，可实现角度调节。

在本实用新型的上述实施例二中，定位观测光路组件2通过耦合光路，可兼具实现自动对焦定位焦面以及低倍显微镜观测焦点。通常垂直于共焦面安装在镜头座顶部，也可安装于镜头座斜向安装孔，满足特殊空间场合使用。当所述定位观测光路组件2垂直于共焦面安装在镜头座顶部时，安装于所述垂直安装孔12中，在垂直安装孔12上方的顶部基准面上设置第一顶拉结构件和滑动平动结构件，第一顶拉结构件用于共焦面的微调，滑动平动构件用于焦点的平动。一组或两组所述检测光路组件安装于各所述斜向安装孔13中，与顶部的定位观测光路成一定夹角对称安装于镜头座两侧斜面上，最终各入射光路、反射光路经过焦点，在所述斜向安装孔13朝外的斜向基准面上设置第二顶拉结构件，第二顶拉结构件用于检测光路组件的对焦微调。

在其中的一种实际实施方式中，在如附图1至附图4中给出的具体实施例中，对应设置有一个定位观测光路组件2、四个检测光路组件，检测光路组件分别包含有检测光路组件一3、检测光路组件二4、检测光路组件三5、检测光路组件四6，其中的检测光路组件一3、检测光路组件二4中包含有光阑安装件一41、31，检测光路组件三5、检测光路组件四6中包含有光阑安装件二51、61；检测光路组件一3、检测光路组件二4、检测光路组件三5、检测光路组件四6均通过第二顶拉结构件与各自的斜向基准平面16定位连接，第二顶拉结构件包括第二螺纹副62、52、32、第二螺钉33、53、42、63、第二紧定螺丝64、34、54、43。

采用一组定位观测光路组件2、两组检测光路组件，观测光路镜头组安装于镜头座顶部的垂直安装孔12，检测光路组件安装于镜头座斜面的斜向安装孔13，该镜头座本体采用不锈钢材质，保证自身机械强度的同时，避免了调节机构微调过程当中产生粉尘。相关安装定位平面基本保持形状平整，保证了可加工性以及平面精度。定位观测光路组件2不直接与镜头座接触安装，通过顶拉结构件（未给出具体结构）与镜头座本体螺钉安装进行初定位，再通过滑动平动机构（未给出具体结构）实现中心对焦定位，最后通过螺纹副进行对焦。根据偏振入射夹角，镜头座斜面各加工四个镜头安装平面，并加工通孔通向底部。入射、出射镜头内部有透镜、光阑等光学件。镜头与安装通孔间隙配合，通过螺钉、螺纹副实现微调。最终实现两组检测光路以及定位观测光路共焦。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种镜头座，用于多个光学镜头组件的集成安装，所述光学镜头组件包含定位观测光路组件和检测光路组件，其特征在于：

所述镜头座包括一体成型的座体，所述座体上开设有一个由座体顶部垂直贯穿至所述座体底部的垂直安装孔，所述座体顶部设置有与垂直安装孔的中心线相垂直的顶部基准平面，所述座体底部设置有与垂直安装孔的中心线相垂直的底部基准平面；

所述座体上在所述垂直安装孔的周向开设有多个由座体侧边斜向贯穿至座体底部的斜向安装孔，所述座体的侧边设置有与各自所述斜向安装孔的中心线相垂直的斜向基准平面；

所述座体底部设置有一腔体，所述垂直安装孔中心线的延长线及各所述斜向安装孔中心线的延长线穿过所述腔体；

所述镜头座被配置成：多个所述斜向安装孔中的至少两个相对于垂直安装孔的中心线斜向对称，所述垂直安装孔或所述斜向安装孔用于安装所述定位观测光路组件和检测光路组件。

2.根据权利要求1所述的一种镜头座，其特征在于：所述座体上还设置有与座体导热接触的温控组件。

3.根据权利要求2所述的一种镜头座，其特征在于：所述温控组件的数量为多个，多个所述温控组件定位安装在座体的侧表面。

4.根据权利要求1所述的一种镜头座，其特征在于：在其中一个用于安装所述定位观测光路组件的所述垂直安装孔或所述斜向安装孔所对应的顶部基准平面或斜向基准平面外侧，设置有用于调节定位观测光路组件位置的第一顶拉结构件和滑动平动结构件；除其中一个用于安装所述定位观测光路组件的所述垂直安装孔或所述斜向安装孔外，其他的所述斜向安装孔或垂直安装孔用于安装检测光路组件，在用于安装所述检测光路组件的所述斜向安装孔或垂直安装孔所对应的斜向基准平面外侧或顶部基准平面外侧，设置有用于调节所述检测光路组件位置的第二顶拉结构件。

5.根据权利要求4所述的一种镜头座，其特征在于：所述第一顶拉结构件包括第一螺纹副、第一螺钉、光路调节件二；所述滑动平动结构件包括、光路调节件一、第一紧定螺丝。

6.根据权利要求5所述的一种镜头座，其特征在于：所述第二顶拉结构件包括第二螺纹副、第二螺钉、第二紧定螺丝。

7.一种镜头座镜头组件，其特征在于：所述镜头组件包括权利要求1至权利要求6任一项所述的镜头座，所述镜头座的下方具有与顶部基准面和底部基准面平行的焦面，所述镜头组件还包括安装在镜头座上的定位观测光路组件、检测光路组件、温控组件，所述定位观测光路组件、检测光路组件分别装配在各所述垂直安装孔和斜向安装孔中，所述定位观测光路组件、检测光路组件的各入射光路、反射光路具有共同的位于所述焦面上的焦点。

8.根据权利要求7所述的一种镜头座镜头组件，其特征在于：所述定位观测光路组件、检测光路组件中均包含有镜头组，所述镜头组中具有入射镜头和出射镜头，所述入射镜头和出射镜头与各自装配到的所述垂直安装孔或斜向安装孔为间隙配合。

9.根据权利要求7所述的一种镜头座镜头组件，其特征在于：所述定位观测光路组件安装于所述垂直安装孔中，在垂直安装孔上方的顶部基准面上设置第一顶拉结构件和滑动平动结构件，第一顶拉结构件用于共焦面的微调，滑动平动构件用于焦点的平动。

10.根据权利要求7所述的一种镜头座镜头组件，其特征在于：一组或两组所述检测光路组件安装于各所述斜向安装孔中，在所述斜向安装孔朝外的斜向基准面上设置第二顶拉结构件，第二顶拉结构件用于检测光路组件的对焦微调。

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