CN216465480U - 一种切割机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种切割机构，涉及多线切割技术领域，以提供一种切割速率快，且不容易发生断线的切割机构。包括第一驱动组件、第二驱动组件以及摇摆连接组件；第一驱动组件与摇摆连接组件的一侧驱动连接，用于向摇摆连接组件的一侧提供第一驱动力；第二驱动组件与摇摆连接组件的另一侧驱动连接，用于向摇摆连接组件的另一侧提供第二驱动力；其中，第一驱动力和第二驱动力为相反方向的驱动力。待切割工件安装在所述摇摆连接组件上，在所述第一驱动力和所述第二驱动力的驱动下，所述待切割工件做摇摆运动。

Description

一种切割机构

技术领域

本实用新型涉及多线切割技术领域，尤其涉及一种切割机构。

背景技术

多线切割技术是一种加工单晶硅等硬脆材料常见的加工方式，其原理是利用高速运动的切割线，该切割线表面附着有金刚石颗粒，在切割线的带动下，金刚石颗粒用于对待切割材料进行摩擦，从而达到切割的目的。

目前，在切割的过程中，通过将切割线缠绕后形成的线网，对在下降或上升工作台上的硅棒实现进给，完成硅片的切割。

随着硅片尺寸的逐步增大，且随着切割线细线化要求逐渐提高，传统的直下式切割在大硅片切割中暴露出加工速率慢，切割困难，容易发生断线等问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供，以提供一种切割速率快，且不容易发生断线的切割机构。

本实用新型提供的一种切割机构，包括第一驱动组件、第二驱动组件以及摇摆连接组件；第一驱动组件与摇摆连接组件的一侧驱动连接，用于向摇摆连接组件的一侧提供第一驱动力；第二驱动组件与摇摆连接组件的另一侧驱动连接，用于向摇摆连接组件的另一侧提供第二驱动力；其中，第一驱动力和第二驱动力为相反方向的驱动力。待切割工件安装在所述摇摆连接组件上，在所述第一驱动力和所述第二驱动力的驱动下，所述待切割工件做摇摆运动。

在采用上述技术方案的情况下，上述切割机构包括了第一驱动组件、第二驱动组件、摇摆连接组件。在实际的切割过程中，第一驱动组件与摇摆连接组件的一侧驱动连接，用于向摇摆连接组件的一侧提供第一驱动力；第二驱动组件与摇摆连接组件的另一侧驱动连接，用于向摇摆连接组件的另一侧提供第二驱动力，且第一驱动力和第二驱动力为相反方向的驱动力，此时摇摆连接组件作摇摆运动，从而带动待切割工件作相同的摇摆运动，当待切割工件处于摇摆过程中，待切割工件与线网的接触长度降低，增加了线网表面的金刚石颗粒对工件的压力，从而提高了切割速率。

且在实际切割的过程中，切割线表面的金刚石颗粒之间的缝隙容易被碎屑填入，当被碎屑填满时，金刚石颗粒便不能再参与切割，因此在切割时需要及时去除切屑。现有技术在直下式切割中，切割液难以被带入线缝中，因此容易造成排屑不畅，导致线网切割能力下降切割速率降低。但本实用新型提供的切割机构通过摇摆式切割，将线网与工件分离，切割液喷淋在分离的线网上，有利于将碎屑排出，保持线网切割能力，从而进一步提高切割机构的切割能力。

最后，在现有技术的直下式切片切割中对金刚石颗粒利用不充分，部分颗粒被磨损后不能提供足够的切割力，因此需要更多新线，线耗升高。但当使用本实用新型的切割机构在进刀时，可使用较小的摇摆角度与较长的摇摆周期，同时摇摆方向可与线网前进方向相反，在切割中期摇摆角度可适当增加，减小摇摆周期，提高切割效率，增加切割液冲刷线缝与切割线频率；在出刀时，逐渐减小摇摆角度增长周期并最终变为不摇摆，实现出刀。在进给的同时进行摇摆切割，可减少硅棒与线网的接触长度，增加线网对硅棒的正压力，基于此，有利于降低线网的损耗，因此，本实用新型中的切割机构不容易发生断线。

在一种可能的实现方式中，第一驱动组件包括与控制器通信的第一驱动件、以及与第一驱动件驱动连接的第一传动组件；第一传动组件与摇摆连接组件的一侧连接。

第二驱动组件包括与控制器通信的第二驱动件、以及与第二驱动件驱动连接的第二传动组件；第二传动组件与摇摆连接组件的另一侧连接。

在采用上述技术方案的情况下，本实用新型提供的切割机构可以基于第一驱动件驱动第一传动组件，从而驱动摇摆连接组件的一侧运动，同样可以基于第二驱动件驱动第二传动组件，从而驱动摇摆连接组件的另一侧运动，此时，摇摆连接组件带动待切割工件做摇摆运动。

在一种可能的实施方式中，第一传动组件包括第一旋转件和第一直线传动件。第一驱动组件还包括第一减速件，第一驱动件的输出端与第一减速件的输入端驱动连接，第一减速件的输出端与第一旋转件驱动连接，用于驱动第一旋转件转动。第一直线传动件与第一旋转件相配合，当第一旋转件转动时，第一直线传动件沿与第一旋转件的轴向平行的方向做第一直线运动。

第二传动组件包括第二旋转件和第二直线传动件。第二驱动组件还包括第二减速件，第二驱动件的输出端与第二减速件的输入端驱动连接，第二减速件的输出端与第二旋转件连接，用于驱动第二旋转件转动。第二直线传动件与第二旋转件相配合，当第二旋转件转动时，第二直线传动件沿第二旋转件的轴向平行的方向做第二直线运动。

其中，第一直线运动和第二直线运动的运动方向相反。

示例性的，第一旋转件为丝母，第一直线传动件为丝杠，第一传动组件还包括第一套筒，第一驱动组件还包括第一联轴器。第一减速件的输出端通过第一联轴器与第一套筒驱动连接，第一旋转件固定在套筒内，第一旋转件与第一直线传动件相配合。

第二旋转件为丝母，第二直线传动件为丝杠，第二传动组件还包括第二套筒，第二驱动组件还包括第二联轴器。第二减速件的输出端通过第二联轴器与第二套筒驱动连接，第二旋转件固定在套筒内，第二旋转件与第二直线传动件相配合。

上述切割机构还包括安装底座、固定在安装底座上的第一固定支架和第二固定支架、与第一固定支架转动连接的第一转动头以及与第二固定支架转动连接的第二转动头。第一套筒通过转动轴承设置在第一转动头内，第二套筒通过转动轴承设置在第二转动头内。

在一种可能的实现方式中，摇摆连接组件包括摇摆支架，切割机构还包括安装底座；摇摆支架具有相对的第一侧和第二侧。第一驱动组件固定在安装底座上，且第一驱动组件的输出端与第一侧相连接，用于向第一侧提供第一驱动力，第二驱动组件固定在安装底座上，且第二驱动组件的输出端与第二侧相连接，用于向第二侧提供第二驱动力。待切割工件与摇摆支架相连接，用于在第一驱动力和第二驱动力的驱动下做摇摆运动。

在一种可能的实现方式中，摇摆支架还包括相对的第三侧和第四侧；摇摆连接组件还包括安装在摇摆支架第三侧的第一安装板，安装在摇摆支架第四侧的第二安装板。

第一安装板上具有第一弧形轨道，第二安装板上具有第二弧形轨道。切割机构还包括第一挂板、第二挂板、第一弧形滑块和第二弧形滑块；第一挂板的一端与安装底座相连接，另一端通过第一弧形滑块与第一弧形轨道配合，第二挂板的一端与安装底座相连接，另一端通过第二弧形滑块与第二弧形轨道配合。

在一种可能的实现方式中，所述切割机构该包括控制器，所述切割机构还包括位于所述第一弧形滑块的两侧的第一传感器，位于所述第一弧形轨道两侧的第二传感器；所述切割机构还包括位于所述第二弧形滑块的两侧的第三传感器，位于所述第二弧形轨道两侧的第四传感器。

其中，所述第一传感器、所述第二传感器、所述第三传感器和所述第四传感器均与所述控制器通信。

在一种可能的实现方式中，切割机构还包括固定在摇摆支架的第一侧上的第三固定支架，固定在摇摆支架的第而侧第四固定支架、与第三固定支架转动连接的第三转动头以及与第四固定支架转动连接的第四转动头。第一驱动组件的输出端通过转动轴承设置在第三转动头中，第二驱动组件的输出端通过转动轴承设置在第四转动头中。

在一种可能的实现方式中，摇摆连接组件还包括设置在摇摆支架内的至少一个夹紧结构；摇摆支架的底部设置有夹紧卡槽，待切割工件通过夹紧卡槽与摇摆支架相固定。每个夹紧结构包括夹紧气缸、夹紧顶头、至少一个弹性件以及至少一个提拉头。夹紧气缸固定在摇摆支架的内壁上，夹紧气缸的输出端与夹紧顶头相连接，每个提拉头通过夹紧卡槽上相应的第一通孔和摇摆支架底部相应的第二通孔与夹紧顶头相配合，弹性件位于相应夹紧顶头和相应提拉头之间。切割机构还包括承托件，承托件的第一侧卡设在夹紧卡槽中，具有与提拉头相配合的结构，承托件的第二侧与待切割工件固定连接。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1示出了本实用新型提供的一种切割机构的第一侧视图；

图2示出了本实用新型提供的一种切割机构的第二侧视图；

图3示出了本实用新型提供的一种第一驱动组件或第二驱动组件的安装透视图；

图4示出了本实用新型提供的一种切割机构的第一安装板或第二安装板处的部件示意图；

图5示出了本实用新型提供的一种摇摆连接组件的结构示意图。

附图标记：

10-第一驱动组件，101-第一驱动件，102-第一减速件，103-第一旋转件，104-第一直线传动件，20-第二驱动组件，201-第二驱动件，202-第二减速件，203-第二旋转件，204-第二直线传动件，30-摇摆连接组件，301-摇摆支架，302-夹紧气缸，303-夹紧顶头，304-弹性件，305-提拉头，401-待切割工件，402-承托件，403-工件垫板，501-第一转动头，502-第一固定支架，503-第二转动头，504-第二固定支架，505-第三转动头，506-第三固定支架，507-第四转动头，508-第四固定支架，601-安装底座，602-第一挂板，603-第二挂板，604-第一安装板，605-第二安装板，701-第一弧形滑块，702-第二弧形滑块，703-第一弧形轨道，704-第二弧形轨道，705-第一传感器，706-第三传感器，707-第二传感器，708-第四传感器。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

多线切割技术是一种加工单晶硅等硬脆材料常见的加工方式，其原理是利用高速运动的切割线，该切割线表面附着有金刚石颗粒。在切割线的带动下，金刚石颗粒用于对待切割材料进行摩擦，从而达到切割的目的。

目前，在切割的过程中，通过将切割线缠绕后形成的线网，对在下降或上升工作台上的硅棒实现进给，完成硅片的切割。

但随着硅片尺寸的逐步增大，且随着切割线细线化要求逐渐提高，传统的直下式切割在大硅片切割中暴露出加工速率慢，切割困难，因此容易发生断线等问题。

基于此，参照图1至图5，本实用新型实施例提供了一种切割机构，包括第一驱动组件10、第二驱动组件20以及摇摆连接组件30。

第一驱动组件10与摇摆连接组件30的一侧驱动连接，用于向摇摆连接组件30的一侧提供第一驱动力；第二驱动组件20与摇摆连接组件30的另一侧驱动连接，用于向摇摆连接组件30的另一侧提供第二驱动力；其中，第一驱动力和第二驱动力为相反方向的驱动力。摇摆连接组件30还与待切割工件401相连接，用于在第一驱动力和第二驱动力的驱动下，带动待切割工件401做摇摆运动。

在实际的应用过程中，本实用新型实施例提供的切割机构还包括安装底座601、以及固定在安装底座601两侧的两个电机安装座。上述第一驱动组件10和第二驱动组件20分别通过两个电机安装座固定在安装底座601上。

可以理解，为了提高切割机构的自动化程度，上述切割机构还可以包括与第一驱动组件、第二驱动组件驱动连接的控制器。

上述第一驱动组件10包括与控制器通信的第一驱动件101、以及与第一驱动件101驱动连接的第一传动组件；第一传动组件与摇摆连接组件30的一侧连接。第二驱动组件20包括与控制器通信的第二驱动件201、以及与第二驱动件201驱动连接的第二传动组件；第二传动组件与摇摆连接组件30的另一侧连接。

在切割过程中，控制器控制第一驱动件101驱动第一传动组件，从而驱动摇摆连接组件30的一侧沿第一方向运动。控制器控制第二驱动件201驱动第二传动组件，从而驱动摇摆连接组件30的另一侧沿第二方向运动。其中，上述第一方向和上述第二方向为方向相反的方向，基于此，摇摆连接组件30可以带动待切割工件401做摇摆运动。

上述第一传动组件包括第一旋转件和第一直线传动件104。第一驱动组件10还包括第一减速件102，第一驱动件101的输出端与第一减速件102的输入端驱动连接，第一减速件102的输出端与第一旋转件驱动连接，用于驱动第一旋转件转动。第一直线传动件104与第一旋转件相配合，当第一旋转件转动时，第一直线传动件104沿与第一旋转件的轴向平行的方向做第一直线运动。

第二传动组件包括第二旋转件203和第二直线传动件204。第二驱动组件20还包括第二减速件202，第二驱动件201的输出端与第二减速件202的输入端驱动连接，第二减速件202的输出端与第二旋转件203连接，用于驱动第二旋转件203转动。第二直线传动件204与第二旋转件203相配合，当第二旋转件203转动时，第二直线传动件204沿第二旋转件203的轴向平行的方向做第二直线运动。其中，上述第一直线运动和第二直线运动的运动方向相反。

在一种可能的实现方式中，上述第一旋转件为丝母，上述第一直线传动件104为丝杠，上述第一传动组件还包括第一套筒，第一驱动组件10还包括第一联轴器。第一减速件102的输出端通过第一联轴器与第一套筒驱动连接，第一旋转件固定在套筒内，第一旋转件与第一直线传动件104相配合。基于此，可以通过第一联轴器将第一减速件102和第一套筒牢靠的连接在一起。

其中，上述第一驱动件101可以为伺服电机，第一减速件102为减速机。在具体的应用过程中，第一驱动件101通过第一减速件102带动第一套筒转动。由于丝杠与第一套筒内的丝母相配合，当第一套筒转动时，丝杠沿与第一套轴向平行的方向作第一直线运动。可以理解，由于减速机的存在，可以使伺服电机的输出速度降低，扭矩加大，从而满足丝杠转动所需的低速高扭矩要求。

同样的，第二旋转件203为丝母，第二直线传动件204为丝杠，第二传动组件还包括第二套筒，第二驱动组件20还包括第二联轴器。第二减速件202的输出端通过第二联轴器与第二套筒驱动连接，第二旋转件203固定在套筒内，第二旋转件203与第二直线传动件204相配合。基于此，可以通过第二联轴器将第二减速件202和第二套筒牢靠的连接在一起。

其中，上述第二驱动件201可以为伺服电机，第二减速件202为减速机。在具体的应用过程中，第二驱动件201通过第二减速件202带动第二套筒转动。由于丝杠与第二套筒内的丝母相配合，当第二套筒转动时，丝杠沿与第二套轴向平行的方向作第二直线运动。可以理解，由于减速机的存在，可以使伺服电机的输出速度降低，扭矩加大，从而满足丝杠转动所需的低速高扭矩要求。

值得注意的是，上述第一直线运动和第二直线运动的运动方向也相反，此时，摇摆连接组件30可以带动待切割工件401做摇摆运动。

为了使整个切割机构安装的更稳固，本实用新型实施例中的切割机构还包括固定在安装底座601上的第一固定支架502和第二固定支架504。

切割机构还包括与第一固定支架502转动连接的第一转动头501，以及与第二固定支架504转动连接的第二转动头503。上述第一套筒通过转动轴承设置在第一转动头501内，第二套筒通过转动轴承设置在第二转动头503内，以使第一套筒可以在第一转动头501内任意转动，第二套筒可以在第二转动头503内任意转动。

在安装所述切割机构时，可以通过转动第一转动头501，来调整第一套筒的相对角度，以使位于第一套筒内的第一直线传动件104的位置与摇摆连接组件30的位置相适应。当调整第一套筒的角度至合适的角度后，可以将第一转动头501锁死，以固定第一套筒的相对角度。

同样的，在安装所述切割机构时，可以通过转动第二转动头503，来调整第二套筒的相对角度，以使位于第二套筒内的第二直线传动件204的位置与摇摆连接组件30的位置相适应。当调整第二套筒的角度至合适的角度后，可以将第二转动头503锁死，以固定第二套筒的相对角度。

进一步的，第二套筒可通过转动轴承设置在第二转动头503内，以使第二套筒可以在第二转动头503内任意转动。

在一种可能的的实施方式中，所述摇摆连接组件30包括摇摆支架301，所述摇摆支架301具有相对的第一侧和第二侧。第一驱动组件10固定在安装底座601上，且第一驱动组件10的输出端与第一侧相连接，用于向第一侧提供第一驱动力。其中，第一驱动组件10可通过螺栓固定在安装底座601上。

同样的，第二驱动组件20固定在安装底座601上，且第二驱动组件20的输出端与第二侧相连接，用于向第二侧提供第二驱动力；待切割工件401与摇摆支架301相连接，用于在第一驱动力和第二驱动力的驱动下做摇摆运动。其中，第二驱动组件20可通过螺栓固定在安装底座601上。

基于此，在第一驱动组件10和第二驱动组件20驱动摇摆支架301沿相反的方向运动时，摇摆支架301能够带动待切割工件401做摇摆运动。

在一些可能的实现方式中，切割机构还包括固定在摇摆支架301的第一侧上的第三固定支架506，固定在摇摆支架301的第二侧第四固定支架508、与第三固定支架506转动连接的第三转动头505以及与第四固定支架508转动连接的第四转动头507；第一驱动组件10的输出端通过转动轴承设置在第三转动头505中，第二驱动组件20的输出端通过转动轴承设置在第四转动头507中。

具体的，第一驱动组件10中的第一直线传动件104的输出端通过轴承设置在第三转动头505中，用于使第一直线传动件104可以在第三转动头505中转动，以使第一直线传动件104可以沿直线往复运动。第二驱动组件20中的第二直线传动件204的输出端通过轴承设置在第四转动头507中，用于使第二直线传动件204可以在第四转动头507中转动，以使第二直线传动件204可以沿直线往复运动。

进一步的，上述摇摆支架301还具有相对的第三侧和第四侧；其中，第三侧与第四侧的连接线与第一侧和第二侧的连接线相垂直，且第一侧、第二侧、第三侧和第四侧沿同一水平位置分布在摇摆支架301上。

摇摆连接组件30还包括安装在摇摆支架301第三侧的第一安装板604，安装在摇摆支架301第四侧的第二安装板。第一安装板604上具有第一弧形轨道703，第二安装板上具有第二弧形轨道704。切割机构还包括第一挂板602、第二挂板603、第一弧形滑块701和第二弧形滑块702；第一挂板602的一端与所述安装底座601相连接，另一端通过第一弧形滑块701与第一弧形轨道703配合，第二挂板603的一端与安装底座601相连接，另一端通过第二弧形滑块702与所述第二弧形轨道704配合。

基于此，在第一驱动组件10和第二驱动组件20驱动摇摆支架301做摇摆运动时，第一挂板602通过第一弧形滑块在第一弧形轨道703中做往复运动，第二挂板603通过第二滑块在第二弧形轨道704中做往复运动。

具体的，上述第一弧形轨道703与第一滑块保持同心，第二弧形轨道704与第二滑块保持同心。在摇摆支架301摆动时，第一驱动件101和第二驱动件201的转动方向相反，减速机降低转速输出扭矩带动套筒和丝母发生转动，使两侧的丝杠正反转实现上下移动，套筒和丝母固连在固定支架上，丝杠相对于丝母上下滑动，第一转动头501和第二转动头503均在摇摆支架301上形成转动改变丝杠与摇摆支架301之间的夹角。通过第一驱动件101和第二驱动件201带动两侧丝杠的相对伸缩，对弧形滑轨和弧形滑块进行导向，实现摇摆支架301的往复摇摆，进而实现待切割工件401的往复摇摆。

在一些可能的实现方式中，上述摇摆连接组件30还包括设置在摇摆支架301内的至少一个夹紧结构。摇摆支架301的底部设置有夹紧卡槽，待切割工件401通过夹紧卡槽与所述摇摆支架301相固定。每个夹紧结构包括夹紧气缸302、夹紧顶头303、至少一个弹性件304以及至少一个提拉头；夹紧气缸302固定在摇摆支架301的内壁上，夹紧气缸302的输出端与夹紧顶头303相连接，每个提拉头通过夹紧卡槽上相应的第一通孔和摇摆支架301底部相应的第二通孔与夹紧顶头303相配合，所述弹性件304位于相应夹紧顶头303和相应提拉头之间。

具体的，上述提拉头处于摇摆支架301的外部下方，与夹紧顶头303通过螺栓连接。夹紧顶头303位于摇摆支架301内部，夹紧顶头303的两个接触圆台位于摇摆支架301底板的四个孔内，夹紧顶头303的接触圆台直径大于提拉头的小头直径。在摇摆支架301底板的四个孔内，还设置有位于提拉头和夹紧顶头303的之间弹性件304。夹紧顶头303的上方设置有夹紧气缸302，为夹紧机构松开提供动力。

更进一步的，切割机构还包括承托件402，承托件的第一侧卡设在夹紧卡槽中，具有与提拉头相配合的结构，以保证承托件推入卡设进夹紧卡槽后不会掉落。承托件的第二侧与所述待切割工件401固定连接。具体的，摇摆连接组件30还包括工件垫板403，工件垫板403固连在承托件402的下端，通过胶水与承托板402进行连接，待切割工件401通过胶水粘接在工件垫板403的下端。

在实际的夹紧过程中，夹紧机构松开，夹紧气缸302的顶杆推出时，夹紧气缸302推动夹紧顶头303向下运动，从而带动提拉头和夹持卡槽远离，弹性件304被压紧。当承托板402被放入夹紧卡槽中时，夹紧气缸302不工作，夹紧气缸302的顶杆退回，弹性件304松开，夹紧顶头303向上运动，带动提拉头和夹紧卡槽接近，承托板402上升，紧靠在夹持机构的内壁上沿。

所述切割机构还包括位于所述第一弧形滑块701的两侧的第一传感器705，位于所述第一弧形轨道703两侧的第二传感器707；其中，所述第一传感器705和所述第二传感器707均与所述控制器通信。

在具体的过程中，在第一弧形滑块701沿着第一弧形轨道703运动的过程中，当第一弧形滑块701运动至第一弧形轨道703的一侧时，第一传感器705和第二传感器707之间形成相对的位置关系，第一传感器705和第二传感器707可以进行信号的传输，此时，说明第一驱动组件10已驱动第一弧形滑块701至极限位置，此时，控制器控制第一驱动组件10，以改边第一驱动组件10的驱动方向，以实现待切割工件401的摇摆切割。

所述切割机构还包括位于所述第二弧形滑块702的两侧的第二传感器706，位于所述第二弧形轨道704两侧的第四传感器708；其中，所述第二传感器706和所述第四传感器708均与所述控制器通信。

在具体的过程中，在第二弧形滑块702沿着第二弧形轨道704运动的过程中，当第二弧形滑块702运动至第二弧形轨道704的一侧时，第二传感器706和第四传感器708之间形成相对的位置关系，第二传感器706和所述第四传感器708可以进行信号的传输，此时，控制器控制第二驱动组件20，以改边第二驱动组件20的驱动方向，以实现待切割工件401的摇摆切割。

第一安装板604上设置有第一安装孔和第二安装孔，该第一安装孔和第二安装孔位于第一弧形轨道703的两侧，用于安装上述第二传感器707。

第二安装板上设置有第三安装孔和第四安装孔，该第三安装孔和第四安装孔位于第二弧形轨道704的两侧，用于安装上述第四传感器708。

在实际的应用中，本实用新型提供的切割机构的使用方法包括，通过两侧电机分别带动丝杠正反转，一侧丝母在丝杆向上运动，另一侧丝母同时在丝杆上向下运动，带动摇摆支架301的摆动，带动待切割工件401在线网平行方向上进行圆弧摆动。其中，摇摆支架301带动待切割工件401的摇摆角度为0～±20°，摆动周期为0～60s。在进刀时，可使用较小的摇摆角度与较长的摇摆周期，同时摇摆方向可与线网前进方向相反，在切割中期摇摆角度可适当增加，减小摇摆周期，提高切割效率，增加切割液冲刷线缝与切割线频率；在出刀时，逐渐减小摇摆角度增长周期并最终变为不摇摆，实现出刀。在进给的同时进行摇摆切割，可减少硅棒与线网的接触长度，增加线网对硅棒的正压力，同时在硅棒摇摆后可增强切割液进入线缝的能力，在线网与硅棒分离的一侧切割液能冲刷切缝，提升切割进入硅棒的距离，提升润滑与冷却效，并且切割液会冲刷掉切割线上包覆的硅泥，提升排屑能力，对大硅片切割尤其具有好处。

在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种切割机构，其特征在于，包括第一驱动组件、第二驱动组件以及摇摆连接组件；

所述第一驱动组件与所述摇摆连接组件的一侧驱动连接，用于向所述摇摆连接组件的一侧提供第一驱动力；所述第二驱动组件与所述摇摆连接组件的另一侧驱动连接，用于向所述所述摇摆连接组件的另一侧提供第二驱动力；其中，所述第一驱动力和所述第二驱动力为相反方向的驱动力；

待切割工件安装在所述摇摆连接组件上，在所述第一驱动力和所述第二驱动力的驱动下，所述待切割工件做摇摆运动。

2.根据权利要求1所述的切割机构，其特征在于，所述第一驱动组件包括第一驱动件、以及与所述第一驱动件驱动连接的第一传动组件；所述第一传动组件与所述摇摆连接组件的一侧连接；

所述第二驱动组件包括第二驱动件、以及与所述第二驱动件驱动连接的第二传动组件；所述第二传动组件与所述摇摆连接组件的另一侧连接。

3.根据权利要求2所述的切割机构，其特征在于，所述第一传动组件包括第一旋转件和第一直线传动件；

所述第一驱动组件还包括第一减速件，所述第一驱动件的输出端与所述第一减速件的输入端驱动连接，所述第一减速件的输出端与所述第一旋转件驱动连接，用于驱动所述第一旋转件转动；

所述第一直线传动件与所述第一旋转件相配合，当所述第一旋转件转动时，所述第一直线传动件沿与所述所述第一旋转件的轴向平行的方向做第一直线运动；

所述第二传动组件包括第二旋转件和第二直线传动件；

所述第二驱动组件还包括第二减速件，所述第二驱动件的输出端与所述第二减速件的输入端驱动连接，所述第二减速件的输出端与所述第二旋转件连接，用于驱动所述第二旋转件转动；

所述第二直线传动件与所述第二旋转件相配合，当所述第二旋转件转动时，所述第二直线传动件沿与所述第二旋转件的轴向平行的方向做第二直线运动；

其中，所述第一直线运动和所述第二直线运动的运动方向相反。

4.根据权利要求3所述的切割机构，其特征在于，所述第一旋转件为丝母，所述第一直线传动件为丝杠，所述第一传动组件还包括第一套筒，所述第一驱动组件还包括第一联轴器；

所述第一减速件的输出端通过所述第一联轴器与所述第一套筒驱动连接，所述第一旋转件固定在所述第一套筒内，所述第一旋转件与所述第一直线传动件相配合；

所述第二旋转件为丝母，所述第二直线传动件为丝杠，所述第二传动组件还包括第二套筒，所述第二驱动组件还包括第二联轴器；

所述第二减速件的输出端通过所述第二联轴器与所述第二套筒驱动连接，所述第二旋转件固定在所述套筒内，所述第二旋转件与所述第二直线传动件相配合。

5.根据权利要求4所述的切割机构，其特征在于，所述切割机构还包括安装底座、固定在所述安装底座上的第一固定支架和第二固定支架、与所述第一固定支架转动连接的第一转动头以及与所述第二固定支架转动连接的第二转动头；

所述第一套筒通过转动轴承设置在所述第一转动头内，所述第二套筒通过转动轴承设置在所述第二转动头内。

6.根据权利要求1-5任一项所述的切割机构，其特征在于，所述摇摆连接组件包括摇摆支架，所述切割机构还包括安装底座；所述摇摆支架具有相对的第一侧和第二侧；

所述第一驱动组件固定在所述安装底座上，且所述第一驱动组件的输出端与所述第一侧相连接，用于向所述第一侧提供第一驱动力，所述第二驱动组件固定在所述安装底座上，且所述第二驱动组件的输出端与所述第二侧相连接，用于向所述第二侧提供第二驱动力；

所述待切割工件与所述摇摆支架相连接，用于在所述第一驱动力和所述第二驱动力的驱动下做摇摆运动。

7.根据权利要求6所述的切割机构，其特征在于，所述摇摆支架还具有相对的第三侧和第四侧；所述摇摆连接组件还包括安装在所述摇摆支架第三侧的第一安装板，安装在所述摇摆支架第四侧的第二安装板；

所述第一安装板上具有第一弧形轨道，所述第二安装板上具有第二弧形轨道；

所述切割机构还包括第一挂板、第二挂板、第一弧形滑块和第二弧形滑块；所述第一挂板的一端与所述安装底座相连接，另一端通过所述第一弧形滑块与所述第一弧形轨道配合，所述第二挂板的一端与所述安装底座相连接，另一端通过所述第二弧形滑块与所述第二弧形轨道配合。

8.根据权利要求7所述的切割机构，其特征在于，所述切割机构该包括控制器，所述切割机构还包括位于所述第一弧形滑块的两侧的第一传感器，位于所述第一弧形轨道两侧的第二传感器，位于所述第二弧形滑块的两侧的第三传感器，以及位于所述第二弧形轨道两侧的第四传感器；

其中，所述第一传感器、所述第二传感器、所述第三传感器和所述第四传感器均与所述控制器通信。

9.根据权利要求6所述的切割机构，其特征在于，所述切割机构还包括固定在所述摇摆支架的第一侧上的第三固定支架，固定在所述摇摆支架的第二侧第四固定支架、与所述第三固定支架转动连接的第三转动头以及与所述第四固定支架转动连接的第四转动头；

所述第一驱动组件的输出端通过转动轴承设置在所述第三转动头中，所述第二驱动组件的输出端通过转动轴承设置在所述第四转动头中。

10.根据权利要求6所述的切割机构，其特征在于，所述摇摆连接组件还包括设置在所述摇摆支架内的至少一个夹紧结构；所述摇摆支架的底部设置有夹紧卡槽，所述待切割工件通过所述夹紧卡槽与所述摇摆支架相固定；

每个所述夹紧结构包括夹紧气缸、夹紧顶头、至少一个弹性件以及至少一个提拉头；

所述夹紧气缸固定在所述摇摆支架的内壁上，所述夹紧气缸的输出端与所述夹紧顶头相连接，每个所述提拉头通过所述夹紧卡槽上相应的第一通孔和所述摇摆支架底部相应的第二通孔与所述夹紧顶头相配合，所述弹性件位于相应所述夹紧顶头和相应所述提拉头之间；

所述切割机构还包括承托件，所述承托件的第一侧卡设在所述夹紧卡槽中，具有与所述提拉头相配合的结构，所述承托件的第二侧与所述待切割工件固定连接。

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