CN216404099U - 废光致抗蚀剂再生利用装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种废光致抗蚀剂再生利用装置，包括依次相连的剥离装置、膜分离器、蒸馏罐、浓度调和罐和输出罐；所述浓度调和罐的输入端分别通过对应阀门连接有机溶剂罐、烷胺醇贮存槽和原料罐；所述剥离装置包括剥离槽和至少一个过滤器；所述剥离槽通过阀门和管路配合后与过滤器形成循环回路，剥离槽的过滤液输出口连接至剥离装置的输入口。本实用新型可以实现光致抗蚀剂再生利用，降低了企业生产成本，减少大量废液所造成的环境污染。
Description
技术领域
本实用新型涉及回收并再利用废光致抗蚀剂技术领域，特别涉及一种废光致抗蚀剂再生利用装置。
背景技术
干膜光致抗蚀剂在1958年由美国的杜邦公司以“RISTON”的商品名开发出来以来，成为用于现在的电气、电子产业，尤其是印刷电路板等的加工的重要材料。
光致抗蚀剂在半导体工艺中扮演着重要角色，一般采用光刻法在半导体器件中形成线路。各种类型的光致抗蚀剂是近年来发展的重点。然而，新发展的厚层光致抗蚀剂价格高昂，导致企业生产成本提高，同时工艺中产生的光致抗蚀剂废液在后续处理中也是一大难题。如果能回收光致抗蚀剂废液并使其再生利用，将能有效降低成本并减少废液可能造成的污染问题。
发明内容
本实用新型的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种可降低生产成本，减少大量废液所造成的环境污染的废光致抗蚀剂再生利用装置。
实现本实用新型目的的技术方案是：一种废光致抗蚀剂再生利用装置，包括依次相连的剥离装置、膜分离器、蒸馏罐、浓度调和罐和输出罐；所述浓度调和罐的输入端分别通过对应阀门连接有机溶剂罐、烷胺醇贮存槽和原料罐；所述剥离装置包括剥离槽和至少一个过滤器；所述剥离槽通过阀门和管路配合后与过滤器形成循环回路，剥离槽的过滤液输出口连接至剥离装置的输入口。
上述技术方案所述蒸馏罐上连接有减压装置。
上述技术方案所述浓度调和罐和输出罐之间连接有分光光度计。
上述技术方案所述浓度调和罐和输出罐之间连接有粘度计。
上述技术方案所述贮存槽和膜分离器之间连接有泵、阀门和流量计中的一种或多种。
上述技术方案所述膜分离器和蒸馏罐之间连接有阀门。
上述技术方案所述膜分离器包括外壳和膜管；所述膜管均轴向阵列在外壳内，膜管的管壁上具有过滤孔，且内壁上具有NF膜。
上述技术方案所述外壳的下端圆周面上具有咬合齿；所述咬合齿通过啮合齿轮与驱动电机相连。
采用上述技术方案后，本实用新型具有以下积极的效果：
(1)本实用新型可以实现光致抗蚀剂再生利用，降低了企业生产成本，减少大量废液所造成的环境污染。
(2)本实用新型的膜管可以通过驱动电机轴向进行匀速转动，在转动时会产生离心力，可以加快水分透过膜体的速率，帮助原液与水分完成分离操作。
(3)本实用新型的蒸馏罐和减压装置的配合是利用减压浓缩的原理将废光致抗蚀剂溶液中的清洗溶剂抽离。
(4)本实用新型的分光光度计和粘度计的使用，可以实时检测当前获得的再生光致抗蚀剂是否可在工艺中达到目标膜厚。
附图说明
为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的膜分离器的结构示意图；
图3为图2的局部放大示意图。
具体实施方式
见图1、图2和图3，本实用新型具有依次相连的剥离装置1、膜分离器2、蒸馏罐3、浓度调和罐4和输出罐5；浓度调和罐4的输入端分别通过对应阀门连接有机溶剂罐6、烷胺醇贮存槽7和原料罐8；剥离装置1包括剥离槽10和至少一个过滤器9；剥离槽10通过阀门和管路配合后与过滤器9形成循环回路，剥离槽10的过滤液输出口连接至剥离装置1的输入口；蒸馏罐3上连接有减压装置11，利用减压浓缩的原理将废光致抗蚀剂溶液中的清洗溶剂抽离。
浓度调和罐4和输出罐5之间连接有分光光度计13和粘度计14，可以实时检测当前获得的再生光致抗蚀剂是否可在工艺中达到目标膜厚。
贮存槽12和膜分离器2之间连接有泵、阀门和流量计，可以控制从贮存槽流向膜分离器2的速度和流量，同时可以通过泵的开闭实现间歇式操作；膜分离器2和蒸馏罐3之间连接有阀门，可以控制从膜分离器2流向蒸馏器的速度和流量。
膜分离器2包括外壳15和膜管16；膜管16均轴向阵列在外壳15内，膜管16的管壁上具有过滤孔17，且内壁上具有NF膜18，膜管16与外壳15之间形成分离腔，外壳15的底部开设有分离液出口；外壳15的下端圆周面上具有咬合齿19；咬合齿19通过啮合齿轮20与驱动电机21相连，膜管16可以通过驱动电机21轴向进行匀速转动，在转动时会产生离心力，可以加快水分透过膜体的速率，帮助原液与水分完成分离操作，水分进入分离腔中。
对剥离的光致抗蚀剂进行蒸馏和膜分离操作，改变浓度，同时加入有机溶剂、烷胺醇和光致抗蚀剂原料进行成品的浓度调整。
以上的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种废光致抗蚀剂再生利用装置，其特征在于：包括依次相连的剥离装置、膜分离器、蒸馏罐、浓度调和罐和输出罐；所述浓度调和罐的输入端分别通过对应阀门连接有机溶剂罐、烷胺醇贮存槽和原料罐；所述剥离装置包括剥离槽和至少一个过滤器；所述剥离槽通过阀门和管路配合后与过滤器形成循环回路，剥离槽的过滤液输出口连接至剥离装置的输入口。
2.根据权利要求1所述的废光致抗蚀剂再生利用装置，其特征在于：所述蒸馏罐上连接有减压装置。
3.根据权利要求1所述的废光致抗蚀剂再生利用装置，其特征在于：所述浓度调和罐和输出罐之间连接有分光光度计。
4.根据权利要求1至3任一所述的废光致抗蚀剂再生利用装置，其特征在于：所述浓度调和罐和输出罐之间连接有粘度计。
5.根据权利要求4所述的废光致抗蚀剂再生利用装置，其特征在于：所述贮存槽和膜分离器之间连接有泵、阀门和流量计中的一种或多种。
6.根据权利要求4所述的废光致抗蚀剂再生利用装置，其特征在于：所述膜分离器和蒸馏罐之间连接有阀门。
7.根据权利要求1所述的废光致抗蚀剂再生利用装置，其特征在于：所述膜分离器包括外壳和膜管；所述膜管均轴向阵列在外壳内，膜管的管壁上具有过滤孔，且内壁上具有NF膜。
8.根据权利要求7所述的废光致抗蚀剂再生利用装置，其特征在于：所述外壳的下端圆周面上具有咬合齿；所述咬合齿通过啮合齿轮与驱动电机相连。
Priority Applications (1)
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| CN202122181083.7U CN216404099U (zh) | 2021-09-09 | 2021-09-09 | 废光致抗蚀剂再生利用装置 |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN216404099U true CN216404099U (zh) | 2022-04-29 |
Family
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Family Applications (1)
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| CN202122181083.7U Active CN216404099U (zh) | 2021-09-09 | 2021-09-09 | 废光致抗蚀剂再生利用装置 |
Country Status (1)
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2021
- 2021-09-09 CN CN202122181083.7U patent/CN216404099U/zh active Active
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