CN216357708U - 一种具有调节结构的中频磁控溅射电源 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有调节结构的中频磁控溅射电源，包括电源主体和插接机构，用于散热安装的所述电源主体侧端面安装有用于插接防尘的插接机构，所述插接机构包括侧板、框架、插口、滑轨、滑动座、顶簧、正斜楔和第一滑块，所述侧板右侧端面固定安装有框架。解决现有的用于中频磁控溅射电源连接结构大都依靠插头上的插片或者插针与插座上的插槽紧配，然而因没有保护措施，灰尘进入插口易导致插座接触不良的技术问题，提供一种具有调节结构的中频磁控溅射电源，解决闲置状态时箱体侧面开设的散热条易吸附灰尘杂质进入箱体的弊端，通过简便的操作即可实现闲置状态下散热条的密闭防尘，此外优化插口对接处的防尘结构，适用性更强。

Description

一种具有调节结构的中频磁控溅射电源

技术领域

本实用新型涉及中频磁控溅射电源技术领域，具体为一种具有调节结构的中频磁控溅射电源。

背景技术

中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出，电源输出频率设为典型的中频溅射电源以两个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒，特别适用于反应膜层环境使用。

现有的中频磁控溅射电源设备，常见问题有：现有的用于中频磁控溅射电源连接结构大都依靠插头上的插片或者插针与插座上的插槽紧配，然而因没有保护措施，在闲置时，灰尘进入插口易导致插座接触不良。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有调节结构的中频磁控溅射电源，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：包括电源主体和插接机构，用于散热安装的所述电源主体侧端面安装有用于插接防尘的插接机构，所述插接机构包括侧板、框架、插口、滑轨、滑动座、顶簧、正斜楔和第一滑块，所述侧板右侧端面固定安装有框架，且框架右下拐角处设置有插口，所述侧板外侧固定安装有滑轨，且滑轨内部滑动安装有滑动座，所述滑动座底部连接有顶簧，且滑动座通过顶簧与框架构成弹性连接，所述滑动座右侧顶部端面固定安装有正斜楔，且正斜楔顶部滑动安装有第一滑块。

优选的，所述插接机构还包括活动杆、从动框和插头，所述第一滑块右侧连接有活动杆，且活动杆贯穿框架与右侧端面从动框相连接，所述从动框底部设置有插头，且插头与插口形状相契合。

优选的，所述插接机构还包括反斜楔、第二滑块、顶杆和保护框，所述滑动座右侧底部端面固定安装有反斜楔，且正斜楔与反斜楔以滑轨中点为对称中心轴对称分布，所述反斜楔顶部滑动安装有第二滑块，且第二滑块右侧连接有顶杆，所述顶杆贯穿框架与右侧端面保护框相连接，且保护框覆盖于从动框外部。

优选的，所述电源主体包括箱体、轨道、散热条和PCB板，所述箱体上下两端对称安装有轨道，且箱体正面开设有数处散热条，所述箱体内部设置有PCB板，且插头通过插口与PCB板构成电性连接。

优选的，所述电源主体还包括盖板、插孔和螺栓，所述箱体顶部安装有盖板，且盖板对应箱体四处拐角处均开设有插孔，所述插孔内部设置有螺栓，且盖板通过螺栓与箱体构成可拆卸连接。

优选的，所述箱体正面中部安装有用于控制开合的保护机构，所述保护机构包括握把、凸键和套筒，所述握把表面附着有凸键，且握把固定安装于箱体正面中部，所述握把左右两侧对称安装有套筒，且套筒内部中空与握把内腔相连通。

优选的，所述保护机构还包括转柄、齿板、同步杆和挡板，所述握把中部转动安装有转柄，且转柄左右两端啮合安装有齿板，所述齿板输出端连接有同步杆，且同步杆贯穿套筒内部与顶部挡板相连接，所述挡板滑动安装于轨道内部。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：解决现有的用于中频磁控溅射电源连接结构大都依靠插头上的插片或者插针与插座上的插槽紧配，然而因没有保护措施，灰尘进入插口易导致插座接触不良的技术问题，提供一种具有调节结构的中频磁控溅射电源，解决闲置状态时箱体侧面开设的散热条易吸附灰尘杂质进入箱体的弊端，通过简便的操作即可实现闲置状态下散热条的密闭防尘，此外优化插口对接处的防尘结构，适用性更强。

1.本实用新型通过电源主体的设置，电源主体结构简单，箱体内部设置有用于电源输出频率控制的PCB板，使用者通过旋转螺栓，使得盖板与箱体顶部定位开孔处完成精准合并，此后使用者通过手持保护机构的握把，在其表面凸键的防滑作用下实现电源主体的自由移动，根据实际使用需求移动至指定工作位置，适用性更强；

2.本实用新型通过插接机构的设置，为解决电源主体因没有保护措施，灰尘进入插口易导致插座接触不良的技术问题，通过插接机构的设置，使用者将插头通过从动框底部插入框架右下拐角的插口内与PCB板构成电性连接，插头经由从动框驱使活动杆伸入框架内部，活动杆输出端第一滑块经由正斜楔向滑动座施加纵向力，滑动座纵向下降的同时第一滑块位于正斜楔端面滑动，活动杆继续伸入便于插头的插接，此时正斜楔顶部轴对称安装的反斜楔斜面由低至高，使得反斜楔顶部第二滑块同步上升，第二滑块通过顶杆贯穿于框架并与保护框相连接，从动框在插头压迫下伸入的同时保护框突出框架实现对从动框底部插头区域的全覆盖，使得在插接状态下插头与抽口区域始终处于保护框的覆盖保护下，避免野外环境下灰尘碎石进入插口导致插座接触不良的弊端；

3.本实用新型通过保护机构的设置，现有中频磁控溅射电源具有一定的通风环境要求，而为了追求足够的散热效果，往往在电源主体的箱体上开设有大面积的散热条，这就使得电源主体在闲置时缺少对外界灰尘杂质的防护，使用者通过转动握把中端的转柄，在转板输出端与两侧齿板的啮合作用下驱使两侧同步杆进行同步收纳回退至套筒内，同步杆位于套筒外部连接的挡板滑动安装于箱体正面两端的轨道内，在转柄对齿板的传动下，挡板位于轨道内滑动合拢，实现闲置状态下散热条的密闭，避免外界灰尘杂物进入箱体内污染PCB板。

附图说明

图1为本实用新型电源主体正视结构示意图；

图2为本实用新型插接机构正视结构示意图；

图3为本实用新型保护机构正视结构示意图。

图中：1、电源主体；101、箱体；102、轨道；103、散热条；104、PCB板；105、盖板；106、插孔；107、螺栓；2、插接机构；201、侧板；202、框架；203、插口；204、滑轨；205、滑动座；206、顶簧；207、正斜楔；208、第一滑块；209、活动杆；210、从动框；211、插头；212、反斜楔；213、第二滑块；214、顶杆；215、保护框；3、保护机构；301、握把；302、凸键；303、套筒；304、转柄；305、齿板；306、同步杆；307、挡板。

具体实施方式

如图1所示，一种具有调节结构的中频磁控溅射电源，电源主体1包括箱体101、轨道102、散热条103和PCB板104，箱体101上下两端对称安装有轨道102，且箱体101正面开设有数处散热条103，箱体101内部设置有PCB板104，且插头211通过插口203与PCB板104构成电性连接，电源主体1还包括盖板105、插孔106和螺栓107，箱体101顶部安装有盖板105，且盖板105对应箱体101四处拐角处均开设有插孔106，电源主体1结构简单，箱体101内部设置有用于电源输出频率控制的PCB板104，使用者通过旋转螺栓107，使得盖板105与箱体101顶部定位开孔处完成精准合并，插孔106内部设置有螺栓107，且盖板105通过螺栓107与箱体101构成可拆卸连接。

如图2所示，用于散热安装的电源主体1侧端面安装有用于插接防尘的插接机构2，插接机构2包括侧板201、框架202、插口203、滑轨204、滑动座205、顶簧206、正斜楔207和第一滑块208，侧板201右侧端面固定安装有框架202，且框架202右下拐角处设置有插口203，侧板201外侧固定安装有滑轨204，且滑轨204内部滑动安装有滑动座205，滑动座205底部连接有顶簧206，且滑动座205通过顶簧206与框架202构成弹性连接，滑动座205右侧顶部端面固定安装有正斜楔207，且正斜楔207顶部滑动安装有第一滑块208，插头211经由从动框210驱使活动杆209伸入框架202内部，活动杆209输出端第一滑块208经由正斜楔207向滑动座205施加纵向力，滑动座205位于侧板201内部滑轨204内纵向下降的同时第一滑块208位于正斜楔207端面滑动，活动杆209继续伸入便于插头211的插接，插接机构2还包括活动杆209、从动框210和插头211，第一滑块208右侧连接有活动杆209，且活动杆209贯穿框架202与右侧端面从动框210相连接，从动框210底部设置有插头211，且插头211与插口203形状相契合，为解决电源主体1因没有保护措施，灰尘进入插口203易导致插座接触不良的技术问题，通过插接机构2的设置，使用者将插头211通过从动框210底部插入框架202右下拐角的插口203内与PCB板104构成电性连接，插接机构2还包括反斜楔212、第二滑块213、顶杆214和保护框215，滑动座205右侧底部端面固定安装有反斜楔212，且正斜楔207与反斜楔212以滑轨204中点为对称中心轴对称分布，反斜楔212顶部滑动安装有第二滑块213，且第二滑块213右侧连接有顶杆214，顶杆214贯穿框架202与右侧端面保护框215相连接，且保护框215覆盖于从动框210外部，正斜楔顶207部轴对称安装的反斜楔212斜面由低至高，使得反斜楔212顶部第二滑块213同步上升，第二滑块213通过顶杆214贯穿于框架202并与保护框215相连接，从动框210在插头211压迫下伸入的同时保护框215突出框架202实现对从动框210底部插口203区域的全覆盖，使得在插接状态下插头211与插口203区域始终处于保护框215的覆盖保护下，避免野外环境下灰尘碎石进入插口203导致插座接触不良的弊端。

如图3所示，箱体101正面中部安装有用于控制开合的保护机构3，保护机构3包括握把301、凸键302和套筒303，握把301表面附着有凸键302，且握把301固定安装于箱体101正面中部，此后使用者通过手持保护机构3的握把301，在其表面凸键302的防滑作用下实现电源主体1的自由移动，根据实际使用需求移动至指定工作位置，适用性更强，握把301左右两侧对称安装有套筒303，且套筒303内部中空与握把301内腔相连通，保护机构3还包括转柄304、齿板305、同步杆306和挡板307，握把301中部转动安装有转柄304，且转柄304左右两端啮合安装有齿板305，齿板305输出端连接有同步杆306，且同步杆306贯穿套筒303内部与顶部挡板307相连接，挡板307滑动安装于轨道102内部，使用者通过转动握把301中端的转柄304，在转柄304输出端与两侧齿板305的啮合作用下驱使两侧同步杆306进行同步收纳回退至套筒303内，同步杆306位于套筒303外部连接的挡板307滑动安装于箱体101正面两端的轨道102内，在转柄304对齿板305的传动下，挡板307位于轨道102内滑动合拢，实现闲置状态下散热条103的密闭，避免外界灰尘杂物进入箱体101内污染PCB板104。

工作原理：在使用该一种具有调节结构的中频磁控溅射电源时，电源主体1结构简单，箱体101内部设置有用于电源输出频率控制的PCB板104，使用者通过旋转螺栓107，使得盖板105与箱体101顶部定位开孔处完成精准合并，此后使用者通过手持保护机构3的握把301，在其表面凸键302的防滑作用下实现电源主体1的自由移动，根据实际使用需求移动至指定工作位置，适用性更强，为解决电源主体1因没有保护措施，灰尘进入插口203易导致插座接触不良的技术问题，通过插接机构2的设置，使用者将插头211通过从动框210底部插入框架202右下拐角的插口203内与PCB板104构成电性连接，插头211经由从动框210驱使活动杆209伸入框架202内部，活动杆209输出端第一滑块208经由正斜楔207向滑动座205施加纵向力，滑动座205位于侧板201内部滑轨204内纵向下降的同时第一滑块208位于正斜楔207端面滑动，活动杆209继续伸入便于插头211的插接，此时正斜楔顶207部轴对称安装的反斜楔212斜面由低至高，使得反斜楔212顶部第二滑块213同步上升，第二滑块213通过顶杆214贯穿于框架202并与保护框215相连接，从动框210在插头211压迫下伸入的同时保护框215突出框架202实现对从动框210底部插口203区域的全覆盖，使得在插接状态下插头211与插口203区域始终处于保护框215的覆盖保护下，避免野外环境下灰尘碎石进入插口203导致插座接触不良的弊端，现有中频磁控溅射电源具有一定的通风环境要求，而为了追求足够的散热效果，往往在电源主体1的箱体101上开设有大面积的散热条103，这就使得电源主体1在闲置时缺少对外界灰尘杂质的防护，使用者通过转动握把301中端的转柄304，在转柄304输出端与两侧齿板305的啮合作用下驱使两侧同步杆306进行同步收纳回退至套筒303内，同步杆306位于套筒303外部连接的挡板307滑动安装于箱体101正面两端的轨道102内，在转柄304对齿板305的传动下，挡板307位于轨道102内滑动合拢，实现闲置状态下散热条103的密闭，避免外界灰尘杂物进入箱体101内污染PCB板104。

Claims (7)

1.一种具有调节结构的中频磁控溅射电源，包括电源主体(1)和插接机构(2)，其特征在于，用于散热安装的所述电源主体(1)侧端面安装有用于插接防尘的插接机构(2)，所述插接机构(2)包括侧板(201)、框架(202)、插口(203)、滑轨(204)、滑动座(205)、顶簧(206)、正斜楔(207)和第一滑块(208)，所述侧板(201)右侧端面固定安装有框架(202)，且框架(202)右下拐角处设置有插口(203)，所述侧板(201)外侧固定安装有滑轨(204)，且滑轨(204)内部滑动安装有滑动座(205)，所述滑动座(205)底部连接有顶簧(206)，且滑动座(205)通过顶簧(206)与框架(202)构成弹性连接，所述滑动座(205)右侧顶部端面固定安装有正斜楔(207)，且正斜楔(207)顶部滑动安装有第一滑块(208)。

2.根据权利要求1所述的一种具有调节结构的中频磁控溅射电源，其特征在于，所述插接机构(2)还包括活动杆(209)、从动框(210)和插头(211)，所述第一滑块(208)右侧连接有活动杆(209)，且活动杆(209)贯穿框架(202)与右侧端面从动框(210)相连接，所述从动框(210)底部设置有插头(211)，且插头(211)与插口(203)形状相契合。

3.根据权利要求1所述的一种具有调节结构的中频磁控溅射电源，其特征在于，所述插接机构(2)还包括反斜楔(212)、第二滑块(213)、顶杆(214)和保护框(215)，所述滑动座(205)右侧底部端面固定安装有反斜楔(212)，且正斜楔(207)与反斜楔(212)以滑轨(204)中点为对称中心轴对称分布，所述反斜楔(212)顶部滑动安装有第二滑块(213)，且第二滑块(213)右侧连接有顶杆(214)，所述顶杆(214)贯穿框架(202)与右侧端面保护框(215)相连接，且保护框(215)覆盖于从动框(210)外部。

4.根据权利要求1所述的一种具有调节结构的中频磁控溅射电源，其特征在于，所述电源主体(1)包括箱体(101)、轨道(102)、散热条(103)和PCB板(104)，所述箱体(101)上下两端对称安装有轨道(102)，且箱体(101)正面开设有数处散热条(103)，所述箱体(101)内部设置有PCB板(104)，且插头(211)通过插口(203)与PCB板(104)构成电性连接。

5.根据权利要求4所述的一种具有调节结构的中频磁控溅射电源，其特征在于，所述电源主体(1)还包括盖板(105)、插孔(106)和螺栓(107)，所述箱体(101)顶部安装有盖板(105)，且盖板(105)对应箱体(101)四处拐角处均开设有插孔(106)，所述插孔(106)内部设置有螺栓(107)，且盖板(105)通过螺栓(107)与箱体(101)构成可拆卸连接。

6.根据权利要求4所述的一种具有调节结构的中频磁控溅射电源，其特征在于，所述箱体(101)正面中部安装有用于控制开合的保护机构(3)，所述保护机构(3)包括握把(301)、凸键(302)和套筒(303)，所述握把(301)表面附着有凸键(302)，且握把(301)固定安装于箱体(101)正面中部，所述握把(301)左右两侧对称安装有套筒(303)，且套筒(303)内部中空与握把(301)内腔相连通。

7.根据权利要求6所述的一种具有调节结构的中频磁控溅射电源，其特征在于，所述保护机构(3)还包括转柄(304)、齿板(305)、同步杆(306)和挡板(307)，所述握把(301)中部转动安装有转柄(304)，且转柄(304)左右两端啮合安装有齿板(305)，所述齿板(305)输出端连接有同步杆(306)，且同步杆(306)贯穿套筒(303)内部与顶部挡板(307)相连接，所述挡板(307)滑动安装于轨道(102)内部。

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