CN216327196U - 一种用于半导体加工的去毛刺装置 - Google Patents
一种用于半导体加工的去毛刺装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN216327196U CN216327196U CN202123161267.3U CN202123161267U CN216327196U CN 216327196 U CN216327196 U CN 216327196U CN 202123161267 U CN202123161267 U CN 202123161267U CN 216327196 U CN216327196 U CN 216327196U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- frame
- fixed
- semiconductor processing
- motor
- deburring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 36
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003245 coal Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- -1 intraocular lenses Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- 230000007306 turnover Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种用于半导体加工的去毛刺装置，包括底框架，所述底框架的上方两侧安装有作业机架，作业机架的上端安装有伺服电机，伺服电机的输出端通过转轴连接有丝杠，丝杠的表面安装有滑动块，所述滑动块的下端安装有驱动气缸，驱动电机的下端通过转动轴连接有打磨轮盘，所述底框架的表面分别安装有活动架和固定架，活动架的底部通过滑动件与底框架表面设置的滑槽相连接，活动架上安装有转动杆，固定架的一侧安装有电动机，电动机的前端通过传动轴连接有固定卡块。本实用新型通过对半导体加工件进行固定夹持和翻转，配合可升降的打磨机构，可对半导体加工件进行全面打磨去毛刺，具备操作简单自动化程度高的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为一种用于半导体加工的去毛刺装置。
背景技术
物质存在的形式多种多样，固体、液体、气体、等离子体等等。我们通常把导电性差的材料，如煤、人工晶体、琥珀、陶瓷等称为绝缘体。而把导电性比较好的金属如金、银、铜、铁、锡、铝等称为导体。可以简单的把介于导体和绝缘体之间的材料称为半导体。与导体和绝缘体相比，半导体材料的发现是最晚的，直到20世纪30年代，当材料的提纯技术改进以后，半导体的存在才真正被学术界认可。
目前的半导体加工的去毛刺装置无法对半导体加工件进行便捷式翻转固定，导致无法对其两面进行充分去毛刺，因此市场需要研制一种新型的用于半导体加工的去毛刺装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种用于半导体加工的去毛刺装置，以解决上述背景技术中提出的目前的半导体加工的去毛刺装置无法对半导体加工件进行便捷式翻转固定，导致无法对其两面进行充分去毛刺的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于半导体加工的去毛刺装置，包括底框架，所述底框架的上方两侧安装有作业机架，作业机架的上端安装有伺服电机，伺服电机的输出端通过转轴连接有丝杠，丝杠的表面安装有滑动块，所述滑动块的下端安装有驱动气缸，驱动气缸的下端通过伸缩杆固定连接有吊架，吊架的内部安装有驱动电机，驱动电机的下端通过转动轴连接有打磨轮盘，所述底框架的表面分别安装有活动架和固定架，活动架的底部通过滑动件与底框架表面设置的滑槽相连接，活动架上安装有转动杆，固定架的一侧安装有电动机，电动机的前端通过传动轴连接有固定卡块。
优选的，所述滑动件的两端设置有限位卡块，限位卡块通过螺丝与滑槽内部相固定。
优选的，所述转动杆与活动架的连接处设置有轴承组件。
优选的，所述转动杆的一端与固定卡块固定连接，固定卡块的内部设置有卡槽。
优选的，所述卡槽的内部设置有半导体加工件，半导体加工件通过紧固螺栓与固定卡块相固定。
优选的，所述滑动块沿丝杠的表面水平滑动。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
(1)活动架的底部通过滑动件与底框架表面设置的滑槽相连接，活动架上安装有转动杆，固定架的一侧安装有电动机，电动机的前端通过传动轴连接有固定卡块，转动杆的一端与固定卡块固定连接，固定卡块的内部设置有卡槽，通过将半导体加工件固定在卡槽内部，利用螺栓对其进行加固，配合转动调节机构，可对半导体加工件进行翻转，方便对其两面进行全面去毛刺作业；
(2)伺服电机的输出端通过转轴连接有丝杠，丝杠的表面安装有滑动块，滑动块的下端安装有驱动气缸，驱动气缸的下端通过伸缩杆固定连接有吊架，吊架的内部安装有驱动电机，驱动电机的下端通过转动轴连接有打磨轮盘，通过安装有伺服电机，可驱动滑动块沿丝杠表面做水平线性运动，同时配合驱动气缸组件，可对打磨机构作业高度进行便捷式调节，方便对打磨轮盘进行精确定位，提高打磨精度。
附图说明
图1为本实用新型的整体主视图；
图2为本实用新型的A处放大结构示意图；
图3为本实用新型的固定卡块内部安装结构示意图。
图中：1、丝杠；2、滑动块；3、伺服电机；4、作业机架；5、轴承组件；6、活动架；7、底框架；8、滑动件；9、限位卡块；10、滑槽；11、转动杆；12、传动轴；13、固定架；14、电动机；15、吊架；16、驱动气缸；17、伸缩杆；18、驱动电机；19、转动轴；20、打磨轮盘；21、固定卡块；22、卡槽；23、紧固螺栓；24、半导体加工件。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
请参阅图1-3，本实用新型提供的一种实施例：一种用于半导体加工的去毛刺装置，包括底框架7，底框架7的上方两侧安装有作业机架4，作业机架4的上端安装有伺服电机3，伺服电机3的输出端通过转轴连接有丝杠1，丝杠1的表面安装有滑动块2，滑动块2的下端安装有驱动气缸16，驱动气缸16的下端通过伸缩杆17固定连接有吊架15，吊架15的内部安装有驱动电机18，驱动电机18的下端通过转动轴19连接有打磨轮盘20，底框架7的表面分别安装有活动架6和固定架13，活动架6的底部通过滑动件8与底框架7表面设置的滑槽10相连接，活动架6上安装有转动杆11，固定架13的一侧安装有电动机14，电动机14的前端通过传动轴12连接有固定卡块21。
进一步，滑动件8的两端设置有限位卡块9，限位卡块9通过螺丝与滑槽10内部相固定。
进一步，转动杆11与活动架6的连接处设置有轴承组件5。
进一步，转动杆11的一端与固定卡块21固定连接，固定卡块21的内部设置有卡槽22。
进一步，卡槽22的内部设置有半导体加工件24，半导体加工件24通过紧固螺栓23与固定卡块21相固定。
进一步，滑动块2沿丝杠1的表面水平滑动。
工作原理：使用时，底框架7的上方两侧安装有作业机架4，作业机架4的上端安装有伺服电机3，伺服电机3的输出端通过转轴连接有丝杠1，丝杠1的表面安装有滑动块2，滑动块2的下端安装有驱动气缸16，驱动气缸16的下端通过伸缩杆17固定连接有吊架15，吊架15的内部安装有驱动电机18，驱动电机18的下端通过转动轴19连接有打磨轮盘20，通过安装有伺服电机3，可驱动滑动块2沿丝杠1表面做水平线性运动，同时配合驱动气缸16组件，可对打磨机构作业高度进行便捷式调节，方便对打磨轮盘20进行精确定位，提高打磨精度，底框架7的表面分别安装有活动架6和固定架13，活动架6的底部通过滑动件8与底框架7表面设置的滑槽10相连接，活动架6上安装有转动杆11，固定架13的一侧安装有电动机14，电动机14的前端通过传动轴12连接有固定卡块21，转动杆11的一端与固定卡块21固定连接，固定卡块21的内部设置有卡槽22，卡槽22的内部设置有半导体加工件24，半导体加工件24通过紧固螺栓23与固定卡块21相固定，通过将半导体加工件24固定在卡槽22内部，利用螺栓对其进行加固，开启电动机14配合转动调节机构，可对半导体加工件24进行翻转，方便对其两面进行全面去毛刺作业。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (6)
1.一种用于半导体加工的去毛刺装置，包括底框架(7)，其特征在于，所述底框架(7)的上方两侧安装有作业机架(4)，作业机架(4)的上端安装有伺服电机(3)，伺服电机(3)的输出端通过转轴连接有丝杠(1)，丝杠(1)的表面安装有滑动块(2)，所述滑动块(2)的下端安装有驱动气缸(16)，驱动气缸(16)的下端通过伸缩杆(17)固定连接有吊架(15)，吊架(15)的内部安装有驱动电机(18)，驱动电机(18)的下端通过转动轴(19)连接有打磨轮盘(20)，所述底框架(7)的表面分别安装有活动架(6)和固定架(13)，活动架(6)的底部通过滑动件(8)与底框架(7)表面设置的滑槽(10)相连接，活动架(6)上安装有转动杆(11)，固定架(13)的一侧安装有电动机(14)，电动机(14)的前端通过传动轴(12)连接有固定卡块(21)。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体加工的去毛刺装置，其特征在于：所述滑动件(8)的两端设置有限位卡块(9)，限位卡块(9)通过螺丝与滑槽(10)内部相固定。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体加工的去毛刺装置，其特征在于：所述转动杆(11)与活动架(6)的连接处设置有轴承组件(5)。
4.根据权利要求1所述的一种用于半导体加工的去毛刺装置，其特征在于：所述转动杆(11)的一端与固定卡块(21)固定连接，固定卡块(21)的内部设置有卡槽(22)。
5.根据权利要求4所述的一种用于半导体加工的去毛刺装置，其特征在于：所述卡槽(22)的内部设置有半导体加工件(24)，半导体加工件(24)通过紧固螺栓(23)与固定卡块(21)相固定。
6.根据权利要求1所述的一种用于半导体加工的去毛刺装置，其特征在于：所述滑动块(2)沿丝杠(1)的表面水平滑动。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202123161267.3U CN216327196U (zh) | 2021-12-15 | 2021-12-15 | 一种用于半导体加工的去毛刺装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202123161267.3U CN216327196U (zh) | 2021-12-15 | 2021-12-15 | 一种用于半导体加工的去毛刺装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN216327196U true CN216327196U (zh) | 2022-04-19 |
Family
ID=81162992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202123161267.3U Expired - Fee Related CN216327196U (zh) | 2021-12-15 | 2021-12-15 | 一种用于半导体加工的去毛刺装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN216327196U (zh) |
-
2021
- 2021-12-15 CN CN202123161267.3U patent/CN216327196U/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN202240906U (zh) | 电火花成形砂轮在线修整装置 | |
| CN116275822B (zh) | 空气悬架支架总成焊接夹具 | |
| CN216327196U (zh) | 一种用于半导体加工的去毛刺装置 | |
| CN109129074B (zh) | 一种双端面磨床 | |
| CN213702721U (zh) | 一种电机带动刀具旋转的调节结构 | |
| CN2855610Y (zh) | 快走丝电火花线切割机床的可调丝架 | |
| CN211304791U (zh) | 一种汽车空调活塞用车外圆设备 | |
| CN111590263B (zh) | 一种焊接加工用变位机 | |
| CN210255205U (zh) | 一种cnc加工中心设备使用的旋转机构 | |
| CN213592334U (zh) | 一种管型吻合器组件调节丝杆生产用固定装置 | |
| CN216542842U (zh) | 一种机械零件的多角度加工夹具 | |
| CN220218171U (zh) | 一种制动踏板加工用夹持装置 | |
| CN221163084U (zh) | 一种汽车天窗装配线装置 | |
| CN219444479U (zh) | 一种铝合金锭生产表面磨光机 | |
| CN220719090U (zh) | 一种方便操作的金属加工夹具 | |
| CN220463047U (zh) | 一种固定工装 | |
| CN221210709U (zh) | 一种机械零件加工工装 | |
| CN212471399U (zh) | 一种水泵转子组装工作台 | |
| CN214109265U (zh) | 一种便于装夹的键盘镭雕定位夹具 | |
| CN112453593B (zh) | 一种汽车零部件加工用可以快速定位的攻丝装置 | |
| CN216882774U (zh) | 一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装 | |
| CN213703091U (zh) | 一种曳引机生产专用的安装固定设备 | |
| CN219598741U (zh) | 一种汽车部件加工的定位调节机构 | |
| CN216264628U (zh) | 一种用于数控立车的多功能夹具 | |
| CN212145427U (zh) | 一种机械加工用定位夹具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20220419 |