CN216210475U - 一种光刻机维修保养环境保护装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种光刻机维修保养环境保护装置，包括防护罩，防护罩围设在光刻机需要维修保养的部位外侧，防护罩包括：四个支撑立柱，四个支撑立柱呈矩形分布，每个支撑立柱的内部竖直地设有导向滑杆，导向滑杆上滑动地套设有滑块；连接单元组，连接单元组设置在支撑立柱的外部，且连接单元组经连接杆与滑块相连接，其中，连接单元组包括呈直角分布的两个连接调节机构；滑动支撑杆，滑动支撑杆的两端分别与相邻两个支撑立柱上相对应的两个连接调节机构相连接，连接调节机构能够锁紧滑动支撑杆，其中，滑动支撑杆上连接有PVC软帘；驱动单元，用于驱动滑块沿导向滑杆上下移动。本实用新型组装简单快速、使用范围广、隔离保护效果好。
Description
技术领域
本实用新型涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种光刻机维修保养环境保护装置。
背景技术
现有技术中，光刻机需要定期进行维修保养，由于光刻机结构复杂、零件多，因此，需要分段进行维修保养，目前，没有合适的装置对维修保养的环境进行隔离保护，导致容易出现安全隐患和零部件丢失。
实用新型内容
基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种组装简单快速、使用范围广、隔离保护效果好的光刻机维修保养环境保护装置。
一种光刻机维修保养环境保护装置，包括防护罩，所述防护罩围设在光刻机需要维修保养的部位外侧，所述防护罩包括：
四个支撑立柱，四个所述支撑立柱呈矩形分布，每个所述支撑立柱的内部竖直地设有导向滑杆，所述导向滑杆上滑动地套设有滑块；
连接单元组，所述连接单元组设置在所述支撑立柱的外部，且所述连接单元组经连接杆与滑块相连接，其中，所述连接单元组包括呈直角分布的两个连接调节机构；
滑动支撑杆，所述滑动支撑杆的两端分别与相邻两个所述支撑立柱上相对应的两个连接调节机构相连接，所述连接调节机构能够锁紧所述滑动支撑杆，其中，所述滑动支撑杆上连接有PVC软帘；
驱动单元，用于驱动所述滑块沿所述导向滑杆上下移动。
在其中一个实施例中，所述连接调节机构包括：
外套筒，所述外套筒的下部与所述连接杆相连接，所述外套筒的中部设有贯穿的螺纹孔；
内套筒，所述内套筒螺纹穿设在所述外套筒的螺纹孔中，所述内套筒的一端开设有锁紧孔，所述滑动支撑杆的一端能够穿设在所述锁紧孔内，所述内套筒的另一端具有旋转块，所述旋转块能够带动所述内套筒旋转，使所述内套筒相对于所述外套筒水平移动。
在其中一个实施例中，所述锁紧孔的内部设有橡胶垫，所述橡胶垫具有弧形凸起，所述弧形凸起凸向所述滑动支撑杆的端部。
在其中一个实施例中，所述驱动单元包括：
第一滑轮，设置在所述支撑立柱的顶部；
第二滑轮，设置在所述支撑立柱的中部；
拉绳，一端固定在所述滑块上，所述拉绳的另一端依次绕过第一滑轮和第二滑轮后缠绕在绕线轮上，所述绕线轮设置在所述支撑立柱的外部。
在其中一个实施例中，所述绕线轮上设有手柄，所述手柄与所述绕线轮的转轴相连接。
在其中一个实施例中，所述PVC软帘的上部间隔地设有多个挂孔，所述滑动支撑杆上滑动地穿设有多个滑动环，所述滑动环经挂钩与所述挂孔相连接。
上述光刻机维修保养环境保护装置，通过四个支撑立柱放置在光刻机需要维修保养的部位外侧，然后，将挂设有PVC软帘的滑动支撑杆穿设到相邻两个所述支撑立柱上相对应的两个连接调节机构中，并通过连接调节机构进行锁紧，最后，通过驱动单元调节滑动支撑杆到合适高度，从而完成防护罩的设置，其组装简单快速、使用范围广、隔离保护效果好。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型的光刻机维修保养环境保护装置的使用状态图；
图2是本实用新型的光刻机维修保养环境保护装置的结构示意图；
图3是本实用新型的连接单元组的结构示意图；
图4是本实用新型的连接单元组的内部结构示意图；
图5是图2在A处的局部放大图。
具体实施方式
为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳的实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
参阅图1-5所示，本实用新型一实施例提供一种光刻机维修保养环境保护装置，其包括防护罩100，所述防护罩100围设在光刻机200需要维修保养的部位外侧，所述防护罩100包括：
四个支撑立柱1，四个所述支撑立柱1呈矩形分布，每个所述支撑立柱1的内部竖直地设有导向滑杆11，所述导向滑杆11上滑动地套设有滑块12；
连接单元组2，所述连接单元组2设置在所述支撑立柱1的外部，且所述连接单元组2经连接杆3与滑块12相连接，其中，所述连接单元组2包括呈直角分布的两个连接调节机构21；
滑动支撑杆4，所述滑动支撑杆4的两端分别与相邻两个所述支撑立柱1上相对应的两个连接调节机构21相连接，所述连接调节机构21能够锁紧所述滑动支撑杆4，其中，所述滑动支撑杆4上连接有PVC软帘5；
驱动单元6，用于驱动所述滑块12沿所述导向滑杆11上下移动。
上述光刻机维修保养环境保护装置，通过四个支撑立柱1放置在光刻机200需要维修保养的部位外侧，然后，将挂设有PVC软帘5的滑动支撑杆4穿设到相邻两个所述支撑立柱1上相对应的两个连接调节机构21中，并通过连接调节机构21进行锁紧，最后，通过驱动单元6调节滑动支撑杆4到合适高度，从而完成防护罩100的设置，其组装简单快速、使用范围广、隔离保护效果好。
在本实用新型一实施例中，所述连接调节机构21包括：
外套筒211，所述外套筒211的下部与所述连接杆3相连接，所述外套筒211的中部设有贯穿的螺纹孔212；
内套筒213，所述内套筒213螺纹穿设在所述外套筒211的螺纹孔212中，所述内套筒213的一端开设有锁紧孔214，所述滑动支撑杆4的一端能够穿设在所述锁紧孔214内，所述内套筒213的另一端具有旋转块215，所述旋转块215能够带动所述内套筒213旋转，使所述内套筒213相对于所述外套筒211水平移动。
本实施例中，通过转动旋转块215，带动内套筒213相对于所述外套筒211水平移动，从而可以使相对应的两个内套筒213相互靠近，以达到锁紧滑动支撑杆4的作用。
可选地，所述锁紧孔214的内部设有橡胶垫216，所述橡胶垫216具有弧形凸起217，所述弧形凸起217凸向所述滑动支撑杆4的端部。如此，可以起到缓冲保护的作用，避免滑动支撑杆4受力过大。
在本实用新型一实施例中，所述驱动单元6包括：
第一滑轮61，设置在所述支撑立柱1的顶部；
第二滑轮62，设置在所述支撑立柱1的中部；
拉绳63，一端固定在所述滑块12上，所述拉绳63的另一端依次绕过第一滑轮61和第二滑轮62后缠绕在绕线轮64上，所述绕线轮64设置在所述支撑立柱1的外部。如此，通过旋转绕线轮64，即可带动滑块12沿导向滑杆11上下滑动。
在本实用新型一实施例中，为了方便旋转绕线轮64，所述绕线轮64上设有手柄65，所述手柄65与所述绕线轮64的转轴相连接。
在本实用新型一实施例中，所述PVC软帘5的上部间隔地设有多个挂孔51，所述滑动支撑杆4上滑动地穿设有多个滑动环7，所述滑动环7经挂钩8与所述挂孔51相连接。如此，方便了PVC软帘5的安装和拆卸，同时，也便于调整PVC软帘5在滑动支撑杆4上的位置。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，但并不能因此而理解为对本申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (6)
1.一种光刻机维修保养环境保护装置，其特征在于，包括防护罩，所述防护罩围设在光刻机需要维修保养的部位外侧，所述防护罩包括：
四个支撑立柱，四个所述支撑立柱呈矩形分布，每个所述支撑立柱的内部竖直地设有导向滑杆，所述导向滑杆上滑动地套设有滑块；
连接单元组，所述连接单元组设置在所述支撑立柱的外部，且所述连接单元组经连接杆与滑块相连接，其中，所述连接单元组包括呈直角分布的两个连接调节机构；
滑动支撑杆，所述滑动支撑杆的两端分别与相邻两个所述支撑立柱上相对应的两个连接调节机构相连接，所述连接调节机构能够锁紧所述滑动支撑杆，其中，所述滑动支撑杆上连接有PVC软帘；
驱动单元，用于驱动所述滑块沿所述导向滑杆上下移动。
2.如权利要求1所述的光刻机维修保养环境保护装置，其特征在于，所述连接调节机构包括：
外套筒，所述外套筒的下部与所述连接杆相连接，所述外套筒的中部设有贯穿的螺纹孔；
内套筒，所述内套筒螺纹穿设在所述外套筒的螺纹孔中，所述内套筒的一端开设有锁紧孔，所述滑动支撑杆的一端能够穿设在所述锁紧孔内，所述内套筒的另一端具有旋转块，所述旋转块能够带动所述内套筒旋转，使所述内套筒相对于所述外套筒水平移动。
3.如权利要求2所述的光刻机维修保养环境保护装置，其特征在于，所述锁紧孔的内部设有橡胶垫，所述橡胶垫具有弧形凸起，所述弧形凸起凸向所述滑动支撑杆的端部。
4.如权利要求1所述的光刻机维修保养环境保护装置，其特征在于，所述驱动单元包括：
第一滑轮，设置在所述支撑立柱的顶部；
第二滑轮，设置在所述支撑立柱的中部；
拉绳，一端固定在所述滑块上，所述拉绳的另一端依次绕过第一滑轮和第二滑轮后缠绕在绕线轮上，所述绕线轮设置在所述支撑立柱的外部。
5.如权利要求4所述的光刻机维修保养环境保护装置，其特征在于，所述绕线轮上设有手柄，所述手柄与所述绕线轮的转轴相连接。
6.如权利要求1所述的光刻机维修保养环境保护装置，其特征在于，所述PVC软帘的上部间隔地设有多个挂孔，所述滑动支撑杆上滑动地穿设有多个滑动环，所述滑动环经挂钩与所述挂孔相连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122604980.4U CN216210475U (zh) | 2021-10-28 | 2021-10-28 | 一种光刻机维修保养环境保护装置 |
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| CN202122604980.4U CN216210475U (zh) | 2021-10-28 | 2021-10-28 | 一种光刻机维修保养环境保护装置 |
Publications (1)
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| CN216210475U true CN216210475U (zh) | 2022-04-05 |
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| CN202122604980.4U Active CN216210475U (zh) | 2021-10-28 | 2021-10-28 | 一种光刻机维修保养环境保护装置 |
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2021
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