CN216210469U - 一种掩膜板甩干装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种掩膜板甩干装置，包括旋转机构，所述旋转机构包括驱动电机、旋转轴以及安装架；所述安装架安装于所述旋转轴上，具有多个围绕所述旋转轴并用于安装工件的安装位；所述驱动电机可通过其输出轴驱动所述安装架围绕着所述旋转轴的轴心方向旋转。本实用新型的掩膜板甩干装置，装置结构简单，运行稳定可靠，甩干效率高；通过驱动电机来驱动安装架围绕着旋转轴的轴心方向旋转，利用安装架旋转时产生离心力，通过离心力使掩膜板和晶片表面粘附残留的液体往外甩干。

Description

一种掩膜板甩干装置

技术领域

本实用新型属于掩膜板清理技术领域，尤其涉及一种掩膜板甩干装置。

背景技术

在真空镀膜过程中，晶片装入掩膜板后，通常需要使用湿法对掩膜板进行清洗，因此需要对清洗后的掩膜板和晶片表面残留的粘附液体进行清除。

而现有技术用于对掩膜板表面残留的粘附液体进行去除的装置主要采用酒精蒸汽方式或者加热氮气吹干方式；其中，采用酒精蒸汽方式时，酒精蒸气对操作员构成危害，同时酒精使用和蒸气排放亦不利环保；而采用加热氮气吹干方式，由于掩膜板是带夹层结构，晶片与掩膜板之间亦存在缝隙，在吹干过程中难以保证掩膜板夹层和缝隙内残留液体被充分有效去除。

实用新型内容

本实用新型的目的在于至少一定程度上解决现有技术中的不足，提供一种掩膜板甩干装置。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种掩膜板甩干装置，包括旋转机构，所述旋转机构包括驱动电机、旋转轴以及安装架，所述安装架安装于所述旋转轴上，具有多个围绕所述旋转轴并用于安装工件的安装位；所述驱动电机可通过其输出轴驱动所述安装架围绕着所述旋转轴的轴心方向旋转。

可选地，所述安装架包括固定圆盘和多个支架，所述固定圆盘与所述旋转轴同轴固定连接，多个所述支架圆周均匀分布的安装在所述固定圆盘上，且每个支架上具有至少一个所述安装位。

可选地，所述输出轴的上端固定在所述固定圆盘的底部，所述旋转轴的下端固定在所述固定圆盘的顶部，且所述输出轴和所述旋转轴处于同一中心轴线上。

可选地，所述支架包括固定条和两个定位条，所述固定条的一端固定连接于所述固定圆盘，另一端沿所述固定圆盘的径向向外延伸，两个所述定位条间隔设置且下端垂直连接于所述固定条上，两个所述定位条的相对内侧分别开设有竖向的导向滑槽以形成所述安装位，以使所述掩膜板可呈竖直状态插入安装到所述安装位中。

可选地，所述固定条在位于两个所述定位条之间的位置开设有定位槽。

可选地，所述安装架还包括环形连接部，各所述固定条的所述另一端连接于所述环形连接部。

可选地，所述掩膜板甩干装置还包括防护盒体，所述防护盒体形成有收容空间，所述驱动电机设于所述防护盒体的底部，所述输出轴穿入至所述收容空间并与所述旋转轴和/或所述旋转架传动连接；所述旋转轴的上端转动安装在一个固定横梁上，所述固定横梁与所述防护盒体固定连接，以使所述安装架可转动地悬置于所述收容空间中。

可选地，所述防护盒体包括本体，所述本体包括底板以及与所述底板垂直连接的多个侧板，所述底板与所述多个侧板共同围成所述收容空间，所述驱动电机固定于所述底板的底面，所述输出轴穿过所述底板进入到所述收容空间内。

可选地，所述防护盒体还包括与其中一个所述侧板顶端转动连接的盖板，所述盖板可在打开状态和盖合状态之间进行转动；当所述盖板位于所述盖合状态时，所述盖板盖设于所述本体的顶端，并覆盖所述收容空间。

本实用新型的掩膜板甩干装置，装置结构简单，运行稳定可靠，甩干效率高；通过驱动电机来驱动安装架围绕着旋转轴的轴心方向旋转，利用安装架旋转时产生离心力，通过离心力使掩膜板和晶片表面粘附残留的液体往外甩干。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型掩膜板甩干装置实施例的结构示意图一；

图2为本实用新型掩膜板甩干装置实施例的结构示意图二；

图3为本实用新型中旋转机构的立体结构示意图；

图4为本实用新型中旋转机构的俯视图；

图5为本实用新型中旋转机构的主视图；

图6为本实用新型中支架的结构示意图；

主要元件说明：

100、掩膜板；

10、防护盒体；11、本体；111、底板；112、侧板；12、盖板；13、收容空间；14、固定横梁；15、支撑柱；

20、旋转机构；21、旋转轴；22、安装架；221、固定圆盘；222、支架；2221、固定条；2222、定位条；2223、导向滑槽；2224、定位槽；223、环形连接部；23、输出轴；24、固定架；25、安装位。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“周向”、“径向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请参阅图1，本实用新型实施例提供了一种掩膜板甩干装置，包括防护盒体10和旋转机构20。需要说明的是，防护盒体10也可根据实际情况需要而省去。

其中，结合图2所示，防护盒体10包括本体11和盖体，本体11包括底板111以及与底板111垂直连接的多个侧板112，底板111与多个侧板112共同围成收容空间13，以收容旋转机构20的旋转轴21和安装架22。在本实施例中，底板111大致为矩形，较佳为正方形，侧板112的数量为四个，且四个侧板112首尾相连。当然，在其他实施例中，底板111还可以是多边形或圆形，由于防护盒体10的形状不影响旋转机构20的主要功能，在此不做特别限制。

盖体与其中一个侧板112顶端转动连接，具体是盖板12转动连接到后侧板112的顶端上，以使盖板12可在打开状态和盖合状态之间进行转动；可以理解，盖板12较佳是与底板111的大小相同，从而盖板12在位于盖合状态时，盖板12是盖设于本体11的顶端(即四个侧板112的顶端)，并覆盖收容空间13。

结合图3至图6所示，旋转机构20包括驱动电机、旋转轴21以及安装架22，驱动电机通过固定架24固定安装于底板111的底面上，其输出轴23穿过底板111进入到收容空间13内并与旋转轴21同轴传动连接，旋转轴21的上端转动安装在一个固定横梁14上，固定横梁14与防护盒体10固定连接；安装架22固定安装于旋转轴21上，并悬置于收容空间13中，其具有多个用于安装工件100的安装位25；在本实施例中，多个安装位25围绕旋转轴21均匀分布设置，所述工件100可以为装入有晶片的掩膜板，也可以为单纯的掩膜板。

在本实施例中，固定横梁14的两端可分别通过一支撑柱15固定到底板111的表面上，旋转轴21的上端通过轴承可转动安装到固定横梁14的中部；可以理解，也可不设置支撑柱，使固定横梁14的两端分别固定架24设在左右两侧板112或前后两侧板112上。

根据本实施例的掩膜板甩干装置，使用时，将待甩干工件100安装到各安装位25中，然后启动驱动电机，使驱动电机通过输出轴23驱动安装架22在收容空间13内围绕着旋转轴21的轴心方向旋转，利用安装架22旋转时产生离心力，通过离心力使工件100(即掩膜板和其内的晶片)表面粘附残留的液体往外甩干。

在一个实施例中，安装架22包括固定圆盘221和多个支架222，固定圆盘221与旋转轴21同轴固定连接，多个支架222圆周均匀分布的安装在固定圆盘221上；在本实施例中，每个支架222上具有一个安装位25，即一个安装位25可安装一个工件100；当然，在其他实施例中，一个支架222上的安装位25数量也可以为两个、三个或更多。

在本实施例中，输出轴23的上端固定在固定圆盘221的底部，旋转轴21的下端固定在固定圆盘221的顶部，且输出轴23和旋转轴21均与防护盒体10的中心轴线同轴设置。也就是说，旋转轴21、固定圆盘221以及输出轴23依次同轴固定连接，当驱动电机驱动输出轴23转动时，旋转轴21和固定圆盘221随着输出轴23同步旋转。当然，在其他实施例中，输出轴23也可以直接与旋转轴21连接，而固定圆盘221采用套固在旋转轴21上的方式连接，本实用新型对此不作特别限制。

在一个实施例中，支架222包括固定条2221和两个定位条2222，固定条2221的一端固定连接于固定圆盘221，另一端沿固定圆盘221的径向向外延伸，两个定位条2222间隔设置且下端垂直连接于固定条2221上，两个定位条2222的相对内侧分别开设有竖向的导向滑槽2223以形成安装位25，以使工件100可呈竖直状态插入安装到安装位25中。如此，当工件100插入到安装位25后，其正反面与固定圆盘221的径向平行，从而在安装架22旋转过程中，可更加顺畅的将工件100表面粘附的液体甩走，工件100甩干效果更佳。

其中，两个定位条2222可通过焊接的方式固定在固定条2221上，导向滑槽2223的宽度稍微大于待甩干工件100的厚度，两个导向滑槽2223之间的距离等于待甩干工件100的宽度。为了使工件100获得较大的转动速度，位于外侧的定位条2222固定在固定条2221远离固定圆盘221的末端上，且其外侧可开设与导向滑槽2223连通的通孔，当安装架22旋转时，待甩干工件100上的液体在进入到导向滑槽2223后可通过该通孔甩出。

进一步地，固定条2221在位于两个定位条2222之间的位置开设有定位槽2224，通过该定位槽2224的设置使工件100在插入安装位25时更加的稳定可靠。

更进一步地，安装架22还包括环形连接部223，各固定条2221的另一端连接于环形连接部223，从而使各支架222相对固定，使安装架22在旋转时更加的稳固。

在具体使用时，可将盖板12打开以暴露收容空间13，使操作人员可将待甩干工件100插入到各支架222的安装位25中，然后将盖板12移动到盖合状态；从而使安装架在收容空间中进行旋转甩干操作的过程中，起到防尘作用，并避免安装架与其他部件发生碰撞，保证旋转机构运转的安全可靠性；应当理解的是，在底板111上开设有出水孔，当装置进行甩干时，从各工件100上甩出的液体掉落到收容空间13的底部，可从出水孔中流出。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其它实施例的相关描述。

以上为对本实用新型所提供的技术方案的描述，对于本领域的技术人员，依据本实用新型实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (9)

1.一种掩膜板甩干装置，其特征在于，包括旋转机构，所述旋转机构包括驱动电机、旋转轴以及安装架；所述安装架安装于所述旋转轴上，具有多个围绕所述旋转轴并用于安装工件的安装位；所述驱动电机可通过其输出轴驱动所述安装架围绕着所述旋转轴的轴心方向旋转。

2.根据权利要求1所述的掩膜板甩干装置，其特征在于，所述安装架包括固定圆盘和多个支架，所述固定圆盘与所述旋转轴同轴固定连接，多个所述支架圆周均匀分布的安装在所述固定圆盘上，且每个支架上具有至少一个所述安装位。

3.根据权利要求2所述的掩膜板甩干装置，其特征在于，所述输出轴的上端固定在所述固定圆盘的底部，所述旋转轴的下端固定在所述固定圆盘的顶部，且所述输出轴和所述旋转轴处于同一中心轴线上。

4.根据权利要求2所述的掩膜板甩干装置，其特征在于，所述支架包括固定条和两个定位条，所述固定条的一端固定连接于所述固定圆盘，另一端沿所述固定圆盘的径向向外延伸，两个所述定位条间隔设置且下端垂直连接于所述固定条上，两个所述定位条的相对内侧分别开设有竖向的导向滑槽以形成所述安装位，以使所述掩膜板可呈竖直状态插入安装到所述安装位中。

5.根据权利要求4所述的掩膜板甩干装置，其特征在于，所述固定条在位于两个所述定位条之间的位置开设有定位槽。

6.根据权利要求4所述的掩膜板甩干装置，其特征在于，所述安装架还包括环形连接部，各所述固定条的所述另一端连接于所述环形连接部。

7.根据权利要求1所述的掩膜板甩干装置，其特征在于，所述掩膜板甩干装置还包括防护盒体，所述防护盒体形成有收容空间，所述驱动电机设于所述防护盒体的底部，所述输出轴穿入至所述收容空间并与所述旋转轴和/或所述安装架传动连接；所述旋转轴的上端转动安装在一个固定横梁上，所述固定横梁与所述防护盒体固定连接，以使所述安装架可转动地悬置于所述收容空间中。

8.根据权利要求7所述的掩膜板甩干装置，其特征在于，所述防护盒体包括本体，所述本体包括底板以及与所述底板垂直连接的多个侧板，所述底板与所述多个侧板共同围成所述收容空间，所述驱动电机固定于所述底板的底面，所述输出轴穿过所述底板进入到所述收容空间内。

9.根据权利要求8所述的掩膜板甩干装置，其特征在于，所述防护盒体还包括与其中一个所述侧板顶端转动连接的盖板，所述盖板可在打开状态和盖合状态之间进行转动；当所述盖板位于所述盖合状态时，所述盖板盖设于所述本体的顶端，并覆盖所述收容空间。

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