CN216015398U - 一种可抗pid的硅片表面镀膜的臭氧喷淋系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种可抗PID的硅片表面镀膜的臭氧喷淋系统，包括支撑钢架和臭氧电柜，支撑钢架的上方固定安装有臭氧电柜，臭氧电柜内壁的的上方固定安装有蜂鸣器，臭氧电柜内部的左侧固定安装有臭氧发生器，臭氧发生器右侧的排气端固定安装有排气管，排气管的中部固定安装有电磁阀，臭氧电柜的内部下方固定安装有温度传感器，臭氧电柜内部的右下方固定安装有空气开关，臭氧电柜的正表面右侧固定安装有固定控制面板，支撑钢架的底端通过支架固定安装有臭氧喷淋箱，臭氧喷淋箱的底端竖向开孔设置有通孔，臭氧电柜内壁的左上方和右下方均固定安装有风机。本实用新型安全性能更高，喷淋箱罩设计更加合理，更加便于对臭氧电柜和软管进行检修。

Description

一种可抗PID的硅片表面镀膜的臭氧喷淋系统

技术领域

本实用新型涉及磁铁加工装置技术领域，尤其涉及一种可抗PID 的硅片表面镀膜的臭氧喷淋系统。

背景技术

目前可以明确的是PID现象和电池片表面的反射层有关，提高反射层的折射率可以有效地降低PID现象的发生。含Si多的减反层比含N多的减反层更可以抵抗PID现象。当减反层的折射率大于2.2后， PID现象不再被观察到。而当折射率小于2.08后，组件很难通过PID 测试。目前有不少的光伏电池厂在做针对电池和PID的关系的测试中也发现了类似的现象，所以改变折射率成为抗PID的手段之一。目前为多晶电池厂供应制造臭氧设备的厂家多且杂；多晶电池臭氧抗PID 必须需要的，但是现有的刻蚀臭氧电柜设计简陋，没有兼顾安全考虑，刻蚀臭氧电柜的喷淋箱罩一体化设置，设计不合理，不便于维修。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决上述技术中存在的问题，而提出的一种可抗PID的硅片表面镀膜的臭氧喷淋系统。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种可抗PID的硅片表面镀膜的臭氧喷淋系统，包括支撑钢架和臭氧电柜，所述支撑钢架的上方固定安装有臭氧电柜，所述臭氧电柜内壁的上方固定安装有蜂鸣器，所述臭氧电柜内部的左侧固定安装有臭氧发生器，所述臭氧发生器右侧的排气端固定安装有排气管，所述排气管的中部固定安装有电磁阀，所述臭氧电柜的内部下方固定安装有温度传感器，所述臭氧电柜内部的右下方固定安装有空气开关，所述臭氧电柜的正表面右侧固定安装有固定控制面板，所述支撑钢架的底端通过支架固定安装有臭氧喷淋箱，所述臭氧喷淋箱的底端竖向开孔设置有通孔，所述臭氧电柜内壁的右上方和右下方均固定安装有风机。

优选的，所述臭氧发生器排气端的排气管通过软管与臭氧喷淋箱上表面的进气口相导通。

优选的，所述臭氧喷淋箱下方的通孔直径为1.2mm，所述臭氧喷淋箱由PVDF材料制成。

优选的，所述控制面板的信号发射端与蜂鸣器和电磁阀的信号接收端之间信号连接。

优选的，所述温度传感器的信号发射端与控制面板的信号接收端之间信号连接。

优选的，所述蜂鸣器、臭氧发生器、电磁阀温度传感器、风机和控制面板均通过电源线和空气开关与外部电源之间电性连接。

本实用新型提供了一种可抗PID的硅片表面镀膜的臭氧喷淋系统，具有以下有益效果：

1、该种可抗PID的硅片表面镀膜的臭氧喷淋系统通过设置有温度传感器，当温度传感器检测到臭氧电柜内的温度过高时，控制面板可切断装置内的电源并打开蜂鸣器警示工作人员，设置有空气开关，使得当装置工作过程中出现短路的情况可自动跳闸，增加有两个风机，使得装置在工作时可自动对臭氧电柜内仪器进行散热降温，避免臭氧电柜内仪器工作时过热而损坏，增加电磁阀，使得装置在断电后将氧气切断，进一步的提高了装置的安全性能。

2、该种可抗PID的硅片表面镀膜的臭氧喷淋系统通过设置有支撑钢架，使用支撑钢架对臭氧电柜进行抬升固定，不需抬下臭氧电柜就可以对软管和臭氧电柜进行检修，检修更加方便。

附图说明

图1为本实用新型中整体结构示意图；

图2为本实用新型中臭氧喷淋箱局部结构底面示意图；

图3为本实用新型中整体结构电路示意图。

图例说明：

1-支撑钢架，2-臭氧电柜，3-蜂鸣器，4-臭氧发生器，5-排气管， 501-电磁阀，6-温度传感器，7-空气开关，8-控制面板，9-臭氧喷淋箱，901-通孔，10-风机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参照图1-3，一种可抗PID的硅片表面镀膜的臭氧喷淋系统，包括支撑钢架1和臭氧电柜2，支撑钢架1的上方固定安装有臭氧电柜2，臭氧电柜2内壁的上方固定安装有蜂鸣器3，臭氧电柜2内部的左侧固定安装有臭氧发生器4，臭氧发生器4右侧的排气端固定安装有排气管5，排气管5的中部固定安装有电磁阀501，臭氧电柜2的内部下方固定安装有温度传感器6，臭氧电柜2内部的右下方固定安装有空气开关7，臭氧电柜2的正表面右侧固定安装有固定控制面板 8，支撑钢架1的底端通过支架固定安装有臭氧喷淋箱9，臭氧喷淋箱9的底端竖向开孔设置有通孔901，臭氧电柜2内壁的右上方和右下方均固定安装有风机10。

本实施例中，臭氧发生器4排气端的排气管5通过软管与臭氧喷淋箱9上表面的进气口相导通，使得臭氧发生器4产生的臭氧会通过排气管5从臭氧喷淋箱9的通孔901中排出。

本实施例中，臭氧喷淋箱9下方的通孔901直径为1.2mm，臭氧喷淋箱9由PVDF材料制成，PVDF材料制成的喷淋箱9具有良好的耐化学腐蚀性、耐高温性、耐氧化性等性能，进一步的延长了臭氧喷淋箱9的使用寿命。

本实施例中，控制面板8的信号发射端与蜂鸣器3和电磁阀501 的信号接收端之间信号连接，装置在断电后电磁阀501将氧气切断，避免氧气泄露。

本实施例中，温度传感器6的信号发射端与控制面板8的信号接收端之间信号连接，当温度传感器6检测到臭氧电柜2内的温度过高时，控制面板8可切断装置内的电源并打开蜂鸣器3警示工作人员。

本实施例中，蜂鸣器3、臭氧发生器4、电磁阀501温度传感器6、风机10和控制面板8均通过电源线和空气开关7与外部电源之间电性连接，蜂鸣器3、臭氧发生器4、电磁阀501温度传感器6、风机10和控制面板8在通电后可正常工作。

工作原理：使用过程中，当温度传感器6检测到臭氧电柜2内的温度过高时，控制面板8可切断装置内的电源并打开蜂鸣器3警示工作人员，使得当装置工作过程中出现短路的情况空气开关7可自动跳闸，装置在工作时风机10可自动对臭氧电柜2内仪器进行散热降温，避免臭氧电柜内仪器工作时过热而损坏，装置在断电后电磁阀501将氧气切断，进一步的提高了装置的安全性能，装置使用的支撑钢架1 对臭氧电柜2进行抬升固定，不需抬下臭氧电柜2就可以对软管和臭氧电柜2进行检修，检修更加方便。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种可抗PID的硅片表面镀膜的臭氧喷淋系统，包括支撑钢架(1)和臭氧电柜(2)，所述支撑钢架(1)的上方固定安装有臭氧电柜(2)，其特征在于，所述臭氧电柜(2)内壁的上方固定安装有蜂鸣器(3)，所述臭氧电柜(2)内部的左侧固定安装有臭氧发生器(4)，所述臭氧发生器(4)右侧的排气端固定安装有排气管(5)，所述排气管(5)的中部固定安装有电磁阀(501)，所述臭氧电柜(2)的内部下方固定安装有温度传感器(6)，所述臭氧电柜(2)内部的右下方固定安装有空气开关(7)，所述臭氧电柜(2)的正表面右侧固定安装有固定控制面板(8)，所述支撑钢架(1)的底端通过支架固定安装有臭氧喷淋箱(9)，所述臭氧喷淋箱(9)的底端竖向开孔设置有通孔(901)，所述臭氧电柜(2)内壁的右上方和右下方均固定安装有风机(10)。

2.根据权利要求1所述的可抗PID的硅片表面镀膜的臭氧喷淋系统，其特征在于，所述臭氧发生器(4)排气端的排气管(5)通过软管与臭氧喷淋箱(9)上表面的进气口相导通。

3.根据权利要求1所述的可抗PID的硅片表面镀膜的臭氧喷淋系统，其特征在于，所述臭氧喷淋箱(9)下方的通孔(901)直径为1.2mm，所述臭氧喷淋箱(9)由PVDF材料制成。

4.根据权利要求1所述的可抗PID的硅片表面镀膜的臭氧喷淋系统，其特征在于，所述控制面板(8)的信号发射端与蜂鸣器(3)和电磁阀(501)的信号接收端之间信号连接。

5.根据权利要求1所述的可抗PID的硅片表面镀膜的臭氧喷淋系统，其特征在于，所述温度传感器(6)的信号发射端与控制面板(8)的信号接收端之间信号连接。

6.根据权利要求1所述的可抗PID的硅片表面镀膜的臭氧喷淋系统，其特征在于，所述蜂鸣器(3)、臭氧发生器(4)、电磁阀(501)温度传感器(6)、风机(10)和控制面板(8)均通过电源线和空气开关(7)与外部电源之间电性连接。

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