CN215911393U - 一种用于考夫曼离子源的阳极 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及考夫曼离子源技术领域，尤其涉及一种用于考夫曼离子源的阳极，包括阳极圈、阳极连杆、后阳极环、阳极托片、屏极；所述阳极圈设置在所述屏极内部，所述阳极圈的下方设置所述后阳极环，所述阳极托片的上表面设置所述后阳极环；所述阳极圈与所述后阳极环之间设置阳极连杆，所述阳极圈、所述后阳极环通过所述阳极连杆为一体成型结构。本实用新型省去了现有技术中固定阳极圈的螺钉、螺母、陶瓷件，以及阳极圈与后阳极环之间的阳极连线；一方面简化了阳极结构，减少了陶瓷件的使用数量，安装或维护时操作简便，缩短了维护时间，降低维护成本；另一方面避免了安装或维护时屏极与阳极连线造成的短路问题，减少了90％的阳极短路故障。

Description

一种用于考夫曼离子源的阳极

技术领域

本实用新型涉及考夫曼离子源技术领域，尤其涉及一种用于考夫曼离子源的阳极。

背景技术

现有考夫曼离子源的阳极电极主要由阳极圈、后阳极片、后阳极环、阳极固定杆组成。如图1所示，阳极圈沿圆周开设三个安装孔，通过在安装孔内设置螺钉将阳极圈固定在屏极上，螺钉与屏极的连接处设置陶瓷件保证阳极圈与屏极之间的绝缘，螺钉凸出于屏极之外，并在凸出的螺钉上设置螺母，旋转螺母调节阳极圈的位置保证阳极圈和屏极同轴。阳极圈的下方设置后阳极环，后阳极环内嵌设后阳极片，后阳极环采用与阳极圈相同的固定方式，采用阳极固定杆固定在屏极上，同样阳极固定杆与屏极的连接处设置陶瓷件保证后阳极环与屏极之间的绝缘；在屏极的外部一侧设置一个阳极连线，阳极连线一端安装在阳极圈的固定螺钉上，阳极连线的另一端固定在后阳极环的阳极固定杆上，实现阳极圈和后阳极环之间的导通。

在实际工作中，由于阳极易被氧化，需要经常将阳极圈和后阳极片拆卸并清理打磨，拆装比较频繁。在安装阳极圈时，需要交替调节在屏极分布的多个螺钉的拉紧程度来保证阳极圈与屏极的同轴与绝缘，而在调整过程中，还需注意阳极连线与屏极的绝缘，这个过程容易导致阳极连线与屏极之间短路，而阳极大约90％的短路故障均是由于屏极与阳极之间的绝缘件污染和阳极连线与屏极之间短路所导致；另外这种安装方式费力费时，增加安装成本。其次，由于工作中的高温氧化、阴极材料蒸发和周边金属材料的溅射逸出等因素会引起陶瓷件的污染，因此需要定期更换陶瓷件，维护保养成本高。

实用新型内容

为了解决上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种用于考夫曼离子源的阳极结构，减少了陶瓷件的使用数量，省去了阳极连线，依此减少安装时阳极连线与屏极的短路问题，维护更加简便。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种用于考夫曼离子源的阳极，包括阳极圈、阳极连杆、后阳极环、阳极托片、屏极；所述阳极圈设置在所述屏极内部，所述阳极圈的下方设置所述后阳极环，所述阳极托片的上表面设置所述后阳极环；其特征在于：所述阳极圈与所述后阳极环之间设置阳极连杆，所述阳极圈、所述后阳极环和所述阳极连杆为一体成型结构。

进一步地，所述屏极的内部设置有同轴的屏极内收挡板，所述挡板上设置通孔，所述后阳极圈能够穿过所述通孔；所述阳极圈设置在所述挡板上方，所述后阳极圈设置在所述挡板下方，所述阳极连杆穿过所述通孔。

进一步地，所述阳极连杆数量至少为3个，所述连接杆沿所述后阳极片的外表面均匀或不均匀分布。

进一步地，所述阳极托片的上表面设置凹槽，所述凹槽内侧壁与所述后阳极环外侧壁精密配合，保证所述阳极圈与所述屏极同轴。

进一步地，所述后阳极环与所述阳极托片之间通过螺钉固定。

进一步地，所述阳极托片的外侧面设置若干盲孔，所述盲孔内设置阳极固定杆，所述阳极托片通过所述阳极固定杆固定于所述屏极上，所述阳极固定杆与所述屏极之间设置绝缘件。

更进一步地，所述阳极固定杆凸出于所述屏极外侧面，所述阳极固定杆凸出于所述屏极外侧面的一端设置锁紧螺母。

更进一步地，所述绝缘件为陶瓷件。

本实用新型与现有技术相比，有益效果为：

阳极圈与后阳极片为一体成型结构，通过固定后阳极环即可固定阳极圈，省去了现有技术中固定阳极圈的螺钉、螺母、陶瓷件，以及阳极圈与后阳极环之间的阳极连线；一方面简化了阳极结构，减少了陶瓷件的使用数量，安装或维护时操作简便，缩短了维护时间，降低维护成本；另一方面避免了使用或维护时屏极与阳极连线造成的短路问题，减少了90％的阳极短路故障。

附图说明

图1为现有技术中的阳极结构示意图。

图2为本实用新型的阳极结构示意图。

附图标记说明：

1、屏极，2、阳极圈，3、阳极连杆，4、后阳极环，5、阳极托片，6、绝缘件，7、锁紧螺母，8、阳极固定杆。

具体实施方式

下面将结合附图说明对本实用新型的技术方案进行清楚的描述，显然，所描述的实施例并不是本实用新型的全部实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。

需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“水平”、“左”、“右”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，并不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

图1为现有的考夫曼离子源使用的阳极结构示意图，图2为本实用新型提供的一种用于考夫曼离子源的阳极结构示意图。

如图2所示，一种用于考夫曼离子源的阳极，包括阳极圈2、后阳极环4、阳极托片5、屏极1；屏极1为圆筒型结构，内部中空，屏极1内部水平设置挡板，所述挡板的中心位置设置一个通孔，通孔的直径大于所述后阳极环4的外径，使得安装阳极圈2时，后阳极环4能够穿过所述通孔。所述阳极圈2为圆筒形结构，所述阳极圈2设置在屏极1内所述挡板的上方，所述后阳极环4设置在所述屏极1内所述挡板的下方；所述阳极圈2与所述后阳极环4之间设置阳极连杆3，所述阳极圈2、所述后阳极环4和所述阳极连杆3为一体成型结构，所述阳极连杆3沿所述阳极圈2圆周间隔分布，优选为均匀分布，所述连接杆3的数量至少为3个，保证后阳极环4稳定支撑所述阳极圈2。

所述后阳极环4下方设置所述阳极托片5，所述阳极托片5为圆环形结构，所述阳极托片5的上表面设置凹槽，所述凹槽的深度和直径与所述后阳极环4的高度和外径相同，所述后阳极环4恰好嵌入所述凹槽内，所述后阳极环4与所述阳极托片5通过耐高温耐腐蚀的螺钉连接；所述凹槽与所述阳极托片5同轴，同时所述后阳极环4与所述阳极圈2同轴。

所述阳极托片5的外侧面设置若干盲孔，盲孔沿所述阳极托片5的外侧面间隔分布，优选均匀分布，所述盲孔内设置阳极固定杆8，所述屏极1上设置相应的开孔，所述开孔内设置绝缘件6，所述阳极固定杆8穿过绝缘件6将所述阳极托片5固定于所述屏极1上，所述绝缘件6具有绝缘性能，避免屏极1与阳极托片5之间短路，所述绝缘件6优选为陶瓷件。

所述阳极固定杆8凸出于所述屏极1外侧面，所述阳极固定杆8凸出于所述屏极1外侧面的一端设置锁紧螺母7，通过转动锁紧螺母7可调节阳极托片5的位置，保证阳极托片5与屏极1同轴，进而保证阳极圈2与屏极1同轴。

以上具体实施方式仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照实例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。

Claims (8)

1.一种用于考夫曼离子源的阳极，包括阳极圈、阳极连杆、后阳极环、阳极托片、屏极；所述阳极圈设置在所述屏极内部，所述阳极圈的下方设置所述后阳极环，所述阳极托片的上表面设置所述后阳极环；其特征在于：所述阳极圈与所述后阳极环之间设置阳极连杆，所述阳极圈、所述后阳极环和所述阳极连杆为一体成型结构。

2.根据权利要求1所述的阳极，其特征在于：所述屏极的内部设置有同轴的屏极内收挡板，所述挡板上设置通孔，所述后阳极环能够穿过所述通孔；所述阳极圈设置在所述挡板上方，所述后阳极环设置在所述挡板下方，所述阳极连杆穿过所述通孔。

3.根据权利要求1所述的阳极，其特征在于：所述阳极连杆数量至少为3个。

4.根据权利要求1所述的阳极，其特征在于：所述阳极托片的上表面设置凹槽，所述凹槽内侧壁与所述后阳极环外侧壁精密配合，保证所述阳极圈与所述屏极同轴。

5.根据权利要求1所述的阳极，其特征在于：所述后阳极环与所述阳极托片之间通过螺钉固定。

6.根据权利要求1所述的阳极，其特征在于：所述阳极托片的外侧面设置若干盲孔，所述盲孔内设置阳极固定杆，所述阳极托片通过所述阳极固定杆固定于所述屏极上，所述阳极固定杆与所述屏极之间设置绝缘件。

7.根据权利要求6所述的阳极，其特征在于：所述阳极固定杆凸出于所述屏极外侧面，所述阳极固定杆凸出于所述屏极外侧面的一端设置锁紧螺母。

8.根据权利要求6所述的阳极，其特征在于：所述绝缘件为陶瓷件。

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