CN215893972U - 一种新型多波长像散探头 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种新型多波长像散探头，包括像散探头主体，像散探头主体由光纤SMA连接器、显微物镜、分光镜、柱面镜和面阵相机组成，其中，显微物镜、分光镜、柱面镜和面阵相机由下至上依次设置，光纤SMA连接器与分光镜的高度位置相同，显微物镜的正下方固定有待测元件。本发明可准确定位透镜表面顶点位置，便于于球面及非球面透镜折射率的测量，在光学元件质量管控中具有广阔的应用前景。
Description
技术领域
本发明涉及测试计量技术领域，尤其涉及一种新型多波长像散探头。
背景技术
折射率是透射型光学元件的重要参数之一，决定了光学元件的光焦度、像差特性，对光学系统的性能有重要的影响，镜头生产厂家往往需在使用透镜前进行测量以管控质量，因此透镜折射率测量一直是光学测量领域的基础问题。
目前已发展了多种玻璃材料折射率测量方法，这些方法中透镜表面顶点位置的确定是关键步骤。
发明内容
为解决上述问题，本发明公开了一种新型多波长像散探头，可准确定位透镜表面顶点位置，便于于球面及非球面透镜折射率的测量，在光学元件质量管控中具有广阔的应用前景。
具体方案如下：
一种新型多波长像散探头，其特征在于：包括像散探头主体，所述像散探头主体由光纤SMA连接器、显微物镜、分光镜、柱面镜和面阵相机组成，其中，显微物镜、分光镜、柱面镜和面阵相机由下至上依次设置，所述光纤SMA连接器与分光镜的高度位置相同，所述显微物镜的正下方固定有待测元件。
作为本发明的进一步改进，所述光纤SMA连接器用于通过光纤接收多种波长照明光束并水平射向分光镜，所述分光镜用于将照明光束射向显微物镜，以及将部分照明光束和显微物镜返回的探测光束进行合束后射向柱面镜，所述显微物镜用于将照明光束聚焦到待测元件的表面，以及向分光镜返回探测光束，所述柱面镜用于在合束光束中引入像散，并射向面阵相机，所述面阵相机采集光束的光斑形状，并上传给上位机。
作为本发明的进一步改进，所述显微物镜具有长工作距离及高数值孔径。
作为本发明的进一步改进，所述显微物镜的工作距离与待测元件厚度范围有关，数值孔径与位置测量精度相关。
作为本发明的进一步改进，所述显微物镜的工作距离高于10mm，数值孔径高于0.4。
作为本发明的进一步改进，所述分光镜为分光棱镜或者45度分光镜。
作为本发明的进一步改进，所述柱面镜用于在光束中引入像散，使得光束在传播过程中长短轴形状发生变化，通过分析光斑可获得光束汇聚情况。
本发明的有益效果在于：可准确定位透镜表面顶点位置，便于于球面及非球面透镜折射率的测量，在光学元件质量管控中具有广阔的应用前景。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
附图标记列表：
1-光纤SMA连接器，2-显微物镜，3-分光镜，4-柱面镜，5-面阵相机。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式，进一步阐明本发明，应理解下述具体实施方式仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。
如图所示，一种新型多波长像散探头，包括像散探头主体，像散探头主体由光纤SMA连接器1、显微物镜2、分光镜3、柱面镜4和面阵相机5组成，其中，显微物镜2、分光镜3、柱面镜4和面阵相机5由下至上依次设置，光纤SMA连接器1与分光镜3的高度位置相同，显微物镜2的正下方固定有待测元件。
在本实施例中，光纤SMA连接器1用于通过光纤接收多种波长照明光束并水平射向分光镜3，分光镜3用于将照明光束射向显微物镜2，以及将部分照明光束和显微物镜2返回的探测光束进行合束后射向柱面镜4，显微物镜2用于将照明光束聚焦到待测元件的表面，以及向分光镜3返回探测光束，柱面镜4用于在合束光束中引入像散，并射向面阵相机5，面阵相机5采集光束的光斑形状，并上传给上位机。
在本实施例中，显微物镜2具有长工作距离及高数值孔径，显微物镜2的工作距离与待测元件厚度范围有关，数值孔径与位置测量精度相关，显微物镜2的工作距离高于10mm，数值孔径高于0.4。
在本实施例中，分光镜3为分光棱镜或者45度分光镜。
在本实施例中，柱面镜4用于在光束中引入像散，使得光束在传播过程中长短轴形状发生变化，通过分析光斑可获得光束汇聚情况。
本发明方案所公开的技术手段不仅限于上述实施方式所公开的技术手段，还包括由以上技术特征任意组合所组成的技术方案。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本发明的保护范围。
Claims (7)
1.一种新型多波长像散探头，其特征在于：包括像散探头主体，所述像散探头主体由光纤SMA连接器（1）、显微物镜（2）、分光镜（3）、柱面镜（4）和面阵相机（5）组成，其中，显微物镜（2）、分光镜（3）、柱面镜（4）和面阵相机（5）由下至上依次设置，所述光纤SMA连接器（1）与分光镜（3）的高度位置相同，所述显微物镜（2）的正下方固定有待测元件。
2.根据权利要求1所述的一种新型多波长像散探头，其特征在于：所述光纤SMA连接器（1）用于通过光纤接收多种波长照明光束并水平射向分光镜（3），所述分光镜（3）用于将照明光束射向显微物镜（2），以及将部分照明光束和显微物镜（2）返回的探测光束进行合束后射向柱面镜（4），所述显微物镜（2）用于将照明光束聚焦到待测元件的表面，以及向分光镜（3）返回探测光束，所述柱面镜（4）用于在合束光束中引入像散，并射向面阵相机（5），所述面阵相机（5）采集光束的光斑形状，并上传给上位机。
3.根据权利要求1所述的一种新型多波长像散探头，其特征在于：所述显微物镜（2）具有长工作距离及高数值孔径。
4.根据权利要求3所述的一种新型多波长像散探头，其特征在于：所述显微物镜（2）的工作距离与待测元件厚度范围有关，数值孔径与位置测量精度相关。
5.根据权利要求4所述的一种新型多波长像散探头，其特征在于：所述显微物镜（2）的工作距离高于10mm，数值孔径高于0.4。
6.根据权利要求1所述的一种新型多波长像散探头，其特征在于：所述分光镜（3）为分光棱镜或者45度分光镜。
7.根据权利要求1所述的一种新型多波长像散探头，其特征在于：所述柱面镜（4）用于在光束中引入像散，使得光束在传播过程中长短轴形状发生变化，通过分析光斑可获得光束汇聚情况。
Priority Applications (1)
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| CN202122260670.5U CN215893972U (zh) | 2021-09-17 | 2021-09-17 | 一种新型多波长像散探头 |
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Publications (1)
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| CN215893972U true CN215893972U (zh) | 2022-02-22 |
Family
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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2021
- 2021-09-17 CN CN202122260670.5U patent/CN215893972U/zh active Active
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