CN215818619U - Mems麦克风 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括基底及设置于所述基底上的电容结构，电容结构包括具有第一支撑部的背板、及与背板相对设置且具有第二支撑部的振膜，背板包括沿振动方向的投影位于基底的第一周部，振膜包括沿振动方向的投影位于基底的第二周部，背板仅通过设置在其第一周部的第一支撑部固定于基底，振膜仅通过设置在其第二周部的第二支撑部固定于基底，振膜的中心位置设有连接背板的固定柱。与相关技术相比，本实用新型的MEMS麦克风的背板与振膜均只通过自身周部设置的支撑部固定于基底，而中间通过固定柱连接，通过增大振膜刚度从而提高谐波失真性能，简化了工艺的同时加强了MEMS麦克风的可靠性。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及传感器领域，尤其涉及一种MEMS麦克风。
【背景技术】
MEMS麦克风芯片的应用越来越广泛，对芯片的可靠性要求也越来越高。以电容式MEMS麦克风芯片为例，该芯片包括具有背腔的基底，以及位于基底上部的振膜和背板结构，其中，振膜和背板结构形成了电容系统。外部声压引起振膜运动，该种运动将改变振膜与背板结构之间的距离，从而改变电容并最终转化为电信号。
然而现有技术中的麦克风背板与振膜之间度存留有牺牲层以更好的固定基底上的背板与振膜，在制成过程中工艺会比较复杂：如何蚀刻、如何确定蚀刻停止的位置都是需要考虑的问题，现有技术中振膜只有周界部分固定，振膜刚度较小，从而具有较小的吸合电压和较差的谐波失真性能。
因此，实有必要提供一种新的MEMS麦克风解决上述技术问题。
【实用新型内容】
本实用新型的目的在于提供一种可靠性高、稳定性能好的MEMS麦克风。
为了达到上述目的，本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括具有腔体的基底及设置于所述基底上的电容结构，所述电容结构包括具有第一支撑部的背板、及与所述背板相对设置且具有第二支撑部的振膜，所述背板包括沿振动方向的投影位于所述基底的第一周部，所述振膜包括沿振动方向的投影位于所述基底的第二周部，所述背板仅通过设置在其第一周部的所述第一支撑部固定于所述基底，所述振膜仅通过设置在其第二周部的所述第二支撑部固定于所述基底，所述振膜的中心位置设有连接所述背板的固定柱。
优选的，所述第一支撑部为连续的环状结构。
优选的，所述第一支撑部为间隔设置的柱状结构。
优选的，所述第二支撑部为连续的环状结构。
优选的，所述第二支撑部为间隔设置的柱状结构。
优选的，所述振膜较所述背板更靠近所述基底。
优选的，所述固定柱与所述背板为一体式结构。
优选的，所述振膜为圆形或多边形。
与相关技术相比，本实用新型的MEMS麦克风的背板与振膜均只通过自身周边设置的支撑部固定于基底，而中间则通过设置固定柱连接振膜的中心与背板的中心，因此振膜具有较大刚度，MEMS麦克风具有较大的吸合电压和更好的总谐波失真性能，本实用新型通过增大振膜刚度从而提高谐波失真性能，简化了工艺的同时加强了MEMS麦克风的可靠性。
【附图说明】
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：
图1为本实用新型MEMS麦克风的立体图；
图2为本实用新型MEMS麦克风的分解图；
图3为沿图1中A-A线的剖面图；
图4为本实用新型另一实施例MEMS麦克风中振膜的立体图。
【具体实施方式】
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请同时参阅图1-3，为本实用新型提供了一种MEMS麦克风100，其包括具有腔体10的基底1及设置于所述基底上的电容结构2，所述电容结构2包括背板21及与所述背板21相对设置且的振膜22。
所述背板21包括沿振动方向的投影位于所述基底1的第一周部210，所述背板21在其第一周边210设有第一支撑部211，背板21仅通过第一支撑部211固定于所述基底1，所述第一支撑柱211包括竖直延伸的第一部分212及自第一部分弯折延伸的第二部分213，所述第二部分213贴合于所述基底1。背板21上设有若干通孔214。所述第一支撑部211为连续的环状结构，或者所述第一支撑部211为间隔设置的柱状结构。
所述振膜22较所述背板21更靠近所述基底。所述振膜22包括沿振动方向的投影位于所述基底1的第二周部220，所述振膜22在其第二周部220 设有第二支撑部221，振膜22仅通过第二支撑部221固定于所述基底1，所述背板21在振动方向的投影落在基底1上的部分、与振膜22在振动方向的投影落在基底1上的部分，这两部分之间没有设置牺牲层。所述振膜22为圆形或多边形结构。所述振膜22还包括自所述第二支撑部向外水平延伸的延伸部222。
所述第二支撑部221为连续的环状结构，或者如本实用新型另一实施例的图4所示，振膜22’的第二支撑部221’为间隔设置的柱状结构，所述第二支撑部221’为多个等间距设置的支撑柱。
振膜22在中心位置具有较大位移，如果仅通过第一支撑柱211支撑背板21、第二支撑柱221支撑振膜22，则使MEMS麦克风具有较低的吸合电压，和较差的总谐波失真，因此本实用新型在所述振膜22的中心位置进一步设有连接所述背板21的固定柱3，所述固定柱3与所述背板21为一体式结构。
与相关技术相比，本实用新型的MEMS麦克风的背板与振膜均只通过自身周部设置的支撑部固定于基底，彼此之间不保留牺牲层，而中间则进一步通过设置固定柱连接振膜的中心与背板的中心，因此使得振膜具有较大刚度，MEMS麦克风具有较大的吸合电压和更好的总谐波失真性能，本实用新型通过增大振膜刚度从而提高谐波失真性能，在简化了工艺的同时加强了MEMS麦克风的可靠性、稳定性。
以上所述的仅是本实用新型的实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本实用新型的保护范围。
Claims (8)
1.一种MEMS麦克风，其包括具有腔体的基底及设置于所述基底上的电容结构，所述电容结构包括具有第一支撑部的背板、及与所述背板相对设置且具有第二支撑部的振膜，所述背板包括沿振动方向的投影位于所述基底的第一周部，所述振膜包括沿振动方向的投影位于所述基底的第二周部，其特征在于，所述背板仅通过设置在其第一周部的所述第一支撑部固定于所述基底，所述振膜仅通过设置在其第二周部的所述第二支撑部固定于所述基底，所述振膜的中心位置设有连接所述背板的固定柱。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一支撑部为连续的环状结构。
3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一支撑部为间隔设置的柱状结构。
4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第二支撑部为连续的环状结构。
5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第二支撑部为间隔设置的柱状结构。
6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述振膜较所述背板更靠近所述基底。
7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述固定柱与所述背板为一体式结构。
8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述振膜为圆形或多边形。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122197941.7U CN215818619U (zh) | 2021-09-10 | 2021-09-10 | Mems麦克风 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| CN202122197941.7U CN215818619U (zh) | 2021-09-10 | 2021-09-10 | Mems麦克风 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN215818619U true CN215818619U (zh) | 2022-02-11 |
Family
ID=80158911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202122197941.7U Active CN215818619U (zh) | 2021-09-10 | 2021-09-10 | Mems麦克风 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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2021
- 2021-09-10 CN CN202122197941.7U patent/CN215818619U/zh active Active
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