CN215815794U - 一种检测晶圆键合准确性的测试结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆键合技术领域，尤其是一种检测晶圆键合准确性的测试结构，包括底板、第一支撑架和第二支撑架，第一支撑架和第二支撑架均固定在底板上，还包括：测试机构，所述测试机构固定在所述第一支撑架和所述第二支撑架上，所述测试机构包括固定块、插装孔、导气管和负压产生机构，所述固定块为透明玻璃制成，所述固定块固定在所述第一支撑架上，所述插装孔设在所述固定块上，所述导气管一端贯穿所述固定块并和所述插装孔相连通、另一端固定在所述负压产生机构上，所述负压产生机构固定在所述第二支撑架上。本实用新型不仅能够对晶圆键合的准确性进行检测，还能够对晶圆键合的强度进行检测。

Description

一种检测晶圆键合准确性的测试结构

技术领域

本实用新型涉及晶圆键合技术领域，尤其涉及一种检测晶圆键合准确性的测试结构。

背景技术

晶圆键合技术是指通过化学和物理作用将两块已镜面抛光的同质或异质的晶片紧密地结合起来，晶片接合后，界面的原子受到外力的作用而产生反应形成共价键结合成一体，并使接合界面达到特定的键合强度。目前常用晶圆键合机对晶圆进行键合操作，进而让两个晶圆键合在一起，针对新投入使用的晶圆键合机，需要对键合后的晶圆的对准精度进行检测，目前在对对准精度进行检测时，如果键合晶圆中有一个是透明的，可采用IR或BSA对准显微镜进行检测，不仅测试成本高，而在只能对对准精度进行检测，两个晶圆之间键合的强度还需要另外检测，操作繁琐。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的测试成本高和不能对晶圆键合强度检测的缺点，而提出的一种检测晶圆键合准确性的测试结构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

设计一种检测晶圆键合准确性的测试结构，包括底板、第一支撑架和第二支撑架，第一支撑架和第二支撑架均固定在底板上，还包括：

测试机构，所述测试机构固定在所述第一支撑架和所述第二支撑架上，所述测试机构包括固定块、插装孔、导气管和负压产生机构，所述固定块为透明玻璃制成，所述固定块固定在所述第一支撑架上，所述插装孔设在所述固定块上，所述导气管一端贯穿所述固定块并和所述插装孔相连通、另一端固定在所述负压产生机构上，所述负压产生机构固定在所述第二支撑架上。

优选的，所述负压产生机构包括箱体和驱动组件，所述箱体固定在所述第二支撑架上，所述驱动组件设在所述底板和所述箱体上。

优选的，所述驱动组件包括气缸、固定板、连接杆和活塞，所述气缸一端固定在所述底板上、另一端垂直固定在所述固定板上，所述连接杆一端垂直固定在所述固定板上、另一端滑动贯穿箱体并垂直固定在所述所述活塞上，所述活塞插装在所述箱体中。

优选的，还包括限位组件，所述限位组件设在所述固定板、箱体和底板上。

优选的，所述限位组件包括多个限位杆，多个所述限位杆一端均固定在所述底板上、另一端均固定在所述箱体上，多个所述限位杆均滑动贯穿所述固定板设置。

本实用新型提出的一种检测晶圆键合准确性的测试结构，有益效果在于：该检测晶圆键合准确性的测试结构在使用时，插装孔上端为倒圆台状、下端为圆柱形，将需要测试的样品水平的放在插装孔中，然后启动负压产生机构，利用负压产生机构产生的负压将样品吸向插装孔的深处，由于固定块为透明玻璃制成，非常的方便人们观看插装孔中的样品的情况，若是样品中的两个晶圆键合的非常准确，在负压产生机构的协助下，样品会插装在下端为圆柱形的插装孔中，若是样品中的两个晶圆键合的不准确，在负压产生机构的协助下，只有一个晶圆能插装在下端为圆柱形的插装孔中，另一个停留在上端为倒圆台状的插装孔中，不仅能够检测处样品中的两个晶圆键合的不准确，两个晶圆之间还会产生拉扯力，对两个晶圆之间的键合强度进行检测。本实用新型不仅能够对晶圆键合的准确性进行检测，还能够对晶圆键合的强度进行检测。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种检测晶圆键合准确性的测试结构的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种检测晶圆键合准确性的测试结构的俯视图；

图3为本实用新型提出的一种检测晶圆键合准确性的测试结构的右视图。

图中：底板1、第一支撑架2、固定块3、插装孔4、导气管5、第二支撑架6、盒体7、盒盖8、固定环9、紧固螺栓10、孔洞11、活塞12、固定板13、气缸14、限位杆15、连接杆16。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

实施例1

参照图1-3，一种检测晶圆键合准确性的测试结构，包括底板1、第一支撑架2和第二支撑架6，第一支撑架2和第二支撑架6均固定在底板1上，还包括：

测试机构，测试机构固定在第一支撑架2和第二支撑架6上，测试机构包括固定块3、插装孔4、导气管5和负压产生机构，插装孔4上端为倒圆台状、下端为圆柱形，固定块3为透明玻璃制成，透明玻璃制成的固定块3方便观看插装孔4中的情况，固定块3固定在第一支撑架2上，插装孔4设在固定块3上，导气管5一端贯穿固定块3并和插装孔4相连通、另一端固定在负压产生机构上，负压产生机构固定在第二支撑架6上。利用第一支撑架2和第二支撑架6不仅将固定块3和负压产生机构固定在底板1上，还为连接在固定块3和负压产生机构上的导气管5提供安装空间。

该检测晶圆键合准确性的测试结构在使用时，插装孔4上端为倒圆台状、下端为圆柱形，将需要测试的样品水平的放在插装孔4中，然后启动负压产生机构，利用负压产生机构产生的负压将样品吸向插装孔4的深处，由于固定块3为透明玻璃制成，非常的方便人们观看插装孔4中的样品的情况，若是样品中的两个晶圆键合的非常准确，在负压产生机构的协助下，样品会插装在下端为圆柱形的插装孔4中，若是样品中的两个晶圆键合的不准确，在负压产生机构的协助下，只有一个晶圆能插装在下端为圆柱形的插装孔4中，另一个停留在上端为倒圆台状的插装孔4中，不仅能够检测处样品中的两个晶圆键合的不准确，两个晶圆之间还会产生拉扯力，对两个晶圆之间的键合强度进行检测。本实用新型不仅能够对晶圆键合的准确性进行检测，还能够对晶圆键合的强度进行检测。

实施例2

在实施例1的基础上，参照图1-3，作为本实用新型的另一优选实施例，与实施例1的区别在于，负压产生机构包括箱体和驱动组件，箱体固定在第二支撑架6上，驱动组件设在底板1和箱体上。驱动组件配合箱体会让插装孔4中的气压差生变化。

驱动组件包括气缸14、固定板13、连接杆16和活塞12，气缸14一端固定在底板1上、另一端垂直固定在固定板13上，气缸14电性连接在供电设备上，连接杆16一端垂直固定在固定板13上、另一端滑动贯穿箱体并垂直固定在活塞12上，活塞12插装在箱体中。启动气缸14，气缸14上的推杆的伸缩会通过固定板13和连接杆16改变活塞12在箱体中的位置。

箱体包括盒体7、盒盖8、固定环9、孔洞11和多个螺栓组件10，所述导气管5连通固定在盒体7上，固定环9套装固定在盒体7上，盒盖8固定在第二支撑架6上，孔洞11贯穿设在盒盖8上，多个螺栓组件10共同安装在盒盖8和固定环9上，利用多个螺栓组件10不仅能够将盒体7固定在盒盖8上，还方便盒体7的拆卸，连接杆16穿过孔洞11设置，活塞12插装在盒体7中。方便对盒体7中的活塞12进行检修。

实施例3

在实施例2中，参照图1-3，作为本实用新型的另一优选实施例，与实施例2的区别在于，气缸14上的推杆的伸缩通过固定板13和连接杆16改变活塞12在盒体7中的位置时，活塞12的磨损并非能保证完全是均匀的，当活塞12的磨损出现不均匀的情况时，固定板13对气缸14的作用力也将发生改变，气缸14手里不匀易损坏。

还包括限位组件，限位组件设在固定板13、箱体和底板1上。

限位组件包括多个限位杆15，多个限位杆15一端均固定在底板1上、另一端均固定在箱体上，多个限位杆15均滑动贯穿固定板13设置。多个限位杆15的设置，在气缸14打动固定板13移动时，让多个限位杆15对固定板13起到限位的作用，进而让气缸14上受到的力更均匀、更平稳，进而延长气缸14的使用寿命。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种检测晶圆键合准确性的测试结构，包括底板（1）、第一支撑架（2）和第二支撑架（6），第一支撑架（2）和第二支撑架（6）均固定在底板（1）上，其特征在于，还包括：

测试机构，所述测试机构固定在所述第一支撑架（2）和所述第二支撑架（6）上，所述测试机构包括固定块（3）、插装孔（4）、导气管（5）和负压产生机构，所述固定块（3）为透明玻璃制成，所述固定块（3）固定在所述第一支撑架（2）上，所述插装孔（4）设在所述固定块（3）上，所述导气管（5）一端贯穿所述固定块（3）并和所述插装孔（4）相连通、另一端固定在所述负压产生机构上，所述负压产生机构固定在所述第二支撑架（6）上。

2.根据权利要求1所述的一种检测晶圆键合准确性的测试结构，其特征在于，所述负压产生机构包括箱体和驱动组件，所述箱体固定在所述第二支撑架（6）上，所述驱动组件设在所述底板（1）和所述箱体上。

3.根据权利要求2所述的一种检测晶圆键合准确性的测试结构，其特征在于，所述驱动组件包括气缸（14）、固定板（13）、连接杆（16）和活塞（12），所述气缸（14）一端固定在所述底板（1）上、另一端垂直固定在所述固定板（13）上，所述连接杆（16）一端垂直固定在所述固定板（13）上、另一端滑动贯穿箱体并垂直固定在所述活塞（12）上，所述活塞（12）插装在所述箱体中。

4.根据权利要求3所述的一种检测晶圆键合准确性的测试结构，其特征在于，还包括限位组件，所述限位组件设在所述固定板（13）、箱体和底板（1）上。

5.根据权利要求4所述的一种检测晶圆键合准确性的测试结构，其特征在于，所述限位组件包括多个限位杆（15），多个所述限位杆（15）一端均固定在所述底板（1）上、另一端均固定在所述箱体上，多个所述限位杆（15）均滑动贯穿所述固定板（13）设置。

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