CN215601150U - 一种用于晶圆划切的直流永磁同步电机 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体加工设备领域，公开了一种用于晶圆划切的直流永磁同步电机，包括电机本体、触点和连接线，所述电机本体的顶部固定连接有接线盒，所述连接线与触点相焊接；所述接线盒的内部设有固定机构，所述固定机构用于对连接线进行固定；所述固定机构包括支撑板、固定杆、顶簧、下夹板、上夹板和弧形开口，所述接线盒靠近连接线的内表面对称固定连接有两块支撑板，所述固定杆的一端与下夹板的外表面固定连接。通过将连接线放入到下夹板上开设的弧形开口处，此时转动上夹板，使上夹板与下夹板对连接线进行固定可以防止连接线由于电机本体的轻微移动而被拉扯发生松动脱落的情况发生。

Description

一种用于晶圆划切的直流永磁同步电机

技术领域

本实用新型属于半导体加工设备领域，具体涉及一种用于晶圆划切的直流永磁同步电机。

背景技术

晶圆芯片是制造半导体芯片的基本材料，在晶圆芯片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的IC产品。

目前，在对晶圆划切时通常使用划切设备对其进行加工，在划切设备中常常会用到直流永磁同步电机作为动力来确保对晶圆划切加工的稳定性，但是由于直流永磁同步电机在工作中需要来回的移动，从而容易导致对其进行供电的连接线发生松动脱落，从而使直流永磁同步电机失去动力，影响晶圆的加工效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆划切的直流永磁同步电机，通过对连接线与直流永磁同步电机的连接触电之间进行固定，防止连接线发生松动脱落。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于晶圆划切的直流永磁同步电机，包括电机本体、触点和连接线，所述电机本体的顶部固定连接有接线盒，所述连接线与触点相焊接；所述接线盒的内部设有固定机构，所述固定机构用于对连接线进行固定；

所述固定机构包括支撑板、固定杆、顶簧、下夹板、上夹板和弧形开口，所述接线盒靠近连接线的内表面对称固定连接有两块支撑板，所述固定杆的一端与下夹板的外表面固定连接，所述固定杆的另一端贯穿支撑板的外表面并与其滑动连接，所述顶簧套设于固定杆上，且顶簧设置于支撑板与下夹板之间，所述上夹板的一端通过转轴与下夹板的上表面转动连接，所述上夹板与下夹板相邻两侧的外表面均开设有弧形开口。

优选的，所述上夹板的外表面设有限位组件，所述限位组件包括卡钩和卡槽，所述卡钩与上夹板的外表面固定连接，所述下夹板与卡钩同侧的外表面开设有卡槽，所述卡钩与卡槽相卡接。

优选的，所述接线盒的内壁还设有提示机构，所述提示机构包括固定板、导杆、压簧、横杆和提示杆，所述接线盒的内壁固定连接有固定板，所述导杆的一端与横杆的上表面固定连接，所述导杆的另一端贯穿固定板的下表面并与其滑动连接，所述压簧套设于导杆上，且压簧设置于固定板与横杆之间，所述横杆靠近固定杆一侧的外表面为斜面设置，且固定杆的端面于横杆的斜面相抵，所述横杆的上表面固定连接有提示杆。

优选的，所述提示杆的顶端贯穿接线盒的上表面并与其滑动连接，且提示杆顶端的水平高度低于接线盒顶端的水平位置。

优选的，所述弧形开口的内壁上开设有防滑槽。

上述技术方案具有以下技术效果：

1、通过将连接线放入到下夹板上开设的弧形开口处，此时转动上夹板，使上夹板与下夹板对连接线进行固定，以便连接线发生松动脱落时，可以带动下夹板移动；同时通过上夹板与下夹板对连接线的固定，可以防止连接线由于电机本体的轻微移动而被拉扯发生松动脱落的情况发生。

2、通过固定杆向横杆的方向被拉动，由于固定杆的端面于横杆的斜面相抵，使得固定杆可以向上推动横杆，从而使与横杆顶端固定连接的提示杆伸出到接线盒的外部，以便提示检修人员连接线与触点之间发生松动断开，使检修人员可以更加快速的了解到电机本体所存在的问题。

附图说明

图1为一种用于晶圆划切的直流永磁同步电机的整体结构示意图；

图2为一种用于晶圆划切的直流永磁同步电机的局部剖视结构示意图；

图3为图2中A处结构放大图；

图4为图3中B处结构放大图。

其中：1、电机本体；2、接线盒；3、触点；4、连接线；5、固定机构；501、支撑板；502、固定杆；503、顶簧；504、下夹板；505、上夹板；506、弧形开口；6、限位组件；601、卡钩；602、卡槽；7、提示机构；701、固定板；702、导杆；703、压簧；704、横杆；705、提示杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供的技术方案：一种用于晶圆划切的直流永磁同步电机，包括电机本体1、触点3和连接线4，电机本体1的顶部固定连接有接线盒2，连接线4与触点3相焊接；接线盒2的内部设有固定机构5，固定机构5用于对连接线4进行固定；

固定机构5包括支撑板501、固定杆502、顶簧503、下夹板504、上夹板505和弧形开口506，接线盒2靠近连接线4的内表面对称固定连接有两块支撑板501，固定杆502的一端与下夹板504的外表面固定连接，固定杆502的另一端贯穿支撑板501的外表面并与其滑动连接，顶簧503套设于固定杆502上，且顶簧503设置于支撑板501与下夹板504之间，上夹板505的一端通过转轴与下夹板504的上表面转动连接，上夹板505与下夹板504相邻两侧的外表面均开设有弧形开口506。

如此，通过将连接线4放入到下夹板504上开设的弧形开口506处，此时转动上夹板505，使上夹板505与下夹板504对连接线4进行固定，以便连接线4发生松动脱落时，可以带动下夹板504移动；同时通过上夹板505与下夹板504对连接线4的固定，可以防止连接线4由于电机本体1的轻微移动而被拉扯发生松动脱落的情况发生。

其中，请参阅图3，上夹板505的外表面设有限位组件6，限位组件6包括卡钩601和卡槽602，卡钩601与上夹板505的外表面固定连接，下夹板504与卡钩601同侧的外表面开设有卡槽602，卡钩601与卡槽602相卡接。

如此，通过转动上夹板505，使与上夹板505固定连接的卡钩601卡入到卡槽602内，从而对上夹板505进行固定，防止其发生转动。

其中，请参阅图3，接线盒2的内壁还设有提示机构7，提示机构7包括固定板701、导杆702、压簧703、横杆704和提示杆705，接线盒2的内壁固定连接有固定板701，导杆702的一端与横杆704的上表面固定连接，导杆702的另一端贯穿固定板701的下表面并与其滑动连接，压簧703套设于导杆702上，且压簧703设置于固定板701与横杆704之间，横杆704靠近固定杆502一侧的外表面为斜面设置，且固定杆502的端面于横杆704的斜面相抵，横杆704的上表面固定连接有提示杆705。

如此，当固定杆502向横杆704的方向被拉动时，由于固定杆502的端面于横杆704的斜面相抵，使得固定杆502可以向上推动横杆704，从而使与横杆704顶端固定连接的提示杆705伸出到接线盒2的外部，以便提示检修人员连接线4与触点3之间发生松动断开，使检修人员可以更加快速的了解到电机本体1存在的问题。

其中，请参阅图3，提示杆705的顶端贯穿接线盒2的上表面并与其滑动连接，且提示杆705顶端的水平高度低于接线盒2顶端的水平位置。

如此，使得横杆704向上推动提示杆705时，提示杆705可以伸出部分到接线盒2外，从而提醒检修人员连接线4与触点3发生松动脱落。

其中，请参阅图3，弧形开口506的内壁上开设有防滑槽。

如此，使得上夹板505与下夹板504可以对连接线4进行固定，防止连接线4在弧形开口506内发生移动。

本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种用于晶圆划切的直流永磁同步电机，包括电机本体(1)、触点(3)和连接线(4)，所述电机本体(1)的顶部固定连接有接线盒(2)，所述连接线(4)与触点(3)相焊接；其特征在于：所述接线盒(2)的内部设有固定机构(5)，所述固定机构(5)用于对连接线(4)进行固定；

所述固定机构(5)包括支撑板(501)、固定杆(502)、顶簧(503)、下夹板(504)、上夹板(505)和弧形开口(506)，所述接线盒(2)靠近连接线(4)的内表面对称固定连接有两块支撑板(501)，所述固定杆(502)的一端与下夹板(504)的外表面固定连接，所述固定杆(502)的另一端贯穿支撑板(501)的外表面并与其滑动连接，所述顶簧(503)套设于固定杆(502)上，且顶簧(503)设置于支撑板(501)与下夹板(504)之间，所述上夹板(505)的一端通过转轴与下夹板(504)的上表面转动连接，所述上夹板(505)与下夹板(504)相邻两侧的外表面均开设有弧形开口(506)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆划切的直流永磁同步电机，其特征在于：所述上夹板(505)的外表面设有限位组件(6)，所述限位组件(6)包括卡钩(601)和卡槽(602)，所述卡钩(601)与上夹板(505)的外表面固定连接，所述下夹板(504)与卡钩(601)同侧的外表面开设有卡槽(602)，所述卡钩(601)与卡槽(602)相卡接。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆划切的直流永磁同步电机，其特征在于：所述接线盒(2)的内壁还设有提示机构(7)，所述提示机构(7)包括固定板(701)、导杆(702)、压簧(703)、横杆(704)和提示杆(705)，所述接线盒(2)的内壁固定连接有固定板(701)，所述导杆(702)的一端与横杆(704)的上表面固定连接，所述导杆(702)的另一端贯穿固定板(701)的下表面并与其滑动连接，所述压簧(703)套设于导杆(702)上，且压簧(703)设置于固定板(701)与横杆(704)之间，所述横杆(704)靠近固定杆(502)一侧的外表面为斜面设置，且固定杆(502)的端面于横杆(704)的斜面相抵，所述横杆(704)的上表面固定连接有提示杆(705)。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆划切的直流永磁同步电机，其特征在于：所述提示杆(705)的顶端贯穿接线盒(2)的上表面并与其滑动连接，且提示杆(705)顶端的水平高度低于接线盒(2)顶端的水平位置。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆划切的直流永磁同步电机，其特征在于：所述弧形开口(506)的内壁上开设有防滑槽。

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