CN215526214U - 一种二维调节的反射镜调整架 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及反射镜面形检测技术领域，且公开了一种二维调节的反射镜调整架，包括方位底座和反射镜，所述方位底座的底部设置有地脚螺栓，所述方位底座的顶部设置有第一调节机构，所述第一调节机构的顶部设置有第二调节机构，所述第二调节机构的正面设置有回顶机构，所述反射镜的底部设置有俯仰运动杆，所述第二调节机构的侧面设置有端盖。该二维调节的反射镜调整架，通过设置有两个调节机构，调整架在调整过程中反射镜中心不动，具有调节更加简便，节省时间，能够完成俯仰和旋转角度调节，可快速调节出理想的反射光线，通过设置有镜框、压块和橡胶皮，定位稳定，能够在安装过程中快速完成反射镜的放置，能够安装承载镜面尺寸大。

Description

一种二维调节的反射镜调整架

技术领域

本实用新型涉及反射镜面形检测技术领域，具体为一种二维调节的反射镜调整架。

背景技术

极紫外光刻相关技术中，对光学元件面形检测精度达到了亚纳米量级，这对光学检测技术提出了极高的要求。在高精度光学元件面形检测方法中，要求被测试光学元件能绕其回转中心按固定角度旋转和俯仰微调。

现有技术中大多为独立的旋转机构、直线位移机构和倾斜调整台等，通过进口的电机驱动位移调整装置价格极其昂贵，不适用于前期实验，不具备经济性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种二维调节的反射镜调整架，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种二维调节的反射镜调整架，包括方位底座和反射镜，所述方位底座的底部设置有地脚螺栓，所述方位底座的顶部设置有第一调节机构，所述第一调节机构的顶部设置有第二调节机构，所述第二调节机构的正面设置有回顶机构，所述反射镜的底部设置有俯仰运动杆，所述第二调节机构的侧面设置有端盖，方位底座与地脚螺栓相配合，形成稳定的三角结构，使其承力时不会晃动，造成调节误差，调节地脚螺栓上的螺母，使方位底座保持水平，轻轻推动俯仰运动杆，观察可否轻易推动。

所述第二调节机构包括转轴、镜框、压块、橡胶皮、俯仰轴架、调节螺钉座、调节螺钉和润滑片，所述转轴固定连接于镜框的左侧，所述镜框的内部卡接有反射镜，压块压合连接于反射镜的正面，所述俯仰轴架固定连接于镜框的侧面，所述俯仰轴架套接于转轴的外表面，确保俯仰轴架竖直。

优选的，所述第一调节机构包括承力轴承、方位运动杆和俯仰基板，所述承力轴承固定连接于方位底座的顶部，所述方位运动杆固定连接于方位底座的顶部右侧，所述俯仰基板贯穿方位运动杆与承力轴承的底部接触。

优选的，所述俯仰轴架的数量为两个，两个所述俯仰轴架固定连接于镜框的左右两侧，通过设置有俯仰轴架，能够支撑镜框，配合压块和橡胶皮，能够将镜框固定好。

优选的，所述回顶机构包括压紧钉座、螺纹套筒、压缩弹簧、顶杆，所述顶杆固定连接于镜框的背面，所述压缩弹簧固定连接于螺纹套筒的正面，所述螺纹套筒固定连接于压缩弹簧的背面，所述压紧钉座固定连接于螺纹套筒的顶部。

优选的，所述俯仰轴架与俯仰基板通过螺栓固定连接，俯仰轴架与镜框之间留有适当间隙，可以加入润滑剂和更换润滑片，所述润滑片的材质为聚四氟乙烯，润滑片可以增加俯仰调节时的顺滑度，使转轴能轻易转动，没有太大阻力。

优选的，所述压块的正面粘合连接有橡胶皮，所述俯仰轴架的内部粘合连接有润滑片，增加俯仰调节时的顺滑度。

优选的，所述俯仰基板和承力轴承通过螺栓螺纹连接，俯仰基板起到支撑和调节的作用。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该二维调节的反射镜调整架，通过设置有两个调节机构，调整架在调整过程中反射镜中心不动，具有调节更加简便，节省时间，能够完成俯仰和旋转角度调节，可快速调节出理想的反射光线。

2、该二维调节的反射镜调整架,通过设置有镜框、压块和橡胶皮，定位稳定，能够在安装过程中快速完成反射镜的放置，同时在压块和橡胶皮的作用下，能够对反射镜进行固定，防止反射镜在工作时发生晃动影响效果，能够安装承载镜面尺寸大。

附图说明

图1为本实用新型正视结构示意图；

图2为本实用新型正视图剖面结构示意图；

图3为本实用新型俯视结构示意图；

图4为本实用新型侧视结构示意图。

图中：1、方位底座；2、地脚螺栓；3、第一调节机构；301、承力轴承；302、方位运动杆；303、俯仰基板；4、第二调节机构；401、转轴；402、镜框；403、压块；404、橡胶皮；405、俯仰轴架；406、调节螺钉座；407、调节螺钉；408、润滑片；5、回顶机构；501、压紧钉座；502、螺纹套筒；503、压缩弹簧；504、顶杆；6、反射镜；7、俯仰运动杆；8、端盖。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种二维调节的反射镜调整架，包括方位底座1和反射镜6，方位底座1的底部设置有地脚螺栓2，方位底座1的顶部设置有第一调节机构3，第一调节机构3的顶部设置有第二调节机构4，第二调节机构4的正面设置有回顶机构5，反射镜6的底部设置有俯仰运动杆7，第二调节机构4的侧面设置有端盖8，方位底座1与地脚螺栓2相配合，形成稳定的三角结构，使其承力时不会晃动，造成调节误差。调节地脚螺栓2上的螺母，使方位底座1保持水平，轻轻推动俯仰运动杆7，观察可否轻易推动。

第二调节机构4包括转轴401、镜框402、压块403、橡胶皮404、俯仰轴架405、调节螺钉座406、调节螺钉407和润滑片408，转轴401固定连接于镜框402的左侧，镜框402的内部卡接有反射镜6，压块403压合连接于反射镜6的正面，俯仰轴架405固定连接于镜框402的侧面，俯仰轴架405套接于转轴401的外表面，确保俯仰轴架405竖直，俯仰轴架405的数量为两个，两个俯仰轴架405固定连接于镜框402的左右两侧，通过设置有俯仰轴架405，能够支撑镜框402，配合压块403和橡胶皮404，能够将镜框402固定好，俯仰轴架405与俯仰基板303通过螺栓固定连接，俯仰轴架405与镜框402之间留有适当间隙，可以加入润滑剂和更换润滑片408，润滑片408的材质为聚四氟乙烯，润滑片408可以增加俯仰调节时的顺滑度，使转轴401能轻易转动，没有太大阻力，压块403的正面粘合连接有橡胶皮404，俯仰轴架405的内部粘合连接有润滑片408，增加俯仰调节时的顺滑度。

第一调节机构3包括承力轴承301、方位运动杆302和俯仰基板303，承力轴承301固定连接于方位底座1的顶部，方位运动杆302固定连接于方位底座1的顶部右侧，俯仰基板303贯穿方位运动杆302与承力轴承301的底部接触，俯仰基板303和承力轴承301通过螺栓螺纹连接，俯仰基板303起到支撑和调节的作用。

回顶机构5包括压紧钉座501、螺纹套筒502、压缩弹簧503、顶杆504，顶杆504固定连接于镜框402的背面，压缩弹簧503固定连接于螺纹套筒502的正面，螺纹套筒502固定连接于压缩弹簧503的背面，压紧钉座501固定连接于螺纹套筒502的顶部。

本实用新型的工作原理：在安装时，先将承力轴承301嵌入方位底座1中，将方位运动杆302与方位底座1通过螺栓固定，使方位运动杆302的接触面与镜框402平齐，再将俯仰基板303上的行程导向槽穿过方位运动杆302，与承力轴承301的上台面对齐孔位，喷上润滑油，并用螺栓紧固，将转轴401与镜框402通过螺栓固定，将反射镜6小心放入镜框402内固定，压块403通过硅橡胶贴上剪好的橡胶皮404，待硅橡胶晾干后，用压块403通过螺栓固定压紧反射镜6，防止反射镜6滑落掉出，俯仰轴架405内部用硅橡胶贴上润滑片408，增加俯仰调节时的顺滑度，使转轴401能轻易转动，没有太大阻力，待硅橡胶晾干后，在镜框402与俯仰轴架405连接处喷上润滑油，将镜框402上的转轴401套入俯仰轴架405内，留有适当间隙，以便加入润滑剂和更换润滑片408，盖上端盖8，用螺栓拧紧，防止灰尘进入，立起镜框402与俯仰轴架405，将俯仰轴架405与俯仰基板303通过螺栓固定连接，确保俯仰轴架405竖直，将俯仰运动杆7与镜框402紧固，接触面亦与镜框402平齐，将调节螺钉座406与调节螺钉407配合，将压紧钉座501与螺纹套筒502配合，套筒内先套入压缩弹簧503，再弹簧外套入顶杆504，将调节螺钉座406、压紧钉座501分别与俯仰基板303紧固于镜框402两侧，调整调节螺钉407的位置，使其前端正好分别轻触方位运动杆302和俯仰运动杆7，同样顶杆504前端轻触方位运动杆302和俯仰运动杆7，构成通过旋转细牙调节螺钉407，完成安装的过程。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种二维调节的反射镜调整架，包括方位底座(1)和反射镜(6)，其特征在于：所述方位底座(1)的底部设置有地脚螺栓(2)，所述方位底座(1)的顶部设置有第一调节机构(3)，所述第一调节机构(3)的顶部设置有第二调节机构(4)，所述第二调节机构(4)的正面设置有回顶机构(5)，所述反射镜(6)的底部设置有俯仰运动杆(7)，所述第二调节机构(4)的侧面设置有端盖(8)；

所述第二调节机构(4)包括转轴(401)、镜框(402)、压块(403)、橡胶皮(404)、俯仰轴架(405)、调节螺钉座(406)、调节螺钉(407)和润滑片(408)，所述转轴(401)固定连接于镜框(402)的左侧，所述镜框(402)的内部卡接有反射镜(6)，压块(403)压合连接于反射镜(6)的正面，所述俯仰轴架(405)固定连接于镜框(402)的侧面，所述俯仰轴架(405)套接于转轴(401)的外表面。

2.根据权利要求1所述的一种二维调节的反射镜调整架，其特征在于：所述第一调节机构(3)包括承力轴承(301)、方位运动杆(302)和俯仰基板(303)，所述承力轴承(301)固定连接于方位底座(1)的顶部，所述方位运动杆(302)固定连接于方位底座(1)的顶部右侧，所述俯仰基板(303)贯穿方位运动杆(302)与承力轴承(301)的底部接触。

3.根据权利要求1所述的一种二维调节的反射镜调整架，其特征在于：所述俯仰轴架(405)的数量为两个，两个所述俯仰轴架(405)固定连接于镜框(402)的左右两侧。

4.根据权利要求1所述的一种二维调节的反射镜调整架，其特征在于：所述回顶机构(5)包括压紧钉座(501)、螺纹套筒(502)、压缩弹簧(503)、顶杆(504)，所述顶杆(504)固定连接于镜框(402)的背面，所述压缩弹簧(503)固定连接于螺纹套筒(502)的正面，所述螺纹套筒(502)固定连接于压缩弹簧(503)的背面，所述压紧钉座(501)固定连接于螺纹套筒(502)的顶部。

5.根据权利要求1所述的一种二维调节的反射镜调整架，其特征在于：所述俯仰轴架(405)与俯仰基板(303)通过螺栓固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种二维调节的反射镜调整架，其特征在于：所述压块(403)的正面粘合连接有橡胶皮(404)，所述俯仰轴架(405)的内部粘合连接有润滑片(408)。

7.根据权利要求2所述的一种二维调节的反射镜调整架，其特征在于：所述俯仰基板(303)和承力轴承(301)通过螺栓螺纹连接。

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