CN215516715U

CN215516715U - 一种废液排放用水气分离结构

Info

Publication number: CN215516715U
Application number: CN202120818570.7U
Authority: CN
Inventors: 李北超; 王大帮; 解攀柱; 瞿治军; 夏金伟
Original assignee: Hua Hong Semiconductor Wuxi Co Ltd
Current assignee: Hua Hong Semiconductor Wuxi Co Ltd
Priority date: 2021-04-21
Filing date: 2021-04-21
Publication date: 2022-01-14
Anticipated expiration: 2031-04-21

Abstract

本实用新型公开了一种废液排放用水气分离结构，包括第一排液管、缓冲容纳腔、第二排液管、排气管；缓冲容纳腔内设置的隔板将缓冲容纳腔分割为底部联通的排液腔体、排气腔体，排液腔体的顶部联通第一排液管，排液腔体的底部联通第二排液管；排气管设置于排气腔体的一侧壁并靠近顶面；本实用新型通过设置缓冲容纳腔，使气液分离时废液中的液体成分不容易进入排气管，厂务端排液主管路产生的反气也能很顺利地从排气管排出，既保障了水气分离效果，又保障了排气管的使用寿命不受影响，还不会对清洗单元的清洗效果产生影响；另外，通过设置滤网，避免了因气泡在排气管堆积而影响气液分离效果以及可能导致的漏液和对管壁的腐蚀。

Description

一种废液排放用水气分离结构

技术领域

本实用新型涉及半导体器件制备领域，特别涉及一种废液排放用水气分离结构。

背景技术

半导体器件制备过程中，会产生很多废液，尤其在清洗单元，产生的废液一般需要进行水气分离处理，例如，化学机械抛光工艺中的清洗单元产生的废液，经水气分离后，废液所含的液体成分通过排液管路1排放至厂务端排液主管路3，所含的气体成分通过排气管路2排放至厂务端排气主管路4，如图1所示。现有的废液排放水气分离的结构，一般通过在排液管路1上直接增设旁路5连接至排气管路2，通过厂务端排气主管路4内低于排液管路1的压强实现水气分离；另外，厂务端排液主管路3产生的反气也会被吸入排气管路2而随排气管排走，不对清洗单元的清洗效果造成影响。

但现有技术中的水气分离结构中，由于排气管通过旁路5直接与排液管路1连接，排液管路1内的废液很容易通过旁路5进入排气管，造成排气管堵塞，影响水气分离效果，同时，还会使厂务端排液主管路3产生的反气无法从排气管排出，而进入清洗单元，导致在产品上产生清洗类不良，影响产品质量；另外，由于排气管的材质一般为金属材质，而废液中含有强酸成分，因此，废液进入排气管后，还会对排气管的管壁产生腐蚀，既容易造成漏液，也会缩短排气管的使用寿命；同时，废液中一般还会含有容易产生气泡的成分，例如柠檬酸，该成分在废液排放过程中产生的气泡，气泡很容易被吸入排气管，当气泡在排气管内产生堆积时，不但会影响水气分离的效果，也会对排气管的管壁进行腐蚀，造成漏液以及缩短排气管的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种废液排放用水气分离结构，既能避免对排气管造成堵塞和腐蚀，又能避免气泡进入排气管。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的一种废液排放用水气分离结构，包括第一排液管、缓冲容纳腔、第二排液管、排气管；

所述缓冲容纳腔的内部沿竖直方向设置有隔板，所述隔板将所述缓冲容纳腔分割为排液腔体、排气腔体，所述排液腔体与所述排气腔体在所述缓冲容纳腔的底部联通；

所述排液腔体的顶部联通所述第一排液管，所述排液腔体的底部联通所述第二排液管；

所述排气管设置于所述排气腔体的一侧壁，所述排气管靠近所述排气腔体的顶面；

所述废液自所述第一排液管进入所述排液腔体，所述废液所含的液体成分自所述第二排液管排出，所述废液所含的气体成分自所述排气管排出。

较佳地，所述排气腔体内设置有滤网，所述废液所含的气体成分穿过所述滤网进入所述排气管。

较佳地，所述排气管设置于所述缓冲容纳腔的与所述隔板相对的侧壁。

较佳地，所述排气管水平设置。

较佳地，所述排气管联通于厂务端排气主管路。

较佳地，所述厂务端排气主管路的内部压强低于所述排气腔体的内部压强。

较佳地，所述第二排液管包括依次联通的第一竖直排液段、水平排液段、第二竖直排液段；

所述第一竖直排液段与所述排液腔体联通；

所述第二竖直排液段与厂务端排液主管路联通。

较佳地，所述第一竖直排液段与所述水平排液段通过弯头联通。

较佳地，所述排气管与所述水平排液段之间的距离大于45厘米。

本实用新型通过设置缓冲容纳腔，使气液分离的过程在缓冲容纳腔内进行，由于缓冲容纳腔的第二排液管的位置低于排气管的位置，因此，废液中的液体成分不容易进入排气管，进而不会对排气管造成堵塞和腐蚀，厂务端排液主管路产生的反气也能很顺利地从排气管排出，从而既保障了水气分离结构具有较好的水气分离效果，又保障了排气管的使用寿命不受影响，还不会对清洗单元的清洗效果产生影响；另外，通过设置滤网，使得气泡在进入排气管之间被破解液化，避免了因气泡在排气管堆积而影响气液分离效果以及可能导致的漏液和对管壁的腐蚀。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的技术方案，下面对本实用新型所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是现有技术一废液排放用水气分离结构示意图；

图2是本实用新型的废液排放用水气分离结构一实施例的结构示意图；

图3是本实用新型的废液排放用水气分离结构一实施例的缓冲容纳腔结构示意图。

图中，1-排液管路；2-排气管路；3-厂务端排液主管路；4-厂务端排气主管路；5-旁路；10-第一排液管；20-缓冲容纳腔；30-第二排液管；40-排气管；50-厂务端排气主管路；60-厂务端排液主管路；201-隔板；202-排液腔体；203-排气腔体；204-滤网；301-第一竖直排液段；302-水平排液段；303-第二竖直排液段；304-弯头。

具体实施方式

下面将结合附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参考图2和图3，示出了本实用新型实施例的一种废液排放用水气分离结构，包括第一排液管10、缓冲容纳腔20、第二排液管30、排气管40；

所述缓冲容纳腔20的内部沿竖直方向设置有隔板201，所述隔板201将所述缓冲容纳腔20分割为排液腔体202、排气腔体203，所述排液腔体202与所述排气腔体203在所述缓冲容纳腔20的底部联通；

所述排液腔体202的顶部联通所述第一排液管10，所述排液腔体202的底部联通所述第二排液管30；

所述排气管40设置于所述排气腔体203的侧壁，所述排气管40靠近所述排气腔体203的顶面；

所述废液自所述第一排液管10进入所述排液腔体202，所述废液所含的液体成分自所述第二排液管30排出，所述废液所含的气体成分自所述排气管40排出。

本实用新型实施例中，清洗单元产生的废液自第一排液管10进入缓冲容纳腔20的排液腔体202内，完成水气分离后，废液所含的液体成分自第二排液管30排出，所含的气体成分自排液腔体202的底部进入排气腔体203，并自排气腔体203顶部的排气管40排出，由于第二排液管30与排气管40有高度差，因此，废液中的液体成分不容易进入排气管40，进而不会对排气管40造成堵塞和腐蚀，厂务端排液主管路60产生的反气也能很顺利地从排气管40排出，从而既保障了水气分离结构具有较好的水气分离效果，又保障了排气管40的使用寿命不受影响，还不会对清洗单元的清洗效果产生影响。

较佳地，所述排气腔体203内设置有滤网204，所述废液所含的气体成分穿过所述滤网204进入所述排气管40。

本实用新型实施例中，通过在排气腔体203内设置滤网204，当废液所含的容易产生气泡的成分在缓冲容纳腔20内产生气泡时，气泡会随废液所含的气体成分向排气管40方向移动，当移动至滤网204处时，受到滤网204阻挡，被滤网204破解液化并随废液所含的液体成分自第二排液管30排出，因此，气泡不会进入排气管40，进而不会影响气液分离的效果。

较佳地，述排气管40设置于所述缓冲容纳腔20的与所述隔板201相对的侧壁。可理解地，排气管40在缓冲容纳腔20侧壁的安装位置，只要高于所述滤网204即可，且即可以安装于相邻与隔板201的侧壁，也可以安装于相对于隔板201的侧壁，还可以安装于排气腔体203的顶面。本实用新型实施例中，受限于工厂的实际施工状况，将排气管40安装于与隔板201相对的侧壁。

较佳地，所述排气管40水平设置。

较佳地，所述排气管40联通于厂务端排气主管路50。

较佳地，所述厂务端排气主管路50的内部压强低于所述排气腔体203的内部压强。可理解地，设置厂务端排气主管路50与排气腔体203之间具有压强差，是为了使水气分离具有较好的效果，更便于废液中的气体成分自缓冲容纳腔20向厂务端排气主管路50移动。

较佳地，所述第二排液管30包括依次联通的第一竖直排液段301、水平排液段302、第二竖直排液段303；

所述第一竖直排液段301与所述排液腔体202联通；

所述第二竖直排液段303与厂务端排液主管路60联通。

较佳地，所述第一竖直排液段301与所述水平排液段302通过弯头304联通。可理解地，弯头304的弧形段一般位于低于弯头304两端接口的高度，这样可以减少反气进入缓冲容纳腔20。

较佳地，所述排气管40与所述水平排液段302之间的距离大于45厘米。设置排气管40高于水平排液段302至少45厘米，是为了防止在排液过程中，已经进入第二排液管30的液体被倒吸入排气管40造成排气管40的堵塞。

综上所述，本实用新型通过设置缓冲容纳腔，使气液分离的过程在缓冲容纳腔内进行，由于缓冲容纳腔的第二排液管的位置低于排气管的位置，因此，废液中的液体成分不容易进入排气管，进而不会对排气管造成堵塞和腐蚀，厂务端排液主管路产生的反气也能很顺利地从排气管排出，从而既保障了水气分离结构具有较好的水气分离效果，又保障了排气管的使用寿命不受影响，还不会对清洗单元的清洗效果产生影响；另外，通过设置滤网，使得气泡在进入排气管之间被破解液化，避免了因气泡在排气管堆积而影响气液分离效果以及可能导致的漏液和对管壁的腐蚀。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型保护的范围之内。

Claims

1.一种废液排放用水气分离结构，其特征在于，包括第一排液管、缓冲容纳腔、第二排液管、排气管；

2.如权利要求1所述的水气分离结构，其特征在于，所述排气腔体内设置有滤网，所述废液所含的气体成分穿过所述滤网进入所述排气管。

3.如权利要求2所述的水气分离结构，其特征在于，所述排气管设置于所述缓冲容纳腔的与所述隔板相对的侧壁。

4.如权利要求3所述的水气分离结构，其特征在于，所述排气管水平设置。

5.如权利要求4所述的水气分离结构，其特征在于，所述排气管联通于厂务端排气主管路。

6.如权利要求5所述的水气分离结构，其特征在于，所述厂务端排气主管路的内部压强低于所述排气腔体的内部压强。

7.如权利要求4所述的水气分离结构，其特征在于，所述第二排液管包括依次联通的第一竖直排液段、水平排液段、第二竖直排液段；

所述第一竖直排液段与所述排液腔体联通；

所述第二竖直排液段与厂务端排液主管路联通。

8.如权利要求7所述的水气分离结构，其特征在于，所述第一竖直排液段与所述水平排液段通过弯头联通。

9.如权利要求7所述的水气分离结构，其特征在于，所述排气管与所述水平排液段之间的距离大于45厘米。