CN215481230U - 一种带有检测功能的镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种带有检测功能的镀膜设备，包括支撑密封底座，所述支撑密封底座的外侧固定安装有镀膜腔体，所述镀膜腔体的上端面固定安装有真空抽气盖，所述镀膜腔体中部的外侧固定安装有检测机构，所述检测机构包括取样罐体、导流套环、密封连接环、增温保持环、导流套管和检测座，所述密封连接环的外侧固定安装有导流套环，所述导流套环的内部设置有两个增温保持环，所述导流套环的外侧均匀安装有八个导流套管，所述导流套管一端的外侧安装有取样罐体，所述取样罐体的内部设置有检测座，所述支撑密封底座上端面的中部安装有密封框架。本实用新型通过对镀膜原料蒸发后进行多方位监测，有效保证镀膜质量。

Description

一种带有检测功能的镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体为一种带有检测功能的镀膜设备。

背景技术

随着社会经济的快速发展，半导体材料的应用越来越广，半导体材料在使用时有时需要在外部镀上特定材质的膜以对其进行保护，常见的半导体镀膜方法包括PVD镀膜(物理镀膜)、CVD镀膜(化学镀膜)离子镀膜等，而物理镀膜主要利用加热可蒸发的镀膜原料，使其转化成蒸汽，并附着在半导体材料表面，从而达到镀膜的效果。

但是，现有的对材料进行蒸发镀膜过程中不便于对镀膜原料的蒸发质量进行检测，进而不能够保证镀膜质量；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种带有检测功能的镀膜设备。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带有检测功能的镀膜设备，以解决上述背景技术中提出的现有的对材料进行蒸发镀膜过程中不便于对镀膜原料的蒸发质量进行检测，进而不能够保证镀膜质量等问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带有检测功能的镀膜设备，包括支撑密封底座，所述支撑密封底座的外侧固定安装有镀膜腔体，所述镀膜腔体的上端面固定安装有真空抽气盖，所述镀膜腔体中部的外侧固定安装有检测机构，所述检测机构包括取样罐体、导流套环、密封连接环、增温保持环、导流套管和检测座，所述密封连接环的外侧固定安装有导流套环，所述导流套环的内部设置有两个增温保持环，所述导流套环的外侧均匀安装有八个导流套管，所述导流套管一端的外侧安装有取样罐体，所述取样罐体的内部设置有检测座，所述支撑密封底座上端面的中部安装有密封框架，所述密封框架的内侧安装有补充导流板，所述密封框架的外侧均匀安装有八个导向套筒，所述导向套筒的内部滑动连接有镀膜件安装盘，八个所述镀膜件安装盘的底端固定安装有连接安装架。

优选的，所述支撑密封底座与镀膜腔体通过螺钉连接固定，所述导向套筒与支撑密封底座焊接固定，所述镀膜件安装盘与导向套筒通过密封圈连接。

优选的，所述连接安装架的上端延伸至导向套筒的内侧通过螺钉与镀膜件安装盘连接，所述镀膜件安装盘的上端面设置有镀膜件放置槽。

优选的，所述补充导流板与支撑密封底座通过密封框架连接，所述补充导流板中部的内侧设置有进料槽。

优选的，所述密封连接环与镀膜腔体通过螺钉连接固定，所述导流套环与镀膜腔体通过密封连接环连接。

优选的，所述导流套管的一端贯穿取样罐体的一端通过螺纹与导流套环连接，所述取样罐体、导流套管、导流套环和镀膜腔体均贯通连接。

优选的，所述增温保持环与导流套环通过螺钉连接固定，所述增温保持环的内侧设置有电热阻丝。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过连接安装架带动八个镀膜件安装盘在导向套筒的内侧进行滑动，进而便于同时对八个镀膜件进行安装，镀膜件安装盘与导向套筒通过密封圈连接，有效保证支撑密封底座的密封性，通过补充导流板将镀膜原料蒸发输送至镀膜腔体的内侧，使得能够快速对镀膜件进行镀膜操作；

2、本实用新型通过取样罐体、导流套管、导流套环和镀膜腔体的内部均贯通连接，使得通过导流套环和导流套管的输送，能够同时在八个方位对镀膜原料进行导流，进而通过检测座便于对镀膜过程进行实时监测。

附图说明

图1为本实用新型整体的结构示意图；

图2为本实用新型整体的仰视图；

图3为本实用新型整体的剖面结构示意图；

图4为本实用新型补充导流板的结构示意图。

图中：1、支撑密封底座；2、镀膜腔体；3、真空抽气盖；4、检测机构；5、取样罐体；6、导流套环；7、密封连接环；8、增温保持环；9、导流套管；10、检测座；11、连接安装架；12、补充导流板；13、导向套筒；14、镀膜件安装盘；15、密封框架。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

请参阅图1至图4，本实用新型提供的一种实施例：一种带有检测功能的镀膜设备，包括支撑密封底座1，支撑密封底座1的外侧固定安装有镀膜腔体2，镀膜腔体2的上端面固定安装有真空抽气盖3，镀膜腔体2中部的外侧固定安装有检测机构4，检测机构4包括取样罐体5、导流套环6、密封连接环7、增温保持环8、导流套管9和检测座10，密封连接环7的外侧固定安装有导流套环6，导流套环6的内部设置有两个增温保持环8，导流套环6的外侧均匀安装有八个导流套管9，导流套管9一端的外侧安装有取样罐体5，取样罐体5的内部设置有检测座10，支撑密封底座1上端面的中部安装有密封框架15，密封框架15的内侧安装有补充导流板12，通过补充导流板12便于对镀膜原料进行输入，密封框架15的外侧均匀安装有八个导向套筒13，导向套筒13的内部滑动连接有镀膜件安装盘14，通过镀膜件安装盘14便于对八个镀膜件进行同时放置，八个镀膜件安装盘14的底端固定安装有连接安装架11，整体通过对镀膜原料蒸发后进行多方位监测，有效保证镀膜质量。

进一步，支撑密封底座1与镀膜腔体2通过螺钉连接固定，导向套筒13与支撑密封底座1焊接固定，镀膜件安装盘14与导向套筒13通过密封圈连接。

通过采用上述技术方案，通过密封圈连接有效保证支撑密封底座1的密封性。

进一步，连接安装架11的上端延伸至导向套筒13的内侧通过螺钉与镀膜件安装盘14连接，镀膜件安装盘14的上端面设置有镀膜件放置槽。

通过采用上述技术方案，通过镀膜件安装盘14便于对八个镀膜件进行同时放置。

进一步，补充导流板12与支撑密封底座1通过密封框架15连接，补充导流板12中部的内侧设置有进料槽。

通过采用上述技术方案，通过补充导流板12便于对镀膜原料进行输入。

进一步，密封连接环7与镀膜腔体2通过螺钉连接固定，导流套环6与镀膜腔体2通过密封连接环7连接。

通过采用上述技术方案，通过密封连接环7便于对导流套环6进行定位安装。

进一步，导流套管9的一端贯穿取样罐体5的一端通过螺纹与导流套环6连接，取样罐体5、导流套管9、导流套环6和镀膜腔体2均贯通连接。

通过采用上述技术方案，使得通过导流套环6和导流套管9的输送，能够同时在八个方位对镀膜原料进行导流。

进一步，增温保持环8与导流套环6通过螺钉连接固定，增温保持环8的内侧设置有电热阻丝。

通过采用上述技术方案，通过增温保持环8便于对镀膜原料进行实时的增温，避免温度降低造成镀膜质量降低。

工作原理：使用时，检查各零件的功能是否完好，在镀膜腔体2的上端安装有真空抽气盖3，使得通过真空抽气盖3外接气管能够对镀膜腔体2的内侧进行气体的抽取，便于保持镀膜腔体2内侧的真空效果，将补充导流板12与支撑密封底座1通过密封框架15连接，在补充导流板12的两端均设置有定位销，使得补充导流板12的两端均通过定位销与支撑密封底座1连接，在补充导流板12的上端面设置有进料槽，接通电源，将镀膜件放置在镀膜件安装盘14的上端面，使得连接安装架11带动八个镀膜件安装盘14在导向套筒13的内侧进行滑动，进而便于同时对八个镀膜件进行安装，镀膜件安装盘14与导向套筒13通过密封圈连接，有效保证支撑密封底座1的密封性，通过补充导流板12将镀膜原料蒸发输送至镀膜腔体2的内侧，使得能够快速对镀膜件进行镀膜操作，在镀膜腔体2中部的外侧固定安装有密封连接环7，使得导流套环6与镀膜腔体2通过密封连接环7连接，进而取样罐体5、导流套管9、导流套环6和镀膜腔体2的内部均贯通连接，使得通过导流套环6和导流套管9的输送，能够同时在八个方位对镀膜原料进行导流，进而通过检测座10便于对镀膜过程进行实时监测。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (7)

1.一种带有检测功能的镀膜设备，包括支撑密封底座(1)，其特征在于：所述支撑密封底座(1)的外侧固定安装有镀膜腔体(2)，所述镀膜腔体(2)的上端面固定安装有真空抽气盖(3)，所述镀膜腔体(2)中部的外侧固定安装有检测机构(4)，所述检测机构(4)包括取样罐体(5)、导流套环(6)、密封连接环(7)、增温保持环(8)、导流套管(9)和检测座(10)，所述密封连接环(7)的外侧固定安装有导流套环(6)，所述导流套环(6)的内部设置有两个增温保持环(8)，所述导流套环(6)的外侧均匀安装有八个导流套管(9)，所述导流套管(9)一端的外侧安装有取样罐体(5)，所述取样罐体(5)的内部设置有检测座(10)，所述支撑密封底座(1)上端面的中部安装有密封框架(15)，所述密封框架(15)的内侧安装有补充导流板(12)，所述密封框架(15)的外侧均匀安装有八个导向套筒(13)，所述导向套筒(13)的内部滑动连接有镀膜件安装盘(14)，八个所述镀膜件安装盘(14)的底端固定安装有连接安装架(11)。

2.根据权利要求1所述的一种带有检测功能的镀膜设备，其特征在于：所述支撑密封底座(1)与镀膜腔体(2)通过螺钉连接固定，所述导向套筒(13)与支撑密封底座(1)焊接固定，所述镀膜件安装盘(14)与导向套筒(13)通过密封圈连接。

3.根据权利要求1所述的一种带有检测功能的镀膜设备，其特征在于：所述连接安装架(11)的上端延伸至导向套筒(13)的内侧通过螺钉与镀膜件安装盘(14)连接，所述镀膜件安装盘(14)的上端面设置有镀膜件放置槽。

4.根据权利要求1所述的一种带有检测功能的镀膜设备，其特征在于：所述补充导流板(12)与支撑密封底座(1)通过密封框架(15)连接，所述补充导流板(12)中部的内侧设置有进料槽。

5.根据权利要求1所述的一种带有检测功能的镀膜设备，其特征在于：所述密封连接环(7)与镀膜腔体(2)通过螺钉连接固定，所述导流套环(6)与镀膜腔体(2)通过密封连接环(7)连接。

6.根据权利要求1所述的一种带有检测功能的镀膜设备，其特征在于：所述导流套管(9)的一端贯穿取样罐体(5)的一端通过螺纹与导流套环(6)连接，所述取样罐体(5)、导流套管(9)、导流套环(6)和镀膜腔体(2)均贯通连接。

7.根据权利要求1所述的一种带有检测功能的镀膜设备，其特征在于：所述增温保持环(8)与导流套环(6)通过螺钉连接固定，所述增温保持环(8)的内侧设置有电热阻丝。

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