CN215440672U - 一种球形超高真空腔体 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种球形超高真空腔体，包括球形腔体，所述球形腔体的前后两端均开设有大法兰连接螺纹口，所述大法兰连接螺纹口的一侧设置有小法兰连接螺纹孔，密封垫片，其安装在所述大法兰连接螺纹口的内壁上方，环形密封连接槽，其开设在所述大法兰连接螺纹口的外壁，所述环形密封连接槽的内部开设有连接固定孔，弧形螺纹加固板，其安装在所述连接固定孔的内部下方，辅助连接件，其连接在所述弧形螺纹加固板的一侧，所述弧形螺纹加固板的一侧连接有安装板，所述安装板的一侧连接有安装槽。该球形超高真空腔体，与现有的装置相比，可以对法兰连接处内外两侧进行有效的密封连接，从而保证腔体的真空性，同时可以防止腔体安装时滚动。

Description

一种球形超高真空腔体

技术领域

本实用新型涉及真空腔体技术领域，具体为一种球形超高真空腔体。

背景技术

在专利申请号为CN203976909U的一种用于薄膜生长的超高真空腔体中，本实用新型属于真空腔体机械技术领域，具体为一种用于薄膜生长的超高真空腔体。其主体为一个由正方体切割去八个顶角而形成，其内部作球形掏空，构成用于薄膜生长的腔体内壁；正方体的六个方形面上分别设有大法兰接口，与腔体内壁贯穿连通；每一个截面上设有小法兰接口，与腔体内壁贯穿连通；

上述专利存在以下问题：为保证真空腔体的真空性，通常需要进行较为密封的连接，而上述专利的真空腔体与设备的连接利用简单的铜垫圈进行连接处的密封，密封效果有限且连接处不够稳固，从而不能够很好的实现密封性的问题，为此，我们提出一种球形超高真空腔体。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种球形超高真空腔体，以解决上述背景技术中提出由于为保证真空腔体的真空性，通常需要进行较为密封的连接，而上述专利的真空腔体与设备的连接利用简单的铜垫圈进行连接处的密封，密封效果有限且连接处不够稳固，从而不能够很好的实现密封性的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种球形超高真空腔体，包括：

球形腔体，所述球形腔体的前后两端均开设有大法兰连接螺纹口，所述大法兰连接螺纹口的一侧设置有小法兰连接螺纹孔，所述小法兰连接螺纹孔的上端安装有螺纹伸缩调节槽，所述螺纹伸缩调节槽的外壁套设有伸缩调节螺纹连接杆套；

定位固定柱(12)，其固定安装在所述小法兰连接螺纹孔的一侧，所述定位固定柱(12)的一侧设置有限位弧形板；

密封垫片，其安装在所述大法兰连接螺纹口的内壁上方；

环形密封连接槽，其开设在所述大法兰连接螺纹口的外壁，所述环形密封连接槽的内部开设有连接固定孔；

弧形螺纹加固板，其安装在所述连接固定孔的内部下方；

辅助连接件，其连接在所述弧形螺纹加固板的一侧，所述弧形螺纹加固板的一侧连接有安装板，所述安装板的一侧连接有安装槽。

优选的，所述密封垫片与大法兰连接螺纹口的内壁紧密贴合，所述密封垫片的外部尺寸与大法兰连接螺纹口的内部尺寸相吻合。

优选的，所述环形密封连接槽包裹于大法兰连接螺纹口的外壁，所述连接固定孔沿环形密封连接槽内部均匀分布。

优选的，所述弧形螺纹加固板关于连接固定孔的内部对称分布，所述弧形螺纹加固板外部尺寸小于连接固定孔的内部尺寸。

优选的，所述螺纹加固板通过辅助连接件与安装板弹性连接，所述辅助连接件与螺纹加固板固定连接。

优选的，所述安装板与安装槽相互贴合，所述安装槽关于连接固定孔的内部对称分布。

优选的，所述球形腔体还设有：

防滚动切面，其均匀设置在所述球形腔体外壁，所述防滚动切面的数量设置在三个。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种球形超高真空腔体，具备以下有益效果：该球形超高真空腔体，可以对法兰连接处内外两侧进行有效的密封连接，从而保证腔体的真空性，同时可以防止腔体安装时滚动。

1.本实用新型通过密封垫片能够从内侧对大法兰连接螺纹口的连接端进行密封，从而增加连接的密封性，避免漏气，通过环形密封连接槽能够增加大法兰连接螺纹口与连接端的接触面积，从而能够从外部对大法兰连接螺纹口的连接端进行有效密封，连接固定孔对连接处进行固定；

2.本实用新型通过弧形螺纹加固板能够对连接到连接固定孔内部的连接件进行一定的夹持，且螺纹加固板对称分布，能够从两侧同时进行夹持，使连接件能够更好的进行连接固定，通过辅助连接件用于连接弧形螺纹加固板和安装板，从而能够对弧形螺纹加固板的位置进行一定的弹性调整，从而使弧形螺纹加固板能够更好的与辅助连接件贴合连接；

3.本实用新型通过安装槽能够实现安装板的安装，使安装槽能够嵌合在连接固定孔内壁的内部，从而避免安装板影响连接固定孔内部的尺寸，通过防滚动切面设为平行面，能够防止球形腔体发生滚动，同时能够使球形腔体放置时更加稳定。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型球形腔体主视结构示意图；

图3为本实用新型连接固定孔内部截面结构示意图；

图4为本实用新型图3中A处放大结构示意图；

图5为本实用新型弧形螺纹加固板连接处结构示意图。

图中：1、球形腔体；2、防滚动切面；3、大法兰连接螺纹口；4、小法兰连接螺纹孔；5、连接固定孔；6、密封垫片；7、环形密封连接槽；8、弧形螺纹加固板；9、辅助连接件；10、安装板；11、安装槽；12、定位固定柱；13、螺纹伸缩调节槽；14、伸缩调节螺纹连接杆套；15、限位弧形板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-2所示，一种球形超高真空腔体，包括：球形腔体1，球形腔体1的前后两端均开设有大法兰连接螺纹口3，大法兰连接螺纹口3的一侧设置有小法兰连接螺纹孔4，小法兰连接螺纹孔4的上端安装有螺纹伸缩调节槽13，螺纹伸缩调节槽13的外壁套设有伸缩调节螺纹连接杆套14，定位固定柱12，其固定安装在小法兰连接螺纹孔4的一侧，定位固定柱12的一侧设置有限位弧形板15，密封垫片6，其安装在大法兰连接螺纹口3的内壁上方，密封垫片6与大法兰连接螺纹口3的内壁紧密贴合，密封垫片6的外部尺寸与大法兰连接螺纹口3的内部尺寸相吻合，通过密封垫片6能够从内侧对大法兰连接螺纹口3的连接端进行密封，从而增加连接的密封性，避免漏气，环形密封连接槽7，其开设在大法兰连接螺纹口3的外壁，环形密封连接槽7的内部开设有连接固定孔5，环形密封连接槽7包裹于大法兰连接螺纹口3的外壁，连接固定孔5沿环形密封连接槽7内部均匀分布，通过环形密封连接槽7能够增加大法兰连接螺纹口3与连接端的接触面积，从而能够从外部对大法兰连接螺纹口3的连接端进行有效密封，连接固定孔5对连接处进行固定，防滚动切面2，其均匀设置在球形腔体1外壁，防滚动切面2的数量设置在三个，通过防滚动切面2设为平行面，能够防止球形腔体1发生滚动，同时能够使球形腔体1放置时更加稳定。

如图3-5所示，一种球形超高真空腔体，包括：弧形螺纹加固板8，其安装在连接固定孔5的内部下方，弧形螺纹加固板8关于连接固定孔5的内部对称分布，弧形螺纹加固板8外部尺寸小于连接固定孔5的内部尺寸，通过弧形螺纹加固板8能够对连接到连接固定孔5内部的连接件进行一定的夹持，且弧形螺纹加固板8对称分布，能够从两侧同时进行夹持，使连接件能够更好的进行连接固定，辅助连接件9，其连接在弧形螺纹加固板8的一侧，弧形螺纹加固板8的一侧连接有安装板10，安装板10的一侧连接有安装槽11，弧形螺纹加固板8通过辅助连接件9与安装板10弹性连接，辅助连接件9与弧形螺纹加固板8固定连接，，安装板10与安装槽11相互贴合，安装槽11关于连接固定孔5的内部对称分布，通过辅助连接件9用于连接弧形螺纹加固板8和安装板10，从而能够对弧形螺纹加固板8的位置进行一定的弹性调整，从而使弧形螺纹加固板8能够更好的与连接件贴合连接，通过安装槽11能够实现安装板10的安装，使安装槽11能够嵌合在连接固定孔5内壁的内部，从而避免安装板10影响连接固定孔5内部的尺寸。

工作原理：在使用该球形超高真空腔体时，首先，安装时，将球形腔体1通过表面的大法兰连接螺纹口3和小法兰连接螺纹孔4与连接装置的法兰接口进行连接，大法兰连接螺纹口3内部与连接口连接时，内部的密封垫片6与接口贴合，使连接更紧密，同时大法兰连接螺纹口3外部开设的环形密封连接槽7与连接口卡合连接，其次，小法兰连接螺纹孔4通过上方设置的螺纹伸缩调节槽13与安装设备进行连接，螺纹伸缩调节槽13能够在表面套设的伸缩调节螺纹连接杆套14的内部实现螺纹伸缩，使螺纹伸缩调节槽13的伸出长度与连接装置更好的进行连接，大法兰连接螺纹口3处也可以设置同样的结构，随后，将固定件穿过连接口与环形密封连接槽7内部的连接固定孔5进行连接，从而实现球形腔体1与连接装置的安装固定，当固定件螺纹连接到连接固定孔5的内部后，连接固定孔5内部的弧形螺纹加固板8能够从两侧对固定件进行夹持固定，固定件对弧形螺纹加固板8进行挤压，弧形螺纹加固板8在外侧辅助连接件9的作用下进行弹性调节，辅助连接件9通过安装板10进行支撑连接固定，安装板10安装在连接固定孔5内壁开设的安装槽11，从而实现对固定件的再次固定，使安装更加稳定，最后，当安装或放置球形腔体1时，将球形腔体1通过表面的防滚动切面2与桌面接触，使放置更稳定，同时也可通过球形腔体1表面的定位固定柱12实现对球形腔体1的支撑定位，使球形腔体1更加稳定，定位固定柱12一侧的限位弧形板15可以设置为与环形密封连接槽7外侧相贴合，能够对环形密封连接槽7与装置的连接起到一定的限位，避免连接时发生偏移，影响安装连接效率，这就是该球形超高真空腔体的工作原理。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种球形超高真空腔体，其特征在于，包括：

球形腔体(1)，所述球形腔体(1)的前后两端均开设有大法兰连接螺纹口(3)，所述大法兰连接螺纹口(3)的一侧设置有小法兰连接螺纹孔(4)，所述小法兰连接螺纹孔(4)的上端安装有螺纹伸缩调节槽(13)，所述螺纹伸缩调节槽(13)的外壁套设有伸缩调节螺纹连接杆套(14)；

定位固定柱(12)，其固定安装在所述小法兰连接螺纹孔(4)的一侧，所述定位固定柱(12)的一侧设置有限位弧形板(15)；

密封垫片(6)，其安装在所述大法兰连接螺纹口(3)的内壁上方；

环形密封连接槽(7)，其开设在所述大法兰连接螺纹口(3)的外壁，所述环形密封连接槽(7)的内部开设有连接固定孔(5)；

弧形螺纹加固板(8)，其安装在所述连接固定孔(5)的内部下方；

辅助连接件(9)，其连接在所述弧形螺纹加固板(8)的一侧，所述弧形螺纹加固板(8)的一侧连接有安装板(10)，所述安装板(10)的一侧连接有安装槽(11)。

2.根据权利要求1所述的一种球形超高真空腔体，其特征在于，所述密封垫片(6)与大法兰连接螺纹口(3)的内壁紧密贴合，所述密封垫片(6)的外部尺寸与大法兰连接螺纹口(3)的内部尺寸相吻合。

3.根据权利要求1所述的一种球形超高真空腔体，其特征在于，所述环形密封连接槽(7)包裹于大法兰连接螺纹口(3)的外壁，所述连接固定孔(5)沿环形密封连接槽(7)内部均匀分布。

4.根据权利要求1所述的一种球形超高真空腔体，其特征在于，所述弧形螺纹加固板(8)关于连接固定孔(5)的内部对称分布，所述弧形螺纹加固板(8)外部尺寸小于连接固定孔(5)的内部尺寸。

5.根据权利要求1所述的一种球形超高真空腔体，其特征在于，所述螺纹加固板(8)通过辅助连接件(9)与安装板(10)弹性连接，所述辅助连接件(9)与螺纹加固板(8)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种球形超高真空腔体，其特征在于，所述安装板(10)与安装槽(11)相互贴合，所述安装槽(11)关于连接固定孔(5)的内部对称分布。

7.根据权利要求1所述的一种球形超高真空腔体，其特征在于，所述球形腔体(1)还设有：

防滚动切面(2)，其均匀设置在所述球形腔体(1)外壁，所述防滚动切面(2)的数量设置在三个。

Images