CN215420818U - 一种便于冷却的石墨加热器 - Google Patents

Abstract

一种便于冷却的石墨加热器，包括机座，机座顶部螺栓设有单晶炉，单晶炉内壁加热座上插接连接有石墨加热器，机座顶部一侧固定连接有背板，背板相对单晶炉上方的一侧滑动连接有滑动板，滑动板相对单晶炉的一侧固定连接有冷却套筒通过冷却扇使得内部空气更加高效的流动，同时通过抽气扇，能够更加快速的带走热空气，进而提升冷却效率，同时通过导热片将热量集中，再由水冷系统快速的将热量带走，进而提升了冷却的效率，通过可升降的冷却结构，进而使得冷却装置设置在单晶炉外部，在石墨加热器加热过程时，冷却装置不受加热影响，进而在加热完成后，能够更加高效的进行冷却。

Description

一种便于冷却的石墨加热器

技术领域

本实用新型涉及石墨加热器技术领域，具体涉及一种便于冷却的石墨加热器。

背景技术

石墨加热器是在单晶炉热场结构中制备碳化硅晶体等多晶体所使用的一种必不可少的组件。

目前的石墨加热器在对坩埚内的晶体制备后，需要长时间的过程进行冷却，然后才能取出其中的多晶体，因此现在的石墨加热器无法快速的冷却，从而影响物料的取出，影响加工生产的效率，同时由于单晶炉内的的温度较高，因此一些内置的散热冷却系统的效果并不高效，冷却效果较差。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：现有石墨加热器的散热效果较差，影响晶体的冷却时间，进而降低生产的效率。

本实用新型解决技术问题采用的技术方案是：一种便于冷却的石墨加热器，其包括：机座，所述机座顶部螺栓设有单晶炉，所述单晶炉内壁加热座上插接连接有石墨加热器，所述机座顶部一侧固定连接有背板，所述背板相对单晶炉上方的一侧滑动连接有滑动板，所述滑动板相对单晶炉的一侧固定连接有冷却套筒。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述背板顶部螺栓连接有电机，所述电机输出端贯穿背板顶部插接连接有螺纹杆，所述螺纹杆与滑动板贯穿且螺纹连接，方便将冷却结构与加热结构进行分离，从而更加高效的进行冷却。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述冷却套筒顶部内壁转动设有冷却扇，所述冷却套筒靠近滑动板的顶部两侧均开设有出气口，所述出气口内壁设有抽气扇，提升内部空切的流动，从而使得热气能够更加快速的排出。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述背板顶部一侧螺栓连接有水箱，所述水箱顶部设有水管口，所述水箱底部插接连接有出水管，所述出水管另一端插接连接有水冷管，所述水冷管与冷却套筒内壁贯穿套接，所述水冷管另一端插接连接有回水管，所述回水管另一端与水箱侧壁插接连接，提升石墨加热器的冷却效率，减少冷却时间。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述水箱内壁底部设有冷却机，所述水箱出水管和回水管插口处均设有水泵，所述冷却套筒内壁嵌有导热片，通过导热片，进而使得热量能够更加快速的集中冷却，进而提升冷却效率。

本实用新型具有以下优点：

通过冷却扇使得内部空气更加高效的流动，同时通过抽气扇，能够更加快速的带走热空气，进而提升冷却效率，同时通过导热片将热量集中，再由水冷系统快速的将热量带走，进而提升了冷却的效率；通过可升降的冷却结构，进而使得冷却装置设置在单晶炉外部，在石墨加热器加热过程时，冷却装置不受加热影响，进而在加热完成后，能够更加高效的进行冷却。

附图说明

图1是本实用新型一优选实施例的正剖视结构示意图；

图2是本实用新型一优选实施例冷却套筒的俯视结构示意图；

图3是本实用新型一优选实施例的侧剖视结构示意图。

附图标记说明：1、机座；2、单晶炉；3、石墨加热器；4、背板；5、电机；6、螺纹杆；7、滑动板；8、冷却套筒；9、冷却扇；10、出气口；11、抽气扇；12、导热片；13、水箱；14、出水管；15、水冷管；16、回水管；17、冷却机。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述。在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相正对地重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

请结合参阅图1-3，一种便于冷却的石墨加热器，其特征在于，包括：机座1，机座1顶部螺栓设有单晶炉2，单晶炉2内壁加热座上插接连接有石墨加热器3，机座1顶部一侧固定连接有背板4，通过滑动升降的冷却结构，进而减少加热对冷却结构的工作效率的影响，背板4相对单晶炉2上方的一侧滑动连接有滑动板7，滑动板7相对单晶炉2的一侧固定连接有冷却套筒8，通过水冷和提高空气循环排出的冷却结构，进而使得冷却更加的高效。

其中，冷却套筒8内壁贯穿且绕接连接有水冷管15，水冷管15靠近冷却套筒8顶部的一端插接连接有出水管14，水冷管15另一端插接连接有回水管16，出水管14与回水管16另一端插接连接有水箱13，通过冷却水循环的结构，进而使得冷却效率更高，加快冷却速度，节省冷却时间，冷却套筒8内弧侧壁嵌有导热片12，水箱13内壁螺栓设有冷却机17，通过导热片12能够更加快速的将热量集中，进而能够更高效的提升散热冷却效果。

其中，滑动板7靠近背板4的一侧贯穿且螺纹连接有螺纹杆6，螺纹杆6顶部一端与背板4顶部贯穿且转动连接，螺纹杆6顶部一端插接连接有电机5，电机5与背板4螺栓连接，通过升降的冷却结构，进而在加热时，不受加热影响，进而提升冷却的效果，冷却套筒8顶部贯穿开设有出气口10，出气口10内壁转动设有抽气扇11，冷却套筒8靠近滑动板7的一侧内壁转动连接有冷却扇9，通过冷却扇9提升内壁的空气流动，同时抽气扇11提高热空气的排出，进而提石墨加热器3的冷却效果。

工作原理：在正产加工时，将坩埚和晶体原料放入到石墨加热器3内，然后石墨加热器3在单晶炉2内的加热座上进行加热，加热完成后打开单晶炉2的炉盖，之后电机5带动螺纹杆6转动，随之滑动板7通过螺纹杆6向下滑动，随之冷却套筒8套接到石墨加热器3外侧，同时水箱13内的冷却机17将冷却液降温，随后通过出水管14流入到水冷管15内，同时导热片12将石墨加热器3上的热量吸收，之后油水冷管15内的冷却液将其由回水管16输送回水箱13内，以此循环进而提升冷却效果，同时冷却扇9将热气向底部吹动，随后再向四周扩散，之后抽气扇11将周围的热气通过出气口10排出，从而实现空气的高速循环流动和快速排出，进而提升冷却效率。

以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

本实用新型中其他未详述部分均属于现有技术，故在此不再赘述。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (5)

1.一种便于冷却的石墨加热器，其特征在于，包括：机座(1)，所述机座(1)顶部螺栓设有单晶炉(2)，所述单晶炉(2)内壁加热座上插接连接有石墨加热器(3)，所述机座(1)顶部一侧固定连接有背板(4)，所述背板(4)相对单晶炉(2)上方的一侧滑动连接有滑动板(7)，所述滑动板(7)相对单晶炉(2)的一侧固定连接有冷却套筒(8)。

2.如权利要求1所述的一种便于冷却的石墨加热器，其特征在于，所述背板(4)顶部螺栓连接有电机(5)，所述电机(5)输出端贯穿背板(4)顶部插接连接有螺纹杆(6)，所述螺纹杆(6)与滑动板(7)贯穿且螺纹连接。

3.如权利要求1所述的一种便于冷却的石墨加热器，其特征在于，所述冷却套筒(8)顶部内壁转动设有冷却扇(9)，所述冷却套筒(8)靠近滑动板(7)的顶部两侧均开设有出气口(10)，所述出气口(10)内壁设有抽气扇(11)。

4.如权利要求1所述的一种便于冷却的石墨加热器，其特征在于，所述背板(4)顶部一侧螺栓连接有水箱(13)，所述水箱(13)顶部设有水管口，所述水箱(13)底部插接连接有出水管(14)，所述出水管(14)另一端插接连接有水冷管(15)，所述水冷管(15)与冷却套筒(8)内壁贯穿套接，所述水冷管(15)另一端插接连接有回水管(16)，所述回水管(16)另一端与水箱(13)侧壁插接连接。

5.如权利要求4所述的一种便于冷却的石墨加热器，其特征在于，所述水箱(13)内壁底部设有冷却机(17)，所述水箱(13)出水管(14)和回水管(16)插口处均设有水泵，所述冷却套筒(8)内壁嵌有导热片(12)。

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