CN215311006U - 一种氮化镓半导体生产用的洁净厂房 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种氮化镓半导体生产用的洁净厂房，包括厂房主体、净化空调系统、更衣室、净化箱、毛刷和第二过滤网，所述厂房主体内部的底端安装有净化空调系统，所述厂房主体一端的侧壁安装有更衣室，所述更衣室的顶端安装有底座，且底座的顶端安装有净化箱，所述净化箱的一端侧壁安装有进气管，且进气管远离净化箱的一端与更衣室的顶端相连接，所述净化箱远离进气管的一端侧壁安装有排气管，且排气管远离进气管的一端与更衣室的顶端相连接。该氮化镓半导体生产用的洁净厂房，通过挤压铰接杆进行往复左右移动，从而使挤压板可以带动保护垫来对第二过滤网进行挤压固定，从而便于操作人员对第二过滤网进行安装和拆卸。

Description

一种氮化镓半导体生产用的洁净厂房

技术领域

本实用新型涉及氮化镓半导体生产技术领域，具体为一种氮化镓半导体生产用的洁净厂房。

背景技术

随着社会的发展，科学的进步，氮化镓是氮和镓的化合物，氮化镓半导体多数运于发光二极管中，此化合物结构类似纤锌矿，硬度很高，氮化镓的能隙很宽，为3.4电子伏特，可以用在高功率、高速的光电元件中，例如氮化镓可以用在紫光的激光二极管，可以在不使用非线性半导体泵浦固体激光器的条件下，产生紫光激光，在对氮化镓半导体进行生产时，需要在洁净厂房内部进行生产；

对比该CN210713990U一种洁净厂房，通过厂房内设置边跨洁净室，边跨洁净室与核心洁净室既可以共用介于两者之间的回风夹道，即核心洁净室回风夹道，也可以在边跨洁净室远离核心洁净室的一侧与厂房本体的墙体之间设置用于连通边跨洁净室上夹层与边跨洁净室下夹层的边跨洁净室回风夹道，用于边跨洁净室的单独回风，或者，还可以结合上述两种方案实现双侧回风；边跨洁净室所形成的洁净区域扩大了厂房内洁净区的总面积，但是依旧存在一定的问题，具体问题如下所述：

1、该氮化镓半导体生产用的洁净厂房，容易造成操作人员在进入洁净厂房内部时，粉尘和杂质也同时进入洁净厂房内部，从而影响洁净厂房内氮化镓半导体的生产效果；

2、该氮化镓半导体生产用的洁净厂房，在长时间的使用时，需要对过滤网进行更换和维修，使操作人员在对过滤网进行更换和维修时，带来不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种氮化镓半导体生产用的洁净厂房，以解决上述背景技术中提出的容易造成操作人员在进入洁净厂房内部时，粉尘和杂质也同时进入洁净厂房内部与在长时间的使用时，需要对过滤网进行更换和维修的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种氮化镓半导体生产用的洁净厂房，包括厂房主体、净化空调系统、更衣室、净化箱、毛刷和第二过滤网，所述厂房主体内部的底端安装有净化空调系统，所述厂房主体一端的侧壁安装有更衣室，所述更衣室的顶端安装有底座，且底座的顶端安装有净化箱，所述净化箱的一端侧壁安装有进气管，且进气管远离净化箱的一端与更衣室的顶端相连接，所述净化箱远离进气管的一端侧壁安装有排气管，且排气管远离进气管的一端与更衣室的顶端相连接，所述排气管内部的顶端安装有第一过滤网，所述排气管内部的顶端安装有第二进气扇，且第二进气扇位于第一过滤网的下方，所述进气管内部远离净化箱的一端安装有第一进气扇，所述净化箱内部的四角处皆安装有固定块，所述净化箱内部的顶端和底端皆安装有固定板，且固定板一端的侧壁皆开设有凹槽，所述凹槽内部一端的侧壁安装有滑轨，且滑轨的内部设置有滑块，所述滑块的顶端安装有弹簧，且弹簧的顶端与凹槽内部的顶端相连接。

优选的，所述厂房主体和更衣室相互靠近的一端开设有过道，且过道的内部安装有开关门。

优选的，所述更衣室一侧的侧壁开设有门框，且门框一端的侧壁铰接有门板，所述门板一侧的侧壁安装有密封块，所述门框一侧的侧壁开设有密封槽，且密封槽与密封块相互卡和。

优选的，所述净化箱一侧的侧壁铰接有铰接门，且铰接门一侧的侧壁安装有把手。

优选的，所述第二进气扇的内部设置有贯穿第一过滤网的转杆，且转杆的顶端安装有套筒，所述套筒的外壁等间距安装有刮板，且刮板的底端安装有毛刷，所述毛刷的底端与第一过滤网的顶端相贴合。

优选的，所述滑块的一端侧壁铰接有铰接杆，且铰接杆远离滑块的一端铰接有挤压板，所述挤压板一端的侧壁安装有保护垫，所述保护垫一端的侧壁设置有第二过滤网，且第二过滤网位于固定块和保护垫之间。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过安装有第二进气扇、转杆、刮板、毛刷、第一过滤网、底座、净化箱和排气管，通过启动第二进气扇和第一进气扇，可以使更衣室内部的空气通过净化箱、进气管和排气管形成空气流通，并且通过净化箱的设计，可以对空气进行净化，同时通过启动第二进气扇来带动转杆旋转，便于使转杆旋转来带动刮板和毛刷同时进行旋转，从而使毛刷旋转来对第一过滤网粘附的粉尘和杂质进行清理，避免粉尘和杂质堵塞第一过滤网，影响第一过滤网的过滤效果；

2、同时装置通过安装有门框、密封槽、门板和密封块，通过密封槽和密封块的相互配合，便于使门板的密封性能更好，避免粉尘和杂质通过门板进入更衣室的内部；

3、同时装置通过安装有滑轨、滑块、弹簧、铰接杆、挤压板、保护垫和第二过滤网，通过滑块和滑轨的相互配合，使挤压板在挤压滑块的同时在滑轨的内部进行升降并挤压弹簧发生形变，便于使挤压板可以通过挤压铰接杆进行往复左右移动，从而使挤压板可以带动保护垫来对第二过滤网进行挤压固定，从而便于操作人员对第二过滤网进行安装和拆卸。

附图说明

图1为本实用新型主视剖视结构示意图；

图2为本实用新型图1中A部结构示意图；

图3为本实用新型图1中B部放大结构示意图；

图4为本实用新型主视门板打开结构示意图；

图5为本实用新型主视结构示意图；

图6为本实用新型门框结构示意图。

图中：1、厂房主体；2、净化空调系统；3、更衣室；4、过道；5、开关门；6、底座；7、净化箱；8、进气管；9、排气管；10、第一进气扇；11、第二进气扇；12、第一过滤网；13、转杆；14、套筒；15、刮板；16、毛刷；17、固定块；18、固定板；19、凹槽；20、滑轨；21、滑块；22、弹簧；23、铰接杆；24、挤压板；25、保护垫；26、第二过滤网；27、门框；28、密封槽；29、门板；30、密封块；31、铰接门。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6，本实用新型提供的一种实施例：一种氮化镓半导体生产用的洁净厂房，包括厂房主体1、净化空调系统2、更衣室3、净化箱7、毛刷16和第二过滤网26，厂房主体1内部的底端安装有净化空调系统2；

厂房主体1和更衣室3相互靠近的一端开设有过道4，且过道4的内部安装有开关门5，通过开关门5的设计，避免更衣室3的空气直接进入厂房主体1的内部；

厂房主体1一端的侧壁安装有更衣室3；更衣室3一侧的侧壁开设有门框27，且门框27一端的侧壁铰接有门板29，门板29一侧的侧壁安装有密封块30，门框27一侧的侧壁开设有密封槽28，且密封槽28与密封块30相互卡和，通过密封槽28和密封块30的相互配合，便于使门板29的密封性能更好；

更衣室3的顶端安装有底座6，且底座6的顶端安装有净化箱7；

净化箱7一侧的侧壁铰接有铰接门31，且铰接门31一侧的侧壁安装有把手，便于操作人员通过把手来打开铰接门31；

净化箱7的一端侧壁安装有进气管8，且进气管8远离净化箱7的一端与更衣室3的顶端相连接，净化箱7远离进气管8的一端侧壁安装有排气管9，且排气管9远离进气管8的一端与更衣室3的顶端相连接，排气管9内部的顶端安装有第一过滤网12，排气管9内部的顶端安装有第二进气扇11；

第二进气扇11的内部设置有贯穿第一过滤网12的转杆13，且转杆13的顶端安装有套筒14，套筒14的外壁等间距安装有刮板15，且刮板15的底端安装有毛刷16，毛刷16的底端与第一过滤网12的顶端相贴合，便于使转杆13旋转来带动刮板15和毛刷16同时进行旋转，从而使毛刷16旋转来对第一过滤网12粘附的粉尘和杂质进行清理；

且第二进气扇11位于第一过滤网12的下方，进气管8内部远离净化箱7的一端安装有第一进气扇10，净化箱7内部的四角处皆安装有固定块17，净化箱7内部的顶端和底端皆安装有固定板18，且固定板18一端的侧壁皆开设有凹槽19，凹槽19内部一端的侧壁安装有滑轨20，且滑轨20的内部设置有滑块21；

滑块21的一端侧壁铰接有铰接杆23，且铰接杆23远离滑块21的一端铰接有挤压板24，挤压板24一端的侧壁安装有保护垫25，保护垫25一端的侧壁设置有第二过滤网26，且第二过滤网26位于固定块17和保护垫25之间，便于使挤压板24可以通过挤压铰接杆23进行往复左右移动，从而使挤压板24可以带动保护垫25来对第二过滤网26进行挤压固定；

滑块21的顶端安装有弹簧22，且弹簧22的顶端与凹槽19内部的顶端相连接。

工作原理：在使用该氮化镓半导体生产用的洁净厂房时，首先通过工作人员打开更衣室3上开设的门板29，便于工作人员进行更衣室3的内部，同时通过密封槽28和密封块30的相互配合，便于使门板29的密封性能更好，避免粉尘和杂质通过门板29进入更衣室3的内部，当工作人员进入更衣室3内部更衣的同时，可以通过启动第二进气扇11和第一进气扇10，可以使更衣室3内部的空气通过净化箱7、进气管8和排气管9形成空气流通，并且通过净化箱7的设计，可以对空气进行净化，避免粉尘和杂质通过过道4进入厂房主体1的内部，且还可以通过厂房主体1内部净化空调系统2的设计，便于使厂房主体1内部空气的洁净度更高，同时通过启动第二进气扇11来带动转杆13旋转，便于使转杆13旋转来带动刮板15和毛刷16同时进行旋转，从而使毛刷16旋转来对第一过滤网12粘附的粉尘和杂质进行清理，避免粉尘和杂质堵塞第一过滤网12，影响第一过滤网12的过滤效果；

当需要对净化箱7内部的第二过滤网26进行安装和拆卸时，通过滑块21和滑轨20的相互配合，使挤压板24在挤压滑块21的同时在滑轨20的内部进行升降并挤压弹簧22发生形变，便于使挤压板24可以通过挤压铰接杆23进行往复左右移动，从而使挤压板24可以带动保护垫25来对第二过滤网26进行挤压固定，从而便于操作人员对第二过滤网26进行安装和拆卸，便于操作人员进行操作，以上为本实用新型的全部工作原理。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (4)

1.一种氮化镓半导体生产用的洁净厂房，包括厂房主体(1)、净化空调系统(2)、更衣室(3)、净化箱(7)、毛刷(16)和第二过滤网(26)，其特征在于：所述厂房主体(1)内部的底端安装有净化空调系统(2)，所述厂房主体(1)一端的侧壁安装有更衣室(3)，所述更衣室(3)的顶端安装有底座(6)，且底座(6)的顶端安装有净化箱(7)，所述净化箱(7)的一端侧壁安装有进气管(8)，且进气管(8)远离净化箱(7)的一端与更衣室(3)的顶端相连接，所述净化箱(7)远离进气管(8)的一端侧壁安装有排气管(9)，且排气管(9)远离进气管(8)的一端与更衣室(3)的顶端相连接，所述排气管(9)内部的顶端安装有第一过滤网(12)，所述排气管(9)内部的顶端安装有第二进气扇(11)，且第二进气扇(11)位于第一过滤网(12)的下方，所述进气管(8)内部远离净化箱(7)的一端安装有第一进气扇(10)，所述净化箱(7)内部的四角处皆安装有固定块(17)，所述净化箱(7)内部的顶端和底端皆安装有固定板(18)，且固定板(18)一端的侧壁皆开设有凹槽(19)，所述凹槽(19)内部一端的侧壁安装有滑轨(20)，且滑轨(20)的内部设置有滑块(21)，所述滑块(21)的顶端安装有弹簧(22)，且弹簧(22)的顶端与凹槽(19)内部的顶端相连接。

2.根据权利要求1所述的一种氮化镓半导体生产用的洁净厂房，其特征在于：所述厂房主体(1)和更衣室(3)相互靠近的一端开设有过道(4)，且过道(4)的内部安装有开关门(5)。

3.根据权利要求1所述的一种氮化镓半导体生产用的洁净厂房，其特征在于：所述更衣室(3)一侧的侧壁开设有门框(27)，且门框(27)一端的侧壁铰接有门板(29)，所述门板(29)一侧的侧壁安装有密封块(30)，所述门框(27)一侧的侧壁开设有密封槽(28)，且密封槽(28)与密封块(30)相互卡和。

4.根据权利要求1所述的一种氮化镓半导体生产用的洁净厂房，其特征在于：所述净化箱(7)一侧的侧壁铰接有铰接门(31)，且铰接门(31)一侧的侧壁安装有把手。

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