CN215298431U - 贴膜机离子风机监控系统 - Google Patents
贴膜机离子风机监控系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN215298431U CN215298431U CN202120923330.3U CN202120923330U CN215298431U CN 215298431 U CN215298431 U CN 215298431U CN 202120923330 U CN202120923330 U CN 202120923330U CN 215298431 U CN215298431 U CN 215298431U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- ion fan
- sticking film
- ionic wind
- wind machine
- alarm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种贴膜机离子风机监控系统，包括离子风机和监控器，所述离子风机设置在贴膜机一侧对贴膜装置进行去静电处理，监控器监控离子风机的电压，监控器连接报警器，离子风机进行除静电，且实时监控离子风机的效果，减少了因离子风机异常不工作导致的静电相关的品质隐患。
Description
技术领域
本实用新型主要涉及半导体设备领域，尤其涉及一种贴膜机离子风机监控系统
背景技术
晶圆生产过程中设备在贴膜过程中，会所产静电，对晶圆会都损伤，需要对贴膜机进行消除静电，且还需要对静电消除的效果进行监控，防止监控效果不好。
实用新型内容
针对现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种贴膜机离子风机监控系统，包括离子风机2和监控器4，所述离子风机2设置在贴膜机一侧对贴膜装置进行去静电处理，监控器4监控离子风机2的电压，监控器4连接报警器3。
电压数据进行数据设定，电压超出标准时，设备报警，及时能够反馈，技术人员对离子风机状态及时确认，做到提前预防，避免静电发生。
优选的，所述监控器4设有压力表连接离子风机2.
优选的，所述报警器3设有报警铃。
优选的，所述报警器3设有报警指示灯。
优选的，所述监控器4连接监控系统且将数据通过网络传输到监控系统上。
优选的，所述监控系统还包括数据分析模块。通过离子风机监控系统对离子风机的平衡电压进行实时监控，并进行数据分析。
本实用新型的有益效果：
离子风机收集监控器对离子风机的电压进行监控，并反馈给离子风机监控系统，离子风机监控系统对离子风机的状态进行分析，超出管控范围的通过报警器进行报警，设备人员及时调整，达到实时监控的效果，减少了因离子风机异常不工作导致的静电相关的品质隐患。
附图说明
图1为本实用新型的结构图。
具体实施方式
为了使本技术领域人员更好地理解本发明的技术方案，并使本发明的上述特征、目的以及优点更加清晰易懂，下面结合实施例对本发明做进一步的说明。实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。
如图1所示可知，本实用新型包括有：。
一种贴膜机离子风机监控系统，包括离子风机2和监控器4，所述离子风机2设置在贴膜机一侧对贴膜装置进行去静电处理，监控器4监控离子风机2的电压，监控器4连接报警器3。
电压数据进行数据设定，电压超出标准时，设备报警，及时能够反馈，技术人员对离子风机状态及时确认，做到提前预防，避免静电发生。
在本实施中优选的，所述监控器4设有压力表连接离子风机2。
在本实施中优选的，所述报警器3设有报警铃。
在本实施中优选的，所述报警器3设有报警指示灯。
在本实施中优选的，所述监控器4连接监控系统且将数据通过网络传输到监控系统上。
在本实施中优选的，所述监控系统还包括数据分析模块。
为了改善静电问题点，贴膜机安装了离子风机来消除静电，避免静电造成的产品不良，离子风机的状态需要通过人以及仪器定期进行校验，确保离子风机的状态，矫正周期为月别进行离子风机的状态每月进行一次校验，周期较长，离子风机不工作的状态下，不能及时发现，会存在静电风险。不能实时监控，品质隐患较大。离子风机在使用阶段由于老化损坏以及放电针长时间放电氧化，导致平衡电压超出标准，达不到正常工作状态，不能去除设备作业中产生的静电，导致产品出现静电损坏电路层的现象，因此通过每月进行离子风机电压监控进行确认来减少品质隐患。同时实时跟踪离子风机的状态，确保时刻知道离子风机的状态，且有异常时进行报警。
通过离子风机监控系统对离子风机的平衡电压进行实时监控，并进行数据分析，对电压数据进行标准设定，电压超出标准时，设备报警，及时能够反馈，技术人员对离子风机状态及时确认，做到提前预防，避免静电发生。
上述实施例仅例示性说明本专利申请的原理及其功效，而非用于限制本专利申请。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本专利申请的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本专利申请所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本专利请的权利要求所涵盖。
Claims (6)
1.贴膜机离子风机监控系统，其特征在于，一种贴膜机离子风机监控系统，包括离子风机(2)和监控器(4)，所述离子风机(2)设置在贴膜机一侧对贴膜装置进行去静电处理，监控器(4)监控离子风机(2)的电压，监控器(4)连接报警器(3)。
2.根据权利要求1所述的贴膜机离子风机监控系统，其特征在于：所述监控器(4)设有压力表连接离子风机(2)。
3.根据权利要求2所述的贴膜机离子风机监控系统，其特征在于：所述报警器(3)设有报警铃。
4.根据权利要求3所述的贴膜机离子风机监控系统，其特征在于：所述报警器(3)设有报警指示灯。
5.根据权利要求4所述的贴膜机离子风机监控系统，其特征在于：所述监控器(4)连接监控系统且将数据通过网络传输到监控系统上。
6.根据权利要求5所述的贴膜机离子风机监控系统，其特征在于：所述监控系统还包括数据分析模块。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120923330.3U CN215298431U (zh) | 2021-04-30 | 2021-04-30 | 贴膜机离子风机监控系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120923330.3U CN215298431U (zh) | 2021-04-30 | 2021-04-30 | 贴膜机离子风机监控系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN215298431U true CN215298431U (zh) | 2021-12-24 |
Family
ID=79538918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202120923330.3U Active CN215298431U (zh) | 2021-04-30 | 2021-04-30 | 贴膜机离子风机监控系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN215298431U (zh) |
-
2021
- 2021-04-30 CN CN202120923330.3U patent/CN215298431U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109450098A (zh) | 电力调控一体化系统告警信息优化方法 | |
| CN113538870A (zh) | 一种基于数据采集的变压器安全防护系统 | |
| CN108873795A (zh) | 一种可自动报警的智能监控系统 | |
| CN113128972A (zh) | 医用包装袋智慧生产管理系统 | |
| CN215298431U (zh) | 贴膜机离子风机监控系统 | |
| CN105300447A (zh) | 一种用于监控设备运行状态的系统及方法 | |
| CN114866550A (zh) | 应用于环网柜的环境参数与绝缘故障预警在线监测系统 | |
| CN113464414A (zh) | 一种空压站的节能运行方法 | |
| CN106208382A (zh) | 一种配电箱控制系统 | |
| CN106569461A (zh) | 集散式电力控制装置 | |
| CN205983124U (zh) | 一种综合监控系统 | |
| CN112486304A (zh) | 一种变电部分二次设备实时状态监测及自动缺陷处理系统 | |
| CN206789012U (zh) | 剩余电流式电气火灾监测报警系统 | |
| CN105449870A (zh) | 一种电网设备在线检测与故障诊断系统 | |
| CN211150066U (zh) | 一种led显示屏监测电路 | |
| CN211236661U (zh) | 监测系统 | |
| CN211742098U (zh) | 一种超融合云计算系统的数据监测装置 | |
| CN115148119B (zh) | 一种智慧站亭户外lcd工业屏运行状态的监控系统 | |
| CN207216812U (zh) | 一种电梯消防信号监测装置 | |
| CN208781011U (zh) | 一种设备指示灯状态采集装置 | |
| CN109471044A (zh) | 一种消防电源设备装置数据实时反馈管理控制系统 | |
| TW201533581A (zh) | 伺服器監控裝置及伺服器狀態監控方法 | |
| CN215576242U (zh) | 一种生产设备智能传感器监测系统 | |
| CN109450087A (zh) | 基于电能质量监测的设备保护系统及方法 | |
| CN115014433A (zh) | 一种基于电缆生产加工的车间环境监控系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |